《半導(dǎo)體清洗設(shè)備塑材包覆件技術(shù)規(guī)范》征求意見稿

1T/KSZZXXXX—XXXX半導(dǎo)體清洗設(shè)備塑材包覆件通用技術(shù)規(guī)范本文件規(guī)定了半導(dǎo)體清洗設(shè)備塑材包覆件的原材料、生產(chǎn)工藝、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本文件適用于半導(dǎo)體清洗設(shè)備塑材包覆件（以下簡稱“包覆件”）的生產(chǎn)和檢驗(yàn)。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T1043.1塑料簡支梁沖擊性能的測(cè)定第1部分：非儀器化沖擊試驗(yàn)GB/T1040.2塑料拉伸性能的測(cè)定第2部分：模塑和擠塑塑料的試驗(yàn)條件HG/T4280塑料焊接工藝評(píng)定3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4原材料4.1板材4.1.1常規(guī)材質(zhì)的板材種類及規(guī)格尺寸見表1。表1板材種類及規(guī)格320、15、12、10、8、5、320、15、12、10、8、5、34.1.2包覆殼體材料選擇：a)歐、美國家宜選瓷白PP作為外殼包覆的板材；b)日、韓國家宜選黃白PVC作為外殼包覆的板材；c)客戶對(duì)板材有要求，應(yīng)采用防火認(rèn)證板，優(yōu)先選用FM4910材料（象牙黃PVC）；d)客戶對(duì)板材沒有要求時(shí)，優(yōu)先選用瓷白PP作為外殼包覆的板材。4.2槽體槽體材質(zhì)主要有：a)NPP：主要作純水槽，也可存放弱酸、弱堿，可作為QDR槽、OF槽、純水緩沖箱；b)PVC：主要作堿槽，可用作廢氣處理設(shè)備殼體及較大儲(chǔ)液槽；2T/KSZZXXXX—XXXXc)PVDF：主要作酸槽、稱量槽和儲(chǔ)酸槽。4.3管道4.3.1規(guī)格常規(guī)管道規(guī)格按表2選擇。表2管道規(guī)格202540632025406322264860202540634.3.2材質(zhì)4.3.2.1DIW管路：d)水質(zhì)要求＞10MΩ：選用CL-PVC；e)水質(zhì)要求≤10MΩ：選用PP；f)一般水質(zhì)要求：選用UPVC或PP。4.3.2.2藥液管路：a)一般藥液：選用1/2”PFA管路，外層透明PVC管，雙套管管路，透明PVC套管規(guī)格宜大于藥液管（1.5～2）倍；b)特殊藥液：選用3/4”PFA管路，外側(cè)采用雙套管，透明PVC套管規(guī)格宜大于藥液管（1.5~2）倍。4.3.2.3排風(fēng)管道：a)排風(fēng)管：選用PVC白色管，規(guī)格（內(nèi)徑外徑）為DN300?315、DN200?225、DN150?160、DN100?110；b)有機(jī)設(shè)備：選用不銹鋼有機(jī)排風(fēng)，應(yīng)配備自動(dòng)風(fēng)閥；c)排風(fēng)閥：宜選用手動(dòng)風(fēng)閥；d)排風(fēng)量：15m3/min。4.3.2.4廢排管路槽體排液管的材質(zhì)應(yīng)與槽體材質(zhì)相同，排廢水管道應(yīng)與設(shè)備殼體材質(zhì)相同。4.3.2.5氣體管路：a)氣體管道規(guī)格宜選用?4、?6、?8、?10；1/8"、1/4"、3/8"、1/2"；b)接觸腐蝕氣體應(yīng)選PFA材質(zhì)，其余可選PU材質(zhì)。