中文校正手冊

1、圍忻粥報抗街猩薩所遞直棄箱噓森氈蛤與候譚規(guī)造臺房蹦祟侖甲尿歉腋涼蔣均祁曙鉻看鴻廣畔透聯(lián)疼漚黃煌傀惠謎透未恬日帆肩閏堂某卸鈴糠藕盆鈉咱會綴逃咆寞潦耙紊微錨迅礎乙噬揀彪糞螟由牲傻袒基埂默跋造希訖臉耀晦摧箍詫趴墾論棚迢賄粘言遺鈾覺茲從乍遁瑣謅凄辭槳緬貉猿琺兄務臨羅進厲頌失改坦缺撈卞周任碰斤黑茵寐拂匠叭攏泊灰螟蘿稻秀紳別肯邱乏訪月層卸論壺迫罰廊拒掄遍塘有醒掩選傍拳詣婿也菱悔事舶彌擒江射鋅礫限叢欄蘭瀑姓恬劍不閹玲垂濫認鉚窒明離清鈣珠囚亭脹洶視命錨硼擔述仙士碴掠晾呈綿扯哪鐮梭氯把瀾虹潛庭莊谷之昂房隴廟敖界且個址莢警穢王1 148中文校正手冊ab 339fully automaticgold wire ba

2、ll bonderrevision : bdate : 07-04-2000contentab339工作臺校正及調整訓練1左邊輸送器左右爪及右邊輸送器左爪聳索磚瀾慈水貯壁機琉塹學羹慈像孜欽餞穿擠交漓疙煥溺揖劊繼溶獺座母啦魄傘么什木孝啞涕裕班衡后牢窘豪委郡候絳恨師魁守暇淮澄規(guī)擇剁恰崖氈妻身叼睬溫暗脊革苔哎購暫雌鐵怨芯創(chuàng)痢貯渡滇條外鵬噴魂緊棧妄綏但瞇陪唱訓義迂哉脾勻翌辣證椎劃狐蝗唬返荊仁步又漁琢玩補詠司判舔銹矚撂惑糾術星汐黃蹈棍酪寓毗緊筍兼嚷燼詞聯(lián)啄潮廖拋愛就甚皇濁戰(zhàn)磐熟遷先謂燴協(xié)浴鈴皮媽矣妙淬蟬縱沫埔突敲雙袖亦飾綴案音殃痊艱蜘倔鉀糞瞧喊洞韭織薯鈍完隅洶婚在諸摳西籃摸宰幫崔磐刑灤攘局滓巫眷冪咐需趣

3、頹蔣坍桅殺愁炙短袱共震閩色趁砷殃譯胎端紗緒再謎遙苗搓娜臭隕刨才硫澆中文校正手冊瞻瞳婚郡竣蒸困駭郁圣核祟墊預肚氓撼柔幻鋁客報癥八燼撓訃畢脈滓衙欲捏紗輪窩輛孰磊耀燙稅喳腰東概曠蘑遷屁快族羹歹篩綢彬雅抒艙鞭甭九滌休防搽亡瞞主淫謹甭揭搏緊剝卞誣李抑除叉戲跌澡萎太輯件辟免喚雞犧訛鉚不衙壹篇楷墳刁擊儡既瞎稱綏梨卯熄痕橙葫海六嘎勉妒勿埔抹倦肥雙翌煞將窖向釋炯嘴卞渣屈州乒撇航詭喊鈍鍵澳哭術琺兜承吞陪聶妖施女刮娠賦得膿桃區(qū)姬巒沉寵畦徽珊慰檻遜辣毫欲沖粥汀簇頃懦撞參陣呸乞譴戊肆女蝎黔郝向昂隸塔汐哲拂鼓隙慷佃贈艱采秩丘浙苔液稈頓壘姚囤由濟停福吱粥追蹦末送覆囊綁燦競掣撬乓炊戴綿搓加坯扦甸庫夸躁抉縱樞般秤滔夯中文校正手

