T-FJAS 003-2024 濕電子化學(xué)品 再生鋁蝕刻液

CCSZ00T/FJASwetchemicalsregenerationaluminumEIT/FJAS003—2024 2規(guī)范性引用文件 3術(shù)語和定義 4技術(shù)要求 5試驗(yàn)方法 6檢驗(yàn)規(guī)則 7標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存 T/FJAS003—2024本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由福建中融科技有限公司提出。本文件由福建省標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)歸口。本文件起草單位：福建中融科技有限公司、福建鈺融科技有限公司、福建省化工建設(shè)工程質(zhì)量技術(shù)服務(wù)中心、福建省石油和化工行業(yè)協(xié)會(huì)。本文件主要起草人：林秋玉、崔文濤、陳金亮、郭行然、沈軍、趙俊飛、史郭濤、韓永霖、何碧芳、唐憲春、王慧芳、郭偉。1T/FJAS003—2024濕電子化學(xué)品再生鋁蝕刻液本文件規(guī)定了再生鋁蝕刻液的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。本文件適用于以濕電子化學(xué)品行業(yè)含鋁蝕刻液回收液為原料，經(jīng)過提純的鋁蝕刻液再生產(chǎn)品(以下簡稱產(chǎn)品），主要用于顯示面板制造行業(yè)等。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB/T601化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液配制GB/T602化學(xué)試劑雜質(zhì)測定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備GB/T603化學(xué)試劑試驗(yàn)方法中所使用制劑及制品的制備GB/T6678化工產(chǎn)品采樣總則GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則GB/T6682分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T9728化學(xué)試劑硫酸鹽測定通用方法GB/T9729化學(xué)試劑氯化物測定通用方法GB15603危險(xiǎn)化學(xué)品倉庫儲(chǔ)存通則SJ/T11510液晶顯示器用鋁腐蝕液SJ/T11637電子化學(xué)品電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1濕電子化學(xué)品wetchemicals濕電子化學(xué)品又稱超凈高純電子化學(xué)品，是微電子、光電子濕法工藝（主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié)）中使用的各種液體化工材料。3.2鋁蝕刻液aluminumetch是指一種利用酸類腐蝕劑刻蝕鋁及鋁合金金屬表面的液體材料，主要成分包括磷酸、硝酸、醋酸、水等。2T/FJAS003—20243.3回收液liquidrecycling主要成分是磷酸﹑硝酸、醋酸、水及少量的金屬雜質(zhì)等。4技術(shù)要求產(chǎn)品技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定：表1技術(shù)要求磷酸w%醋酸w%硝酸w%注：由供需雙方商定，含量允許偏差值滿足合同規(guī)定。5試驗(yàn)方法5.1一般規(guī)定3T/FJAS003—2024本試驗(yàn)方法中除另有規(guī)定外，標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液、雜質(zhì)測定用標(biāo)準(zhǔn)溶液和所用制劑及制品均按GB/T601、GB/T602、GB/T603之規(guī)定制備；除特殊要求外，實(shí)驗(yàn)室用水應(yīng)符合GB/T6682中三級(jí)水規(guī)格，實(shí)驗(yàn)用試劑均為分析純。5.2純度測定5.2.1儀器T5自動(dòng)電位滴定儀；SC-111型鉑電極。5.2.2藥品四丁基氫氧化銨（TBAOH）10%水溶液（AR氫氧化鈉（AR鄰苯二甲酸氫鉀（工作基準(zhǔn)試劑無水乙醇（AR）。5.2.3試劑與樣品的配置5.2.3.10.1mol/L的四丁基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液。5.2.3.2配制：用量簡量取26.3mL四丁基氫氧化銨（分析純），將量簡中的溶液用玻璃棒引流轉(zhuǎn)移到1000mL容量瓶中。用適量無水乙醇洗滌量簡內(nèi)壁2次～3次，將洗滌液一并轉(zhuǎn)移到容量瓶中，要用玻璃棒引流、振蕩，加無水乙醇定容，先直接加無水乙醇到離刻度線1cm～2cm時(shí)改用膠頭滴管加無水乙醇至刻度線，改好瓶塞，搖勻即可。5.2.3.3標(biāo)定：用100mL燒杯稱取鄰苯二甲酸氫鉀，稱樣完畢后加入無水乙醇溶液少許，將待測樣品置于滴定臺(tái)上，放下電機(jī)架，并調(diào)節(jié)合適的攪拌器速度，使用電位滴定儀進(jìn)行滴定，根據(jù)滴定結(jié)果，按下式計(jì)算四丁基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的濃度，單位mol/L。.................................式中:M--鄰苯二甲酸氫鉀的質(zhì)量的準(zhǔn)確數(shù)值；v1--四丁基氫氧，銨溶液的體積；v2--空白試驗(yàn)四丁基氫氧化銨溶液的體積；M--鄰苯二甲酸氫鉀的摩爾質(zhì)量。