gas系統(tǒng)基礎(chǔ)知識(shí)

1、1/37/乘系統(tǒng)基礎(chǔ)知識(shí)2/37/概述HOOK-UP 專業(yè)認(rèn)知一、 廠務(wù)系統(tǒng)HOOK UP定義HOOK UP乃是藉由 連接 以傳輸U(kuò)TILITIES使機(jī)臺(tái)達(dá)到預(yù)期的 功能。HOOK UP是將廠務(wù)提供的UTILITIES (如 水,電,氣,化學(xué)品 等),經(jīng)由預(yù)留之UTILITIES連接點(diǎn)( PORT OR STICK),藉由管路及電 纜線連接至機(jī)臺(tái)及其附屬設(shè)備( SUBUNITS)。機(jī)臺(tái)使用這些UTILITIES,達(dá)成其所被付予的制程需求并將機(jī)臺(tái) 使用后,所產(chǎn)生之可回收水或廢棄物(如廢水,廢氣等),經(jīng)由管路連接至 系統(tǒng)預(yù)留接點(diǎn),再傳送到廠務(wù)回收系統(tǒng)或廢水廢氣處理系統(tǒng)。HOOK UP項(xiàng)目主要包括:

2、CAD,MOVEIN,CORE DRILL,SEISMIC,VACUUM，GAS，CHEMICAL，D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN.3/37/GAS HOOK-UP專業(yè)知識(shí)的基本認(rèn)識(shí)在半導(dǎo)體廠，所謂氣體管路的Hook-up(配管銜接)以Buck Gas(一 般性氣體如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等)而言， 自供氣源之氣體存貯槽出口點(diǎn)經(jīng)主管線(Main Piping)至次主管線 (Sub-MainPiping)之Take Off點(diǎn)稱為一次配(SP1 Hook-up)，自Take Off出口點(diǎn)至機(jī)臺(tái)(Tool)或設(shè)備(Equipmen

3、t)的入口點(diǎn)，謂之 二次配(SP2 Hook-up)。以Specialty Gas(特殊性氣體如：腐蝕性、 毒性、易燃性、加熱氣體等之氣體)而言其供氣源為氣柜(GasCabinet)。自G/C出 口點(diǎn)至VMB(Valve Mainfold Box.多功能閥箱) 或VMP(Valve Mainfold Panel多功能閥盤)之一次測(cè)(Primary)入 口點(diǎn)，稱為一次配(SP1 Hook-up)，由VMB或VMP Stick之二次側(cè)(Secondary)出口點(diǎn)至機(jī)臺(tái)入口點(diǎn)謂之二次配(SP2 Hook-up)。GAS簡單知識(shí)基本掌握第一章氣體概述由于制程上的需要，在半導(dǎo)體工廠使用了許多種類的氣體，

4、 一般我們皆依氣 體特性來區(qū)分，可分為一般氣體(BULK GAS )與特殊氣體(SPECIALTY GAS) 兩大類。前者為使用量較大之氣體，如 N2、CDA 等，因用量較大，一般氣體常以大 宗氣體稱之。后者為使用量較小之氣體？一般指用量小，極少用量便會(huì)對(duì)人體造成生命威 脅的氣體，如 SiH4、NF3 等1.1 Bulk Gas 介紹半導(dǎo)體廠所使用的大宗氣體，一般有：CDA、GN2、PN2、PAr、P02、PH2、PHe 等七種。1 .大宗氣體的制造：CDA / IA (Clean Dry Air / I nstrume nt Air):CDA 之來源取之于大氣經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后除濕，再經(jīng)過濾器或

5、活性炭吸附去除粉塵及炭氫化合物以供給無塵室 CDA/IA (Clean Dry Air)。4/37/GN2 (Nitrogen):利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)過觸媒轉(zhuǎn)化器，將 CO 反應(yīng)成 CO2， 將 H2 反應(yīng)成 H2O， 再由分子篩吸附 CO2、 H2O， 再經(jīng)分溜分離 O2 & CnHm N2=-195.6C，O2=-183C。PN2 (Nitrogen):將 GN2 經(jīng)由純化器(Purifier)純化處理，產(chǎn)生高純度的氮?dú)?。一般液態(tài)氮?dú)饧兌燃s為 99.9999 %，含小數(shù)點(diǎn)后共 6 個(gè) 9。經(jīng)純化器純化過的氮?dú)饧兌燃s為 99.9999999 %，含小數(shù)點(diǎn)后共 9 個(gè)

6、9。5/37/P02 (Oxygen):利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0 %以上純度之氧，再除去 N2、Ar、CnHm。另外可由水電解方式解離 H2 & 02，產(chǎn)品液化后易 于運(yùn)送儲(chǔ)存。PAr (Argon):利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0 %以上純度之氬氣，因氬氣在空氣中含量僅 0.93 %，生產(chǎn)成本相對(duì)較高。PH2 (Hydrogen):利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得 99.0 %以上純度之氫氣。 另外可由水電解方式解離 H2 & 02，制程廉價(jià)但危險(xiǎn)性高易觸發(fā)爆炸， 液化后 易于運(yùn)送儲(chǔ)存。PHe (Hel

7、ium):由稀有富含氦氣之天然氣中提煉，其主要產(chǎn)地為美國及俄羅斯。利用壓縮機(jī)壓縮 冷卻氣體成液態(tài)氣體，易由分溜獲得。Helium=-268.9C，Methane=-161.4C。2 大宗氣體在半導(dǎo)體廠的用途：CDA :CDA 主要供給 FAB 內(nèi)氣動(dòng)設(shè)備動(dòng)力氣源及吹凈(purge)，Local Scrubber 助燃。IA 主要供給廠務(wù)系統(tǒng)氣動(dòng)設(shè)備動(dòng)力氣源及吹凈。N2 :主要供給部分氣動(dòng)設(shè)備氣源或供給吹凈、 稀釋、 惰性氣體環(huán)境及化學(xué)品輸送 壓力來源。O2 :供給 ETCH 制程氧化劑所需及 CPCVD 制程中供給氧化制程用，供給 O3 Generator所需之氧氣供應(yīng)及其它制程所需。Ar:供

8、給 Sputter 制程，離子濺鍍熱傳導(dǎo)介質(zhì)，Chamber 稀釋及惰性氣體環(huán)境。H2 :供給爐管設(shè)備燃燒造成濕氧環(huán)境，POLY 制程中做 H2 BAKE 之用，W-PLUG 制程中作為 WF6 之還原反應(yīng)氣體及其它制程所需。He :供給化學(xué)品輸送壓力介質(zhì)及制程芯片冷卻。3.BUIK GAS 的供應(yīng)系統(tǒng)6/37/Bulk Gas Supply System in FabMethods:Bulk Gas System*Hr/krAfterF：!isiVffporizrrDOCMPo-rf Gi to FakGvnralGasIn FM7/37/大宗氣體(BULK GAS)雖然不像特殊氣體(SPE