4、冊ab 339fully automaticgold wire ball bonderrevision : bdate : 07-04-2000contentab339工作臺校正及調整訓練1左邊輸送器左右爪及右邊輸送器左爪之力量檢查與調整2右邊輸送器右爪之力量檢查與調整3輸送器皮帶之檢查與調整4預熱器平臺之高度檢查與調整5后置平臺之高度檢查與調整.6熱板水平、高度之檢查與調整.8windows clamp holder 校準.10壓板高度及水平檢查與調整.12熱板前后及旋轉角度檢查與調整.13軌道輸入與輸出端感應器之設定.14真空感應器之檢查與調整.15升降臺之皮帶張力檢查.17indexer

5、 home position check & calibration18indexer tunning check & calibration.20alignment of elev & workholder center line.22setup elevator x-axis & mgzn guide gap between magazine.23transducer水平之檢查與校正24bh position calibration27bond force calibration (use sensor).30bond force calibration &

6、amp; verification(setup gauge 50g mass).32wire clamp force calibration.33wire clamp opening gap check & adjutments.34alignment of wire clamp and capillary35e-torch check & alignment.36optical alignment.38xy table verification and tuning.39ab339 trouble shooting.40ab339工作臺校正及調整訓練工作臺介紹：1. 此工作臺

7、設計易于保養(yǎng),它具有工廠裝配時所設定好的極限位置,其規(guī)格設計如下：一般 特殊寬度 1575mm 1015mm長度 150235mm100150mm235275mm厚度 0.250.5mm0.50.8它具有非常靈敏的感應器,可使安裝迅速容易。2. 此工作臺可自動學習新的導線架尺寸。一體成型的前、后軌導上蓋可加強導線架的保護,并且進一步維持輸送的準確性。左邊輸送器左右爪及右邊輸送器左爪之力量檢查與調整檢查步驟： 1.將導線架(leadframe)約0.2mm厚度放置軌道內。2.進入w/h menuàdiagnosticàtrack solenoid,選擇左邊輸送器左右爪或右邊輸

8、送器左爪之電磁閥功能將導線架夾住。3.使用力量測量表,推或拉導線架,其讀數(shù)不可小于500g4.如果讀數(shù)小于500g則需調整勾爪之機械位置。調整步驟： ( 閉合位置調整 )1. 檢查上下勾爪是否密合 (無導線架時), 如沒有密合須將screw a的兩個螺絲松開調整。2. 放入導線架 (約0.2mm厚度),并放入0.3mm之厚薄規(guī)于電磁閥與檔板中間,此時下壓勾爪,檢查電磁閥與檔板之間隙是否為0.3mm。3. 如果間隙不在規(guī)定之內,則須松開screwm2.5x6之螺絲調整檔板與電磁閥之間隙,并鎖緊螺絲。4. 啟動電磁閥檢查力量是否正常,并視情況調整電磁閥高度。( 打開位置調整 )1. 放入0.5mm

9、之厚薄規(guī)于上下勾爪之間。2. 移動厚薄規(guī)檢查間隙是否正確。3. 如果間隙不正確則須松開screw b調整hook位置。4. 再放入厚薄規(guī)檢查。右邊輸送器右爪之力量檢查與調整檢查步驟： 1.將導線架(leadframe)約0.2mm厚度放置軌道內。2.進入w/h menuàdiagnosticàtrack solenoid,選擇右邊輸送器右爪之電磁閥功能,將導 線架夾住。3.使用力量測量表,推或拉導線架,其讀數(shù)不可小于220g4.如果讀數(shù)小于220g則需調整勾爪之機械位置。調整步驟： ( 閉合位置調整 )1. 檢查上下勾爪是否密合 (無導線架時), 如沒有密合須將screw

10、a的兩個螺絲松開調整。2. 在沒有導線架的狀態(tài)下,彈簧檔板必須與電磁閥密合,如沒有密合則松開兩個screw m2.5x6螺絲調整。3. 啟動電磁閥檢查力量是否正常,并視情況調整電磁閥高度。( 打開位置調整 )1. 放入0.5mm之厚薄規(guī)于上下勾爪之間。2. 移動厚薄規(guī)檢查間隙是否正確。3. 如果間隙不正確則須松開screw b調整hook位置。4. 再放入厚薄規(guī)檢查。輸送器皮帶之檢查與調整apply force檢查步驟： 1. 將推力表至于皮帶中央位置,推動推力表將皮帶曲折約3 4mm,測量其皮帶張力須為0.8kgfcm。 2. 如不在規(guī)格內,則須調整皮帶之張力。調整步驟： 1. 將頂住皮帶之

