潔凈室噪音要求及檢測(cè)規(guī)程

1、潔凈室噪音要求及檢測(cè)規(guī)程潔凈室不僅僅對(duì)室內(nèi)空氣潔凈度有嚴(yán)格的要求，針對(duì)運(yùn)行環(huán)境的噪音也有一定的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，因?yàn)闈崈羰臆囬g是一個(gè)相對(duì)密閉的、比較壓抑的一個(gè)環(huán)境，如果噪音控制不當(dāng)，很容易造成車間工作人員以及生產(chǎn)環(huán)境的惡化。  噪聲的測(cè)定方法：    當(dāng)房間的面積不大于 50m2 時(shí)，僅測(cè)定房間中心一個(gè)點(diǎn)。當(dāng)房間的面積較大時(shí)，每增加 50m2 增加一個(gè)測(cè)點(diǎn)。測(cè)點(diǎn)距離地面 1.0m。當(dāng)有條件時(shí)，宜測(cè)房間靜態(tài)工況的噪聲和本底噪聲。  合格標(biāo)準(zhǔn)： 應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，根據(jù)（潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）的要求，潔凈室空態(tài)情況下非單向流潔凈室的噪聲不應(yīng)大于 60

2、dB(A)。單向流和混合流潔凈室的噪聲不應(yīng)大于 65 dB(A)。潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范4.4 噪聲控制4.4.1 潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)），非單向流潔凈室不應(yīng)大于60 dB（A），單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65 dB（A）。潔凈廠房的平、剖面設(shè)計(jì)應(yīng)考慮控制要求。潔凈室的維護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施（如隔聲間、隔聲罩等）。4.4.5凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過(guò)允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、 消聲、隔振等控制措施。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)除事故排風(fēng)外應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。4.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)容許噪聲

3、級(jí)要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用總風(fēng)管： 6-10m/s；無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4-6m/s；有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為2-5m/s。潔凈室噪聲控制潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語(yǔ)言通訊干擾和對(duì)工作效率的影響。國(guó)內(nèi)對(duì)于噪聲對(duì)于健康影響的研究表明，低于80dB（A）的一般工業(yè)噪聲對(duì)健康的影響不太大。國(guó)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的研究工作開(kāi)始于20世紀(jì)60年代。1966年制定的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209a和1974修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在ISO/DIS14644-4標(biāo)準(zhǔn)（草案）中規(guī)定：“應(yīng)根據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適

4、和安全要求及環(huán)境（如其它設(shè)備）的背壓級(jí)來(lái)選擇適宜的聲壓級(jí)。潔凈室的聲壓級(jí)范圍為40-65dB（A）”。從搜集的國(guó)內(nèi)外潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)來(lái)看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65-70dB（A）范圍，醫(yī)療行業(yè)更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲級(jí)作為評(píng)價(jià)指標(biāo)，也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于各頻帶聲壓級(jí)提出限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級(jí)分別給出噪聲容許值，而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)不同的空氣潔凈度等級(jí)潔凈室提出一個(gè)統(tǒng)一的容許值。對(duì)國(guó)內(nèi)幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲所進(jìn)行的

5、分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在41-64 dB（A），平均為54 dB（A）；單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在51-75 dB（A），平均為65 dB（A）。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB（A）。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風(fēng)量（或換氣次數(shù)）和凈化空調(diào)系統(tǒng)的特征有關(guān)?？刂圃O(shè)備噪聲首先應(yīng)從聲源上著手，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)的原因而難于做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上來(lái)采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈室內(nèi)的高噪聲設(shè)

6、備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國(guó)內(nèi)有些潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間，或技術(shù)夾道或服務(wù)區(qū)內(nèi)，潔凈室噪聲有明顯的降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國(guó)內(nèi)外有關(guān)資料提出一些有效措施：現(xiàn)代潔凈室概念一文中強(qiáng)調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機(jī)，還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的使用，文中說(shuō)：“管道消聲器在高頻和中頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的，當(dāng)風(fēng)管敷設(shè)長(zhǎng)度在15m內(nèi)時(shí)，就應(yīng)考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中說(shuō)

7、：“通風(fēng)機(jī)和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開(kāi)”。還要求“將通風(fēng)機(jī)外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。對(duì)風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度地降低。排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對(duì)潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過(guò)程中，外延、擴(kuò)散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來(lái)，對(duì)于潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)噪聲治理日益受到重視，注意選用低噪聲風(fēng)機(jī)等。潔凈室的密封性能比較好，噪聲不易衰減，由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜，按規(guī)定減少風(fēng)管風(fēng)速，既減少了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低了風(fēng)機(jī)壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風(fēng)機(jī)噪聲，又防止了風(fēng)速過(guò)大而產(chǎn)生的附加噪聲。人和凈化潔凈室噪音標(biāo)準(zhǔn)和潔凈室噪音控制方法