9、CIALITY GAS)，有的具有強(qiáng) 烈的毒性、腐蝕性。但是我們使用大宗氣體時(shí)，仍然要注意安全。GN2、PN2、PAr、PHe 具有窒息性的危險(xiǎn)，這些氣體無臭、無色、無味，如大量泄出而相對(duì) 致空氣中含氧量(一般為 21 %)減少至 16 %以下時(shí)，即有頭痛與惡心現(xiàn)象。當(dāng) 氧氣含量少至10 %時(shí)，將使人陷入意識(shí)不清狀態(tài)，6 %以下瞬間昏倒，無法呼吸，6 分鐘以內(nèi)即死亡。PH2 因泄漏或混入時(shí)，其本身之濃度只要在 H2 之爆炸范圍 (4% 75%)內(nèi)(如對(duì)空氣)，只要一有火源，此氣體乃會(huì)因相混而燃燒。PO2 會(huì)使物質(zhì)易于氧化產(chǎn)生燃燒，造成火災(zāi)的不幸事件。因此，身在半導(dǎo)體工廠工作的 我們，在設(shè)計(jì)上、

10、施工中，如何避免泄漏、如何防患，則是我們努力的工作之一。1.2 特殊氣體特性及系統(tǒng)簡介半導(dǎo)體廠所使用的特殊氣體種類繁多，約有四五十種，依危險(xiǎn)性可區(qū)分為以 下數(shù)類：*易燃性氣體 Flammable Gas*毒性氣體 Toxic Gas*腐蝕性氣體 Corrosive Gas*低壓性/保溫氣體 Heat Gas*惰性氣體 Inert Gas2F Sus-Fab3F Clean Room3F津淨(jìng)室1F P-jnfier F?oom1F純化室Purifier 純化器MsSub-Main 次主骨Tools 機(jī)臺(tái)8/37/*易燃性氣體：燃點(diǎn)低，一泄漏與其他氣體相混，便易引起爆炸及燃燒女口 SIH4 , P

11、H3 , H2 ,.*毒性氣體:反應(yīng)性極強(qiáng)，強(qiáng)烈危害人體功能,如 CO, NO,CLF3,.*腐蝕性氣體:易與水份起反應(yīng)而產(chǎn)生酸性物質(zhì)，有刺鼻,腐蝕,破壞人 體的危險(xiǎn)性女口 NH3, SIF4,CL2,*低壓性/保溫氣體:屬粘稠 性液態(tài)氣體,需包 加熱線 及 保溫棉，將管內(nèi)的溫度升高以使其氣化，才能充分 供應(yīng)氣體，如 WF6, BCL3 , DCS,.*惰性氣體：又稱窒息性氣體，當(dāng)泄漏 出的量使空氣中含氧量減少至16%6%以下時(shí)，便會(huì)影響人體，甚至死亡，如SF6 , C4F8 , N2O ,2.供應(yīng)系統(tǒng)簡介* GC (Gas Cabinet ) 氣瓶柜*GR (Gas Rack ) 氣瓶架*B

12、SGS System (Bulk Sepcial gas supply system )特殊氣體大 量供應(yīng)系統(tǒng)*Y-Cyli nder , Bun die 集束鋼瓶*Trailer 槽車*VDB 主閥箱 / VDP 主閥盤 (Valve Distribution Box/Panel )*VMB 閥箱 / VMP 閥盤 (Valve Manifold Box/Panel)Specialty Gas Supply SystemSpecialty Gas SystemSpecialty Gas Supply System- Equipme nt in every floor9/37/我們不排除這些氣

13、體會(huì)對(duì)我們有不良影響。 身在半導(dǎo)體工廠的我們，在設(shè)計(jì)上、 施工中，如何避免泄漏、如何防患，則是我們努力的工作之一。第二章一次配管和二次配管半導(dǎo)體廠的氣體管路，我們一般區(qū)分為一次配管（SP1 ）及二次配管（SP2， 又稱 Hookup）SP1 :為由氣體的起始流出點(diǎn)（Gas yard/Gas cab in et ）至無塵室中的 Take offValve 或 VMB （Valve manifold box ）/VMP （Valve manifold panel ）。SP2 :為由 Take off Valve 或 VMB/VMP 開始至生產(chǎn)機(jī)臺(tái)設(shè)備處為止（Hookup ）。所使用管材以 1/4

14、”、3/8 ”、1/2 ”、3/4 ”為主。Piping 之設(shè)計(jì)應(yīng)配合氣體類型考量， 一般分為 Bulk Gas及 Speciality Gas 兩大類。2.1 Material 介紹了解半導(dǎo)體氣體工程的配管，和管路設(shè)計(jì)，必須先了解材料（Material）2.1.1 材料區(qū)分：1. TUBE & PIPE （管件）2. FITTINGS （配件）3. VALVE （閥件）4. REGULATOR （調(diào)壓閥）5. CHECK VALVE （逆止閥）IF Ges RoomXT-XIX.G/C 氣瓶柜VMBA/MP3F Clean Ream3F次潔淨(jìng)室Tools 機(jī)臺(tái)10/37/6. FIL

15、TER （過濾器）7. VACUUM GENERATOR （真空產(chǎn)生器）8. 其他2.1.2 選料依據(jù)：?氣體種類,氣體特性*影響材料使用的等級(jí) -AP / BA / EP / V+V /.?業(yè)主需求及預(yù)算*有無指定廠牌或規(guī)格？依機(jī)臺(tái)所需用量及本身接點(diǎn)選定料件尺寸*影響材料使用的尺寸-丫/ ? ” / 15A /.?依機(jī)臺(tái)所需壓力及流量不同選擇材料型式*選用壓力范圍適合或流量符合之閥件?視盤面組裝選擇料件接頭型式* VCR / SWG / Weldi ng / Fla nge2.1.3 TUBE & PIPE 管件：?1 定義：* Pipe :,以 公稱內(nèi)徑配合壁厚作為量度之尺寸.*

16、Tube :以外徑（OD）及壁厚作為量度之尺寸.*規(guī)格：6M/stick or 4M/stick or 100M/roll2.常用材質(zhì)：SS304 /SS304L& SS316 / SS316L & VIM+VAR & HC-223.表面處理等級(jí)：BA - Bright Anneal 表面研磨EP -Electro Polish 表面研磨+電解研磨?4.等 級(jí):* Bulk Gas 一般使用 316L BA 或 316L EP 等級(jí)* Specialty Gas :易燃性/惰性氣體-316L EP莓性- 雙套管（304 AP + 316L EP ）/ 單管 316L E