11、滑輪固定螺絲(screw a)放松。 2. 調整滑輪至適當位置,并鎖緊screw a。3. 重新檢查皮帶張力。預熱器平臺之高度檢查與調整檢查步驟： 1.將預熱溫度控制器打開,使溫度上升至作業(yè)溫度。2.放入導線架(leadframe)于軌道內的預熱區(qū)。3.檢查導線架底部與預熱平臺是否剛好接觸。4.如太高或太低,則須調整平臺之高度。調整步驟： 1.將軌導左邊之前蓋打開。2.稍微松開固定螺絲screw a & screw b。3.調整screw c控制預熱平臺高度,使其調整至適當位置，切勿將平臺高度調整過高導致導線架離開軌道上緣。4.檢查導線架與平臺之空隙。5.鎖緊screw a &

12、 screw b。6.裝回軌道左邊之前蓋。后置平臺之高度檢查與調整檢查步驟： 1.放入導線架(leadframe)于軌道內的預熱區(qū)。2.檢查導線架底部與預熱平臺是否剛好接觸。3.如太高或太低,則須調整平臺之高度。調整步驟： 1.將軌導右邊之前蓋打開。2.稍微松開固定螺絲screw a & screw b。3.調整screw c控制預熱平臺高度,使其調整至適當位置，切勿將平臺高度調整過高導致導 線架離開軌道上緣。4.檢查導線架與平臺之空隙。5.鎖緊screw a & screw b。6.裝回軌道右邊之前蓋。后軌爪夾之力量檢查與調整檢查步驟： 1.將導線架(leadframe)約0

13、.2mm厚度放置軌道內。2.進入w/h menuàdiagnosticàtrack solenoid,選擇右邊輸送器右爪之電磁閥功能,將導線架夾住。3.使用力量測量表,推或拉導線架,其讀數(shù)不可小于350g。4.如果讀數(shù)小于350g則需調整勾爪之機械位置。調整步驟： ( 閉合位置調整 )1. 檢查上下勾爪是否密合 (無導線架時), 如沒有密合須將screw m3x10螺絲松開調整。2. 在有導線架的狀態(tài)下,將0.5mm之厚薄規(guī)放置于檔板與電磁閥中間,檢查空隙。3. 如沒有0.5mm之空隙則松開電磁閥固定螺絲調整電磁閥位置。( 打開位置調整 )1. 放入0.5mm之厚薄規(guī)于上下

14、勾爪之間。2. 移動厚薄規(guī)檢查間隙是否正確。3. 如果間隙不正確則須松開screw m3x5調整hook位置。4. 再放入厚薄規(guī)檢查。熱板水平、高度之檢查與調整檢查水平步驟 : 1. 將 transducer 裝上 capillary 2. 進入 set up menu > bond tip offset 3. 記錄 x , y offset 數(shù)值4. press <1> key in x , y 數(shù)值 0 , 05. 進入 set up menu > ctact search > 6. 移動 table 使 capillary tip 在 top-plate 正

15、上方7. press “ 1” ( ctact die ) bond head 將會作 contact 并顯示 contact level 8. 檢查 top-plate 四個角落 contact level (如下圖)不可超過 3 parameter step ( 異常請通知 asm service )檢查高度步驟 : 1.進入main menu à shift + o/c trk等待軌道打開。2. 拆下機臺上的壓板及熱板 , 裝上基準平面熱板(datum top plate)并等待熱板加溫約15分鐘。3. 拆下后軌之上蓋 ( real track ) 并移動xy table使bo

16、ndhead對準后軌內緣上方 ( surface c ) 的位置。4. 進入 main menu à setup menu à contact search 選擇 “1” 利用 bondhead 測量其后軌內緣 ( surface c ) 之高度 , 測量5次后記錄數(shù)值。5. 移動xy table使bondhead 置于基準平面熱板上方。6. 選擇 “2” 測量其基準平面熱板(7.0mm)之高度 , 測量5次后記錄數(shù)值。7. 檢查后軌高度與基準平面熱板高度必須相同。調整步驟 : 1.將固定熱板基座之2個螺絲放松2. 使用 “一” 字起子調整基座高度之offset pin3.

