鍍膜機(jī)常見故障教(學(xué))案分析解決預(yù)防措施方案

1、.鍍膜機(jī)常見故障及分析解決預(yù)防措施一. 常見故障 ,問題及解決方法下表對(duì)一些鍍膜時(shí)常見的故障、真空度問題 、及掉膜和膜質(zhì)問題做了一些簡(jiǎn)單分析,并給予解決方案及預(yù)防措施 .故 障故障現(xiàn)象故障原因解決及預(yù)防措施備注點(diǎn)1.1.開槍有高壓 ，1.燈絲保險(xiǎn)燒斷1.檢查燈絲保險(xiǎn) ，燒斷則更換立即無束流2.燈絲燒斷2. 保險(xiǎn)正常則檢查燈絲更換槍關(guān)高1.高壓3. 南光槍槍體右邊引體 .壓和 束線碰到槍體底坐3. 調(diào)整引線與槍體底坐的間距 .流在抽氣前檢查槍體 .1.2.開高壓顯示跳1.束流控制調(diào)在手1. 電位器歸零 .在預(yù)熔完后應(yīng)將立即動(dòng)幅度大 ，并有束動(dòng)，電位器未歸零燈絲電位器歸零關(guān) 高流跳動(dòng)2.槍體短路2

2、. 將連接燈絲變壓器的高壓引壓3. 高壓電極保護(hù)罩或線取下 （注意引線不能碰到機(jī)屏蔽碰到高壓引線造器應(yīng)懸空 ）開高壓 ，正常則槍成短路體或高壓電極保護(hù)罩或屏蔽短4.電柜故障路造成3.放氣檢查電極保護(hù)罩或屏蔽4.檢修電柜1.3.開槍無高壓 ，1.高壓保護(hù)不到位1.檢查相應(yīng)的高壓保護(hù)無束流（偏轉(zhuǎn) .真空 .柜門）2.檢修高壓控制電路2.高壓電路出問題.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.1.4.鍍膜時(shí)高壓會(huì)1.真空繼電器燒壞1.更換真空繼電器下跌2.高壓電路出問題2.檢修高壓電路1.5.鍍膜時(shí)燈絲突1.BT138可控硅被擊1.更換 BT138然很亮 ( 束流達(dá)到穿2.檢查槍體滿格 )2.槍體短路1.6 有高壓 ，有燈1

3、.柵極片短路1.整理槍體絲電流，無光斑2. 掃描出問題或掃描2.檢修掃描 ，正確連接掃描線線接反了1.7.束流上不去 ，1. 燈絲位置不正或變1. 重新安裝或更換燈絲. 為了達(dá)不到以前的水平形更好的對(duì)燈絲定形及延長燈絲（同樣功率達(dá)不到2.燈絲被氧化使用壽命 ,在更換新燈絲后應(yīng)對(duì)以前的速率 ）3. 連接槍體的各接頭燈絲進(jìn)行預(yù)熱處理松動(dòng)2. 更換燈絲 .為防止燈絲氧化在4.坩堝轉(zhuǎn)速太快放氣前應(yīng)注意檢查關(guān)閉燈絲電5.材料被污染源開關(guān)6.晶片被擋住3.擰緊各連接處 .4.調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速5. 取出被污染的材料或更換新常見 4號(hào)機(jī)常見 4號(hào)機(jī)材料6.調(diào)整晶片擋板位置 .抽氣應(yīng)檢17.電柜出問題查晶片是否被擋