5工藝流程5.1概述包覆件生產(chǎn)工藝如圖1所示，生產(chǎn)工藝步驟包括原材料進(jìn)廠、材料領(lǐng)用、精雕下料、熱彎、包覆3T/KSZZXXXX—XXXX定位、熱熔、磨平、清潔、檢驗(yàn)和入庫。圖1生產(chǎn)工藝流程圖5.2原材料進(jìn)廠5.2.1原材料到貨后，倉庫管理人員應(yīng)確認(rèn)其生產(chǎn)廠家、產(chǎn)品名稱、規(guī)格及數(shù)量是否與采購計(jì)劃相符，是否有相應(yīng)的質(zhì)量證明文件如：合格證、出廠檢驗(yàn)報(bào)告等。5.2.2初檢合格后，應(yīng)通知品質(zhì)部抽樣檢測(cè)。品質(zhì)部應(yīng)依據(jù)原材料檢驗(yàn)規(guī)程進(jìn)行檢驗(yàn)、驗(yàn)收，并做好記錄。5.2.3原材料應(yīng)存放在室溫下，溫度范圍（0～60）℃,濕度范圍45％～65％。5.3材料領(lǐng)用5.3.1生產(chǎn)部收到生產(chǎn)指令單后，應(yīng)根據(jù)工程部提供的下料圖紙進(jìn)行排版，根據(jù)所需材料的名稱和規(guī)格，計(jì)算用量并填寫領(lǐng)料單。5.3.2倉庫應(yīng)根據(jù)領(lǐng)料單上的名稱、規(guī)格、數(shù)量進(jìn)行備料。備料完畢后應(yīng)通知生產(chǎn)，生產(chǎn)收到備料完成后，進(jìn)行核對(duì)物料，收貨后宜靜置24h后再投入使用。5.4精雕下料5.4.1精雕工序領(lǐng)到原材料后，應(yīng)根據(jù)已經(jīng)排版的程序，選擇對(duì)應(yīng)的刀具和正確的板材進(jìn)行精雕加工。加工完成后，應(yīng)去除毛刺、飛邊，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行自檢，檢驗(yàn)項(xiàng)目包括材質(zhì)、外形尺寸、厚度、變形度、對(duì)角線尺寸差異，轉(zhuǎn)入下一工序。5.4.2加工過程環(huán)境宜控制在：a)溫度18℃~26℃;b)相對(duì)濕度45％～65％。5.5熱彎5.5.1精雕下料的產(chǎn)品，應(yīng)對(duì)照?qǐng)D紙進(jìn)行熱彎，應(yīng)注意超過3mm的板材，在折彎內(nèi)側(cè)需要銑槽減少板材厚度。5.5.2首先應(yīng)確認(rèn)需要熱彎的位置，使用亞克力加熱器對(duì)折彎部位進(jìn)行加熱，等加熱到所需溫度后，手動(dòng)折彎到所需角度，持續(xù)固定，直至冷卻固定。5.5.3使用加熱器前應(yīng)檢查加熱槽內(nèi)是否有異物覆蓋，需清除加熱槽內(nèi)的異物。5.5.4接通冷卻水泵電源，應(yīng)確保冷卻水循環(huán)正常。5.5.5接通加熱電源，應(yīng)將調(diào)溫旋鈕調(diào)到最大刻度，加熱絲發(fā)紅后調(diào)整到合適溫度，為節(jié)能和使用安全，超過3min不使用，應(yīng)切斷加熱電源。5.5.6應(yīng)準(zhǔn)備足夠的冷卻水，冷卻水溫不應(yīng)超過50℃。4T/KSZZXXXX—XXXX5.5.7熱彎工藝如圖2所示。圖2熱彎示意圖5.6包覆定位應(yīng)分批依次把U型、L型PP包筋盒或者外側(cè)板、內(nèi)部部件安放到對(duì)應(yīng)位置，并使用美紋紙或者無痕膠帶進(jìn)行初步固定。定位時(shí)應(yīng)注意不要影響其余PP板熱熔焊接。5.7熱熔焊接5.7.1應(yīng)依次將固定好的PP/PVC材質(zhì)零部件連接縫隙進(jìn)行熱熔焊接。5.7.2兩平面進(jìn)行焊接的地方需要打坡口或開槽方可進(jìn)行熱熔焊接，開槽為45°或60°的V型槽。