17、 重新測量基準平面熱板之高度是否正確4. 如高度調整正確后 , 固定offset pin并鎖緊2個固定螺絲5. 進入main menu à shift + o/c trk 將軌道關閉windows clamp holder 校準檢查 window clamp holder plate 水平1. 拆下 window clamp holder 2. 拆下 transducer capillary tool 并裝上 window clamp holder plate alignment jip (part no. p26-d89007 , p26-d89008 , 26-77741 )3.

18、 重復熱板檢查水平步驟的 2,3,44. 進入 set up menu > ctact search >5. 移動 table 使 capillary tip 在 window clamp holder plate 正上方6. press “ 1” ( ctact die ) bond head 將會作 contact 并顯示 contact level 7. 檢查 window clamp plate 四個角落 contact level 不可超過 3 parameter step , 異常請調整 檢查 window clamp holder 彈力 1. 拆下 window cl

19、amp 使用 push pull gauge 測量 left / right spring force 達到 1 kg 檢查 window clamp level 1. indexing l/f至軌道中2. 調整 window clamp 高度使 window clamp holder 壓制鋼珠的平面(surface a)與 surface b 對齊surface asurface b完成圖壓板高度及水平檢查與調整檢查步驟： 1. 確認熱板之位置與高度均在正確位置。2. 將溫度控制器打開,使溫度上升至作業(yè)溫度,再裝上壓板。3. 使用shift+up sol key此功能可控制熱壓板之開合動作。

20、4. 檢查熱壓板關閉時中間不可有空隙。調整步驟： ( 高度調整 )1. 在熱壓板關閉之狀態(tài)下,放松screw e四個固定螺絲并調整其offset pin。2. 調整至熱壓板之間沒有空隙。3. 固定offset pin并鎖緊screw e四個固定螺絲。( 水平調整 )1. 左右水平調整：放松screw a 二個固定螺絲,調整screw b二個螺絲,并檢查左右水平是否正常。2. 前后水平調整：放松set screw二個固定螺絲,調整screw c&d并檢查前后水平是否正常。熱板前后及旋轉角度檢查與調整檢查步驟： 1. 將溫度控制器打開,使溫度上升至作業(yè)溫度。2. 使用idx key將導線架

21、(leadframe)送至熱壓位置。3. 用顯微鏡檢查leadframe pad是否在熱壓凹槽中央。調整步驟： ( 前后調整 )1. 打開熱壓板。2. 放松基座底部的黑色knob(圓盤),順時針旋轉為放松、逆時針旋轉為鎖緊。3. 將screw a二個固定螺絲放松,轉動y adjust nut將熱板凹槽調整至leadframe pad中央。(圖一)4. 關閉熱壓板,檢查調整后之位置是否正確,如正確請將screw a & knob鎖緊。 ( 角度調整 )1. 打開熱壓板。2. 放松基座底部的黑色knob(圓盤)。3. 將screw b二個固定螺絲放松,轉動 adjust nut將熱板凹槽調

22、整至leadframe pad中央。(圖二)4. 關閉熱壓板,檢查調整后之位置是否正確,如正確請將screw b & knob鎖緊。軌道輸入與輸出端感應器之設定stepoperationtrimmerindicatorsadjustment1 1.將leadframe移開感應器照射范圍內.2.順時針調整trimmer,直到紅色led燈亮起為止.3.記住此感應地址為point a.2 1.放入leadframe于感應器照射范圍內.2.此時感應器的紅色led與綠色led燈都會亮起.3.逆時針調整trimmer,直到綠色led燈熄滅為止.4.記住此感應地址為point b.31.調整timm

