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文檔簡介
1、無損檢測技術及其應用無損檢測技術及其應用主講:張廣遠2017.10主要內容1、無損檢測概述 無損檢測的定義 無損檢測的目的和任務 無損檢測技術的分類 無損檢測技術的技術現(xiàn)狀及其發(fā)展 無損檢測無損檢測NDT (Non-destructive testing) 利用聲、光、磁和電等特性,在不損害或不影響被檢對象在不損害或不影響被檢對象使用性能的前提下使用性能的前提下,檢測被檢對象中是否存在缺陷或結構異常,最終了解和評價被檢測對象的性質、狀態(tài)、質量或內部了解和評價被檢測對象的性質、狀態(tài)、質量或內部結構的技術。結構的技術。1、無損檢測概述無損檢測的目的和任務 1確保工件、設備或結構的質量,保障安全 用
2、無損檢測來保證產品質量,使之在規(guī)定的使用條件下,在預期的使用壽命內,產品的部分或整體都不會發(fā)生破損,從而防止安全事故。這就是無損檢測最重要的目的之一。 2改進生產工藝 無損檢測不僅要把被測件中的缺陷檢測出來,而且應該幫助其改進制造工藝。 3降低生產成本 通過無損檢測可以達到降低制造成本的目的。例如,焊接某容器,不是把整個容器焊完后才無損檢測,而是在焊接完工前的中間工序先進行無損檢測,提前發(fā)現(xiàn)不合格的缺陷,及時進行修補。這樣就可以避免在容器焊完后,由于出現(xiàn)缺陷而整個容器不合格,從而節(jié)約了原材料和工時費,達到降低制造成本的目的。51、無損檢測概述1、無損檢測概述(一)檢測范圍 1組合件的內部結構或
3、內部組成情況的檢查組合件的內部結構或內部組成情況的檢查 2材料、構件和結構缺陷的檢查材料、構件和結構缺陷的檢查 (1)質量評定 (2)壽命評定 3材料、設備和結構的計量檢測材料、設備和結構的計量檢測 通過定量的測定材料、設備和結構的變形量或腐蝕量來確定能不能繼續(xù)使用。 4材質的無損檢測材質的無損檢測 無損檢測可以用來驗證材料品種是否正確,是否按規(guī)定進行處理。 5表面處理層的厚度測定表面處理層的厚度測定 確定各種表面層的深度和厚度。 6應變測試應變測試1、無損檢測概述(二二)應用特點應用特點1無損檢測要與破壞性檢測相配合無損檢測要與破壞性檢測相配合2正確選用實施無損檢測的時間正確選用實施無損檢測
4、的時間3正確選用最適當?shù)臒o損檢測方法正確選用最適當?shù)臒o損檢測方法4綜合應用各種無損檢測方法綜合應用各種無損檢測方法1、無損檢測概述(二二)應用特點應用特點1無損檢測要與破壞性檢測相配合無損檢測要與破壞性檢測相配合2正確選用實施無損檢測的時間正確選用實施無損檢測的時間3正確選用最適當?shù)臒o損檢測方法正確選用最適當?shù)臒o損檢測方法4綜合應用各種無損檢測方法綜合應用各種無損檢測方法無損檢測方法分類無損檢測方法分類 檢測原理無損檢測l聲學方法檢測l電學方法檢測l射線檢測 l磁學方法檢測l微波和介電方法檢測l光學方法檢測l熱學方法檢測l滲透檢測 1、無損檢測概述1、無損檢測概述工程應用中,五大常規(guī)無損檢測常
5、規(guī)無損檢測技術:渦流檢測(Eddy current Testing ,ET)磁粉檢測(Magnetic particle Testing,MT)滲透檢驗(Penetrate Testing ,PT)超聲檢測( Ultrasonic Testing,UT)射線檢測( Radiographic Testing,RT)內部缺陷檢測表面開口缺陷檢測表面缺陷檢檢測近表面缺陷檢測1、無損檢測概述非常規(guī)無損檢測技術有:聲發(fā)射 Acoustic Emission(縮寫 AE);泄漏檢測 Leak Testing(縮寫 LT); 衍射波時差法超聲檢測技術Time of Flight Diffraction (縮
