沉銅速率與蝕刻速率的測定

1、沉銅速率與蝕刻速率的測定Hessen was revised in January 2021化學(xué)沉銅速率的測定：使用化學(xué)沉銅鍍液，對沉銅速率有定的技術(shù)要求。速率太慢就有可能引起孔壁產(chǎn)生空洞 或針孔：而沉銅速率太快，將產(chǎn)生鍍層粗糙。為此，科學(xué)的測定沉銅速率是控制沉銅質(zhì)量的手 段之一。以先靈提供的化學(xué)鍍薄銅為例，簡介沉銅速率測定方法：(1)材料：采用蝕銅后的環(huán)氧基材，尺寸為100X100 (1nm)。(2)測定步驟：A.將試樣在120-140C烘1小時，然后使用分析天平稱重 W：(g):B.在350-370克/升輅酊和208-228亳升/升硫酸混合液 (溫度65)中腐蝕10分鐘，清水洗凈：C.在除

2、銘的廢液中處理(溫度30T0)3-5分鐘，洗干凈：D.按工藝條件規(guī)定進行預(yù)浸、活化、還原液中處理；E.在沉銅液中(溫度25)沉銅半小時，清洗干凈：F.試件在120-140C烘1小時至恒重，稱重巴(g)。(3)沉銅速率計算：速率=(W-WjlO4/8. 93X10X10X0. 5X2(Um)(4)比較與判斷：把測定的結(jié)果與工藝資料提供的數(shù)據(jù)進行比較和判斷。2 .蝕刻液蝕刻速率測定方法通孔鍍前，刻銅箔進行微蝕處理，使微觀粗化，以增加與沉銅層的結(jié)合力。為確保蝕刻液 的穩(wěn)定性和對銅箔蝕刻的均勻性，需進行蝕刻速率的測定，以確保在工藝規(guī)定的范圍內(nèi)。(1)材料:0. 3nlm覆銅箔板,除油、刷板，并切成10

3、0X100 (mm)；(2)測定程序：A.試樣在雙氧水(80-100克/升)和硫酸(160-210克/升)、溫度30腐蝕2 分鐘，清洗、去離子水清洗干凈：B.在120-140C烘1小時，恒重后稱重距(g).試樣在腐蝕前也按此條件恒重 稱重W, (g)。(3)蝕刻速率計算速率=(WW,)104 /2X8. 933T( um/min)式中：s-試樣面積(cm：)T-蝕刻時間(min)(4)判斷：l-2um/min腐蝕速率為宜。分鐘蝕銅270-540mg)。3 .玻璃布試驗方法在孔金屬化過程中，活化、沉銅是化學(xué)鍍的關(guān)鍵匚序。盡管定性、定量分析離了鉗和還原 液可以反映活化還原性能，但可靠性比不上玻璃布試驗。在玻璃布沉銅條件最苛刻，最能顯示 活化、還原及沉銅液的性能?，F(xiàn)簡介如下：(1)材料：將玻璃布在10%氫氧化鈉溶液里進行脫漿處理。并剪成50X50(nun), 四周末端除去一些玻璃絲，使玻璃絲散開。(2)試驗步驟:A.將試樣按沉銅L：藝程序進行處理;B.置入沉銅液中，10秒鐘后玻璃布端頭應(yīng)沉銅完全，呈黑色 或黑褐色，2分鐘后全部沉上，3分鐘后銅色加深：對沉厚 銅，10秒鐘后玻璃布