4、7.檢修電柜.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.1.8.阻蒸電流調(diào)不1. 蒸發(fā)舟燒斷或松掉1. 更換蒸發(fā)舟或擰緊螺釘.為了上去造成接觸不良防止接觸不良 ，各電極和壓塊2.空氣開關(guān)跳閘應(yīng)清洗干凈 .更換在蒸發(fā)舟時(shí)應(yīng)3. 調(diào)節(jié)電流的電位器將銅壓塊取下砂干凈再安裝蒸壞了發(fā)舟4. 銅電極與真空室底2.打開空氣開關(guān)板下的引線接觸不良3.更換電位器4. 清潔磨平接觸不良的地方并擰緊螺釘1.9.速率不穩(wěn)定1.晶片失效1.選擇好的晶片 ， 1.2 槍的速率2.料面不好要匹配3.功率設(shè)置不合理2. 料要加平整 ，養(yǎng)成停坩堝的4.控制參數(shù) PID 設(shè)置不好習(xí)慣合理3. 預(yù)熔功率及最大功率設(shè)置合5. 燈絲接觸不好或老理 (最大功率為略

5、大于蒸發(fā)時(shí)所化需功率）6.高壓打火4.設(shè)置合理的 PID 參數(shù)5.緊固或更換燈絲6.解決打火現(xiàn)象.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.1.10.高壓打火1. 槍體污染 ，雜物掉1. 整理槍體 ，在吹槍體時(shí)應(yīng)用入槍體吸塵器邊吸使吹出的雜物吸走2.各接線處未擰緊不被落在槍體里3.聚四氟套管太臟2. 擰緊各連接處 ，使其接觸良4. 槍體陽極 ，柵極變 好形3. 清洗或更換套管，應(yīng)定時(shí)清5.高壓電極太臟洗6.屏蔽不佳或未屏蔽4.調(diào)整或更換陽極 ，柵極片7. 光斑位置不合理 ， 5.更換高壓電極掃描狀態(tài)不好6.調(diào)整屏蔽或加裝屏蔽8.2 槍高壓干擾7.調(diào)整好光斑 ，檢查掃描9.材料污染有雜物8.蒸鍍 1 槍時(shí)應(yīng)關(guān)閉 2 槍高壓

6、10.高壓打在 10KV9. 將被污染的材料去除或更換11.預(yù)熔不夠充分新材料12.功率設(shè)置不合理10.將高壓調(diào)在正確的檔位 （中檔8KV） . 在觸摸屏上操作時(shí)( 如調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速時(shí))應(yīng)注意是否誤碰到高壓調(diào)節(jié)檔位11.預(yù)熔時(shí)間及加的束流應(yīng)合理（束流最后應(yīng)加到接近鍍第一套時(shí)所需束流坩鍋 轉(zhuǎn)一到兩圈）12. 設(shè)置合理的功率,預(yù)熔功率.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.不應(yīng)太大 ,最大功率應(yīng)與速率相匹配 ,注意在第一套時(shí)速率較小時(shí)功率的設(shè)置22.掃描2.1.光斑不能調(diào)整1. 掃描引線或線圈短1. 檢查引線及線圈 ,引線間不能和 光路碰在一起 ,抽氣前應(yīng)檢查引線是斑2.整流橋擊穿否互相觸碰和松動(dòng)3.引線或線圈斷路2.更換

7、整流橋4. 遙控盒上的連線松3.檢查引線及線圈脫或電位器壞了4.接好連線或更換電位器.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.2.2光斑及掃描狀1.燈絲變形1.更換燈絲態(tài)不好2.極靴位置不正2. 調(diào)整極靴位置 .在拆下清洗時(shí)3.掃描頻率不合適要做好記號(hào)避免安裝時(shí)位置不4.短路條多或少了,位正置不好3.調(diào)整合適頻率 ,頻差和密度5.高壓檔位不對(duì)4.調(diào)整短路條的位置及數(shù)量6.掃描連接線有誤5.調(diào)整正確的高壓檔位6. 正確連接掃描線 ,維修時(shí)應(yīng)做好記號(hào)3.坩堝3.1坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)不靈1.坩堝周邊間隙太小1.調(diào)整坩堝周邊的間隙和 工或不轉(zhuǎn)2.坩堝間隙有材料 (卡2. 清理間隙中的材料 .注意料不轉(zhuǎn)料)要加得太高 ,預(yù)熔時(shí)數(shù)量不要加3

