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1、光通信用光發(fā)射器件,目 錄,1 概述 2 光發(fā)射器件用材料 3 光發(fā)射器件分類 4 半導(dǎo)體光發(fā)射原理 5 激光器結(jié)構(gòu) 6 激光器光電特性 7 激光器制作工藝 8 激光器應(yīng)用,1 概述,1.1 解題與相關(guān)概念 a) 光通信-采用光纖作媒介光作載波的數(shù)字通信。 b) 光發(fā)射器件-半導(dǎo)體激光器、發(fā)光管、激發(fā)器和光泵浦源。 c) 激光-偏振方向、頻率、相位相同的光。 d) 數(shù)字信號(hào)-在時(shí)間上分離和幅值上量化的信號(hào)。 e) 模擬信號(hào)-在規(guī)定時(shí)間內(nèi),幅值可以取連續(xù)范圍內(nèi)的任意數(shù) 值的信號(hào)。 f) 光纖的優(yōu)點(diǎn)-傳輸帶寬極大(可達(dá)幾十Tb/s) 、傳輸損耗極 小、 不怕電磁干擾 、 不怕高溫 、 重量輕。 g
2、) 數(shù)字通信的優(yōu)點(diǎn)-抗噪聲能力強(qiáng)、 保密性好、 設(shè)備簡(jiǎn)單、 穩(wěn)定可靠、 適用各種業(yè)務(wù)要求。 h) 模/數(shù)變換-若模擬信號(hào)帶寬為W, 當(dāng)?shù)乳g隔以不小 于2W速 率取樣時(shí),則離散取樣信號(hào)可完全恢復(fù)原信號(hào),1.2 光數(shù)字同步通信系統(tǒng)(SDH,在光通信核心網(wǎng)、廣域網(wǎng)(包括城域網(wǎng)和局域網(wǎng))和光纖 接入網(wǎng)(包括CATV)中都采用光同步數(shù)字通信系統(tǒng),1.3 光發(fā)射器件在核心網(wǎng)和廣域網(wǎng)(包括城域網(wǎng)和局域網(wǎng),光發(fā)射器件在核心網(wǎng)和廣域網(wǎng)通信系統(tǒng)光端機(jī)和光中繼器的光發(fā)射部分,都是必不可少的關(guān)鍵光電子器件,1.4 光發(fā)射器件在光纖用戶接入網(wǎng) 光發(fā)射器件在光纖用戶接入網(wǎng)(包括三網(wǎng)合一)E-PON、G-PON光模塊和CA
3、TV光模塊的光發(fā)射部分中也是必不可少的關(guān)鍵光電子器件,1.5 光發(fā)射器件在移動(dòng)通信光纖分布式直放站,光發(fā)射器件在移動(dòng)通信光纖分布式直放站光纖的光發(fā)射部 分中也是必不可少的關(guān)鍵光電子器件,2 光發(fā)射器件用晶體材料,光發(fā)射器件一般采用III-V族化合物半導(dǎo)體GaAs、 AlGaAs、 InP、 InGaAsP、InAlGaAs晶體材料;對(duì)長(zhǎng)波長(zhǎng)光發(fā)射器件,采用InP、InGaAsP 、 InAlGaAs 等材料,其晶體結(jié)構(gòu)為閃鋅礦結(jié)構(gòu),光發(fā)射器件分類,按發(fā)射方式(或光譜純度),可分為: 激光器 (LD) ; 具有相同振動(dòng)方向 相同頻率 相同相位;高 度方向性和窄的光譜寬度(光譜純度高). 發(fā)光管
4、( LED); 無上述“三同 ”,譜寬在30nm以上; 按波長(zhǎng)長(zhǎng)短,LD可分為: 短波長(zhǎng)LD, 波長(zhǎng)小于1 微米,如850nm, 980nm; 長(zhǎng)波長(zhǎng)LD,波長(zhǎng)在1200nm至1600nm之間,按選模機(jī)構(gòu)(光諧振腔)形式,可分為: Fabry-Perot腔激光器(F-P LD)和分布布喇格反饋(或反 射)激光器(DFB-LD)。 雙異質(zhì)結(jié)構(gòu)Fabry-Perot腔激光器(F-P LD )典型結(jié)構(gòu)如下,Fabry-Perot腔激光器有多種結(jié)構(gòu)形式,其分類如下: 其中,比較成熟的F-P LD主要有脊形波導(dǎo)激光器和掩 埋異質(zhì)結(jié)構(gòu)激光器,按有源層(發(fā)光層)材料特點(diǎn),激光器可分為: 半導(dǎo)體化合物體材料(