6、寫 ToFD); 導波檢測Guided Wave Testing; 光全息照相Optical Holography; 紅外熱成象Infrared Thermography; 微波檢測 Microwave Testing 121314 無損檢測技術現(xiàn)狀及發(fā)展無損檢測技術現(xiàn)狀及發(fā)展 21世紀以來,伴隨著科學技術特別是計算機技術、數(shù)字化與圖像識別技術、人工神經網絡技術和機電一體化技術的大發(fā)展,無損檢測技術獲得了迅速發(fā)展。在航空航天、核技術、武器系統(tǒng)、電站設備、鐵道與造船、石油與化工、建筑、冶金、機械制造等領域中都有廣泛應用。 目前,我國擁有17萬無損檢測人員和2000多家無損檢測機構,在國民經濟建設
7、與設備安全監(jiān)測中發(fā)揮著重要作用。1、無損檢測概述自動自動無損檢測和定量定量無損檢測微觀微觀缺陷檢測缺陷檢測、在線檢測、在役檢測、在線檢測、在役檢測新原理、新方法、新技術的探索研究新原理、新方法、新技術的探索研究1、無損檢測概述2、常規(guī)無損檢測技術及其應用射線檢測(探傷)有X射線、射線和中子射線等檢測方法。它是利用各種射線源對材料的透射性能及不同材料的射線的衰減程度的不同,使底片感光成黑度不同的圖像來觀察的。射線檢測用來檢測產品的氣孔、夾渣、鑄造孔洞等。當裂紋方向與射線平行時就能被檢查出來 182、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.1 射線檢測 利用射線通過物質時的衰減規(guī)律,即當射線通過物質時,由于射
8、線與物質的相互作用發(fā)生吸收和散射而衰減。其衰減程度,則根據(jù)其被通過部位的材質、厚度和存在缺陷的性質不同而異。 192、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.1 射線檢測 射線檢測的優(yōu)點是檢測結果可作為檔案資料長期保存,檢測圖像較直觀,對缺陷尺寸和性質判斷比較容易。 射線檢測的缺點是當裂紋面與射線近于垂直時就很難檢查出來,對工件中平面型缺陷(裂紋未熔合等缺陷)也具有一定的檢測靈敏度,但與其它常用的無損檢測技術相比,對微小裂紋的檢測靈敏度較低,并且生產成本高于其它無損檢測技術,其檢驗周期也較其它無損檢測技術長,并且射線對人體有害,需要有防護設備。202、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.1 射線檢測 照相法 電離
9、檢測法 熒光屏直接觀察法 工業(yè)射線CT技術212、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.1 射線檢測照相法22電離檢測法23熒光屏直接觀測法24工業(yè)射線CT技術 CT技術是斷層照相技術,又稱計算機層析照相技術,它根據(jù)物體橫斷面的一組投影數(shù)據(jù),經過計算機處理后,得到物體橫斷面的圖像。所以,它是一種由數(shù)據(jù)到圖像的重建技術。 射線照相一般僅能提供定性信息,不能實用于測定結構尺寸、缺陷方向和大小。它還存在三維物體二維成像、前后缺陷重疊的缺點。射線CT技術提出了全新的影像形成概念,它比射線照相法能更快、更精確地檢測出材料和構件內部的細微變化,消除了照相法可能導致的檢查失真和圖像重疊,并且大大提高了空間分辨力和密度
10、分辨力。 25射線CT裝置26射線CT的工業(yè)應用航空航天工業(yè) 核工業(yè) 鋼鐵工業(yè) 機械工業(yè):常用于檢測和評價鑄件和焊接結構的質量 陶瓷工業(yè) 電子工業(yè) 27射線CT的工業(yè)應用28射線CT的工業(yè)應用29 液體滲透檢測的基本原理利用黃綠色的熒光滲透液或紅色的著色滲透液對窄狹縫隙良好的滲透性,經過滲透清洗、顯示處理以后顯示放大了的探傷顯示痕跡,用目視法來觀察,對缺陷的性質和尺寸做出適當?shù)脑u價。是種檢查工件或材料表面缺陷的種方法,它不受材料磁性的限制,比磁粉探傷的應用范圍更加廣泛。 302、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.2 液體滲透檢測 液體滲透檢測應用于各種金屬、非金屬、磁性、非磁性材料及零件的表面缺陷的
