現(xiàn)代測(cè)試技術(shù)(4)

1、本章學(xué)習(xí)要求：本章學(xué)習(xí)要求：1.1.了解傳感器的分類了解傳感器的分類 2.2.掌握常用傳感器測(cè)量原理掌握常用傳感器測(cè)量原理3.3.了解傳感器測(cè)量電路了解傳感器測(cè)量電路3-3-1 1 傳感器概述傳感器概述一、傳感器定義一、傳感器定義 傳感器是借助檢測(cè)元件將一種形式的信息轉(zhuǎn)換成傳感器是借助檢測(cè)元件將一種形式的信息轉(zhuǎn)換成另一種信息的裝置。另一種信息的裝置。 目前，傳感器轉(zhuǎn)換后的信號(hào)大多為電信號(hào)。因而目前，傳感器轉(zhuǎn)換后的信號(hào)大多為電信號(hào)。因而從狹義上講，傳感器是把外界輸入的非電信號(hào)轉(zhuǎn)換成從狹義上講，傳感器是把外界輸入的非電信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的裝置。電信號(hào)的裝置。物理量物理量電量電量二、傳感器的組成二、傳

2、感器的組成 傳感器由敏感器件與輔助器件組成。敏感器件是傳感器由敏感器件與輔助器件組成。敏感器件是傳感器的核心，其作用是感受被測(cè)物理量，并對(duì)信號(hào)傳感器的核心，其作用是感受被測(cè)物理量，并對(duì)信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換輸出。輔助器件則是對(duì)敏感器件輸出的電信進(jìn)行轉(zhuǎn)換輸出。輔助器件則是對(duì)敏感器件輸出的電信號(hào)進(jìn)行放大、阻抗匹配，以便于后續(xù)儀表接入。號(hào)進(jìn)行放大、阻抗匹配，以便于后續(xù)儀表接入。 V敏感敏感元件元件輔助電路輔助電路轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換元件元件信號(hào)調(diào)節(jié)信號(hào)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換電路敏感元件敏感元件敏感敏感元件元件轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換元件元件敏感元件：傳感器中能直接感受或響應(yīng)被測(cè)量敏感元件：傳感器中能直接感受或響應(yīng)被測(cè)量 的部分的部分 轉(zhuǎn)換元件

3、：傳感器中能將敏感元件感受或響應(yīng)轉(zhuǎn)換元件：傳感器中能將敏感元件感受或響應(yīng) 的被測(cè)量轉(zhuǎn)換成適合于傳輸或測(cè)量的被測(cè)量轉(zhuǎn)換成適合于傳輸或測(cè)量 的電信號(hào)部分。的電信號(hào)部分。 信號(hào)調(diào)理：傳感器輸出信號(hào)一般都很微弱，因信號(hào)調(diào)理：傳感器輸出信號(hào)一般都很微弱，因 此傳感器輸出的信號(hào)一般需要進(jìn)行此傳感器輸出的信號(hào)一般需要進(jìn)行 信號(hào)調(diào)理與轉(zhuǎn)換、放大、運(yùn)算與調(diào)信號(hào)調(diào)理與轉(zhuǎn)換、放大、運(yùn)算與調(diào) 制之后才能進(jìn)行顯示和參與控制。制之后才能進(jìn)行顯示和參與控制。 三、傳感器的分類三、傳感器的分類 1.1.按被測(cè)物理量分類按被測(cè)物理量分類 常見的被測(cè)物理量有：常見的被測(cè)物理量有：機(jī)械量機(jī)械量: :長度、厚度、位移、速度、加速度、

4、長度、厚度、位移、速度、加速度、 旋轉(zhuǎn)角、轉(zhuǎn)數(shù)、質(zhì)量、重量、力、旋轉(zhuǎn)角、轉(zhuǎn)數(shù)、質(zhì)量、重量、力、 壓力、真空度、力矩、風(fēng)速、流速、壓力、真空度、力矩、風(fēng)速、流速、 流量。流量。聲聲: : 聲壓、噪聲。聲壓、噪聲。磁磁: : 磁通、磁場。磁通、磁場。溫度溫度: : 溫度、熱量、比熱。溫度、熱量、比熱。光：光： 亮度、色彩。亮度、色彩。 機(jī)械式、電氣式、光學(xué)式、流體式等。機(jī)械式、電氣式、光學(xué)式、流體式等。 2. 2.按工作的物理基礎(chǔ)分類按工作的物理基礎(chǔ)分類切削測(cè)力儀切削測(cè)力儀動(dòng)圈式磁電傳感器動(dòng)圈式磁電傳感器線速度型線速度型 3.3.按按敏感元件與被測(cè)對(duì)象之間的能量關(guān)系敏感元件與被測(cè)對(duì)象之間的能量關(guān)系

