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1、共聚焦拉曼光譜儀共聚焦拉曼光譜儀拉曼光譜系統(tǒng)的組成和工作原理拉曼光譜儀的操作共聚焦拉曼光譜儀u激光器（514.5nm）u樣品臺(tái)u光路系統(tǒng)u探測(cè)器u計(jì)算機(jī)控制部分共聚焦拉曼光譜儀物鏡標(biāo)本針孔共聚焦拉曼光譜儀1.氬離子激光器；2.激光衰減器；3.物鏡（凸透鏡）；4.反射鏡；5.全息濾光片 (全息陷波濾波器)；6.光學(xué)顯微鏡；7.機(jī)械平臺(tái)；8.半波片；9.偏振片；10.狹縫；11.等邊棱鏡；12.衍射光柵 (反射光柵)；13.CCD檢測(cè)器 (紫外/可見(jiàn)增強(qiáng)型CCD)；14.尼克爾棱鏡；15.衍射光柵。 狹縫 E4共聚焦拉曼光譜儀 傳統(tǒng)的共焦光路的設(shè)計(jì)有一個(gè)針孔,作為空間濾波器。而Renishaw使用

2、新的共焦設(shè)計(jì)通過(guò)狹縫對(duì)焦平面的一維限制和通過(guò)對(duì)最終在CCD 上的讀取信號(hào)時(shí)對(duì)另一維度的信號(hào)的限制,同樣達(dá)到選擇樣品上相應(yīng)的小體積的信號(hào)。其共焦效果:完全可以達(dá)到橫向小于1m ,深度分辨率約2m 的空間分辨率。并且由于這樣的光路比針孔式(pinhole) 共焦光路中少兩透鏡一個(gè)針孔,信號(hào)損失減少。共聚焦拉曼光譜儀 因?yàn)槔盘?hào)收集的主要困難在于與激光同頻率的瑞利散射比拉曼散射要強(qiáng)10 個(gè)數(shù)量級(jí)以上,而拉曼峰又離激光很近。這種窄帶的陷波濾光片(Notch) 的特點(diǎn)是,能針對(duì)性地將以激光波長(zhǎng)為中心的幾個(gè)納米的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的瑞利散射光能量有效地濾除達(dá)5到6 個(gè)數(shù)量級(jí)之多,而讓該波長(zhǎng)范圍之外的光信號(hào)順利通過(guò)共聚焦拉曼光譜儀u校準(zhǔn)硅片 首先采用自然光并調(diào)節(jié)樣品臺(tái)聚焦，直到視野中看到清晰的正八邊形為止。改用激光測(cè)量硅片的拉曼信號(hào)，擬合并查看峰位是否為5200.02cm-1 ,如不是則用軟件調(diào)節(jié)校準(zhǔn)直到測(cè)量信號(hào)在5200.02cm-1 。u測(cè)量 重復(fù)上述聚焦步驟并設(shè)置相應(yīng)參數(shù)開(kāi)始測(cè)量樣品。共聚焦拉曼光譜儀 靈敏度高 快速分析，鑒別各種材料的特性與結(jié)構(gòu) 微量樣品分析，樣品可小于2微米 對(duì)樣品無(wú)接觸，無(wú)損傷，樣品無(wú)需制備 適合黑色和含水樣品 高、低溫及高壓測(cè)量 光

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