17、P腐蝕性 氣體 -VIM + VAR低壓性氣體-316L EP + Heater Line + Warm Cover2.1.4 FITTINGS 配件:?1.材質(zhì)同管件？2.常用種類：a. Nut + Gla nd + Gasketb. Elbow,Tee,Reducerc. Cap,Plugd. C onn ectore. others 11/37/?3.型式及規(guī)格：一般可分為 VCR / SWG / WELDING /螺牙接頭/FLANGE 尺寸從 1/8 “T （VCR/SW 及）1/4 “300A/ELD/FLANGE）皆有,又分 短接頭 SCM （micro） or長接頭 SCL （

18、Iong） & SCF （以 Kitz 作 說明）：Product Name Size Size for other side Type Specification MaterialSCM40EEPLESCM :表示 BANKEN 公司對(duì) FITTING 的分類，是屬于短接頭型式。4 :表示尺寸為 1/4 ”0:表示另一端尺寸同前，為 1/4 ”E:表示此料件型式為 ELBOW。EP :表示料件表面處理等極為 EP。LE:表示此料件為 VIM+VAR 等級(jí)的 EP?4 常用廠牌：KITZ / HAM-LET / IHARA/ SWAGELOK /FUJIKIN.15.另外大部分 FIT

19、TING 又分為三種不同規(guī) 格，分別為一般 Type; Un io n Type 及 Reduc ing Type。一般型即為平時(shí) 所見之焊接型式，Union 型為對(duì)接型式（即直接以 GLAND+NUT 鎖緊），Reducing 型類似一 般型，唯其兩端（三端）尺寸不同。一般組盤所用接頭有兩種，分別為 VCR 及 SWG，其中 VCR 需鎖緊 1/8 圈，SWG 需鎖緊 1 1/4 圈（1/4 以下需鎖緊 3/4 圈），方能有效鎖緊。大部分的氣體使用之 GASKET 為 Ni 材質(zhì)，CO 對(duì) Ni 具侵蝕性*CO & 03-Gasket must be SUS”2.1.5VALVE 閥

20、件:?1 材質(zhì)同管件？2.常用種類：* 手動(dòng)閥（Manual Valve ）a. Ball Valve 球閥b.Bellows Valve 波紋管閥c.Diaphra gm Valve 膜片閥11/3713/37/Fla nge氣動(dòng)閥(Air Valve )*逆止閥(Check Valve ) CHECK VALVE 選取主要依據(jù)其尺寸及兩 端接頭型式?jīng)Q定。 Cracking Pressure 為 Check Valve 使氣體通過之最小壓力。 通常選用 3 psig以下之型式。 NH3 必需使用特殊之 Check Valve，* NH3 - Check valve must be AFLAS

21、type.。*其他?3.常用廠牌：KITZ / OHNO / IHARA / MOTOYAMA / NUPRO .?4.備注:*高壓閥/低壓閥-依使用場(chǎng)所不同來選擇*兩通閥/三通閥/四通閥/.:依需求來選擇，注意流向選擇2.1.6REGULATOR 調(diào)壓閥:?1 材質(zhì)同管件?2. Seat 材質(zhì):PCTFE , SS316L , Kel- F81 * N2O -Seatmaterial must beVespel. ?3 常用種類2P 無表頭 / 3P or 4P 單表頭 或雙表頭高壓/低壓/ 一般壓力VCR / SWG14/37/?4. REGULATOR 一般分高壓與低壓選取，但尚有高流量

22、型式可供選取，另外可 依表頭(Gauge )需求加以搭配。？(以 KITZ 為例)Bulk Gas 一般使用 316L BA 或 316L EP 等級(jí) / VCR 或 SWG 1/4 ” -R25 系列3/8 ” -R35 系列1/2 ”- RH1 系列* Specialty Gas :莓性/易燃性/惰性 氣體-316L EP -L25 or R25 系列腐蝕性 氣體 -VIM + VAR - L25SVA 系列低壓性氣體-需選擇可調(diào)負(fù)壓的 type - L96SSA 系列(-30” Hg030 psi)2.1.7 about Pressure Gauge & Transducer ?

23、1 常用種類區(qū)別：* Pressure Gauge ( PG )iniPressure Switch ( PS )壓力開關(guān),指針式,帶傳輸線，IPS 122Digital Pressure Gauge ( PID )電子式壓力表頭Pressure Tran sdpcer ( PT廠壓力傳送器壓力表頭,指針式,C12215/37/?2.使用于：盤面 及 管路上?3.壓力范圍大致可分為：* 高壓(03000 psi)* 低壓(-30” Hg030 psi)(-30” Hg0160 psi)? 4.常用電源：24V DC , 420 mA DC2.1.8 FILTER 過濾器:16/37/?1.功能

24、：過濾氣體中的微粒子(Particle )?2.過濾等級(jí)選擇,即濾徑尺寸(particle size),可分為：* O.Olum /0.03um /0.003um ?3.中心濾片(Medium)材質(zhì)：PTFE / SS316L / NI * CO -濾片材質(zhì)為 PTFE ?4.流量考量(flow rate):分 一般流量及大流量30 slpm / 100 slpm / 300 slpm / 1500 slpm .？5. Connecting type: VCR or SWG orWelding ?6.注意：一般常用 濾片材質(zhì)(以 Mykrolis 為例)* Bulk Gas -PTFE* Sp

25、ecialty Gas :毒性/易燃性/惰性 氣體-PTFE 系列腐蝕性 氣體 -PTFE , no SS316Lfor CO - PTFE type過濾效防漏性抓取率抗腐蝕效PTFE (F)好不好 10.8N/ASS316L很好好6.2很差Nickel很好很好 10.8好2.1.9 VACUUM GENERATOR 真空產(chǎn)生器:裝于 G/C / G/R / VMB / VMP 作為 Vent 抽氣使用 VACUUM GENERATOR 的選取主要在于其接頭的尺寸及型式。GN2 in2.1.10 其他：（1） 氬氣：純度 99.999 以上，每個(gè)鋼瓶 6 立方公尺或 7 立方公尺，通常 一瓶每

26、組可使用23 天。（2） C 型鋼：制作支撐架用，有高低腳、雙并、有孔等型式。（3） 電工管夾：將管材固定于 C 型鋼上，最大可使用至 5/8 之管子。（4） 管束：分單立、雙立、P 型等型式，固定管子用。（5） 牙條：吊掛、固定型鋼用。（6） 型鋼墊片：配合牙條、吊掛型鋼用。（7） 彈簧螺帽：置于型鋼槽內(nèi)，鎖螺絲或牙條用。符號(hào)認(rèn)識(shí)：1利i用”tawisw1rv ttmunn1IWN豺閑嗎嘰ft u/u 4闊縊出口亦手HK3CA LL VAl理1腳網(wǎng)SE魁一曲4口lit用集跖止 聽吐或N Mfr5MA HIM L VA LVE申聞6RLTLfiGMM：J可題a管as申一處總鰹監(jiān)子曲讓知匕血目切