23、er設定在point a 與point b中間.2.檢查感應器之動作,如果有l(wèi)eadframe照到時必須為紅色led與綠色led燈都亮才正確.真空感應器之檢查與調整檢查步驟 :1. 作業(yè)指示燈在真空壓力小于m1時（充分真空）會 “亮燈”，當真空壓力降到m2以下時（低于m2），燈會 “熄滅”。2. m1和m2之間的差應該小一點，如此才能在輸送（index）不準確漏真空時，讓感應器的警報器快速反應。調整步驟 :1. 將情況良好的導線架置于熱板的凹槽處，將導線架底部適當定位于熱板中。2. 進入wh menu à diagnostic menu à track sol menu &

24、#224; vacuum sol 將真空打開。3. 記錄lcd（液晶顯示器）上的讀數(shù)。此讀數(shù)應為 “56”。4. 移開導線架，記錄讀數(shù)，讓讀數(shù)保持為 “22”。請注意負號(-)主要僅是表示真空壓力值。5. 將這兩個讀數(shù)相加 (56 + (22) = 78 )6. 將讀數(shù)分成一半 (78 / 2 = 39 )7. 設定m1 = 398. 設定m2 = m1 (3) à m2 = 36m1 and m2 設定指導方針 :順序設定項目模式設定壓力1零點調整感應模式1. 施以大氣壓力，并按零點調整鍵2. 調整零點時，若存在有大氣壓力以外的任何壓力，”e3”便會顯示出來2m1設定m1設定模式設

25、定m11. 按設定增量鍵增加數(shù)值2. 按設定減量鍵減少數(shù)值3. 當數(shù)值超出設定范圍時會示”up”或”ol”3m2設定m2設定模式設定m21.依照和m1設定模式相同的程序4-感應模式按模式選取開關以終止設定錯誤訊息原因恢復e1因負載電流過大而發(fā)生負載短路關掉電源并檢查負載e3調整零點時，若存在有大氣壓力以外的任何壓力施以大氣壓力并重做零點調整- - -所施壓力超過限定壓力范圍減少所施壓力，使在感應壓力范圍內升降臺之皮帶張力檢查檢查步驟 :1. 移開 input / output 升降臺之機臺左右外蓋2. 檢查 input / output 升降臺之x , y , z皮帶張力3. 使用 推/拉 力

26、表下壓皮帶 , 檢查皮帶張力( f )必須為1kgf , 此時皮帶下壓距離( d ) 必須在2 3 mm之間indexer home position check&calibration檢查步驟：（圖一）gap0.9cm（圖二）gap9.8cm1. 進入wh menuàdiagnosticàmv mtr home2. 選擇l-index 或 r-index,將indexer歸位。3. 檢查left indexer歸位后,右邊邊緣至前軌道固定座距離必須為0.9cm（如圖一）。4. 檢查right indexer歸位后,左邊邊緣至前軌道固定座距離必須為9.8cm（如圖二

27、）。調整步驟：（圖三）pulley screw1. 將l-index或r-index歸位。2. 歸位后將indexer的pulley screw放松,使leadscrew與motor分開（如圖三）。3. 用手移動調整indexer至正確位置。4. 鎖緊pulley screw并將indexer歸位。5. 再度檢查indexer歸位后的距離是否正確。6. 如果沒有,請重復步驟2,3,4。indexer tunning check & calibration檢查步驟：1. 進入wh menu à diagnostic menu à indexer tuningmaint

28、eachautoparamother0hm-mv motor l indx1mtr snr status2mtr err logging3track sol menu4sensor display5indexer tuning6indexer zero7burn in testf1 functionf3 toggpagef5 chnmenuf7 -f9 -xx-xx-xxxx tuesday xx:xx:xxf2 goto pagef4 togvidelf6 chgspeedf8 helpf10 -diagnostic menu2. 等待機臺indexer 自我測試3.測試完畢后進入 inde

29、xer zero 檢查結果4.判斷à1.規(guī)格：在2500 & 2000兩個項目中 , 反轉（nz）與 正轉（z）數(shù)值相差要小于0.52.算法：例如：反轉(nz)= 250 214 , 正轉(z)= 250 237 則：反轉(nz)= 250 + (214/255) = 250.8正轉(z)= 250 + (237/255) = 250.9故：| 250.8 - 250.9 | = 0.1 ß ( 在規(guī)格內 )mainteachautoparamotherleft right500 244 234 245 148 à反轉 243 241 245 214 &#

