標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 37007-2018 電子級三甲基鎵》是中國國家標(biāo)準(zhǔn)之一，旨在為半導(dǎo)體工業(yè)中使用的高純度三甲基鎵提供質(zhì)量控制和技術(shù)要求。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了電子級三甲基鎵的技術(shù)指標(biāo)、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的要求。

在技術(shù)指標(biāo)方面，標(biāo)準(zhǔn)明確了產(chǎn)品應(yīng)達(dá)到的純度級別和其他關(guān)鍵物理化學(xué)性質(zhì)的具體數(shù)值范圍或限值，包括但不限于金屬雜質(zhì)含量、非金屬雜質(zhì)含量等，以確保其適用于高質(zhì)量半導(dǎo)體材料的制造過程。此外，還對不同級別的三甲基鎵（如6N、7N等級別）進(jìn)行了區(qū)分，并給出了各自對應(yīng)的規(guī)格參數(shù)。

對于試驗(yàn)方法，本標(biāo)準(zhǔn)列舉了一系列科學(xué)準(zhǔn)確的方法來檢測三甲基鎵的各項(xiàng)性能指標(biāo)，比如使用電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定金屬元素含量、氣相色譜法分析有機(jī)物組成等。這些方法的選擇基于它們能夠有效且可靠地反映樣品真實(shí)情況的原則。

關(guān)于檢驗(yàn)規(guī)則，《GB/T 37007-2018》定義了批次的概念，并指出了如何從一個(gè)生產(chǎn)批中抽取代表性樣本進(jìn)行測試。同時(shí)，也規(guī)定了當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果不符合規(guī)定時(shí)應(yīng)采取的措施，如重新取樣復(fù)檢或者直接判定不合格等。

最后，在包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸及貯存環(huán)節(jié)，《GB/T 37008-2018》提供了具體指導(dǎo)，強(qiáng)調(diào)了安全性和環(huán)境保護(hù)的重要性。例如，要求使用適合長途運(yùn)輸且能防止泄漏的專業(yè)容器；所有包裝上都必須清晰標(biāo)注產(chǎn)品名稱、制造商信息、危險(xiǎn)警告標(biāo)識等內(nèi)容；運(yùn)輸過程中要避免劇烈震動和高溫環(huán)境；儲存時(shí)則需置于干燥通風(fēng)處遠(yuǎn)離火源。通過遵循這些建議，可以最大限度地保證電子級三甲基鎵在整個(gè)供應(yīng)鏈中的品質(zhì)穩(wěn)定與安全。


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文檔簡介

ICS7110020G 86 . .中 華 人 民 共 和 國 國 家 標(biāo) 準(zhǔn) GB/T370072018 電子級三甲基鎵 Electronicgradetrimethylgallium2018-12-28發(fā)布 2019-04-01實(shí)施 國 家 市 場 監(jiān) 督 管 理 總 局 發(fā) 布 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會 中 華 人 民 共 和 國 國 家 標(biāo) 準(zhǔn) 電子級三甲基鎵 GB/T370072018 * 中 國 標(biāo) 準(zhǔn) 出 版 社 出 版 發(fā) 行北京市朝陽區(qū)和平里西街甲 號 2 (100029) 北京市西城區(qū)三里河北街 號 16 (100045) 網(wǎng)址 : 服務(wù)熱線 :400-168-0010 年 月第一版 2019 1 * 書號 :1550661-61408 版權(quán)專有 侵權(quán)必究 GB/T370072018 前 言 本標(biāo)準(zhǔn)按照 給出的規(guī)則起草 GB/T1.12009 。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會 提出并歸口 (SAC/TC203) 。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位 江蘇南大光電材料股份有限公司 中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院 : 、 。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人 陳化冰 孫明璐 王香 曹可慰 : 、 、 、 。 GB/T370072018 電子級三甲基鎵1 范圍 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三甲基鎵的技術(shù)要求 試驗(yàn)方法 檢驗(yàn)規(guī)則 包裝 標(biāo)志 運(yùn)輸 貯存和安全 、 、 、 、 、 、 。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于鎵鎂合金法 三氯化鎵法 格式試劑法三種化學(xué)合成法制備并經(jīng)精制純化的三甲基 、 、 鎵 該產(chǎn)品主要用于生長化合物半導(dǎo)體薄膜材料等 。 。 分子式 :C3H9Ga 相對分子質(zhì)量 按 年國際相對原子質(zhì)量計(jì)算 :114.83( 2013 )2 規(guī)范性引用文件 下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 僅注日期的版本適用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改單 適用于本文件 。 , ( ) 。 危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志 GB190 工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則 GB/T3723 液體化工產(chǎn)品采樣通則 GB/T6680 電子級水 GB/T11446.1 危險(xiǎn)貨物運(yùn)輸包裝通用技術(shù)條件 GB12463 化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定 GB15258 常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則 GB15603 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50073 3 技術(shù)要求 三甲基鎵的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表 要求 1 。 表 1 技術(shù)指標(biāo) 項(xiàng) 目 指 標(biāo) 三甲基鎵 純度 質(zhì)量分?jǐn)?shù) -2 (C3H9Ga) ( )/10 99.99995 銀 含量 (Ag) /(g/g) 0.2 金屬 鋁 含量 (Al) /(g/g) 0.1 元素 砷 含量 ( ) /( / ) 及 As gg 0.5 硼 含量 其他 (B) /(g/g) 0.2 鋇 含量 元素 (B

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