27、旳貳鼻的那辭虞7nn-wSIKEO P.豁用來頂誼1倍底沖的施：尢川口子或隠摘聘8IFLO*MCT&成&S+1用案4苗搭沖殆碇 畳氏卅品電踣EWCE&5aoSCM5On用痢s止首ts沖之誰真洋曙JLZJSP牛*旋=量映 然艾眾共它按廬昨 略禺垃砒aIordLLbLEVALVE圖歪洗 量乂砂丼攤大小可 自曲圖整 值不心充 査開問11K2，2尺A一次配管觀S-KETI竝血出叢 口kL代豊他:制 躺翼卜丄2ruRrtEh抽里4聘FKL lPIBR1444UfcJ% rj中械fltaf左13i用乓5U0 G*LJE壓巧書+j14P皿苗ws TTfJMsrif ctfc皓星力直*

28、MA砂獰MID既“卜利訓(xùn)號(hào)，瞬口flf示跑刑之用15工22S一次配管（SPI）用來詞整 苜03呻之観力16LG囂嚴(yán)子帀Hr在翹瓠AKUHttS下対了認(rèn)甌S申足晉jafHBC*17=/VdCULM CiHiftdtvio諄呂呑士St15/37利用 g中caam曲于袖出1SEETVRBLEFVaLWt安査甌邸甸肯疇椚 區(qū) R 起畫窗件謳金値袋 P 用中ttJ時(shí)枷辻19甲VA LYE&曰i/rTDr（黑WWfcffiTiJW母1隔酣SWrT mTBUri =JTV0 xr吐y i-HMHIKTIrrTrbttnmrLu rrizt：:：= itr zut-m丑18/37/2.2.1 BULK

29、 GAS SPI名詞:MAIN-主管SUB MAIN -副主管TAKE OFF VALVE 一次配與二次配連接的閥ISOLATION VALVE 隔離閥BOTTOM VALVE 末端閥1 SCOPESP1 :為由氣體的起始流出點(diǎn)(Gas yard )至無塵室中的 Take off Valve2 管路形式Bulk Gas 在 Sub Fab 中的供應(yīng)系統(tǒng)按其形狀可以分為魚骨式和回路式兩種。魚骨式：MAIN 和 Sub Ma in 以魚骨的形狀分布回路式：MAIN 和 Sub Main 構(gòu)成回路形式 TTI-FTTI-Ft tfTTfTTl-Fl-gll-Fl-gl!T Tt tT TT TM M

30、K:K:n= =T=TTTT1F1TTTT1F1TTTl-gfTTl-gf*T*TJ Jpl-itTpl-itTM MT TT Tr rt tt-t-爲(wèi) I I扌“二VIIVII-堪19/37/這兩種 BULK GAS 的供應(yīng)形式各有自己的優(yōu)缺點(diǎn)，魚骨式成本比較低，但是 由于氣體在 Sub Main 但方向供應(yīng)的距離比較長，容易產(chǎn)生較大的壓降，末端部 分的 TAKEOFF VALVE 容易產(chǎn)生壓力不足的情況；回路式使用 MAIN 從兩端向 SUB MAIN 供氣的方式，很大程度上降低了壓降帶來的不良影響，但是由于延 長了 MAIN 的長度，成本比較高。實(shí)際上，不管魚骨式還是回路式，通過科學(xué)的計(jì)

31、算，選擇適當(dāng)?shù)膲毫凸軓剑?都可以滿足廠務(wù)的需求，選擇哪種方式，主要看業(yè)主的需要和選擇。3 閥件的選擇*該圖為各種閥件在供應(yīng)系統(tǒng)中的應(yīng)用位置選擇的依據(jù)：閥的類型：根據(jù)氣體的種類Purge Port :根據(jù)管路焊接時(shí) Ar Purge （防止管路內(nèi)部焊道氧化）的需求 *各位置閥的選擇Isolation Valve (On Main /Submain)Weld ing with 2 purge port Bottom Valve (On Main /Submain)Welding with 2 purge port Take off Valve20/37/3/4 ,15A or larger Si

32、ze: use welding with outlet purge port valve1/2 or smaller size: use inlet welding outlet VCR(SWG) with No port valveWe alse can choose VCR(SWG) valve as take offvale with no purge port following supplying status2.2.2 SPECIALTY GAS SPI名詞：GC Gas Cabinet 氣瓶柜 GR Gas Rack 氣瓶架 VMB Valve Manifold BoxVMP V

33、alve Manifold Panel VDB Valve Distribution Box VDP Valve DistributionPanel1 SCOPE為由氣體的起始流出點(diǎn)( GC/R )至無塵室中的 VMB/P2 氣體設(shè)備的設(shè)計(jì) 設(shè)計(jì)流程介紹 :1. 客戶提出需求2. 設(shè)計(jì)建議案提出 :a) Key-Point Introductionb) Flow Sheet Drawingc) Material Q ty List3. 箱體,盤面發(fā)包組立 :a) Material Chosenb) Panel Layout Drawingc) Box Struct Drawing Gas Ca

34、binet / Gas Rack 設(shè)計(jì) :1. 功能設(shè)計(jì) 可分為 單鋼 / 雙鋼 ( 2 Process ) / 三鋼 ( 2 Process + 1 N2 )氣瓶柜內(nèi)的鋼瓶數(shù)設(shè)計(jì)可分為三種：分別為單鋼、雙鋼、三鋼。單鋼的設(shè) 計(jì)通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室等。 制程尚未有量產(chǎn)， 氣體使用量小， 現(xiàn)場(chǎng)可隨 時(shí)協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換， 其優(yōu)點(diǎn)節(jié)省空間、 成本低、 但需透過日常之管理與 協(xié)調(diào)以免中斷制程造成損失。 雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠， 制程不允許停機(jī)情況， 當(dāng)一支鋼瓶使用完后，另一支鋼瓶 stand by 會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大 的差別是在 purge管路的純化氮?dú)馐且凿撈炕驈S務(wù)端供應(yīng)，