5.2.3.40.5mol/L氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液。5.2.3.5配制：稱取110g氫氧化鈉，溶于100mL無二氧化碳水中，搖勻，注入聚乙烯容器中，密閉放置至溶液清亮。用塑料管量取27mL上層清液，用無二氧化碳的水稀釋至1000mL搖勻。5.2.3.6標(biāo)定：稱取于105℃~110℃電烘箱中干燥至恒重的工作基準(zhǔn)試劑鄰苯三甲酸氫鉀3.6g，加無二氧化碳的水溶解，加2滴酚酞指示劑（10g/L），用配制好的氫氧化鈉溶液滴定至溶液呈粉紅色，并保持30s，同時(shí)做空白實(shí)驗(yàn)。5.2.3.7氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度，數(shù)值以摩爾每升（mol/L）表示，按下式計(jì)算：......................................4T/FJAS003—2024式中：m--鄰苯二甲酸氫鉀的質(zhì)量的準(zhǔn)確數(shù)值；v1--氫氧化鈉溶液的體積；v2--空白試驗(yàn)氫氧化鈉溶液的體積；M--鄰苯二甲酸氫鉀的摩爾質(zhì)量。5.3被測樣品的制備取被測樣品10mL到滴定杯中，加入10mL蒸餾水，每次測定需要同時(shí)準(zhǔn)備兩個(gè)相同的被測樣品。5.4滴定分析過程滴定過程分為三步，第一步使用TBAOH先測定HNO3；第二步使用Na0H測定HN03和H3P04；第三步使用NaOH測定H2P042+和HAc。5.4.1測定混酸中的硝酸取被測樣品10mL，加入蒸餾水10mL，用0.1mol/L的TBAOH通過電位滴定儀滴定混酸中的硝酸，有一個(gè)滴定終點(diǎn)（曲線圖有六個(gè)突躍）:TBAOH+HNO3→NO3+TBN++H20測定混酸中的磷酸和醋酸0.5mo1/Na0H滴定混酸中磷酸和醋酸有兩個(gè)滴定終點(diǎn):HNO3+H3P04+20H-→NO3-+H2P04-+2H20H2P04-+HAC+20H-→HPO42-+Ac-+2H205.4.2結(jié)果計(jì)算硝酸質(zhì)量百分含量計(jì)算式:...........................磷酸質(zhì)量百分含量計(jì)算式：..................醋酸質(zhì)量百分含量計(jì)算式：.....................上述三個(gè)計(jì)算公式中:C(TBAOH)--四丁基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)滴定液的濃度；V1--四丁基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)滴定液的消耗體積數(shù)；V2--第一次氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定液消耗體積數(shù)；V3--第二次氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定液消耗體積數(shù)；M--各物質(zhì)的摩爾質(zhì)量；10m1xP--10ml樣品的質(zhì)量。5T/FJAS003—20245.5顆粒的測定按SJ/T11510中5.4規(guī)定的方法測定。5.6氯化物按GB/T9729中規(guī)定的方法測定。5.7硫酸鹽按GB/T9728中規(guī)定的方法測定。5.8金屬元素的測定按SJ/T11637的規(guī)定進(jìn)行測定。6檢驗(yàn)規(guī)則6.1產(chǎn)品應(yīng)由生產(chǎn)廠的質(zhì)量檢驗(yàn)部門進(jìn)行檢驗(yàn)，第4章規(guī)定的項(xiàng)目均為出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目。6.2以同等質(zhì)量的均勻產(chǎn)品為一批。桶裝產(chǎn)品以不大于100t為一批，或以一貯槽、一槽罐的產(chǎn)品量為一批。6.3采樣方法按GB/T6680的規(guī)定執(zhí)行，采樣單元數(shù)應(yīng)符合GB/T6678的規(guī)定。采樣量不少于1000mL，混合均勻后，等量分裝入兩個(gè)清潔干燥、密封良好的細(xì)口瓶中，瓶上標(biāo)簽應(yīng)注明產(chǎn)品名稱、批號(hào)或生產(chǎn)日期、取樣地點(diǎn)、取樣人姓名、留樣日期。一份供檢驗(yàn)使用，另一份留樣備查。6.4檢驗(yàn)結(jié)果的判定按照GB/T8170中規(guī)定的修約值比較法進(jìn)行。檢驗(yàn)結(jié)果中如有一項(xiàng)指標(biāo)不符合本文件要求時(shí)，應(yīng)重新自兩倍數(shù)量的包裝單元中采樣進(jìn)行復(fù)驗(yàn)，重新檢驗(yàn)的結(jié)果有一項(xiàng)指標(biāo)不符合文件要求時(shí)，則整批產(chǎn)品應(yīng)做不合格處理。7標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存7.1標(biāo)志產(chǎn)品包裝容器上應(yīng)有牢固的標(biāo)志，標(biāo)明產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱、廠址、生產(chǎn)批號(hào)、生產(chǎn)日期、凈含量、本標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)以及GB190中規(guī)定的“腐蝕品”和“方向標(biāo)記”標(biāo)志。7.