內(nèi)層開路、缺口改善

1、內(nèi)層開路、缺口改善內(nèi)層開路、缺口改善 ( (二二) )改善措施改善措施 n干膜房的清潔度的提升，每班次對地面、機臺進 行全面清潔，將干膜房的潔凈度控制在5萬級以下； n內(nèi)層過期干膜和開封超過5天或以上的干膜例用時， 曝光人員在曝光前檢查面板是否有膠點，如有需 做返工處理。 ( (二二) )改善措施改善措施 n手動曝光機的清潔方式： 由機臺頂部到機臺底部依次清潔； 可先用吸塵器將機臺內(nèi)部將灰塵吸走，再用粘塵布 將機臺內(nèi)部所有區(qū)域包括所有死角全部擦試一次。 擦試完以后用手電將各個區(qū)域檢查一次是否清潔干 凈； 做內(nèi)層時每做20片菲林拆下檢查時將曝光玻璃臺面 的反面進行清潔，清潔后檢查玻璃臺面及麥拉膜

2、表 面是否有雜物； 清潔頻次保證每班次按以上四點進行清潔作業(yè)，用 時不低于30分鐘。 ( (二二) )改善措施改善措施 n手動曝光機減少灰塵方式： 將手動曝光機的兩側(cè)門張貼粘塵紙； 機臺底部靠近曝光框軌道下面放置粘塵紙以 減少灰塵； 更換頻次每周一保養(yǎng)時更換； 手動曝光機使用專用粘塵輪，并且保證粘塵 輪的完好； ( (二二) )改善措施改善措施 n手動內(nèi)層精密線路（5min)以下板件做出相 應的規(guī)范 ： 專人對板件進行板面進行檢查并使用除塵輥進行清 潔后直接交給曝光人員進行生產(chǎn)(禁止將清潔后的板 件再次放入板件架上）； 貼膜機要求每天將內(nèi)部擦試一次，以減少膜下雜物； 清潔機粘塵紙每100片更換

3、一次 ( (三三) )內(nèi)層圖形轉(zhuǎn)移工藝流程內(nèi)層圖形轉(zhuǎn)移工藝流程 n流程:磨板貼膜曝光沖板蝕刻(顯影. 酸蝕.退膜) n磨板-去除抗氧化層、粗化基板表面 n貼膜-熱壓貼上抗蝕感光干膜 n曝光-通過UV曝光將菲林圖形轉(zhuǎn)移到干膜上 n沖板撕掉干膜上的保護膜 n顯影-剝除線路圖形以外的干膜 n酸蝕-蝕刻線路圖形以外的銅箔 n退膜-去除線路圖形上的干膜 n沖孔-沖出層壓需要的定位孔 本次改善重點在曝光本次改善重點在曝光 主要特征主要特征:線路不良，銅面上被蝕掉一層銅皮或呈凹入圓線路不良，銅面上被蝕掉一層銅皮或呈凹入圓 弧形狀，有側(cè)蝕?；⌒螤睿袀?cè)蝕。 原因：原因： 膜下雜物、壓輥輕微的空洞（裂紋）、壓膜

4、氣泡膜下雜物、壓輥輕微的空洞（裂紋）、壓膜氣泡 缺點發(fā)生崗位缺點發(fā)生崗位:貼膜貼膜 主要特征：主要特征： 缺陷位置形狀較規(guī)則，缺陷位置形狀較規(guī)則， 邊界清晰。邊界清晰。 原因原因:曝光灰塵、雜物。曝光灰塵、雜物。 缺點發(fā)生崗位缺點發(fā)生崗位:曝光曝光 MN427AMN427A曝光雜物開路曝光雜物開路 M600AM600A板面雜物開路板面雜物開路 1. 1.每班次由菲林檢查人員、顯影人員使用粘 塵輥清潔地面，包括所有設(shè)備底部、菲林架 底部等死角全部清潔； 2.每周保養(yǎng)需將機臺頂部、墻壁四周和天花 板頂部清潔一次。 使用過期干膜時，如有殘膠反沾曝光前需全檢板面 手動曝光機清潔前雜物灰塵用手摸或放粘塵

5、紙時雜 物明顯，但需要用手電的照射下機臺內(nèi)部雜物才明 顯。 出風口改善，將風口用制網(wǎng)絲娟包住以減少風機灰 塵導致開路； 用粘塵紙將手動曝光機由頂部依次到底部，順次清 潔，以減少灰塵量。 清潔后使用手電將各個區(qū)域再次檢查特別是機臺的 死角區(qū)域的檢查 手動曝光機機臺內(nèi)部由于光線不強且機臺內(nèi)部設(shè)計的死角很 多，由于之前的清潔方法和檢查方法不當導致許多死角藏有 大量灰塵。 曝光框進出的軌道無任何防護，在運行過程中出現(xiàn) 掉屑（呈黑色顆粒狀），現(xiàn)暫時將軌道處放置粘塵 紙以減少黑色灰塵的來源。 要求所放的粘塵紙在周一保養(yǎng)時進行更換一次 首先使用菲林清潔劑對曝光框進行清潔（包括玻璃 臺面的反面清潔） 兩曝光框清潔后，將曝光框合上抽真空檢查整個曝 光框是否還有雜物，合格后方可做板。 手動內(nèi)層精密線路（5min)以下板件