35、當(dāng) purge 用的 PN2 統(tǒng)一由廠務(wù)端來供應(yīng)時(shí)，所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一 個(gè)供應(yīng)源，會(huì)有較高的風(fēng)險(xiǎn)值；萬一中央供應(yīng)系統(tǒng)的 PN2 中斷，警報(bào)系統(tǒng)又損 壞，恰巧兩種不相容的氣體同時(shí)使用purge ，此時(shí)極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生， 相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來 purge 增加的成本及空間非常有限， 是一種非常好 的應(yīng)變方式。 三鋼氣柜成本不會(huì)差很多安全性會(huì)是最好的， 只要空間允許應(yīng)最優(yōu) 先選擇。2操作性設(shè)計(jì)： 一般氣瓶柜都設(shè)計(jì)有兩個(gè)特殊氣體鋼瓶，需自動(dòng)切換的功能以達(dá)到連續(xù)供 應(yīng)不斷氣的目的， 氣態(tài)氣體通常以壓力感應(yīng)器來計(jì)算鋼瓶的剩余量， 若是液態(tài)蒸 氣壓氣體則以電子磅

36、秤來偵測(cè)剩余量，當(dāng)一瓶用完時(shí)會(huì)切換到另一瓶。操作上一 般21/37/可分為全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)三種方式通常換鋼瓶時(shí)會(huì)執(zhí)行下列幾種Purge ：(a)Pre-purge( 換鋼瓶前 )首先將鋼瓶閥關(guān)閉，測(cè)試是否有關(guān)緊，用真空產(chǎn)生器將特殊氣體抽出，再用 PN2來稀釋管壁內(nèi)的特殊氣體，重復(fù)執(zhí)行充吹的動(dòng)作將管壁內(nèi)的特殊氣體稀釋 干凈， 此時(shí)即可更換鋼瓶 。(b)Post-purge( 換鋼瓶后 )通常以 PN2 來進(jìn)行保壓測(cè)試，測(cè)試鋼瓶接頭是否銜接良好，再利用 PN2 重復(fù)執(zhí)行充吹的動(dòng)作來將鋼瓶接頭清潔干凈。(c)Process purge( 用特殊氣體 )直接用特殊氣體來 Purge 管壁，主要的目

37、的是要將 PN2 完全的清除讓供 氣的品質(zhì)更好，不會(huì)因更換鋼瓶而供應(yīng)品質(zhì)受到影響。(d)Hi pressure leak test( 高壓測(cè)漏 ) 通常高壓燃燒性氣體會(huì)建議使用高壓測(cè)漏，因?yàn)榻?jīng)過高壓測(cè)漏更能確保 鋼瓶接頭銜接沒問題。一般鋼瓶更換時(shí)機(jī)大約是剩余 10% 的殘留量， 但實(shí)際上應(yīng)以制程的需求來 決定，這樣才會(huì)得到最佳的更換時(shí)間。再者，鋼瓶都有使用期限，操過使用期限 因?yàn)椴糠痔厥鈿怏w會(huì)對(duì)鋼瓶造成為腐蝕，污染氣源。為到達(dá)上述 1-4 項(xiàng)的功能，其管件的設(shè)計(jì)就會(huì)比較復(fù)雜，建議顧客盡量使 用自動(dòng)的供應(yīng)系統(tǒng)， 若使用手動(dòng)的方式進(jìn)行， 人員操作需要非常的小心謹(jǐn)慎， 只 要任何一項(xiàng)步驟有疏失極可能

38、影響供應(yīng)的品質(zhì)， 嚴(yán)重時(shí)有可能造成人員傷亡。 即 使是氣瓶架也應(yīng)該采用自動(dòng)的供應(yīng)系統(tǒng)， 雖然沒危險(xiǎn)性， 人員操作不當(dāng)極有可能 造成污染， 畢竟要人員重復(fù)動(dòng)作可能幾十次， 不但需要耗很多的時(shí)間， 人員也要 集中很多精神來執(zhí)行，風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)也相對(duì)提高。3. 氣瓶柜管路設(shè)計(jì)：認(rèn)識(shí)氣瓶柜盤面上的一些設(shè)計(jì)， 以下逐一介紹盤面上重要主件：1. 氣動(dòng)閥氣源：一般以 GN2 來進(jìn)行控制，不建議使用 CDA，因 GN2 的供應(yīng)系 統(tǒng)比較穩(wěn)定，不會(huì)因停電或運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備故障而中斷，此氣源是用于自動(dòng)或半自 動(dòng)的氣動(dòng)閥件開關(guān)。2. 手動(dòng)控制閥：主要用于第二到防護(hù)作為第二次確認(rèn)用，一般于供應(yīng)氣體的出 口端。3. 逆止閥：防止特氣

39、倒灌到清潔用的 PN2 系統(tǒng)和抽氣用的 GN2 系統(tǒng)。4. 調(diào)壓閥：用于調(diào)整供應(yīng)系統(tǒng)的供應(yīng)壓力。5. 壓力傳送器：是防護(hù)系統(tǒng)中非常重要的零件，透過它我們可以判斷管路是否 泄漏，相關(guān)閥件是否正常開關(guān)，同時(shí)亦可檢知鋼瓶的剩余量。22/37/6.真空產(chǎn)生器： 利用 GN2 快速流動(dòng)產(chǎn)生吸力， 將管路中的氣體抽出， 以到達(dá)抽 氣的目的。7.氣體過濾器：一般在鋼瓶出口端會(huì)裝比較粗的過濾器，在出端會(huì)裝比較細(xì)的 過濾器，有效過濾氣體中的粒子，過濾器較不易 purge 所以一般不建議裝在 常 purge 的管路中。8.過流量偵測(cè)器：對(duì)管路異常流量進(jìn)行偵測(cè)，若是操過設(shè)定值，即判斷管路上 可能大量泄漏，進(jìn)而關(guān)閉供

40、應(yīng)系統(tǒng)停止供氣。9.限流孔：是一種簡易又有效的過流量控制裝置，用以限制大量氣體流過，一 般使用于 vent 處，其主要功用大量的特殊氣體排出， 區(qū)域性的廢氣處理機(jī)無 法處理的情況發(fā)生。氣瓶柜在管路設(shè)計(jì)上應(yīng)該特別注意的事項(xiàng)如下：1.不相容的氣體 purge 管路不可相連在一起。2.不相容的氣體不能裝在同一個(gè)氣瓶柜內(nèi)，即使各自獨(dú)立的供應(yīng)系統(tǒng)也嚴(yán)重禁 止。3.管路大小應(yīng)依實(shí)際制程所需的壓力流量來設(shè)計(jì)。4.鋼瓶接頭型號(hào)應(yīng)事先由業(yè)主告知我們以免有接頭無法接上的問題。5.小鋼瓶會(huì)使用可調(diào)整的支撐架。6.閥件材質(zhì)應(yīng)依氣體特性來選擇。7.如有考慮擴(kuò)充性可在出口端加裝一個(gè)預(yù)留擴(kuò)充閥。4.安全防護(hù)設(shè)施：氣瓶柜防護(hù)