5、厚度大于20nm)激光器; 量子阱結(jié)構(gòu)材料(每層厚度小于15nm)激光器(QW-LD); 量子阱結(jié)構(gòu)材料如下圖,e) 按表面形式,激光器可分為: 平面接觸激光器; 臺(tái)面(如脊形波導(dǎo))接觸激光器,f) 按出射光位置,激光器可分為: 邊 (側(cè)面) 發(fā)射激光器,g) 按調(diào)制速率,激光器可分為: 中低速LD, 這里指小于155Mb/s范圍; 高速LD,這里指(155-622)Mb/s范圍 超高速LD,這里指(1-20)Gb/s范圍; h) 按發(fā)射功率,激光器可分為: 超大功率激光器(如980nm 500mW激光器); 大功率激光器(10mW以上) 中小功率激光器(0.2-5.0mW范圍,I) 按封裝方
6、式,激光器可分為: 單管同軸、雙列直插、小型化DIL、 高速蝶形激光器,按激光器集成方式,可分為單管式和集成式激光器,集成方式中,主要有:激光器陣列和光調(diào)制器-分布反饋激光器單片集成等,4 半導(dǎo)體光發(fā)射原理 半導(dǎo)體光發(fā)射基于激光器有源層材料導(dǎo)帶和價(jià)帶間電子、空穴的復(fù)合輻射。 a) 半導(dǎo)體能帶結(jié)構(gòu)和能帶間受激發(fā)射示意圖,b ) 簡(jiǎn)化能帶圖和復(fù)合輻射示意圖,c) PN結(jié) 異質(zhì)結(jié)概念及其能帶圖,PN結(jié)和異質(zhì)結(jié): PN結(jié):同材料、同組分而不同摻雜(p、n)的交界面; 異質(zhì)結(jié):不同材料或不同組份的交界面。 PN結(jié)、異質(zhì)結(jié)示意圖如下,d) 半導(dǎo)體激光器工作原理,要實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體發(fā)射激光,必須滿足3個(gè)基本條件:
7、 在正向電流注入下實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布 即處在高能態(tài)導(dǎo)帶底的電子數(shù)比處在低能態(tài)價(jià)帶頂?shù)目昭〝?shù)大很多; 有一個(gè)合適的諧振腔,滿足相位條件 使受激輻射在其中得到多次來回反射而形成較強(qiáng)的穩(wěn)定的激光振蕩.通常有F-P腔和分布反饋(DFB)腔; c) 增益大于等于損耗,滿足閾值條件 R1R2xep(g - )2L = 1,粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布示意圖 粒子數(shù)反轉(zhuǎn): 導(dǎo)帶電子數(shù)很多 價(jià)帶電子數(shù)很少,只有激光器有源層材料的總光增益大于等于總光損耗,并達(dá)到閾值增益時(shí)才有穩(wěn)定的光發(fā)射,5 激光器核心結(jié)構(gòu),激光器層次很多,作用不同,但其核心結(jié)構(gòu)主要由4部分構(gòu)成: A ) 能產(chǎn)生適當(dāng)激射的光有源層; B) 有合適的諧振腔;
8、C ) 有載流子和光的限制層; D) 有施加注入電流的金屬接觸層; 滿足上述4項(xiàng)要求的激光器有很多種,如,美國(guó)專利-脊形波導(dǎo)激光器,美國(guó)專利-分布反饋激光器,分布反饋(DFB)激光器 (a) 結(jié)構(gòu); (b) 光反饋,6 激光器光電特性,激光器光電特性包括: a) 電流-電壓特性和電流-光功率特性 V、 Po Kink(扭折) 1.6-1.8 Ith Ith_- 閾值電流,一般為(8-20)mA I,b) 光譜特性 LED光譜寬度較寬,通常其半寬度大于30nm; LD光譜特性可由光譜寬度、邊模抑制比和消光比(脈沖情況下)表示。其示意圖如下: - 20dB,LD光譜不僅隨環(huán)境溫度變化,而且隨工作電
