MEC系統(tǒng)操作說(shuō)明

1、 東旭鉑金通道組通道的MEC系統(tǒng)主要是為通道外體和坩堝之間提供一個(gè)穩(wěn)定可控的環(huán)境，目的是通過(guò)調(diào)節(jié)通道環(huán)境氛圍，減少通道氣泡的產(chǎn)生。設(shè)備組成：該系統(tǒng)主要由氮?dú)庋鯕鈿庠?、緩沖水箱、混合氣體配比柜、高精度混合氣體計(jì)量柜、高精度定量給水柜、混合氣體輸送管道、輸水毛細(xì)管道、氣體擴(kuò)散管等組成。主要提供水和氮?dú)?、氧氣，并將其按照設(shè)定的比例輸送至通道本體內(nèi)部特定的位置。如下圖所示：該系統(tǒng)對(duì)水、氣的控制提供了本地和遠(yuǎn)程兩套控制系統(tǒng)，可以對(duì)任何一個(gè)支路中供水量和供氣量進(jìn)行單獨(dú)調(diào)控，供水供氣系統(tǒng)均可由三樓電腦遠(yuǎn)程控制和四樓控制盤本地控制。系統(tǒng)開機(jī)順序先是打開三樓電腦，然后四樓將開關(guān)打開。關(guān)機(jī)順序則是先將三樓電腦關(guān)掉

2、，然后四樓將開關(guān)關(guān)掉。順序不可打亂，否則系統(tǒng)將無(wú)法正常運(yùn)行。無(wú)論本地控制盤還是遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)控制，開機(jī)后都是一個(gè)通道整體圖。點(diǎn)擊翻頁(yè)鍵可以切換控制界面，進(jìn)入該部分的單獨(dú)控制界面。F1和F8分別是進(jìn)入（上翻）和退出（下翻）鍵，其他控制鍵無(wú)效。通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)的觸控屏或者控制室遠(yuǎn)程電腦可以通過(guò)單個(gè)回路界面，控制單個(gè)水泵的供水和氣體計(jì)量的供氣量。如下圖所示純水控制系統(tǒng)由15路支路組成，加1路備用。純水由主要由定量水泵通過(guò)擠壓提供動(dòng)力使水從微細(xì)管流出，流量通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速來(lái)控制，轉(zhuǎn)速以開度表示。如圖氣體控制系統(tǒng)由26路支路組成，分別供應(yīng)到從提升段到供料段的混合氣體流量。另加備用一路。氮?dú)庋鯕馀浔戎饕ㄟ^(guò)高精度混合氣體

3、配比柜控制，柜面板上有各種壓力表和指示燈以及調(diào)節(jié)旋鈕，壓力表指示出了進(jìn)口和出口以及控制壓力，指示燈指示出了該柜子的工作狀態(tài)，在線氧含量監(jiān)測(cè)儀實(shí)時(shí)指示出口混合氣體中氧氣含量，氧含量的調(diào)整通過(guò)控制旋鈕手動(dòng)調(diào)整。供氣系統(tǒng)由配比柜調(diào)節(jié)氣體比例，如圖配比柜和氧氣氮?dú)夤尴噙B。通過(guò)減壓閥將氧氣罐和氮?dú)夤迚毫Ψ€(wěn)定在6公斤，過(guò)高或者過(guò)低配比柜都會(huì)報(bào)警。配比柜箱平時(shí)開一備一，操作上需要先打開Power開關(guān)預(yù)熱到750，達(dá)到設(shè)定溫度后打開電源開關(guān)。通過(guò)調(diào)整氧氣調(diào)節(jié)閥和Flow旋鈕調(diào)節(jié)混合氣的比例。下圖為在線氧含量監(jiān)測(cè)儀實(shí)時(shí)指示的出口混合氣比例的顯示界面上圖為配比柜的控制界面。我公司設(shè)定的氧氣比例在10.1%。在緊急情況下有時(shí)候