5、分類分類（2 2）能量控制型）能量控制型: :從外部供給能量并由被測(cè)量控制外從外部供給能量并由被測(cè)量控制外 部供給能量的變化。例如部供給能量的變化。例如: :電阻應(yīng)變片。電阻應(yīng)變片。（1 1）能量轉(zhuǎn)換型）能量轉(zhuǎn)換型: :直接由被測(cè)對(duì)象輸入能量使其工作。直接由被測(cè)對(duì)象輸入能量使其工作。 例如例如: :熱電偶溫度計(jì)、壓電式加速度計(jì)。熱電偶溫度計(jì)、壓電式加速度計(jì)。動(dòng)圈式磁電傳感器動(dòng)圈式磁電傳感器線速度型線速度型聲波聲波膜片膜片極板極板空腔空腔RE 4.4.按信號(hào)變換特征分類按信號(hào)變換特征分類（1 1）物性型：依靠敏感元件材料本身物理性質(zhì)的變化）物性型：依靠敏感元件材料本身物理性質(zhì)的變化 來實(shí)現(xiàn)信號(hào)變

6、換。如：水銀溫度計(jì)。來實(shí)現(xiàn)信號(hào)變換。如：水銀溫度計(jì)。（2 2）結(jié)構(gòu)型：依靠傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化實(shí)現(xiàn)信號(hào)轉(zhuǎn)）結(jié)構(gòu)型：依靠傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化實(shí)現(xiàn)信號(hào)轉(zhuǎn) 換。例如換。例如: :電容式和電感式傳感器。電容式和電感式傳感器。聲波聲波膜片膜片極板極板空腔空腔RE3-3-2 2 電阻式傳感器電阻式傳感器 電阻式傳感器是把被測(cè)量轉(zhuǎn)換為電阻變化的一電阻式傳感器是把被測(cè)量轉(zhuǎn)換為電阻變化的一種傳感器，按工作的原理可分為：電位計(jì)式、電阻種傳感器，按工作的原理可分為：電位計(jì)式、電阻應(yīng)變式、熱敏式、光敏式、電敏式應(yīng)變式、熱敏式、光敏式、電敏式。一、電位計(jì)式傳感器一、電位計(jì)式傳感器直線位移型直線位移型電位計(jì)式傳感器電位計(jì)

7、式傳感器ABC角位移型角位移型電位計(jì)式傳感器電位計(jì)式傳感器ABCLx電電 刷刷L電位計(jì)總長電位計(jì)總長x電刷移動(dòng)量電刷移動(dòng)量()R()xRR總電阻總電阻xR電刷電阻電刷電阻()LR( )xxR0uyuxRRxL 對(duì)于直線位移型，對(duì)于直線位移型，當(dāng)無負(fù)載電阻時(shí)當(dāng)無負(fù)載電阻時(shí) 1.1.等效電路分析等效電路分析（3-1）ABC0yuuxL 傳感器的輸出電壓為傳感器的輸出電壓為其電壓靈敏度為其電壓靈敏度為0ddyuuuSxL 因此，無負(fù)載時(shí)，電位計(jì)式傳感器的輸入與輸出因此，無負(fù)載時(shí)，電位計(jì)式傳感器的輸入與輸出成線性關(guān)系。成線性關(guān)系。 因而，在實(shí)際中電位計(jì)式傳感器一般采用電阻分因而，在實(shí)際中電位計(jì)式傳感器