41、設(shè)計(jì)，包括外箱的防火與防爆設(shè)計(jì)、抽風(fēng)孔、火焰?zhèn)蓽y(cè)器、消防 灑水頭、毒氣偵測(cè)器、緊急遮斷開關(guān)、過流量偵測(cè)器、 溫度偵測(cè)器、煙霧偵測(cè)器、 vent 限流孔、遠(yuǎn)端遮斷等。其中消防灑水頭在氣瓶柜內(nèi)的溫度操過65C時(shí)，玻璃會(huì)自動(dòng)破裂灑水， 但要注意有些腐蝕性氣體會(huì)與水產(chǎn)生強(qiáng)烈反映， 建議不安裝 消防灑水頭。在氣體房內(nèi)也需裝煙霧偵測(cè)器及灑水頭，以防止氣瓶柜以外的地方有火災(zāi)， 所有系統(tǒng)應(yīng)該與中央監(jiān)控系統(tǒng)連線， 并與廣播系統(tǒng)連線， 一有警報(bào)立即疏散相關(guān) 人員，由廠區(qū)緊急應(yīng)變小組來進(jìn)行處理，以免發(fā)生危險(xiǎn)。這些相關(guān)防護(hù)設(shè)備在規(guī)劃時(shí)應(yīng)特別考慮其擺放位置及其實(shí)用， 如緊急遮斷按 鈕除氣柜上需要外， 在氣體房外或中央監(jiān)

42、控系統(tǒng)亦需架設(shè)， 避免氣體外泄人員無 法進(jìn)入關(guān)閉源頭的鋼瓶； 此外警報(bào)警示燈與警報(bào)聲響亦需在氣體房外面明顯的位 置架設(shè)，以利人員緊急處理時(shí)的識(shí)別， 并規(guī)劃相關(guān)防護(hù)器具，如更換鋼瓶時(shí)所使 用的空氣面罩。為防止地震會(huì)在氣瓶柜的底部打上膨脹螺絲固定，使其在地震時(shí)不至于位 移，地震儀的安裝通常有三個(gè)感應(yīng)器， 分別裝于廠區(qū)的三個(gè)角落， 可避免當(dāng)有外 力的干擾時(shí) （如施工 ）即造成誤動(dòng)作，一般執(zhí)行地震切斷系統(tǒng)功能，通常會(huì)設(shè)定兩 個(gè)地震儀動(dòng)作才會(huì)執(zhí)行此功能，且設(shè)定地震等級(jí)為五級(jí)。另一項(xiàng)比較特殊的就是緊急的廢氣處理設(shè)備適用于燃燒性氣體，一般時(shí)抽風(fēng) 量只有一半，當(dāng)特殊氣體外泄時(shí)，抽風(fēng)量會(huì)全數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)，需與偵測(cè)器配合

43、使用，但 受空間限制一般以吸附一瓶特殊氣的量作為設(shè)計(jì)， 因?yàn)槠潴w積非常大。 但因價(jià)格 昂貴目前尚未普及。5.依 氣體特性 來設(shè)計(jì)盤面功能23/37/for example: smic fab2GAS TpeCYLINDERSIZESPECIFICATIONPRVHC-22HP-FHP-NiAFLASEFSL/CDPSDPGSPLI.TEMP.UV/IRAUTOSWITCHEMOESVFIREDAMPERSMOKEEMSOZ-PURGEDPS 2CI247 LYNYNNYYYYYYYYYOptio nYYYSiHzCb47 LYNYNNYYYYYYYYYOptio nYYYSiH447 LYNY

44、NNYNYYYYYYYOptio nYYYWF647 LYNYNNYYYYYYYYYOptio nYYY安全功能：Shut Boy 鋼瓶閥,UV/IR 火焰?zhèn)蓽y(cè)器,Sprinker 灑水頭,EMO 緊急停氣按鈕,DPS/DPG 泄漏偵測(cè) 器GC FLOW SHEET DRAWING24/37/ VMB/VMP 的設(shè)計(jì)：VMB 內(nèi)氣體種類配置的設(shè)計(jì)基本上有兩種方式：一種以供應(yīng)機(jī)臺(tái)為主，另一種以氣體種類進(jìn)行分類，前者較少用也比較不好，雖然它有空間上的優(yōu)點(diǎn)，但不 相容氣體裝于同一個(gè)箱子內(nèi)萬一泄漏或人員誤動(dòng)作極有可能激烈反應(yīng)嚴(yán)重甚至 爆炸，相對(duì)偵測(cè)器的點(diǎn)數(shù)會(huì)增加，造成成本的負(fù)擔(dān)，未來擴(kuò)充性也較差，后者

45、的 設(shè)計(jì)是目前最普遍采用的方式，雖然無法集中，操作可能比較不方便，但氣體偵 測(cè)點(diǎn)少，安全性高，VMB 設(shè)計(jì)及操作容易，擴(kuò)充性佳?；旧?VMB 與氣瓶柜的設(shè)計(jì)是大同小異的，只要?dú)馄抗裼械墓δ茉?VMB 亦 可以做，但由于經(jīng)費(fèi)的問題一般功能不會(huì)做那么好，以手動(dòng)為主加一個(gè)氣動(dòng)閥可做緊急遮斷用。一般 VMB 不常會(huì)去操作或動(dòng)到所以發(fā)生泄漏的機(jī)率比較低，設(shè) 計(jì)一般以節(jié)省成本為主。VMB 一般是以業(yè)主實(shí)際上的需求來設(shè)計(jì) 2、3、4、5 或其他點(diǎn)數(shù)的數(shù)目，同時(shí) 供應(yīng)數(shù)臺(tái)機(jī)臺(tái)，亦可加調(diào)壓閥做二次調(diào)壓讓壓力更加的穩(wěn)定，設(shè)定上下警報(bào)訊號(hào) 做更有效的供應(yīng)控制。* Function & Future:1.2

46、 sticks lOsticks Process Lines-or customer2. 依操作方式可分為“自動(dòng)”及手動(dòng)”3. With 1 Pn2 purge line and 1 vacuum line來潔凈管路及相關(guān)閥件(vacuum line 可省略而經(jīng)由機(jī)臺(tái) pump 來抽氣)4. 依制程需求可再次調(diào)壓5. Main line 擴(kuò)充閥/ Stick 擴(kuò)充閥，視需求可供未來擴(kuò)充6. VMB 之電控箱藉由 GIS 集中控制，并與廠務(wù)中控系統(tǒng)銜接*VMB/VMP 之 Safety :.Process Line 供氣狀況經(jīng) PLC (option)與中控系統(tǒng)連線，如有緊急狀況可自動(dòng) 切斷氣源