8、 潔凈室在使用期間，除了要對(duì)你潔凈度、溫濕度做測(cè)試和控制之外，對(duì)噪音標(biāo)準(zhǔn)也需要控制。人和凈化解析潔凈室噪音標(biāo)準(zhǔn)和潔凈室噪音控制方法。人和凈化潔凈室噪音標(biāo)準(zhǔn)潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語(yǔ)言通訊干擾和對(duì)工作效率的影響。國(guó)內(nèi)對(duì)于噪音對(duì)于健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲對(duì)健康的影響不太大。國(guó)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的研究工作開(kāi)始于20世紀(jì)60年代。1966年制定的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209a和1974修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在ISO/DIS14644-4標(biāo)準(zhǔn)(草案)中規(guī)定：“應(yīng)根據(jù)潔凈室內(nèi)

9、人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其它設(shè)備)的背壓級(jí)來(lái)選擇適宜的聲壓級(jí)。潔凈室的聲壓級(jí)范圍為40-65dB(A)”。從搜集的國(guó)內(nèi)外潔凈室的噪音標(biāo)準(zhǔn)來(lái)看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪音標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65-70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲級(jí)作為評(píng)價(jià)指標(biāo)，也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于各頻帶聲壓級(jí)提出限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級(jí)分別給出噪聲容許值，而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)不同的空氣潔凈度等級(jí)潔凈室提出一個(gè)統(tǒng)一的容許值。對(duì)國(guó)內(nèi)幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲

10、所進(jìn)行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪音有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在41-64 dB(A)，平均為54 dB(A);單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在51-75 dB(A)，平均為65 dB(A)。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB(A)。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風(fēng)量(或換氣次數(shù))和凈化空調(diào)系統(tǒng)的特征有關(guān)?？刂圃O(shè)備噪聲首先應(yīng)從聲源上著手，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)的原因而難于做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上來(lái)采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈室內(nèi)的

11、高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國(guó)內(nèi)有些潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間，或技術(shù)夾道或服務(wù)區(qū)內(nèi)，潔凈室噪聲有明顯的降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國(guó)內(nèi)外有關(guān)資料提出一些有效措施：現(xiàn)代潔凈室概念一文中強(qiáng)調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機(jī)，還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的使用，文中說(shuō)：“管道消聲器在高頻和中頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的，當(dāng)風(fēng)管敷設(shè)長(zhǎng)度在15m內(nèi)時(shí)，就應(yīng)考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接

12、，文中說(shuō)：“通風(fēng)機(jī)和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開(kāi)”。還要求“將通風(fēng)機(jī)外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。對(duì)風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度地降低。排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對(duì)潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過(guò)程中，外延、擴(kuò)散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來(lái)，對(duì)于潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)噪聲治理日益受到重視，注意選用低噪聲風(fēng)機(jī)等。潔凈室的密封性能比較好，噪聲不易衰減，由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜，按規(guī)定減少風(fēng)管風(fēng)速，既減少了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低了風(fēng)機(jī)壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風(fēng)機(jī)噪聲，又防止了風(fēng)速過(guò)大而產(chǎn)生的附加噪聲。潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范里的噪音控制標(biāo)準(zhǔn)人

13、和凈化潔凈室噪音控制1、潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài))，非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65 dB(A)。2、潔凈廠房的平、剖面設(shè)計(jì)應(yīng)考慮控制要求。潔凈室的維護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。3、潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。4、凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過(guò)允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)除事故排風(fēng)外應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。5、凈化空調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級(jí)要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用總風(fēng)管： 6-10m/s;無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4-6m/s

14、;有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為2-5m/s。城市區(qū)域環(huán)境噪聲測(cè)量方法GB/T 14623-93批準(zhǔn)日期1993-08-10 實(shí)施日期1993-08-10- 城市區(qū)域環(huán)境噪聲測(cè)量方法GBT 14623-93本標(biāo)準(zhǔn)為執(zhí)行GB 3096城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)而制定。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了城市區(qū)域環(huán)境噪聲的測(cè)量方法。2 引用標(biāo)準(zhǔn)GB 3785 聲級(jí)計(jì)的電、聲性能及測(cè)試方法JJG 699 積分聲級(jí)計(jì)檢定規(guī)程JJG 176 聲校準(zhǔn)器檢定規(guī)程JJG 778 噪聲統(tǒng)計(jì)分析儀檢定規(guī)程3 名詞術(shù)語(yǔ)3.1 A聲級(jí)用A計(jì)權(quán)網(wǎng)絡(luò)測(cè)得的聲級(jí)，用LA表示，單位dB。3.2 等效聲級(jí)在某規(guī)定時(shí)間內(nèi)A聲級(jí)的能量平均值，又稱等效連續(xù)A聲級(jí)，用LA