11、檢查??梢哉f,除表面多孔性材料以外,幾乎一切材料的表面開口缺陷都可以應用此方法獲得滿意的檢測結果。 312、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.2 液體滲透檢測優(yōu)點優(yōu)點應用廣泛,原理簡明易懂,檢查經濟,設備簡單,顯示缺陷直觀,并可以同時顯示各個不同方向的各類缺陷。對大型工件和不規(guī)則零件的檢查以及現(xiàn)場機件的搶修檢查,更能顯示其特殊的優(yōu)點。但滲透探傷對埋藏于表皮層以下的缺陷是無能為力的。缺點它只能檢查開口暴露于表面的缺陷,另外還有操作工序繁雜等。 322、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.2 液體滲透檢測 步驟將被探工件浸涂具有高度滲透能力的滲透液,由于液體的潤濕作用和毛細現(xiàn)象,滲透液便滲入工件表面缺陷中將工件
12、缺陷以外的多余滲透液清洗干凈涂一層親和吸附力很強的白色顯像劑,將滲入裂縫中的滲透液吸出來在白色涂層上顯示出缺陷的形狀和位置的鮮明圖案,從而達到了無損檢疵的目的。 332、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.2 液體滲透檢測342、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.2 液體滲透檢測 分類熒光滲透探傷著色滲透探傷 352、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.2 液體滲透檢測 磁粉檢測的基本原理如下:當材料或工件被磁化后,若在工件表面或近表面存在裂紋、冷隔等缺陷,便會在該處形成一漏磁場。此漏磁場將吸引、聚集檢測過程中施加的磁粉,而形成缺陷顯示。 因此,磁粉檢測首先是對被檢工件加外磁場進行磁化. 外加磁場的獲得一般有兩種方
13、法:一種是由可以產生大電流(幾百安培至上萬安培)的磁力探傷機直接給被檢工件通大電流而產生磁場;另一種是把被檢工件放在螺旋管線圈產生的磁場中,或是放在電磁鐵產生的磁場中使工件磁化。工件被磁化后,在工件表面上均勻噴灑微顆粒的磁粉(磁粉平均粒度為510m),一般用四氧化三鐵或三氧化二鐵作為磁粉。 362、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.3 磁粉檢測 如果被檢工件沒有缺陷,則磁粉在工件表面均勻分布。當工件上有缺陷時,由于缺陷(如裂紋、氣孔、非金屬夾雜物等)內含有空氣或非金屬,其磁導率遠遠小于工件的磁導率;由于磁阻的變化,位于工件表面或近表面的缺陷處產生漏磁場,形成一個小磁極。 磁粉將被小磁極所吸引,缺陷處
14、由于堆積比較多的磁粉而被顯示出來,形成肉眼可以看到的缺陷圖像。 為了使磁粉圖像便于觀察,可以采用與被檢工件表面有較大反襯顏色的磁粉。常用的磁粉有黑色、紅色和白色。為了提高檢測靈敏度,還可以采用熒光磁粉,在紫外線照射下使之更容易觀察到工件中缺陷的存在。 372、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.3 磁粉檢測382、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.3 磁粉檢測磁粉檢測原理 用于檢測鐵磁性材料和工件(包括鐵、鎳、鉆等)表面上或近表面的裂紋以及其它缺陷。 對表面缺陷最靈敏,對表面以下的缺陷隨埋藏深度的增加檢測靈敏度迅速下降。 采用磁粉檢測方法檢測磁性材料的表面缺陷,比采用超聲波或射線檢測的靈敏度高,而且操作簡便
