氦質(zhì)譜檢漏儀使用說(shuō)明教材

1、型號(hào)：ZQJ-542氦質(zhì)譜檢漏儀使用說(shuō)明書(shū)資產(chǎn)編號(hào)：、設(shè)備組成及工作原理1、設(shè)備組成框圖氦質(zhì)譜檢漏儀加壓罐重氟油粗檢裝置檢漏盒檢漏托盤(pán)氦氣噴搶2、設(shè)備工作原理檢漏儀內(nèi)部組成：氦質(zhì)譜檢漏儀主要由分子泵、質(zhì)譜室、組合閥體，機(jī)械泵以及控制電路板等組成。檢漏儀的工作原理：氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。ZQJ-542檢漏儀采用180度磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜室，鎢制燈絲發(fā)射出來(lái)的電子 經(jīng)過(guò)加 速進(jìn)入離化室，在離化室內(nèi)與剩余氣體分子和經(jīng)被檢件漏孔進(jìn) 入離化室的氦 氣互相碰撞使其電離成正離子， 這些離子在加速電場(chǎng)作 用下進(jìn)入磁場(chǎng)，由于 洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，由于不同質(zhì)量數(shù)m/e的

2、離子其偏轉(zhuǎn)半徑不同，這樣就將不同的離子別離開(kāi)了。由于磁場(chǎng)參數(shù)是固定的，只有調(diào)節(jié)加速壓力就可以改變氦離子的偏轉(zhuǎn)半徑，使氦離子正好通過(guò)隔離板上的窄縫打到放大器入口，這樣就使氦離子(m/e=4)與其他離子分開(kāi)了。氦離子流正比于容器中氦分壓。因此 ，對(duì)氦離子 的測(cè)量可以用來(lái)確定被檢件的漏率。二、設(shè)備工作外部條件氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場(chǎng)所，特別是儀器的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM勺通風(fēng)間距。放置好檢漏儀，以防止儀器有傾斜或傾倒的危險(xiǎn)檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵

3、中的機(jī)械泵油是否足夠，機(jī)械泵油必 須用專用的針對(duì)機(jī)械泵型號(hào)的油。三、設(shè)備工作外部條件接通操作氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏儀的機(jī)械泵有足夠的機(jī)械泵油；保證機(jī)體內(nèi)分子泵、機(jī)械泵、真高空組件各連接順暢；電源線線路沒(méi)有破損，有良好的接地。檢漏儀要放平穩(wěn)，不能傾斜，檢漏儀底面要有一層防靜電布加壓罐壓氦裝置加壓罐壓氦裝置的外部接通順序：寫(xiě)出設(shè)備外部條件的接通先后順序，操作方法，具體的參數(shù)等。1、把加壓罐、電阻真空計(jì)、真空泵、氦氣瓶按要求連接。2、檢查加壓罐的密封圈是否有損害， 加壓罐進(jìn)出閥門(mén)是否關(guān)閉不了； 真空 泵是否有足夠的泵油，氣鎮(zhèn)閥旋鈕是否處在關(guān)閉的位置； 氦氣瓶 減壓閥是否 漏氣現(xiàn)象。3、確認(rèn)所有應(yīng)該注意的事

4、項(xiàng)沒(méi)有問(wèn)題之后可以接電源通電重氟油粗檢2、在油箱中參加適量的重氟油3、插上電源線，設(shè)定重氟油的溫度進(jìn)行加熱處理，翻開(kāi)照明燈當(dāng)溫度到達(dá)要求即可用來(lái)粗檢產(chǎn)品四、詳細(xì)操作 啟動(dòng)檢漏儀1、連接電源插頭，翻開(kāi)檢漏儀開(kāi)關(guān)2、機(jī)械泵開(kāi)始啟動(dòng)。3、面板上的指示燈亮。4、液晶屏LCD 顯示如下信息：PLEASE WAITHIGH. AC PUMP:1%當(dāng)分子泵到達(dá)正常轉(zhuǎn)速100%后，LCD顯示:PLEASE WAITPLEASE WAIT00:09HIGH. AC PUMP: OKFILAMENT RAMP UP #2當(dāng)燈絲檢測(cè)、加電完畢后，系統(tǒng)進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)READ Y FOR CY CLEINLET VENT

5、:ON如果檢漏儀存放一段時(shí)間后的啟動(dòng)如果檢漏儀長(zhǎng)時(shí)間不用后，再次開(kāi)時(shí)機(jī)增加一額外的啟動(dòng)時(shí)間用來(lái)排出系統(tǒng)內(nèi)的氣體。此時(shí)屏幕顯示如下列圖所示：PLEASE WAITStorage days:Delay(mi ni:s):08:40ABORT? PRESS RESET半檢漏噴氦法檢漏方法概述根據(jù)被檢件和測(cè)量精度要求，選擇適宜的測(cè)量方法，如下列圖 4 所示種是一半檢漏噴氦法的詳細(xì)步驟：1、插上電源，翻開(kāi)檢漏儀總開(kāi)關(guān)。等待 2到3分鐘，當(dāng)聽(tīng)到一陣風(fēng) 鳴聲之 后說(shuō)明檢漏儀已完全啟動(dòng)。2、 查看檢漏儀裝置確保檢漏參數(shù)未被更改，檢漏儀運(yùn)行正常。翻開(kāi)檢漏儀盲孔，選擇適宜大小的檢漏托盤(pán)和密封橡膠板。用無(wú)塵布沾上酒

