GB∕T 37406-2019 電子封裝用球形二氧化硅微粉球形度的檢測方法 顆粒動態(tài)光電投影法

ICS31030L90 .中 華 人 民 共 和 國 國 家 標 準 GB/T374062019 電子封裝用球形二氧化硅微粉球形度的 檢測方法 顆粒動態(tài)光電投影法 Detectionmethodofdegreeofsphericityofsphericalsilicaforelectronic packagingParticledynamicphotoelectricprojectionmethod2019-05-10發(fā)布 2019-12-01實施 國 家 市 場 監(jiān) 督 管 理 總 局 發(fā) 布 中國國家標準化管理委員會 中 華 人 民 共 和 國 國 家 標 準電子封裝用球形二氧化硅微粉球形度的 檢測方法 顆粒動態(tài)光電投影法 GB/T374062019 * 中 國 標 準 出 版 社 出 版 發(fā) 行 北京市朝陽區(qū)和平里西街甲 號 2 (100029) 北京市西城區(qū)三里河北街 號 16 (100045) 網(wǎng)址 : 服務(wù)熱線 :400-168-0010 年 月第一版 2019 4 * 書號 :1550661-62411 版權(quán)專有 侵權(quán)必究 GB/T374062019 前 言 本標準按照 給出的規(guī)則起草 GB/T1.12009 。 請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利 本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任 。 。 本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會 提出并歸口 (SAC/TC203) 。 本標準起草單位 江蘇聯(lián)瑞新材料股份有限公司 國家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心 漢高 : 、 、華威電子 連云港 有限公司 ( ) 。 本標準主要起草人 曹家 凱 呂 福 發(fā) 阮 建 軍 王 松 憲 姜 兵 封 麗 娟 李 冰 陳 進 夏 永 生 戴 春 明 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、馬濤 。 GB/T374062019 電子封裝用球形二氧化硅微粉球形度的 檢測方法 顆粒動態(tài)光電投影法 1 范圍 本標準規(guī)定了電子封裝用球形二氧化硅微粉顆粒球形度 平均球形度及球形度分布的顆粒動態(tài)光 、 電投影測試方法 。 本標準適用于 的電子封裝用球形二氧化硅微粉球形顆粒 4m300m 。2 規(guī)范性引用文件 下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 僅注日期的版本適用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改單 適用于本文件 。 , ( ) 。 化工產(chǎn)品采樣總則 GB/T6678 分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法 GB/T6682 檢測和校準實驗室能力的通用要求 GB/T15481 粒度分析 圖像分析法 第 部分 動態(tài)圖像分析法 ISO13322-2 2 : (ParticlesizeanalysisImageanalysismethodsPart2:Dynamicimageanalysismethods)3 術(shù)語和定義 下列術(shù)語和定義適用于本文件 。31 . 球形度 degreeofsphericity 單個粒子平面投影圖像接近標準圓形的程度 。32 . 平均球形度 averagedegreeofsphericity 所有顆粒球形度的平均值 反映所有顆粒接近球形的程度 , 。33 . 球形度分布 distributionofsphericitydegree 某一球形度數(shù)值范圍的顆粒數(shù)占全部已測試樣品顆?？倲?shù)的百分比情況 可以得到測試樣品的球 , 形度分布 包括球形度頻率分布 上累積分布 下累積分布等 , 、 、 。4 方法原理 顆粒動態(tài)光電投影法原理 見 制備好的樣品置于樣品分散池中 利用鞘流技術(shù)讓樣 ( ISO13322-2): , 品顆粒逐個緩慢通過樣品池 利用光路系統(tǒng)中的顯微鏡投影機 投射得到清晰的顆粒圖像 短時間內(nèi)可 , , ( 測量很