15、、結果可靠、價格便宜。因此它被廣泛用于磁性材料表面和近表面缺陷的檢測。 對于非磁性材料如有色金屬、奧氏體不銹鋼、非金屬材料等不能采用磁粉檢測方法。但當鐵磁性材料上的非磁性涂層厚度不超過50m時,對磁粉檢測的靈敏度影響很小。392、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.3 磁粉檢測磁粉檢測應用磁粉檢測方法 濕法磁懸液應采用軟管澆淋或浸漬法施加于試件,使整個被檢表面被完全覆蓋。采用連續(xù)法時,磁化電流應在施加磁懸液之前或從磁懸液中取出之前接通(如果檢測采用浸漬法),并保持1/51/2 s,直至試件被磁懸液覆蓋,磁懸液覆蓋膜足以產生良好的磁痕。采用剩磁法時,試件應通過施加電流至少1/5s的方法來磁化。此后,切斷
16、磁化電流,采用軟管澆淋或浸漬法施加磁懸液。對于浸漬法,試件應仔細地從磁懸液中取出,以免沖掉磁痕。對于剩磁熒光磁粉檢驗法,如覺得有必要保證缺陷的磁痕有效,則試件可放在用于制備磁懸液的載液中仔細清洗。 402、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.3 磁粉檢測 干法磁粉應直接噴撒在被檢區(qū)域,并除去過量的磁粉。輕輕地振動試件,使其獲得較為均勻的磁粉分布。應注意避免使用過量的磁粉,不然會影響缺陷的有效顯示。對于連續(xù)法,磁化電流應恰好在施加磁粉前接通,并應在其后的吹風、輕敲或振動中,保持接通。對于剩磁法,試件應先磁化,在切斷磁化電流之后,再按上述方法施加磁粉。 412、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.3 磁粉檢測磁粉
17、檢測方法 檢測近表面缺陷(如軋鋼制品和鍛件中的非金屬夾雜)時,應采用濕粉連續(xù)法,因為非金屬夾雜物引起的漏磁通值最小; 檢測大型鑄件或焊接件中近表面的缺陷時,可采用干粉連續(xù)法。 42磁粉檢測方法2、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.3 磁粉檢測磁粉探傷過程 預清洗 缺陷估計:使磁力線在切實可行的范圍內橫穿過可能存在于試件內的任何缺陷。 選擇探傷方法 進行周向和縱向磁化 對偽磁痕進行分析判斷 退磁 后清洗 標記:酸蝕法 、印記 、著色 等。 記錄432、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.3 磁粉檢測44磁粉噴射2、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.3 磁粉檢測 超聲波是超聲振動在介質中的傳播,它的實質是以波動形式在
18、彈性介質中傳播的機械振動,其頻率高于20 kHz以上。 超聲波被用于無損檢測,主要是因為有以下幾個特性:超聲波在介質中傳播時,遇到界面會發(fā)生反射;超聲波指向性好,頻率愈高,指向性愈好;超聲波傳播能量大,對各種材料的穿透力較強。 近年來的研究表明,超聲波的聲速、衰減、阻抗和散射等特性,為超聲波的應用提供了豐富的信息,并且成為超聲波廣泛應用的條件。 452、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測超聲波檢測的原理和類型 超聲波探傷主要是通過測量信號往返于缺陷的渡越時間,來確定缺陷和表面間的距離;測量回波信號的幅度和發(fā)射換能器的位置,來確定缺陷的大小和方位。這就是通常所說的脈沖反射法或A掃描法。此
19、外,還有B掃描和C掃描等方法。 B掃描可以顯示工件內部缺陷的縱截面圖形。 C掃描可以顯示工件內部缺陷的橫剖面圖形。 近年來,超聲全息成像技術也在工業(yè)無損檢測中獲得了應用。 462、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測超聲波檢測的工作頻率 超聲波檢測常用的工作頻率為0.45 MHz,較低頻率用于粗晶材料和衰減較大材料的檢測,較高頻率用于細晶材料和高靈敏度檢測。對于某些特殊要求的檢測,工作頻率可達1050 MHz。近年來隨著寬頻窄脈沖技術的研究和應用,超聲探頭的工作頻率,有的已高達100 MHz。 472、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測超聲波檢測的優(yōu)缺點 適應性強、檢測靈敏度高、