8、.軸承銹死得太快 ,防止材料飛濺掉入間隙4.減速器出問題里使坩堝卡住或轉(zhuǎn)得不順暢5.電機(jī)出問題3. 清洗或更換軸承 .在打掃真空6. 防污底板頂?shù)桔釄迨壹跋礄C(jī)時(shí)應(yīng)將坩堝下面的料(2 槍)渣清除 ,防止料渣太多影響軸承7.連接鍵脫落的性能4.檢查減速器5.維修或更換電機(jī)6.調(diào)整好大門底板的位置(稍高于坩堝 ),關(guān)門時(shí)感到異常 (如較平時(shí)緊 )應(yīng)檢查底板及防污板的.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.位置7.重新安裝好鍵3.2 工轉(zhuǎn)噪音大 ,晃1.電機(jī)軸承壞了1.更換電機(jī)軸承動(dòng)大2. 大軸承干磨性能下2.清洗或更換大軸承降3.將電機(jī)與減速箱連接好3. 電機(jī)與減速箱連接4.更換齒輪不好4.傳動(dòng)齒輪磨損3.3 工轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)不了1

9、.電機(jī)損壞1.更換電機(jī)2. 電機(jī)與傳動(dòng)部分的2.重裝或更換鍵鍵脫落或磨損3.更換齒輪3.傳動(dòng)的齒輪磨損4.更換或維修單向器 (2 樓 )4.單向器壞了5.檢修電路5.電路出問題3.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.3.4. 工轉(zhuǎn)電壓調(diào)不1.調(diào)節(jié)電位器損壞1.更換電位器上,電壓顯示指針控制器出問題2.檢修控制器2.跳動(dòng)大3.工轉(zhuǎn)傳動(dòng)不穩(wěn)3.維修傳動(dòng)部分4.碳刷接觸不良4.整理碳刷接觸面或更換5.電壓表有問題5.維修或更換電壓表4.閥門4.1.閥門打不開1.氣壓不夠1.調(diào)高氣壓到適當(dāng)位置2.控制閥門的氣動(dòng)閥2.維修或更換氣動(dòng)閥有問題3.檢查與其互鎖的閥門 .應(yīng)注意3.閥門間互鎖閥門指示燈顯示關(guān)閉但實(shí)際閥門并未關(guān)閉的現(xiàn)

10、象4.2. 閥門打開后會(huì)1.氣壓不夠1.調(diào)高氣壓到合適位置自動(dòng)關(guān)閉2.氣動(dòng)閥閥芯內(nèi)的橡2.更換閥芯或氣動(dòng)閥皮松脫4.3.放氣取膜 ,放氣1.高閥沒關(guān)到位1.檢查高閥沒關(guān)到位的原因,不閥打不開2.放氣閥的氣動(dòng)閥有能強(qiáng)行手動(dòng)關(guān)閉問題2.更換或維修氣動(dòng)閥5.真空5.1. 在鍍膜過程中1.高閥 ,預(yù)閥等閥門自1.檢查氣壓是否正常 ,正常則是度真空度突然下跌動(dòng)關(guān)閉相應(yīng)的閥門問題 ,一般為氣動(dòng)閥2.擴(kuò)散泵斷相或跳閘的閥芯松脫3.坩堝卡料強(qiáng)行轉(zhuǎn)動(dòng)2.合上閘刀 ,斷相表現(xiàn)為三相指造成漏氣示燈有一或兩個(gè)燈不亮 ,更換電爐盤3.維修坩堝 ,當(dāng)卡料時(shí)不能強(qiáng)行.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.轉(zhuǎn)坩5.2. 低真空突然抽1.機(jī)械泵摻氣閥