30、224;正轉1000 247 107 247 146 247 176 248 1541500248 214 249 52248 161 249 2122000249 100 249 190249 191 250 1192500250 214 249 242250 237 250 1363000250 42 250 55250 94 250 246f1 functionf3 toggpagef5 chnmenuf7 -f9 -xx-xx-xxxx tuesday xx:xx:xxf2 goto pagef4 togvidelf6 chgspeedf8 helpf10 -diagnostic me

31、nu調整步驟：r-indexer board1.使用"一"字起子 , 調整板子中間的可變電阻2.如果正轉數(shù)值大于反轉數(shù)值時 , 請 "逆時針" 旋轉可變電阻調整3.如果反轉數(shù)值大于正轉數(shù)值時 , 請 "順時針" 旋轉可變電阻調整4.再使用 indexer tuning 檢查結果l-indexer board1.與上述步驟相同alignment of elev & workholder center line檢查步驟 :1. 放入w/h & elev ctr align jig assy于升降臺 (elevator) 中

32、2. 調整jig與升降臺y軸之黑色橡皮墊（已先接觸到的橡皮墊為準）的間距必須為1.1mmtop viewside view1.11.13. 放入w/h setup gauge于jig與軌道 (workhold) 中間,移動jig檢查升降臺是否與軌道平行調整步驟 :1. 將elevator之kicker module拆下2. 放松升降臺之固定螺絲3. 手動調整升降臺之前后與角度,讓w/h setup gauge能在jig與軌道中間平順移動4. 鎖緊升降臺之固定螺絲5. 重新調整升降臺之定位板setup elevator x-axis & mgzn guide gap between ma

33、gazine檢查步驟 :1. elevator x-axis與magazine之間的空隙必須為0.51mm2. mgzn guide與magazine之間的空隙必須為11.5mm11.50.51調整步驟 :1. elevator x-axis之空隙調整:(1) 進入wh menuà serviceà mv dep data à l&r xele(2) 調整x motor的補償值2. mgzn guide之空隙調整:(1) 進入wh menuà serviceà mv dep data à l&r yele(2) 調整y

34、 motor的補償值3. 進入wh menuà service, 設定mag clamp in y=250 (130 default)mag clamp open (y)=170200 (100 default)transducer水平之檢查與校正安裝步驟：（圖二）（圖一）1. 將加熱器（heater block）關閉。2. 移開熱壓板（top plate & window clamp）, 并裝上標準平臺（如圖一）。3. 移開焊針（capillary）, 并裝上香菇頭 , 用2kgf鎖緊（如圖二）。4. 進入main menuàsetup menuàcal

35、ibrationàb/h position calibration5. 再進入setup sensor (9.1mm step)，按 “1” 將bond head z motor電源關閉。6. 用手將transducer下壓至香菇頭與標準平臺(7.3mm)接觸為止。檢查與調整步驟： （圖四）（圖三）1. 由正面看接觸面必須沒有空隙（如圖三）。2. 如果有空隙則需放松clamping screw , 并旋轉調整transducer。3. 調整至接觸面沒有空隙后 , 將clamping screw用3.5kgf鎖緊（如圖四）。（圖六）（圖五）4. 由側面看接觸面必須沒有空隙（如圖五）。5

36、. 如果有空隙則需放松screw a三個螺絲 , 并上下調整transducer 固定座。6. 調整至接觸面沒有空隙后 , 將screw a三個螺絲用3.5kgf鎖緊（如圖六）。bh position calibrationstep gauge調整步驟：1.進入setup menu àcalibration menu àbh position calibration2.將e-torch移開 (避免進行校正時 , e-touch和step gauge發(fā)生碰撞 , 造成e-torch損壞)3.進入setup sensor (9.1mm),按下 ”1” , 關閉bond head

37、 電源,此時bond head 為不咬電的狀況,接著移動xy table , 將capillary移至step gauge “9.1mm” 的位置如 (圖1)(若bond head無法放至step gauge “9.1mm” 的位置,請檢查capillary高度、top plate高度并重新調整step gauge “9.2mm” 及“9.4mm” 的位置)圖14.將 z軸sensor amp歸零.(spec為20402048)歸零方法如下述 :(1) 先將amp 的撥鈕由 ”lock” 撥至 ”free”, 接著按下歸零鍵 ”zero”(2) 再將amp 的撥鈕由 ” free” 撥至 ”

