潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范gb

1、第1. 0. 1條潔凈廠房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、 經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、確保質(zhì)量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。第1. 0. 2條 本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的潔凈廠房設(shè)計(jì)，但不適用于以細(xì)菌為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設(shè)計(jì)。第1. 0. 3條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時(shí)，潔凈廠房設(shè)計(jì)必須根據(jù)生 產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。第1. 0. 4條潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、測試和安全運(yùn)行創(chuàng)造必 要的條件。第1. 0. 5條 潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)

2、按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、 規(guī)范的有關(guān)要求。第二章空氣潔凈度等級第2. 0. 1條空氣潔凈度應(yīng)按表2.0.1規(guī)定劃分為四個(gè)等級。空氣潔凈度等級表2.0.1等級每立方米（每升）空氣中微米塵粒數(shù)每立方米（每升）空氣中5微米塵粒數(shù)100級 35 X 1001000 級 35 X 1000(35) 25010000 級 35 X 10000(350) 2500100000 級 35 X 100000(3500) 25000(25)注：對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計(jì)算應(yīng)進(jìn)行多次 采樣。當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，方可認(rèn)為該測試數(shù)值是可靠的。第2. 0. 2條 潔凈室空氣潔凈度

3、等級的檢驗(yàn)，應(yīng)以動態(tài)條件下測試的塵粒數(shù)為 依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測試，應(yīng)符合附錄二規(guī)定。第二章總體設(shè)計(jì)第一節(jié)潔凈廠房位置選擇和總平面布置第3.1.1條 潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定:一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域；二、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、 貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污 染源時(shí)，則應(yīng)位于其最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地段。第3. 1. 2條 對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測

4、定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動值進(jìn)行分析 比較。第3. 1. 3條 潔凈廠房最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時(shí)，潔凈廠房與煙囪之間的 水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。第3.1.4條潔潔廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米 第 315 條 潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道 （可利用交通道路 ） ，如有困難 時(shí)，可沿廠房的兩個(gè)長邊設(shè)置消防車道。第 3 1 6 條 潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵少的材料。第 3 1 7 條 潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化。可鋪植草坪、種植對大氣含塵農(nóng)度不 產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)。但不得妨礙消防操作。第二節(jié) 工藝布置和設(shè)

5、計(jì)綜合協(xié)調(diào)第 3 2 1 條 工藝布置應(yīng)符合下列要求：一、工藝布置合理、 緊湊。 潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備以及有空氣 潔凈度等級要求的工序和工作室。二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下， 空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣 調(diào)節(jié)機(jī)房， 空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置， 靠近潔凈區(qū)人口處 宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室。三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)， 易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備 應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。四 、應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。五、應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料人口， 物料傳遞路線應(yīng)最短， 物料進(jìn)入潔凈區(qū)之前必須進(jìn) 行清潔處理。第

6、 3 2 2 條 潔凈廠房內(nèi)宜少設(shè)隔間，但在下列情況下可予以分隔。一、按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或 有防火分隔要求者。 二、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生較強(qiáng)噪聲或散發(fā)較多熱量、 塵粒和有害氣體， 且不能采取局 部措施加以控制者。三、生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)車間之間。第 3 2 3 條 潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)，宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化 和其他輔助用房進(jìn)行分區(qū)布置。 同時(shí)應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、 工藝設(shè)備安裝和維修、 氣 流組織型式、管線布置以及凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)效果。第 3 2 4 條 潔凈廠房設(shè)計(jì)必須合理確定各種管線的平面位置和豎向標(biāo)

7、高。第 325 條 潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施 （ 如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等 ）的布置，宜首先考慮凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的要求。第三節(jié) 噪聲控制第 3 3 1 條 潔凈室內(nèi)的噪聲級，應(yīng)符合下列要求：一、動態(tài)測試時(shí)，潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過 70分貝 A。二、空態(tài)測試時(shí)，亂流潔凈室的噪聲級不宜大于 60分貝A;層流潔凈室的噪聲 級不應(yīng)大于 65 分貝 A。注：（1）由于技術(shù)經(jīng)濟(jì)條件限制，或噪聲大于 70分貝A對生產(chǎn)無影響時(shí)，噪聲 級可適當(dāng)放寬，但不宜大于 75 分貝 A;（2）上述噪聲級是指在室內(nèi)每一個(gè)工作點(diǎn)人耳位置（人離開）的測量 值。對于變動噪聲，則取相同位置處在一個(gè)正常工作日內(nèi)的等效

8、連續(xù)聲壓級。第 332 條 潔凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲太級;各頻帶聲壓級值 不宜大于表 3.3.2 的規(guī)定。第 3 3 3 條 潔凈廠房的平、剖面布置，應(yīng)考慮噪聲控制的要求，其圍護(hù)結(jié)構(gòu) 應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。第 3 3 4 條 潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲超過潔 凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施 （ 如隔聲間、隔聲罩等 ） 。第 3.3.5 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔聲振 等控制措施。除事故排風(fēng)外，應(yīng)對潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。第 3 3 6 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)噪聲級的要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速