20、對人體無害、使用靈活、設備輕巧、成本低廉、可即時得到探傷結果,適合在車間、野外和水下等各種環(huán)境下工作,并能對正在運行的裝置和設備進行檢驗。 超聲波檢測的最大優(yōu)點就是對裂紋、夾層、折疊、未焊透等類型的缺陷具有很高的檢測能力。482、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測 超聲波檢測通常要求工件形狀比較簡單,有規(guī)則,表面比較光潔。 超聲波探傷的記錄性差,且難以識別缺陷的種類。 對于表面缺陷的檢測,超聲波法比磁粉法和滲透法的靈敏度要低;但是,超聲波法可以檢測表面裂紋的深度。 超聲波在材料中傳播時,受金屬組織特別是晶粒大小的影響很大。492、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測超聲波檢測的優(yōu)
21、缺點超聲波檢測的應用 超聲波檢測是工業(yè)無損檢測中應用最為廣泛的一種方法。 超聲波法適用于鋼鐵、有色金屬和非金屬。各種機械零件、結構件、電站設備、船體、鍋爐、壓力容器和化工容器、非金屬材料等,都可以用超聲波進行有效的檢測。有的采用手動方式,有的可采用自動化方式。 就物理性能檢測而言,用超聲波法可以無損檢測厚度、材料硬度、淬硬層深度、晶粒度、液位和流量、殘余應力和膠接強度等。 502、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測超聲波檢測方法 接觸法:就是探頭與工件表面之間經一層薄的耦合劑直接接觸進行探傷的方法。耦合劑主要起傳遞超聲波能量作用。 液浸法:就是將探頭與工件全部浸入液體,或探頭與工件之間
22、局部充以液體進行探傷的方法。液體一般用水,故又稱水浸法。探頭不直接與工件接觸,因而易于實現(xiàn)自動化檢測,也適用于檢測表面粗糙的工件。 512、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測5253 縱波脈沖反射法:超聲波以一定的速度向工件內傳播,一部分聲波遇到缺陷時反射回來;另一部分聲波繼續(xù)傳至工件底面后也反射回來。發(fā)射波、缺陷波和底波經過放大后在熒光屏上顯示。由發(fā)射波、缺陷波和底波在時間基線上的位置,即可求出缺陷的部位。 54超聲波檢測方法2、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測55 橫波探傷法:是聲波以一定角度入射到工件中產生波型轉換,利用橫波進行探傷的方法。橫波入射工件后,當所遇缺陷與聲
23、束垂直或夾角較大時,聲波發(fā)生反射,在熒光屏上出現(xiàn)缺陷波。 56超聲波檢測方法2、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測57 表面波探傷法:是表面波沿著工件表面?zhèn)鞑z測表面缺陷的方法。表面波的能量隨著表面下深度增加而顯著降低,在大于一個波長的深度處,表面波的能量很小,已無法進行檢測。表面波沿著工件表面?zhèn)鞑ミ^程中,遇到裂紋、表面劃痕或棱角等均會發(fā)生反射。在反射的同時,部分表面波仍繼續(xù)向前傳播。用表面波法可以對工件上開口于表面的裂紋深度進行測量。 58超聲波檢測方法2、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測59超聲波檢測方法的應用 屏蔽鑄鐵超聲波檢測 鋼殼和模具的超聲波檢測 小型壓力容器殼體