47、2. 所有閥件接點(diǎn)及焊道均在箱內(nèi),可經(jīng)由 Damper 抽風(fēng)功能來減少氣體外漏之 危險(xiǎn)3. VMB for Flammable or Pyrophoric gases has UV Detector (option)25/37/4 丄 ocal Shut Down Button （for VMB）5. 防爆鋼絲玻璃6. 配置門鎖以防不當(dāng)操作2.3 二次配管(SPII / Hookup )1 SCOPE為由 Take off Valve 或 VMB/VMP 開始至生產(chǎn)機(jī)臺(tái)設(shè)備處為止（Hookup ）2Hookup 配管之設(shè)計(jì)：1、類型：1）草圖：依業(yè)主提供之基本資料（廠務(wù)需求單，機(jī)臺(tái)、VMB/P

48、、TAKE-OFF、 LAYOUT 圖面等），簡單繪制之圖面。2）施工圖：依據(jù)草圖協(xié)調(diào) Hookup 事宜，經(jīng)確認(rèn)無誤后繪制而成。發(fā)至 現(xiàn)場(chǎng)施工小組，即可依圖施工。3）竣工圖：施工完畢，現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)人會(huì)將現(xiàn)場(chǎng)施工圖面收回。依現(xiàn)場(chǎng)施工 修正之施工圖，繪制竣工圖。2、工作程序及方法：1）先期工作：以建立所需之 BLOCK 為主。對(duì)繪圖而言，底圖是重要且必需的參考 依據(jù)，同時(shí)也希望業(yè)主能夠提供。至于如何做分區(qū)、界定，則與客戶廠 務(wù)工程師協(xié)調(diào)后，再進(jìn)行底圖之分割及最后之圖檔管理。2）工作進(jìn)行中：a） 以業(yè)主提供之 Hookup 圖面及資料，進(jìn)行統(tǒng)合及繪制草圖的工作。原則上草圖的統(tǒng)合，是由現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)人負(fù)責(zé)-包

49、括資料匯整、位置及 水、氣、化、電的點(diǎn)數(shù)確認(rèn)，手繪草圖的工作等等。再與設(shè)計(jì)人員 進(jìn)行實(shí)際的電腦繪圖工作。b） 電腦繪圖完成之草圖，經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)人確認(rèn)后，交予客戶相關(guān)之設(shè)備 及廠務(wù)工程師。協(xié)調(diào)相關(guān)之廠商負(fù)責(zé)人及客戶相關(guān)之設(shè)備或廠務(wù)工 程師，至現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際套圖。為求圖面準(zhǔn)確性高，則希望業(yè)主提供做為 參考之圖面及資料能愈詳細(xì)愈好，以做為最后確認(rèn)草圖的重要依據(jù) 若業(yè)主提供的圖面及資料有修改時(shí)，立即進(jìn)行修改以利完成工作任 務(wù)。26/37/C）協(xié)調(diào)、修改后經(jīng)業(yè)主相關(guān)設(shè)備或廠務(wù)工程師確認(rèn)之圖面，即為施工 圖，可發(fā)至現(xiàn)場(chǎng)施工。3）后期工作：a） 現(xiàn)場(chǎng)施工小組依圖面施工，施工路徑與施工圖有異時(shí)，施工小組將 在圖面上作

50、修正。完工后，依現(xiàn)場(chǎng)施工小組修正之圖面，繪制竣工 圖。b） 現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)人與設(shè)計(jì)人員依竣工圖至現(xiàn)場(chǎng)核對(duì)，修正后完成竣工圖面。Hookup 工程，人員及設(shè)備之需求視現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際需要而調(diào)配。例如人員工作量 之負(fù)荷，是否進(jìn)駐現(xiàn)場(chǎng)，上下班情況等等，皆須配合業(yè)主之要求及預(yù)定 Schedule 之時(shí)程。一切以正確完成工作為原則?？蛻羲杼峁┲畧D面及資料（以下為參考資料，實(shí)際需求以工程為主）一、 圖面：1、客戶廠區(qū) LAYOUT （最好各樓層皆有）2、GAS : TAKE-OFF，DP，VMB/P LAYOUT3、CHEMICAL : TEE-BOX，V-BOX LAYOUT4、WATER DP LAYOUT5、E

51、XHAUST LAYOUT6、ELECTRIC POWER DISTRIBUTION LAYOUT二、 DATA：1、EQUIPMENT DETAIL LIST （機(jī)臺(tái)設(shè)備詳細(xì)資料）（1）I.D NUMBER（2）TOOL NUMBER（3）INLET POINT，SIZE，F(xiàn)LOW，PRESSURE2、各機(jī)臺(tái)使用之 BULK GAS TAKE-OFF 點(diǎn)3、各機(jī)臺(tái)使用之 VMB/P三、 S . G 氣體使用區(qū)域：氣體種類危害性使用區(qū)域Gas Typ e 氧化性易燃性毒性腐蝕性窒息性CVDPVDDIFFIMPETCHPHOTONF3vvvvvvCI2vvHBrvvvSiF4vvvF2/Kr/N

52、evvF2/Ar/NevvC5F8vvBCl3vvvNOvvvvWF6vvv27/37/氣體種類危害性使用區(qū)域Gas Type氧化性易燃性毒性腐蝕性窒息性CVDPVDDIFFIMPETCHPHOTOCH2F2vvvCH3FvvvCOvvvC4F6vvv四.B . G 使用區(qū)域:CDA :T/FPHOTODIFFETCHCMPIMPGN2 ；T/FDIFFETCHCMPIMPLABPN2 :T/FPHOTODIFFETCHCMPIMPHPCDA:PHOTO五.S.G適用機(jī)臺(tái)及制程:氣體種類適用機(jī)臺(tái)及制程5%H2/HEF2/KR/NEKR/NEAMT ENDURA-SEED LAYER(CU)(S

53、PUTTER) SCANNERAR/H2/O2AMT ENDURA-SPUTTERCO2NOVELLUS VECTOR-CU；DNS FC3000 WET BENCH-ST CLEAN、BCLEAN；DNS SCRUBBER-WAFER SCRUBBER、WAFER RECYCLEH2/CL2/HBRSIH4/WF6KE (Z-III)-START OXIDE；TEL ALPHA 3031-GATE OXIDE、PAD/SAC OXIDE；AMAT ECP(CU)-CU ECP；NOVELLUS ALTUS-W PLUG DEP；AMT RTP-RTA(IMP)HE/SF6/NF3CF4/SF