9、宜按下 列規(guī)定選用：一、總風(fēng)管為610米/秒。二、無送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為 68米/秒。三、有送、回風(fēng)口的大風(fēng)管為 36米/秒。第 337 條 潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計(jì)必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求， 不得因控制噪聲而影響潔凈室的凈化條件。第四節(jié) 振動控制第 3.4.1 條 潔凈廠房和周圍輔助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備 （包括水泵等 ）及其 通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。第 3 42 條 對潔凈廠房內(nèi)外各類振源， 應(yīng)測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。 如受條件限制， 也可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)對綜合振動影響進(jìn)行評價(jià)。 并應(yīng)與精密設(shè)備、 精儀 器儀表的允許環(huán)境振動值進(jìn)行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。第

10、 3 4 3 條 精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)生量、保持 潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。 當(dāng)采用空氣彈簧隔振臺座時(shí)， 應(yīng)地氣源進(jìn)行處 理，使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級。第四章 空氣凈化第一節(jié) 一般規(guī)定第 4 11 條 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定， 應(yīng)符合下列要求：一、潔凈室內(nèi)有多種工序時(shí)， 應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求， 采用不同的空氣潔凈度 等級。二、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下， 潔凈室的氣流組級別， 宜采用局部工作區(qū) 空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。第 4.1.2 條 層流潔凈室和亂流潔凈室以及運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的潔凈 室，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)

11、置。第 4 1 3 條 潔凈室內(nèi)的計(jì)算溫、溫度、應(yīng)符合下列規(guī)定：一、滿足生產(chǎn)工藝要求二、生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時(shí)，潔凈室溫度為 2026度，溫度70度。第 414 條 潔凈室內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量，其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的最 大值；一、亂流潔凈室總送風(fēng)量的 10% 30%，層流潔凈室總送風(fēng)量的 2 4%。二、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量。三、保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于 40 立方米。第4. 1. 5條 潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。第4. 1. 6條在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，對施工和維護(hù)管理

12、要求，可按附錄 四和附錄五的規(guī)定。第二節(jié)潔凈室正壓控制第4. 2. 1條 潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非 潔凈區(qū)之間的靜壓差，應(yīng)不小于，潔凈區(qū)與室外的靜壓差，應(yīng)不小于。第4. 2. 2條 潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量，宜按下式計(jì)算：Q= q1 （q L）（4.2.2 ）式中 Q-維持潔凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量（米3/時(shí)）;a-根據(jù)圍擴(kuò)結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可?。籷-當(dāng)潔凈室為某一正壓值時(shí)，其圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏 風(fēng)量（米3/時(shí)米）;L -圍擴(kuò)結(jié)構(gòu)的縫隙長度（米）。第5. 2. 3條 圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量，可按表5.2.3采用壓差(Pa)門窗

13、形式非密閉門密閉門單層固定密閉木窗單層固定密閉鋼窗單層開啟式密閉鋼窗傳遞窗壁板漏風(fēng)量（米3/時(shí)米）、174246308369401044114812521355156016第4. 2. 4條 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時(shí)，聯(lián)軸和序應(yīng)為 先啟動送風(fēng)機(jī)，再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)，系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)，則聞鎖程序應(yīng)相反。第4. 2. 5條 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班風(fēng)機(jī)，并應(yīng) 對新風(fēng)進(jìn)行處理。第三節(jié)氣流組組織和送風(fēng)量第4. 3. 1氣流組織的選擇，應(yīng)符合下列要求：一、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應(yīng)滿足空氣潔凈度和人體健康的要求， 并應(yīng)使?jié)崈?工作區(qū)氣流流向單一。二、回風(fēng)口宜均勻布置在潔

14、凈室下部。三、余壓閥宜設(shè)在潔凈室氣流的下風(fēng)側(cè)，不宜設(shè)在潔凈工作區(qū)高度范圍內(nèi)。第4. 3. 2條 潔凈室的氣流組織和送風(fēng)量，宜按表 532選用。第 4 3 3 條 亂流潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列規(guī)定的最大值； 一、為控制室內(nèi)空氣潔凈度所需要的送風(fēng)量。二、按表 5.3.2 規(guī)定的送風(fēng)量。三、根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算和稀釋有害氣體所需的送風(fēng)量。四、按空氣平衡所需要的送風(fēng)量。第 4.3.4 條 當(dāng)生產(chǎn)工藝僅要求在潔凈室內(nèi)局部工作區(qū)達(dá)到更高的空氣潔凈度 時(shí)，其氣流組織設(shè)計(jì)應(yīng)使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘?jīng)該工作區(qū)， 或在潔凈室的不同區(qū)域形 成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖、。第 4 3 5 條 層