11、沒關(guān)1.關(guān)閉摻氣閥不動(dòng)2.真空室門壓到東西2.檢查大門密封 .關(guān)門抽氣時(shí)應(yīng)3.并路閥 (旁通閥 ),截止檢查大門是否壓到東西或密封閥自動(dòng)關(guān)閉圈上有雜物4.機(jī)械泵出問題3. 檢查相應(yīng)的閥門及控制閥門5.羅茨泵出問題的氣動(dòng)閥和氣壓6.管道漏氣4.維修機(jī)械泵7.機(jī)械泵上的機(jī)放閥5.維修羅茨泵漏氣6.維修管道8.真空室漏氣7.更換或維修機(jī)放閥8.按 5.4 步驟檢漏5.3 抽氣慢1.真空室太臟 ,沒換防1.更換防污板或清洗真空室污板2. 清洗擴(kuò)散泵 ( 大約一年洗一2.擴(kuò)散泵太久沒洗次 )3.擴(kuò)散泵出氣口擋油3.調(diào)整擋油板板被吸起4.給機(jī)械泵摻氣或換油4.機(jī)械泵沒摻氣5. 調(diào)節(jié)真空表基準(zhǔn)或更換真空5.

12、真空測(cè)量表基準(zhǔn)不表準(zhǔn)6.檢修機(jī)械泵 ,羅茨泵.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.6.機(jī)械泵 ,羅茨泵有問題47.真空室暴露在大氣7.盡量減少敞大氣時(shí)間 ,玻片應(yīng)時(shí)間過長或玻片未烘完全烘干干8.按 5.4 步驟檢漏8.漏氣5.4.真空度低1.真空表測(cè)量不準(zhǔn)1.更換真空表2.真空規(guī)管測(cè)量口被2.關(guān)閉高閥 ,若此時(shí)真空室真空百葉窗擋住度比較穩(wěn)定 ,則放氣調(diào)整百葉窗3.真空室大門沒關(guān)好的位置4.真空泵出問題3. 用酒精注射大門密封看真空5.管道漏氣度變化 ,如有變化則放氣整理真6.動(dòng)密封如坩堝 ,工轉(zhuǎn) ,空室門密封觀察窗 ,擋板等密封漏4.維修或更換真空泵氣5.維修管道7.洗機(jī)或維修時(shí)動(dòng)過6.更換或重裝動(dòng)密封的部件或附近

13、有松動(dòng)快速連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)看真空度是否8.堵頭沒裝好有較大的變化 ,有則是該轉(zhuǎn)動(dòng)部.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.9.通了水的如坩堝,工動(dòng)密封有問題轉(zhuǎn),探頭等地方有漏點(diǎn)7.檢查動(dòng)過的部件及附近,確認(rèn)10.高閥 ,低閥氣缸漏氣后緊固11.金屬焊縫漏8.用酒精注射堵頭 ,若真空度有變化則緊固或重裝該堵頭9. 通過用高壓氣來沖水管看真空度是否有變化 ,有則檢查水路10. 通過開關(guān)高閥 ,低閥或用酒精注射閥門確認(rèn)后更換閥體或密封圈11.用酒精注射各焊縫來確認(rèn)是否有漏 ,有則補(bǔ)焊焊縫6.掉膜6.1.掉膜1.真空室或玻片潮濕1. 烘烤玻片及防污板的時(shí)間要問題（更換防污板后 ）適當(dāng)2.玻片沒洗干凈2.用干凈的布清洗好玻片,清洗3.