15、eq表示，單位為dB。(1)式中：LA（t）棗t時(shí)刻的瞬時(shí)聲級(jí)；T棗規(guī)定的測(cè)量時(shí)間。當(dāng)測(cè)量是采樣測(cè)量，且采樣的時(shí)間間隔一定時(shí)，式（1）可表示為： (2)式中：LAi棗第i采樣測(cè)得的A聲級(jí) n采樣總數(shù)。3.3 晝問(wèn)等效聲級(jí)晝間A聲級(jí)的能量平均值，用Ld表示，單位dB。3.4 夜間等效聲級(jí)夜間A聲級(jí)的能量平均值，用Ln表示，單位dB。4 測(cè)量條件4.1 測(cè)量?jī)x器4.1.1 測(cè)量?jī)x器精度為2型以上的積分式聲級(jí)計(jì)及環(huán)境噪聲自動(dòng)監(jiān)測(cè)儀器，其性能符合GB 3785的要求。4.1.2 測(cè)量?jī)x器和聲校準(zhǔn)器應(yīng)按JJG 699、JJG 176及JJG 778的規(guī)定定期檢定。4.2 氣象條件測(cè)量應(yīng)在無(wú)雨、無(wú)雪的天氣

16、條件下進(jìn)行，風(fēng)速為5.5ms：以上時(shí)停止測(cè)量。測(cè)量時(shí)傳聲器加風(fēng)罩。5 測(cè)量方法5.1 測(cè)點(diǎn)選擇測(cè)量點(diǎn)選在居住或工作建筑物外，離任一建筑物的距離不小于1m。傳聲器距地面的垂直距離不小于1.2m。5.2 測(cè)量時(shí)間測(cè)量分晝間和夜間兩部分分別進(jìn)行。5.3 采樣方式儀器的時(shí)間計(jì)權(quán)特性為“快”響應(yīng)，采樣時(shí)間間隔不大于1s。5.4 不得不在室內(nèi)測(cè)量時(shí)，室內(nèi)噪聲限值低于所在區(qū)域標(biāo)準(zhǔn)值10dB。測(cè)點(diǎn)距墻面和其他主要反射面不小于1m，距地板1.21.5m，距窗戶約1.5m。開(kāi)窗狀態(tài)下測(cè)量。5.5 鐵路兩側(cè)區(qū)域環(huán)境噪聲測(cè)量，應(yīng)避開(kāi)列車通過(guò)的時(shí)段。5.6 區(qū)域環(huán)境噪聲的普查方法依照附錄A.附 錄 A城南區(qū)域環(huán)境噪聲普

17、查方法（補(bǔ)充件）A1 適用范圍本方法適用于為了解某一類區(qū)域或整個(gè)城市的總體環(huán)境噪聲水平，環(huán)境噪聲污染的時(shí)間與空間分布規(guī)律而進(jìn)行的測(cè)量。A2 網(wǎng)格測(cè)量法A2.1 網(wǎng)格的劃分方法將要普查測(cè)量的城市某一區(qū)域或整個(gè)城市劃分成多個(gè)等大的正方格，網(wǎng)格要完全覆蓋住被普查的區(qū)域或城市。每一網(wǎng)格中的工廠、道路及非建成區(qū)的面積之和不得大于網(wǎng)格面積的50，否則視為該網(wǎng)格無(wú)效。有效網(wǎng)格總數(shù)應(yīng)多于100個(gè)。A2.2 布點(diǎn)方法測(cè)點(diǎn)布在每一個(gè)網(wǎng)格的中心。若網(wǎng)格中心點(diǎn)不宜測(cè)量（如為建筑物、廠區(qū)內(nèi)等），應(yīng)將測(cè)點(diǎn)移動(dòng)到距離中心點(diǎn)最近的可測(cè)量位置上進(jìn)行測(cè)量。A2.3 測(cè)量方法分別在晝間和夜間進(jìn)行測(cè)量。在規(guī)定的測(cè)量時(shí)間內(nèi)，每次每個(gè)測(cè)

18、點(diǎn)測(cè)量10min的連續(xù)等效A聲級(jí)（LAeq）。A2.4 評(píng)價(jià)方法A2.4.1 噪聲平均水平將全部網(wǎng)格中心測(cè)點(diǎn)測(cè)得的10min的連續(xù)等效A聲級(jí)做算術(shù)平均運(yùn)算，所得到的平均值代表某一區(qū)域或全市的噪聲水平。A2.4.2 評(píng)價(jià)如所測(cè)量的區(qū)域僅執(zhí)行某一類區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)，那么該平均值可用該區(qū)域適用的區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)。A2.4.3 噪聲污染空間分布將測(cè)量到的連續(xù)等效A聲級(jí)按5dB 一檔分級(jí)（如6065，6570，7075）。用不同的顏色或陰影線表示每一檔等效A聲級(jí)，繪制在覆蓋某一區(qū)域或城市的網(wǎng)格上，用于表示區(qū)域或城市的噪聲污染分布情況。A3 定點(diǎn)測(cè)量方法A3.1 測(cè)點(diǎn)選擇在標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的城市建成區(qū)中，優(yōu)化選取一個(gè)或多個(gè)能代表某一區(qū)域或整個(gè)城市建成區(qū)環(huán)境噪聲平均水平的測(cè)點(diǎn)，進(jìn)行長(zhǎng)期噪聲定點(diǎn)監(jiān)測(cè)。A3.2 測(cè)量方法進(jìn)行24h連續(xù)監(jiān)測(cè)。測(cè)量每小時(shí)的LAeq及晝間的Ld和夜間的L