9、流而變化,InGaAsP/InP LD模式和波長(zhǎng)隨電流而變化如下圖所示,c) 溫度特性 半導(dǎo)體器件為溫度敏感器件,對(duì)LD,當(dāng)環(huán)境溫度或PN結(jié)溫變化時(shí),光功率和閾值電流都會(huì)產(chǎn)生變化,如下圖,d) 瞬態(tài)特性(包括調(diào)制特性) 由于LD在直接脈碼調(diào)制下的電子和光子的相互作用,存在開關(guān)延遲、張弛振蕩、自脈動(dòng)等現(xiàn)象,e) 模式特性 由于光在諧振腔中形成穩(wěn)定的駐波形態(tài),在垂直與光發(fā)射方向和光平性防線存在橫模和縱模。只有一個(gè)光斑狀的橫模,稱單橫模;有兩個(gè)和兩個(gè)以上的光斑狀,稱多橫模。如下圖所示,如果在光譜中只存在一個(gè)波峰,或邊模抑制比大于30dB以上的縱模,稱單縱模。如,強(qiáng)度和頻率調(diào)制噪聲,眼圖 直接強(qiáng)度調(diào)制
10、LD的光特性可用眼圖來大致衡量,包括消光比、噪聲、碼間干擾、上升/下降時(shí)間、均衡情況、抖動(dòng)、調(diào)制電路匹配情況等,各種各樣的眼圖的例子,眼圖模框及要求的例子,光通信用激光器光電技術(shù)指標(biāo) 光通信用激光器光電技術(shù)指標(biāo)有: a) 光發(fā)射波長(zhǎng) b) 光譜寬度 c)出纖光功率 d)閾值電流 e)微分(或斜率)效率 f)邊模抑制比 g)可調(diào)制帶寬(或脈沖光上升/下降時(shí)間) h) 接觸電阻 i) 正向電壓 J) 中值壽命 k) 工作溫度,激光器參數(shù)和一般表示符號(hào),光發(fā)射器件技術(shù)指標(biāo)典型值范圍,WTD 的MQW-DFB-LD 技術(shù)指標(biāo)(1,WTD 的MQW-DFB-LD 技術(shù)指標(biāo)(2,h) 美國(guó)Lasertro
11、n 公司的MQW-DFB-LD 技術(shù)指標(biāo)(1,h) 美國(guó)Lasertron 公司的MQW-DFB-LD 技術(shù)指標(biāo)(2,7 激光器制作工藝,激光器的種類、結(jié)構(gòu)很多,不同結(jié)構(gòu)的器件,制作工藝步驟和工藝條件各不相同,下面以MQW-DFB-LD為例,介紹主要制作工藝步驟如下: MOCVD一級(jí)光刪制作掩埋雙溝制作二次外延 光刻化學(xué)腐蝕LPCVD光刻反應(yīng)離子刻蝕 金 屬濺射金屬剝離電鍍減薄拋光電子束蒸發(fā) 芯條解理端面鍍膜管芯解理,8 激光器應(yīng)用,激光器應(yīng)用注意事項(xiàng) A 選擇波長(zhǎng)、光功率及線性、光譜寬度、封裝和價(jià)格合適的激光器; B 選擇合適的偏置和濾波;考慮消光比、帶寬、開關(guān)延遲和張弛振蕩; D 光纖反射對(duì)光功率、波長(zhǎng)穩(wěn)定性的影響;是否需要隔離器? E 直接調(diào)制時(shí)應(yīng)考慮阻抗匹配和寄生參數(shù)問題; F 嚴(yán)防靜電和浪涌沖擊,光纖折短、表面沾污、焊線溫度和時(shí)間; 激光器控制:功率控制、溫度控制、偏置控制、波長(zhǎng)漂移控制、防沖擊控制,可靠性試驗(yàn)與性能測(cè)試 a 可靠性試驗(yàn) 可靠性試驗(yàn)包括機(jī)械完整性試驗(yàn)、耐久性試驗(yàn)和特殊試驗(yàn)。 機(jī)械完整性試驗(yàn)一般包括機(jī)械沖擊、振動(dòng)、熱沖擊、可焊性和光纖拉力。 耐久性試驗(yàn)一般包括加速老化(高溫)、溫度循環(huán)、抗循環(huán)潮濕、高/低溫存儲(chǔ)等。 特殊試驗(yàn)一般包括內(nèi)部潮
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