15、流潔凈室內(nèi)不宜設(shè)置潔凈工作臺；亂流潔凈室內(nèi)可設(shè)置潔凈工 作臺，但其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。第 4 36 條 潔凈室內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時(shí)， 其位置應(yīng)設(shè)在工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)。第四節(jié) 空氣凈化處理第 4 4 1 條 各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效 空氣過濾器三級過濾。注 1： 100， 000 級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。第 4 4 2 條 確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝 特點(diǎn)和潔凈室空氣潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面 積較大時(shí)， 位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴(yán)格的潔凈室， 宜采用集中式 凈化空氣調(diào)

16、節(jié)系統(tǒng)。第 4 4 3 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)，凡工藝過程產(chǎn)生大量有 害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或?qū)ζ渌ば蛴形：r(shí)，則不應(yīng)用回風(fēng)。 第 4 4 4 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外，應(yīng)采 取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。第 4 4 5 條 空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合下列要求：一、初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器。二、中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段。三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端。四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用。五、阻力、效率相近的高效空氣過

17、濾器宜設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)。六、高效空氣過濾器安裝方式應(yīng)簡便可靠，易于檢漏和更換。第 4 4 6 條 送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇， 中效、高效空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計(jì)算。第 4 4 7 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí)，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng) 布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施。第五節(jié) 采暖通風(fēng)第 4 5 1 條潔凈室的采暖型式，應(yīng)按下列不同情況確定：一、100 級、 1000級、 10，000 級潔凈室，不應(yīng)采用散熱器采暖， 100，000級潔 凈室，不宜采用散熱器采暖。二、值班采暖可利用技術(shù)夾道的散熱器進(jìn)行間接采暖。 或采用間歇運(yùn)行凈

18、化空氣 調(diào)節(jié)系統(tǒng)，值班風(fēng)機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行熱風(fēng)采暖第 4.5.2 條 散熱器應(yīng)采用表面光滑不易積塵、便于清掃的形式 第 4 5 3 條 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置、排風(fēng)罩的操作口面積應(yīng)盡量縮小。第 4 5 4 條 局部排風(fēng)系統(tǒng)在下列情況下，應(yīng)單獨(dú)設(shè)置： 一、非同一凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。二、排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險(xiǎn)性。三、所排出的有害物毒性相差很大。第 4.5.5 條 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)采取下列措施：一、防倒灌措施。二、含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火、防爆措施。第 456 條 換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應(yīng)采取通風(fēng)措施， 其室

19、內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。第4. 5. 7條 潔凈室事故排風(fēng)系統(tǒng)的換氣次數(shù)，應(yīng)采用每小時(shí) 1520次。事故排風(fēng)裝置的控制開關(guān)， 應(yīng)分別設(shè)在潔凈室和室外便于操作的地點(diǎn)， 并應(yīng)與凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內(nèi)宜設(shè)報(bào)警裝置。第六節(jié) 風(fēng)管和附件第 4. 6. 1 條 風(fēng)管斷面尺寸的確定，應(yīng)考慮能對風(fēng)管內(nèi)壁進(jìn)行清潔處理，并在 適當(dāng)位置設(shè)置密閉的清掃口。風(fēng)管壁厚按附錄六選用。第 4 6 2 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)管、回風(fēng)總管，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送 風(fēng)機(jī)的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處， 應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。 送風(fēng)機(jī)的吸入口處和需 要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或 密閉閥。總

20、風(fēng)管穿過樓板和風(fēng)管穿過防火墻處，必須設(shè)置防火閥。第 4 63 條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥以及高效空氣過濾器的保護(hù)網(wǎng)、 孔板和擴(kuò)散孔板等附件的制作材料和涂料， 應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈要求及其所處 的空氣環(huán)境條件確定。潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、 調(diào)節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料， 應(yīng)根據(jù)排 除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。第 4 6 4 條 在中效和高效的空氣過濾器前后，應(yīng)設(shè)置測壓孔。在新風(fēng)管和送 回風(fēng)總管以及需要調(diào)節(jié)風(fēng)量的支管上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測定孔。第 4 6 5 條 排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，可采用塑料風(fēng)管，其他風(fēng)管以及風(fēng)管的 保溫和游泳場材料及其粘結(jié)劑，應(yīng)采用非燃燒材料或難燃燒材料

21、。第五章 工業(yè)氣體管道第一節(jié) 一般規(guī)定第 5 1 1 條 工業(yè)氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫氣和 氧氣管道且明敷，如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時(shí)，應(yīng)采取良好的通風(fēng)措施。引入潔凈的支管宜明敷。第 5 1 2 條 高純氣體管道設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：一、根據(jù)計(jì)算確定管徑。二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。、不宜設(shè)預(yù)留口 四、不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位。五、干管不支管上應(yīng)設(shè)置吹除口。六、在管系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置吹除口。第3 條 穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的 管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。第 5 1 4 條 氫氣和氧氣管道的末端或最高點(diǎn)宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1 米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。第 5 1 5 條 氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體統(tǒng)一計(jì)劃的要求進(jìn)行 選擇。氣體終端凈化裝