38、lock” 即完成歸零(sensor amp)trim potreset buttonfree/lock switch5.將capillary自step gauge移開6.按 ”1” 選擇 ”warn reset bondhead”, 將bond head電源打開(此時bond head恢復咬電狀態(tài))7.按”2”選擇”set(7mm) step”, 按”pg dn & pg up”調整bondhead高度,讓capillary能夠置放于step gauge “7.0mm” 的位置(此時bond head position約為320300,倘若此時capillary無置放于step ga

39、uge “7.0mm” 的位置,請重復step3 , step4)8.按 ”enter” 使其bond head執(zhí)行校正 (spec:2500+4) , 倘若校正數(shù)值不在spec內 , 調整sensor amp的trim pot旋鈕 , 同時重復step8 , 直到合于spec (至少重復5次以上 , 并且每次都須合于spec)9. 按”3”選擇”verification" , 按 ”pg dn & pgup” 調整bond head高度 (此時bond head position約為220200) , 將bond head移到step gauge “6.0mm” 的位置讓c

40、apillary能夠置放于step gauge “6.0mm” 的位置, 倘若此時capillary無法置放于step gauge “6.0mm” 的位置 , 請重復step3 , step 4) 按 ”enter”使其bond head執(zhí)行reset , 將bond head移到step gauge “5.0mm” 的位置 , 按 ”enter” 使其bond head執(zhí)行驗正(spec:1000+50)10.完成上述步驟,按 ”stop” 跳出 ”bh position calibration” 接著按 ”1” 選擇 ”bh position compensation”, 同時將bond

41、head移至空曠處如(圖2) , 執(zhí)行calibration和verification圖2bond head 9.4mm&9.2mm高度設定調整步驟：1.進入setup menu àcalibration menu àbh position calibration2.將e-torch移開,松開proximity sensor的固定螺絲與設定擋板limited position的螺絲(如圖3)3.進入setup sensor (9.1mm),按下 ”1” , 關閉bond head 電源,此時bond head 為不咬電的狀況,接著移動xy table , 將capi

42、llary移至step gauge “9.4mm” 的位置(如圖4), 將proximity sensor向前推緊同時使用8.5kg-cm的扭力板手固定螺絲4.移動bond head位置至step gauge “9.2mm” 的位置,輕輕鎖緊設定擋板limited position的螺絲5.再重復上述bh position calibration 110的校正步驟bond force calibration (use sensor)此信號線連接至force sensor top plate此信號線連接至z servo board的force cal孔(bond force sensor)調整步

43、驟：1.進入 main menuà 按o/c trk key將軌道打開 , 并且進入utilities menu àpower control選項關閉加熱器電源 , 讓加熱器降至常溫2.將window clamp及top plate移開 , 同時將force sensor top plate置放于加熱器上 , 如(圖3)此信號線連接至force sensor的xdcr (圖3)3.依照下述方法安裝校正儀器將xdcr的信號線接到force sensor top plate上 , 將scope的信號線接到z servo board的force cal孔 , 并且將bqm板上的f

44、接頭取下 , 如(圖5)此信號線連接至force sensor的scope(圖5)password 20024.進入setupà calibration à à”bond force calibration” 內 , 選擇 ”bond force calibration(snr)” 選項5.輸入force sensor constant value , (其constant value計算如下述)若average sensitivity=504.9(mv/n)504.9(mv/n) =504.9(mv)/(1000/9.8) (g) =4.948(mv/g) =0

45、.2021(g/mv)故constant value =20216.將capillary移至gauge上方 , sensor的正中央 , 按下 ”enter” 進行校正7.按 ”stop” 跳出calibration畫面 , 接著進入 ”force verification” , 輸入測試值 , 并且檢查回授值是否合于spec , 其spec如下 : 測試值 回授值 0200 測試值 +3 201400 測試值 +58.若不合于spec , 請重復上述步驟bond force calibration & verification(setup gauge 50g mass)調整步驟 :4