6、精擦拭下密封孔處，把檢漏托盤(pán)裝在檢漏口上，在放密封橡膠板時(shí)也要用沾上酒精的無(wú)塵布擦拭一遍；然后涂上一層高真空硅脂；最后 密圭寸橡膠板對(duì)準(zhǔn)檢漏托盤(pán)中間 的小孔緊密貼合放在檢漏托盤(pán)上。3、如圖把組件未封蓋面放在檢漏孔的正上方處，手指輕輕的按壓組件反面。在組件的四周面用沾有酒精的棉簽涂上一層，然后點(diǎn)擊檢漏 按鈕進(jìn) 行漏率檢測(cè)。等漏率值穩(wěn)定之后，拿裝好氮?dú)獾膰姌尡M可能的 靠近組建前后端子處一個(gè)個(gè)的進(jìn)行噴氣，這是漏率值都會(huì)有相應(yīng)的變化。如果在報(bào)廢點(diǎn)之 內(nèi)那么說(shuō)明密封性合格，如假設(shè)有報(bào)警聲響那么說(shuō)明該點(diǎn)密圭寸性不合格需要返修。4、組件檢完之后再按下檢漏按鈕當(dāng)待機(jī)按鈕燈亮之后即可取下組件。二全檢背壓法1、

7、由于組件在加壓罐和檢漏盒中會(huì)受到一定的壓力沖擊，因此要用一張無(wú)塵 紙包裹住組件以免碰傷和組件內(nèi)部元件受到?jīng)_擊。2、 全檢是要把產(chǎn)品先放在充滿氦氣的加壓罐中施加絕對(duì)壓力0.2Mpa 的壓力加壓4h。加壓罐裝置如下列圖所示：3、 在檢漏儀的檢漏孔處把檢漏盒裝好，把組件放入檢漏盒中蓋好蓋板。進(jìn)行 檢漏。檢漏過(guò)程中不能揭開(kāi)蓋板。4、將在檢漏儀上檢漏合格的組件，還需要經(jīng)過(guò)氟油檢漏裝置進(jìn)行進(jìn)一步的檢漏。主要原因是擔(dān)憂有些組件的漏率合格在檢漏儀抽真空時(shí)，如果產(chǎn)品有很大的漏孔，會(huì)把產(chǎn)品中泄露的氦氣也抽走，從而影響檢測(cè)的結(jié)果因此才進(jìn)行氟油粗檢。氟油粗檢的時(shí)候通過(guò)肉眼觀察氣泡的泄露情況即可最終判斷該組件的漏率是否

8、合格。5、氟油檢漏之后，帶上咼溫手套把組件從氟油中拿出來(lái)，冷卻寫(xiě)出設(shè)備的詳細(xì)操作步驟， 列出典型的工藝參數(shù)設(shè)置；如果需要 編制程序，寫(xiě)出簡(jiǎn)要的編程過(guò)程和要領(lǐng)。2、五、設(shè)備工作外部條件關(guān)斷操作一關(guān)閉檢漏儀儀器可以在任何情況關(guān)閉， 但是建議如果檢漏儀長(zhǎng)時(shí)間不用， 需要遵 循下 面的步驟進(jìn)行關(guān)閉！1、在檢漏口上堵上盲板。2、按下檢漏按鈕，使檢漏儀處于檢漏狀態(tài)。3、等到漏率到達(dá)最小可檢漏率狀態(tài)。4、確認(rèn)放氣閥處于手動(dòng)關(guān)閉。5、按下檢漏鍵停止檢漏。6、關(guān)閉檢漏開(kāi)關(guān)。二重氟油檢漏關(guān)閉照明， 加熱拔下插頭切斷電源； 當(dāng)重氟油檢漏長(zhǎng)期不用時(shí)可等油 冷卻 之后重新裝入油桶里儲(chǔ)存。三加壓罐 工作完成后關(guān)閉氦氣減壓

9、閥， 并把減壓閥兩個(gè)表中的氣體排盡。六、外部工作條件異常處理1、氣源供給缺乏時(shí)檢查氣瓶是否用完，還是有泄露情況，及時(shí)解決。2、真空泵不能正常運(yùn)行，檢查泵油其否足夠，缺乏時(shí)及時(shí)添加。七、操作平安考前須知1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí)，不能直接撤除加壓罐。必須先把加壓罐里面的 氣體排出才能翻開(kāi)。 由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以 防造成一定的傷 害因此在加壓過(guò)程中不能讓不相干的人員靠近并在 加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo) 識(shí)。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動(dòng)情況。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害。3、產(chǎn)品半檢漏時(shí)，按壓住的組件不能挪動(dòng)或者強(qiáng)行扳開(kāi)。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害。4、在進(jìn)行重氟油檢漏時(shí)，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中，而應(yīng)把油箱中的托盤(pán)拿出，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。八、日常保養(yǎng)及故障處理設(shè)備日常保養(yǎng)：1、 定期檢查機(jī)械泵的油