24、超聲波檢測 復合材料檢測 各類結構件的超聲波檢測 非金屬材料探傷602、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.4 超聲波檢測 能導電的試件,在周圍交變磁場的作用下,在導電試件中感應出旋渦狀的電流,簡稱渦流。 只要能影響導電試件中渦流的流動和分布的各種因素,從原理上講都有可能用渦流法來進行檢測,因而,渦流檢測的實質是檢測由各種因素引起的試件導電情況的變化。 612、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.5 渦流檢測渦流檢測原理622、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.5 渦流檢測 對于相同的試件,化學成分、電導率等都是固定的,因而在一般情況下,渦流按小圓環(huán)流動;但如果在渦流流動的路徑上有一條裂紋或一個凹坑等缺陷,渦流的流
25、動就會受到影響,渦流在缺陷附近將發(fā)生畸變(見圖),這畸變的渦流將產生畸變的渦流磁場,而被檢測線圈接收到,所以可用渦流來檢測試件中的缺陷。 63渦流檢測原理2、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.5 渦流檢測 渦流檢測只適用于導電材料 渦流檢測特別適用于導電材料的表面和亞表面檢測 為了區(qū)分開各種因素對渦流的影響,在渦流檢測中應特別重視信號處理問題 渦流檢測不需要耦合劑 渦流檢測速度極快,易于實現(xiàn)自動化 渦流檢測可用于高溫檢測 渦流檢測可用于異形材和小零件的檢測 64渦流檢測的特點2、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.5 渦流檢測 試件一定要能導電,非導電體就無法用渦流進行檢測。 檢測線圈和檢測儀器。 檢測線圈
26、和試件的間距。 機械傳動裝置性能 。 標準樣塊。 65渦流檢測的要素2、常規(guī)無損檢測技術及其應用2.5 渦流檢測 激光全息無損檢測 聲振檢測法 微波無損檢測 聲發(fā)射檢測 663、無損檢測新技術3.1激光全息無損檢測 激光全息檢測是利用激光全息照相來檢測物體表面和內部缺陷的。 激光全息照相,是將物體表面和內部的缺陷,通過外界加載的方法,使其在相應的物體表面造成局部的變形,用全息照相來觀察和比較這種變形,并記錄下不同外界載荷作用下的物體表面的變形情況,進行觀察和分析,然后判斷物體內部是否存在缺陷。 673、無損檢測新技術由于激光全息檢測是一種干涉計量技術,其干涉計量的精度與波長同數(shù)量級。因此,極微
27、小的變形都能檢驗出來,檢測的靈敏度高。 可以檢驗大尺寸物體,只要是激光能夠充分照射到的物體表面,都能一次檢驗完畢。激光全息檢測對被檢對象沒有特殊要求,可以對任何材料、任意粗糙的表面進行檢測。 可借助于干涉條紋的數(shù)量和分布狀態(tài)來確定缺陷的大小、部位和深度,便于對缺陷進行定量分析。非接觸檢測、直觀、檢測結果便于保存。激光全息檢測目前多在暗室中進行,并需要采用嚴格的隔振措施,因此不利于現(xiàn)場檢測。 68 激光全息無損檢測的特點3、無損檢測新技術 蜂窩結構檢測 ,例飛機機翼;采用全息照相方法檢測蜂窩夾層結構,具有良好的重復性、再現(xiàn)性和靈敏度。 復合材料檢測 膠接結構檢測 藥柱質量檢測 印制電路板焊點檢測
28、 壓力容器檢測 69激光全息無損檢測的應用3、無損檢測新技術激光全息無損檢測的應用70 聲振檢測是激勵被測件產生機械振動,通過測量被測件振動的特征來判定其質量的一種無損檢測技術。 713.2 聲振檢測3、無損檢測新技術 蜂窩結構檢測 :如火箭和衛(wèi)星的玻璃鋼蜂窩整流罩、鋁蜂窩儀器艙等。由于蜂窩結構件成型工藝復雜,脫粘缺陷是不可避免的。檢測時,探頭激發(fā)產生的聲波進入被測試件,并使被測點基材振動,接收部分將根據(jù)接收信號相位和幅度的差別,即結構所承受諧振力后產生的機械阻抗變化來判斷被測件的質量。 72聲振檢測的應用3、無損檢測新技術聲振檢測的應用 復合材料檢測 膠接強度檢測 73 微波檢測是通過研究微波反射、透射、衍射、干涉、腔體微
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