14、更換新玻片 ,玻片上時(shí)應(yīng)認(rèn)真仔細(xì)有油污3.先用洗潔精清洗干凈玻片,再4.真空度低用清水將玻片沖洗干凈5.打火嚴(yán)重 ,造成膜厚4.檢漏不均勻引起應(yīng)力大5.解決打火現(xiàn)象6.真空室有油污6.清洗真空室7.蒸發(fā)速率過高7.降低速率到合適位置8.脫膜劑鍍得過多8.減少脫膜劑的厚度.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.9.擴(kuò)散泵返油造成高9.擦洗高閥蓋及冷井.給擴(kuò)散泵閥蓋及冷井處有油污加熱時(shí)間不能少于90 分鐘 .6.2. 周一掉膜嚴(yán)重1.洗機(jī)時(shí)產(chǎn)生的一些1.用酒精仔細(xì)擦干凈真空室且膜質(zhì)不好粉塵在抽氣時(shí)飛到玻2.延長轟擊時(shí)間 ,防污板應(yīng)徹底片上烘干后才裝入真空室2.洗機(jī)時(shí)的潮氣及防污板的潮氣未干7.膜質(zhì)7.1. 膜質(zhì)發(fā)黑不亮1

15、.U5 材料鍍少了 (有時(shí)1.適當(dāng)增加 U5 厚度澤有銀灰色 )2.調(diào)節(jié)光斑和掃描頻率2.2 槍光斑能量太散3.適當(dāng)減少 U3 厚度(掃描頻率有問題 )4.將 2 槍坩堝位置移到適當(dāng)位3.U3 材料鍍多了 (膜質(zhì)置稀爛 )5.更換新料4.2 槍坩堝位置不合適6.檢查真空度5.U5 材料太舊或氧化6.真空度低.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.7.2.膜發(fā)銀1.U5 材料鍍多了1.適當(dāng)減少 U5 厚度2.跳程序或假速率造2.發(fā)現(xiàn)時(shí)應(yīng)適當(dāng)加鍍一些U5,成 U5 材料沒鍍上或鍍?cè)阱?2.6層時(shí)應(yīng)特別注意有無少此現(xiàn)象3.U3材料蒸發(fā)過快造3.鍍 U3材料時(shí)速率不要過高 ,成 U5 沒鍍上或鍍少鍍完 U3材料時(shí)應(yīng)稍微停頓5

16、秒再鍍 U57.3.膜質(zhì)發(fā)硬 ,打卷1.玻片太臟1.仔細(xì)清洗玻片 ,玻片放入真空2.玻片表面光潔度差室經(jīng)抽氣未使用應(yīng)更換或清洗3.U3 材料鍍的過少后才能使用 .應(yīng)打掃完真空室衛(wèi)生后再裝玻片 ,減少污染2.更換好的玻片3.適當(dāng)增加 U3 厚度8.膜厚8.1.晶片失效1.晶片使用壽命已到1.更換好的晶片 .在用超聲波清控 制2.晶片壓簧損壞洗晶片時(shí)應(yīng)注意打晶片的時(shí)間儀3.連接探頭的各接觸及方法 ,延長晶片的使用壽命點(diǎn)接觸不良2.更換晶片壓簧 .在取壓簧時(shí)應(yīng)4.探頭冷卻水過小或輕拿輕放水溫過高3.整理各連接處5.探頭擋板碰到工4.調(diào)大探頭冷卻水流量或開啟冷凍機(jī)降水溫 ,水溫小于 28 度5.調(diào)在探

17、頭擋板與工轉(zhuǎn)的距離.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.8.2. 開始鍍膜控制1.程序清零1.重新設(shè)置程序 .在操作膜厚控儀無工作沒選擇到鍍膜程制儀時(shí)動(dòng)作不應(yīng)過快 ,控制儀要2.有良好的接地2.選擇好鍍膜程序 .在調(diào)程序時(shí)應(yīng)注意光標(biāo)是否在對(duì)應(yīng)的鍍膜程序上8.3. 手動(dòng)遙控盒不1.連接控制儀的接頭1.接好接頭受控沒接好2.焊好接線 .在用遙控時(shí)應(yīng)注意2.遙控盒上的按鍵的連線不要用力過大拉扯連線接線脫焊9.其他9.1. 開槍鍍膜時(shí)發(fā)1.晶片被擋住1.放氣整理 .關(guān)門抽氣時(shí)應(yīng)檢查現(xiàn)膜厚儀上沒速率2.槍擋板未打開晶片是否被擋顯示3.高壓沒開2.修理擋板3.打開高壓64.束流控制調(diào)在手動(dòng)4.將束流控制調(diào)的自動(dòng)9.2.槍擋板打