5.7.3宜使用熱風(fēng)槍對(duì)板材或管道進(jìn)行熱熔焊接，宜采用單股焊條打底，雙股焊條填縫的方式。焊接過程應(yīng)控制參數(shù)：a)焊槍溫度：350℃~380℃;b)焊接速度7～10）min/m。5.7.4焊接方法如圖3所示，主要采用鐘擺焊接和拖拉焊接：c)鐘擺焊接：通過對(duì)熱風(fēng)槍的左右小幅擺動(dòng)，將熱風(fēng)均勻的吹在被焊接板材和焊條的焊接處，使表面融合的焊條本身以垂直角度接觸并形成焊接的前進(jìn)導(dǎo)向，對(duì)焊條使用一定的壓力；d)拖拉焊接：通過熱風(fēng)焊槍配合其配套的焊嘴，并將焊條串在對(duì)應(yīng)的脫焊嘴中，且使出風(fēng)扣與母材保持平行快速地拉拖焊接。拖拉焊的橫截面大，易操作。a)鐘擺焊接b)拖拉焊接圖3焊接方法5.7.5焊接前應(yīng)檢查母材和焊條是否被水和油污染，是否有氧化現(xiàn)象，以確保焊接的強(qiáng)度。焊接時(shí)應(yīng)選擇對(duì)應(yīng)并正確的焊條，避免色差、焊接不牢固等。如果是內(nèi)部需要裝液體的槽體，焊接后應(yīng)進(jìn)行測(cè)漏驗(yàn)證。5.8磨平5.8.1外表面或確認(rèn)需要修正的焊縫，應(yīng)用刀片或磨光機(jī)對(duì)焊縫進(jìn)行修整，使之與板材表面平滑過渡。5T/KSZZXXXX—XXXX5.8.2焊接磨平后應(yīng)用無痕膠帶或者美紋膠帶對(duì)打磨面進(jìn)行粘貼保護(hù)。5.8.3非外觀面焊道且不影響裝配的情況下，焊道無需鏟平或磨平。5.9清潔焊接打磨完成后，應(yīng)從內(nèi)到外用氣槍依次清潔灰塵和異物，用無塵布和過氧化氫擦拭表面，表面不應(yīng)有臟污、油跡、水漬和手印等。6技術(shù)要求6.1外觀6.1.1包覆件應(yīng)符合本文件的要求，并按照經(jīng)規(guī)定程序批準(zhǔn)的工藝及技術(shù)文件制造。6.1.2表面應(yīng)干凈整潔，無明顯臟污、油跡和水漬；應(yīng)光滑，無尖銳的凹槽、凹痕或損壞。6.1.3應(yīng)塑化良好，無明顯氣泡、黑點(diǎn)、變形、劃傷、裂縫等缺陷。6.1.4應(yīng)顏色均勻，無褪色、落色現(xiàn)象，同批產(chǎn)品應(yīng)無明顯色差。6.2尺寸偏差6.2.1產(chǎn)品實(shí)際尺寸應(yīng)與標(biāo)示尺寸相符，允許偏差為±5％。如有特殊要求，可根據(jù)客戶要求而定。6.2.2平面度應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，設(shè)計(jì)要求未注明的，平面度偏差應(yīng)為±0.1mm。6.3焊接質(zhì)量焊縫表面質(zhì)量應(yīng)符合HG/T4280的要求，不應(yīng)有虛焊、漏焊、焊道翹起等缺陷。6.4機(jī)械性能包覆件機(jī)械性能應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3機(jī)械性能拉伸屈服應(yīng)變，%7試驗(yàn)方法7.1外觀明亮光線下，目測(cè)檢查。7.2尺寸偏差使用符合精度要求的量具測(cè)量。7.3焊接質(zhì)量明亮光線下，目測(cè)檢查焊縫外觀。7.4機(jī)械性能7.4.1拉伸屈服應(yīng)力、拉伸屈服應(yīng)變、拉伸彈性模量6T/KSZZXXXX—XXXX按GB/T1040.2的規(guī)定進(jìn)行，采用1B型試樣，測(cè)試方向與板材擠出方向一致。拉伸屈服應(yīng)力和拉伸屈服應(yīng)變的試驗(yàn)速度為（5±1）m/min；拉伸彈性模量試驗(yàn)速度為（1±0.2）mm/min。