54、6/HCLAMT PRODUCER-NOSI、PESN(COSIX、CU)、BD(CU)、BP TEOS、PE TEOS、PEOX；AMT RTP-RTA(CVD)、RTA(IMP)；AMT ENDURA-METALSPUTTER(CVD/TIN)；TEL ALPHA 3031-LP TEOS28/37/N2OPH3/HEDCSAMT PRODUCER；AMT RTP；TEL ALPHA 3031-LP NITRIDE、GATE OXIDE；NOVELLUS VECTOR-SIC(CU)、FSG(CU)NO/SIH4CL2TEL ALPHA 3031-GATE OXIDEO2/DCS/NF3H

55、BRKE Z(III)-FLOW/REFLOW、POLY CURING、PAD/SAC OXIDE、START OXIDE；TEL ALPHA 3031-GATE OXIDE；DNS FC3000-B CLEAN、STD CLEAN；NOVELLUS VECTOR-PEFSG、FSG(CU)、SIC(CU)、PEOX/PESN；AMTRTP-RTA(IMP)現(xiàn)場(chǎng)配管施工、概說：1、Hook up配管的范圍：1-1、Bulk gas:由Take off valve至機(jī)臺(tái)點(diǎn)。1-2、Specialty gas:由VMB/P各stick出口端至機(jī)臺(tái)點(diǎn)。1-3、Hook up配管常用的材料：1-4、1

56、-5、tube and fitting:般常用尺寸為：1/4 3/8、1/2、3/4，常用材質(zhì)為：AP、BA、EP。1-6、DP盤(distribution panel)： 一般常用尺寸為：1/4、3/81/2、29/37/3/4；組合閥件常見有：手動(dòng)閥、調(diào)壓閥(regulator)；接頭形式有：VCR、swagelok、welding。2、確定機(jī)臺(tái)需求： 設(shè)計(jì)人員依業(yè)主提供之機(jī)臺(tái)需求單， 包 含機(jī)臺(tái)名稱、位置、氣體需求數(shù)據(jù)、氣源點(diǎn)(take off valve及VMB/P)編號(hào)，繪制草圖。3、核對(duì)現(xiàn)場(chǎng)及機(jī)臺(tái)：3-1、將legend圖與現(xiàn)場(chǎng)狀況核對(duì)，如氣源點(diǎn)、管 路路徑、上洞點(diǎn)、盤面、門型架、

57、地板開孔及 附屬機(jī)臺(tái)位置等。3-2、待機(jī)臺(tái)定位后，需再確認(rèn)上述2-1項(xiàng)、機(jī)臺(tái)位 置、門型架高度，及機(jī)臺(tái)上各接點(diǎn)氣體名稱、接頭尺寸、 點(diǎn)數(shù)等( 在某些設(shè)備工程師為新 進(jìn)人員或機(jī)臺(tái)為首次使用的情況下，經(jīng)常無法 提供完整的機(jī)臺(tái)需求) 。4、討論事項(xiàng)： 管路在氣源點(diǎn)與機(jī)臺(tái)間是否安裝盤面、 相同氣體之各接點(diǎn)(或pump)是否共享盤面、盤面高度及如何固定等問題，均需與業(yè)主事前充分討論，以免完工后再次修改。5、確認(rèn)legend圖及l(fā)ayout圖：將定稿之legend圖及l(fā)ayout圖，交業(yè)主審核無誤（或修改）后，再交工程人員備 料施工。6、繪制竣工圖： 現(xiàn)場(chǎng)完工后， 設(shè)計(jì)人員需再次核對(duì)legend圖及l(fā)ay

58、out圖與現(xiàn)場(chǎng)狀況是否相符，修正后繪制竣工 圖一份送交業(yè)主、一份存查。30/37/7、HOOK UP配管施工8、確認(rèn)legend圖：自設(shè)計(jì)人員處取得legend圖，至現(xiàn)場(chǎng) 確認(rèn)圖內(nèi)各項(xiàng)資料是否相符，如氣源點(diǎn)、管路路徑、 上洞點(diǎn)等。9、備料：依legend圖計(jì)算所需材料，備妥待用。9-1、施工：9-2、規(guī)劃管路排列順序： 依各氣源點(diǎn)與機(jī)臺(tái)的相關(guān) 位置、盤面位置、配管路徑及機(jī)臺(tái)接點(diǎn)等，排 列管路順序（能繪制立體圖者尤佳） 。9-3、安裝盤面：在指定的高架地板下，依管路排列 順序，將相同氣體的盤面集中擺設(shè)。9-4、安裝門型架：將指定的高架地板，依需求尺寸 開孔后，安裝門型架。9-5、配管：所排列管路

59、順序施工。9-6、注意事項(xiàng)：6-9-1、配管時(shí)使用彎管器或焊接elbow；彎管器使 用幾倍彎；或部分使用彎管部分焊接elbow， 均需事先了解。6-9-2、某些機(jī)臺(tái)的附屬機(jī)臺(tái)較為復(fù)雜，或擺設(shè)位置 較遠(yuǎn)，施工前均需仔細(xì)確認(rèn)。31/37/現(xiàn)場(chǎng)施工規(guī)范高層1.3F盤底到高架地板標(biāo)高17 0M M。如現(xiàn)場(chǎng)無法架盤，盤底標(biāo)高5 0MM。2.2F天花板往下6 5 0 M M是H OOKUP高層；現(xiàn)場(chǎng)CABLE RAY,管路爬高至天花板；不得穿越CABLE TRAY。3.2 F VMB/P上方彎管為VMB/P底盤上平面向上3 9 0 M M,彎長8 0M M,高20M M,角度-15度。4.1F SUPPO

60、RT上方10 0處彎管，BALLALVE底端與PCW末端相平。氣體標(biāo)簽1. GAS氣體標(biāo)簽有左右方向，不能混用（只有箭頭方 向正確，是不合規(guī)范的）。2.氣體標(biāo)簽要貼正，貼牢3.管路標(biāo)示貼紙其方向、 字體、種類需正確不可馬虎了 事。黏貼樣式依業(yè) 主要求不同的管徑選擇不同尺寸 的管路標(biāo)示貼紙及粘貼距離。4.各式SWG及VCR接頭不可先行鎖緊，僅需稍加施力，以免破壞管材。32/37/5.管路施工，水平垂直誤差應(yīng)小于5%，如有不符，即需重新施作。6.附表則為管路支撐及標(biāo)示間距表。NOSIZEDISTANCE150A4M三、材料類1 FITTING類施工損耗要2%o2、要按規(guī)定使用，不能亂用現(xiàn)場(chǎng)有疑問要與監(jiān)工聯(lián)系3、組要用各組自己領(lǐng)的料，不得亂用別組的料。4、組要用各組自己領(lǐng)的料，不得亂用別組的料。5、場(chǎng)所用SUPP