18、不開1.氣壓不夠1.調(diào)高氣壓到合適位置2. 控制擋板的氣動(dòng)閥2.維修或更換氣動(dòng)閥壞了3.重新裝上鍵或螺釘3. 氣缸與擋板軸的連接鍵或螺釘脫落二 . 一些基礎(chǔ)知識(shí)及注意事項(xiàng)和應(yīng)急措施1. 膜厚控制儀.專業(yè)學(xué)習(xí)資料.1.1.控制參數(shù)Soak power1-預(yù)熔功率 1 約為蒸發(fā)功率的一半Soak power2-預(yù)熔功率 2 也稱預(yù)蒸鍍功率略小于最大功率Maxpower- 最大功率Dep Rate -蒸發(fā)速率Final Thk- 膜厚（波長）Soak time-預(yù)熔時(shí)間Rise time- 功率上升時(shí)間Density- 材料密度1.2.檢測(cè)膜厚原理通過改變探頭上晶片的頻率（由于膜的蒸發(fā)改變了其重量，

19、所以其震動(dòng)頻率發(fā)生變化）來計(jì)算膜厚 ，而探頭所處的位置和工具因數(shù)的設(shè)置都影響到測(cè)試精度，探頭的位置和測(cè)試膜厚的關(guān)系如小 ：(1).探頭高了 ,測(cè)試得到的厚度 實(shí)際得到的膜厚 (玻片上厚度 )(3).工具因數(shù)調(diào)高 ,相當(dāng)于探頭位置降低 ,所以膜厚要增加2. 膜和材料間的關(guān)系吸收雜光 ,影響膜質(zhì)和亮度 .鍍的過多 ,膜會(huì)發(fā)銀 ;鍍的過少 ,膜發(fā)黑 ,不亮澤 ,有銀色 ;沒鍍上 ,則為銀白脫膜劑 ,影響膜質(zhì) .鍍的過多 ,膜質(zhì)稀爛 ,易脫落 ;鍍的過少 ,膜會(huì)打卷 ,發(fā)硬決定顏色基層 ,影響膜的鮮艷度和亮度3. 均勻性3.1.徑向均勻性 :同一玻片上部與下部的不均勻,與光斑的調(diào)節(jié) 、材料的料面 、坩

20、堝轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向、玻片的曲率有關(guān)3.2.重復(fù)均勻性 :同一鍋膜的每一套間的不均勻,與真空度的高低 、操作者看顏色有關(guān).專業(yè)學(xué)習(xí)資料.3.3.整體均勻性 :同一套膜四塊玻片上的均勻性,與光斑的穩(wěn)定性 、工轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速和蒸發(fā)速率的匹配、真空度的高低 、徑向均勻性有關(guān)4. 燈絲問題4.1.放氣時(shí)要記住關(guān)燈絲電源,以免氧化燈絲4.2.初次使用或更換新燈絲,應(yīng)進(jìn)行燈絲預(yù)熱定型處理,以防燈絲加熱過快變形.預(yù)熱時(shí) ,高壓關(guān)閉 ,直接加熱燈絲 ,緩慢加燈絲電流 ,由幾安培加至 15A 時(shí),維持 3-5 分鐘4.3.燈絲安裝a.燈絲不宜太高或太低:太高會(huì)造成光斑不可調(diào),容易打爛柵極和陽極片;太低會(huì)造成光斑能量太散 ,不易蒸發(fā)b.柵極片應(yīng)略低于陽極片c.各個(gè)壓塊 、引線的接觸面應(yīng)清洗干凈避免造成接觸不良d.打緊螺