8、一般采用電阻分壓時(shí)，在輸出端需要接負(fù)載電阻壓時(shí)，在輸出端需要接負(fù)載電阻 ，如下圖所示。，如下圖所示。LR 傳感器的電阻靈敏度為傳感器的電阻靈敏度為ddxRRRSxL（3-2）（3-3）（3-4） 當(dāng)當(dāng) 時(shí)，時(shí)， ，此時(shí)存在非線性，此時(shí)存在非線性誤差誤差 。RxR0uyuLR1oyLuuLRxxRL LRR0yyuuxuLL（3-5） 當(dāng)當(dāng) 和和 時(shí)，時(shí)， ，說明在起點(diǎn)和終點(diǎn)，說明在起點(diǎn)和終點(diǎn)位置非線性誤差為零。位置非線性誤差為零。0r 1r 0L 因此，應(yīng)該避免電刷在骨架中央附近工作，在實(shí)因此，應(yīng)該避免電刷在骨架中央附近工作，在實(shí)際中，電刷一般在離起點(diǎn)或終點(diǎn)三分之一處工作。際中，電刷一般在離起

9、點(diǎn)或終點(diǎn)三分之一處工作。 由由0Lr0.5r 得到得到11100%1(1)yyLyuuumrr 式中，式中， ， ，因此，因此， 是是 的函數(shù)。的函數(shù)。Lrx LLmR Rr（3-6） 2.2.電位計(jì)式傳感器的性能參數(shù)電位計(jì)式傳感器的性能參數(shù) 1)1)非線性度非線性度( (或曲線的一致性或曲線的一致性); ); 2) 2)分辨率（受導(dǎo)線直徑的限制）分辨率（受導(dǎo)線直徑的限制）; ; 3) 3)整個(gè)電阻值的偏差整個(gè)電阻值的偏差; ; 4) 4)移動(dòng)或旋轉(zhuǎn)角度范圍移動(dòng)或旋轉(zhuǎn)角度范圍; ; 5) 5)電阻溫度系數(shù)電阻溫度系數(shù); ; 6) 6)壽命。壽命。直線滑動(dòng)式電位計(jì)直線滑動(dòng)式電位計(jì)角度傳感器角度傳

10、感器彈性繩盤彈性繩盤電位計(jì)式位移傳感器電位計(jì)式位移傳感器 3.3.電位計(jì)式傳感器產(chǎn)品電位計(jì)式傳感器產(chǎn)品 4.4.應(yīng)用應(yīng)用案例：案例：重量的自動(dòng)檢測(cè)配料設(shè)備重量的自動(dòng)檢測(cè)配料設(shè)備 比較比較原材料原材料重量設(shè)定重量設(shè)定原理：彈簧原理：彈簧 力力 位移位移 電位器電位器 電阻電阻 案例：案例：煤氣包儲(chǔ)量檢測(cè)煤氣包儲(chǔ)量檢測(cè)煤氣包煤氣包鋼絲鋼絲彈性繩盤彈性繩盤原理：鋼絲原理：鋼絲 收線圈數(shù)收線圈數(shù) 電位器電位器 電阻電阻 案例：案例：玩具機(jī)器人玩具機(jī)器人原理：電機(jī)原理：電機(jī) 轉(zhuǎn)角轉(zhuǎn)角 電位器電位器 電阻電阻應(yīng)變片式加速度傳感器應(yīng)變片式加速度傳感器二、應(yīng)變式傳感器二、應(yīng)變式傳感器應(yīng)變片應(yīng)變片 電阻應(yīng)變片工

11、作原理是基于金屬導(dǎo)體的應(yīng)變效應(yīng)，電阻應(yīng)變片工作原理是基于金屬導(dǎo)體的應(yīng)變效應(yīng)，即金屬導(dǎo)體在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)，其電阻值即金屬導(dǎo)體在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)，其電阻值隨著所受機(jī)械變形隨著所受機(jī)械變形( (伸長或縮短伸長或縮短) )的變化而發(fā)生變化的的變化而發(fā)生變化的現(xiàn)象?，F(xiàn)象。 應(yīng)變片應(yīng)變片應(yīng)變片應(yīng)變片 1.1.工作原理工作原理FFrllll r2Ar 金屬應(yīng)變片的電阻為金屬應(yīng)變片的電阻為lRA 上述任何一個(gè)參數(shù)變換均會(huì)引起電阻變化，求導(dǎo)數(shù)上述任何一個(gè)參數(shù)變換均會(huì)引起電阻變化，求導(dǎo)數(shù)2ddddllRlAAAA由于由于2Ard2dArr（3-7）lRA代入代入 ，得到，得到ddddlARRRR

