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圖 電阻微橋的熱象圖 結(jié)論 （）用型顯微熱成象系統(tǒng)能夠；？：釬地顯示電阻加熱微橋的輻射溫度 分布和計算輻射亮度。實際空間分辨率可達微米。 （）通過測量電阻微橋的輻射溫度和供電功率，可以確定電阻微橋熱輻射靜 態(tài)特性的主要指標(biāo)，即輻射溫度每升高度所需的供電功率，測試結(jié)果表明， 該器件為幾十微瓦，度。 用熱成象系統(tǒng)可以測定電阻加熱微橋熱輻射的動態(tài)特性。雖然 該熱成象系統(tǒng)的幀頻只是幀秒，由于微橋輻射溫度的上升和下降實際都 在秒數(shù)量級的范圍內(nèi)，所以它仍能測得輻射溫度的上升和下降曲線。 ）采用半導(dǎo)體致冷器對器件進行冷卻，使測試過程處于可控狀態(tài)。 參考文獻 ， ， ，“ ” ， ”， ，：， ， 【，” 一
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