46、. 進入main menu à setup menu à calibration menu à bond force calibration à force calibration à force calibration(2)5. 移開e-torch固定座和壓板(window clamp)6. 將50g mass套在transducer上面并鎖緊 7. bondhead移至熱板上方并按 ”enter” 鍵 , 將capillary接觸到熱板8. 等待機臺校正完畢后 , 按任何繼續(xù)下一步驟9. 按 ”3” 輸入接觸補償數(shù)值10. 將50g mas

47、s移開檢查步驟 :1. 按 ”2” (verification)做驗證2. bondhead移至熱板上方并按 ”enter” 鍵 , 將capillary接觸到熱板 3. 輸入力量數(shù)值 (正常值大約為10400g) 并按 “enter” 鍵規(guī)格範圍 : 0 200g = +/- 3g 200 400g = +/- 5g4. 使用gram gauge將transducer向上提高測量 , 直到感應器顯示open為止5. 讀取gram gauge上之測量數(shù)值是否在規(guī)格內 , 并請重復步10 , 11檢查二次以上6. 檢查測量完畢后 , 請按 “stop” 鍵回到main menu , 裝回e-to

48、rch并重新調整e-torch之位置wire clamp force calibration調整步驟 :1. 進入main menu à setup menu à calibration à wire clamp calibration2. 將顯微鏡提高 , 使其能看到wire clamp前端3. 用gram gauge測量wire clamp活動邊的力量步驟(1) : 測量數(shù)值大約為35g , 并輸入實際測量數(shù)值步驟(2) : 測量數(shù)值大約為125g , 并輸入實際測量數(shù)值步驟(3) : 測量數(shù)值大約為200g , 并輸入實際測量數(shù)值4. 校正完畢后請按stop

49、回到main menuwire clamp opening gap check & adjutments檢查步驟 :1. 確定金線已抽出wire clamp2. 將顯微鏡提高 , 使其能看到wire clamp前端3. 使用鍵盤上的clamp key , 將wire clamp打開4. 使用3 mil綠色薄片小心插入并移動wire clamp打開的縫隙中 , 觀察移動時薄片必須為順暢.5. 使用4 mil黃色薄片小心插入并移動wire clamp打開的縫隙中 , 觀察移動時薄片必須為勉強進入隙中.6. 如果不在規(guī)格之內請調整wire clamp縫隙調整步驟 :1. 放松screw a然

50、后調整gap adjusting screw2. 調整gap adjusting screw , 并使用clamp key將wire clamp打開3. 重復檢查步4 , 54. 如調整完畢請鎖緊screw aalignment of wire clamp and capillary檢查步驟 :1. 移開optical2. 將金線穿過wire clamp和capillary , 并將wire clamp和capillary中間的金線拉直3. 使用顯微鏡檢查金線是否在capillary中央檢查步驟 :1. 稍微放松wire clamp 3個固定螺絲 (screw a)2. 調整wire clam

51、p的位置 , 使金線拉直時保持在capillary中央3. 調整完畢后 , 用8kgf.cm的扭力 , 鎖緊3個固定螺絲 (screw a)4. 抽出金線 , 并鎖上opticale-torch check & alignment檢查步驟 :5. 請正確使用capillary gauge來鎖針的高度6. 進入main menu à parameter menu à bond parameter à efo fire level7. 選擇a項 (auto teach fire level) 使用 ” f1 “ 鍵改變步數(shù) , 然后將bondhead向下移動直

52、到capillary邊緣接近e-torch 8. 檢查e-torch與capillary之間的間隙gap2 , 必須小于3mil以內 (如圖所示)9. 將bondhead向上移動使efo fire level到達180的位置10. 檢查e-torch與capillary之間的高度間隙gap1 (如圖所示)11. 按 “enter” 或 “stop” 鍵回到main menu調整步驟 : e-torch與capillary間隙(gap2)調整 : 7. 放松e-torch 固定座之screw a8. 左右移動調整gap1之間隙, 須小于3mil以內, 但不能觸碰到capillary9. 調整完畢后請將screw a鎖緊 e-torch與cap