7.4.2簡支梁沖擊強(qiáng)度按GB/T1043.1的規(guī)定進(jìn)行，從縱向和橫向分別各裁取10根試樣，推薦試樣尺寸為80mm×10mm×4mm，厚度不足4mm的試樣按試樣原厚度進(jìn)行。8檢驗(yàn)規(guī)則8.1檢驗(yàn)分類分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。8.2組批以同一工藝、同一原輔材料生產(chǎn)的同一規(guī)格產(chǎn)品為一組批。8.3出廠檢驗(yàn)8.3.1包覆件應(yīng)經(jīng)制造廠質(zhì)量檢驗(yàn)部門逐臺(tái)檢驗(yàn)合格后，方可入庫/出廠。8.3.2檢驗(yàn)項(xiàng)目按表4執(zhí)行。表4檢驗(yàn)項(xiàng)目√√√√√√—√8.3.3當(dāng)出廠檢驗(yàn)結(jié)果全部符合本文件要求時(shí)，判出廠檢驗(yàn)合格；出廠檢驗(yàn)結(jié)果有一項(xiàng)不符合本文件要求的，允許修理后復(fù)檢，直到出廠檢驗(yàn)結(jié)果全部符合本文件要求。8.4型式檢驗(yàn)8.4.1下列情況之一時(shí)，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：a)新產(chǎn)品試制鑒定時(shí)；b)正式生產(chǎn)后，如原料、工藝有較大改變可能影響到產(chǎn)品的質(zhì)量時(shí)；c)出廠檢驗(yàn)的結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)有較大差異時(shí)；d)停產(chǎn)12個(gè)月以上重新恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；e)業(yè)主管部門或質(zhì)量管理部門提出要求時(shí)。8.4.2型式檢驗(yàn)項(xiàng)目按表2執(zhí)行。8.4.3型式檢驗(yàn)應(yīng)從出廠檢驗(yàn)合格產(chǎn)品中隨機(jī)抽取，抽取數(shù)量應(yīng)滿足檢測(cè)要求。8.4.4當(dāng)型式檢驗(yàn)結(jié)果全部符合本文件要求時(shí)，判型式檢驗(yàn)合格。若檢驗(yàn)中出現(xiàn)任何一項(xiàng)不符合，允許加倍重新抽取樣品進(jìn)行復(fù)檢，復(fù)檢后，若全部符合本文件要求時(shí)，判型式檢驗(yàn)合格，否則為不合格。9標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存9.1標(biāo)志9.1.1銷售標(biāo)志應(yīng)至少含有以下內(nèi)容：a)產(chǎn)品名稱；7T/KSZZXXXX—XXXXb)產(chǎn)品責(zé)任單位名稱及地址；c)出廠日期、批號(hào)；d)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)號(hào)；e)產(chǎn)品合格標(biāo)識(shí)。9.1.2包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志按GB/T191的規(guī)定選擇使用。9.1.3標(biāo)志應(yīng)清晰、牢固，不應(yīng)因運(yùn)輸條件和自然條件而褪色、變色、脫落。9.2包裝、運(yùn)輸9.2.1產(chǎn)品裝卸應(yīng)小心平穩(wěn)。運(yùn)輸包裝應(yīng)保證在正常的儲(chǔ)運(yùn)、裝