12、lAddddRlARlA（3-8）因此因此dd2ddRlrRlr（3-9）所以所以dd2RR（3-10） 同時(shí)還有同時(shí)還有ddrlrl （ 為泊松比）為泊松比） 對(duì)于金屬材料，由于應(yīng)變而引起電阻率的變化很對(duì)于金屬材料，由于應(yīng)變而引起電阻率的變化很小，可以忽略不計(jì)，因此有小，可以忽略不計(jì)，因此有（1 1）金屬電阻應(yīng)變片金屬電阻應(yīng)變片d2RR（3-11）其靈敏度為其靈敏度為d12RSR（3-12）（2 2）半導(dǎo)體應(yīng)變片半導(dǎo)體應(yīng)變片 對(duì)于半導(dǎo)體材料，由于壓力的作用而引起電阻率對(duì)于半導(dǎo)體材料，由于壓力的作用而引起電阻率發(fā)生很大的變化，而此時(shí)由于幾何變形而引起的電阻發(fā)生很大的變化，而此時(shí)由于幾何變形而引

13、起的電阻變化相對(duì)較小，可以忽略不計(jì)，因此有變化相對(duì)較小，可以忽略不計(jì)，因此有ddRER （3-13）式中，式中， 為彈性模量；為彈性模量； 為壓阻系數(shù)。為壓阻系數(shù)。E其靈敏度為其靈敏度為dRSER（3-14） 半導(dǎo)體應(yīng)變片的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度大、體積小半導(dǎo)體應(yīng)變片的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度大、體積小; ;而缺而缺點(diǎn)是溫度穩(wěn)定性和可重復(fù)性不如金屬應(yīng)變片。點(diǎn)是溫度穩(wěn)定性和可重復(fù)性不如金屬應(yīng)變片。 金屬電阻應(yīng)變片主要由敏感柵、基底、覆蓋層和金屬電阻應(yīng)變片主要由敏感柵、基底、覆蓋層和引線組成。引線組成。1敏感元件敏感元件 2、4基底基底 3引線引線 2.2.結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu) 3.3.主要參數(shù)主要參數(shù)（4 4）其它表示應(yīng)變計(jì)性能

14、的參數(shù)（工作溫度、滯后、）其它表示應(yīng)變計(jì)性能的參數(shù)（工作溫度、滯后、 蠕變、零漂以及疲勞壽命、橫向靈敏度等）。蠕變、零漂以及疲勞壽命、橫向靈敏度等）。 （2 2）電阻值：應(yīng)變計(jì)的原始電阻值。）電阻值：應(yīng)變計(jì)的原始電阻值。 （3 3）靈敏度：表示應(yīng)變計(jì)變換性能的重要參數(shù)。）靈敏度：表示應(yīng)變計(jì)變換性能的重要參數(shù)。 （1 1）幾何參數(shù)：表距）幾何參數(shù)：表距 和絲柵寬度和絲柵寬度 ，制造廠常用制造廠常用 表示。表示。Lbb L1敏感元件敏感元件 2、4基底基底 3引線引線)11(1003120CABX 符符 號(hào)號(hào) 代代表表意意義義 舉舉 例例 B 應(yīng)應(yīng)變變計(jì)計(jì)類類型型 箔箔式式 （B） 、 絲絲繞繞式

15、式 （S） 、 短短接接式式（D） 、半半導(dǎo)導(dǎo)體體式式（i） 、特特殊殊用用途途（T） X 基基底底材材料料種種類類 紙紙 （Z） 、 環(huán)環(huán)氧氧類類 （H） 、 聚聚酯酯類類（J） 、酚酚醛醛類類（F） 120 標(biāo)標(biāo)稱稱阻阻值值（單單位位：） 60、120、200、350、500 3 應(yīng)應(yīng)變變計(jì)計(jì)柵柵長長（單單位位：mm） 1、3、5、8、12、20、50mm CA 敏敏感感柵柵結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)形形狀狀 100 極極限限工工作作溫溫度度（） 11 可可溫溫度度自自補(bǔ)補(bǔ)償償?shù)牡牟牟牧狭暇€線膨膨脹脹系系數(shù)數(shù)（單單位位：10-6/） 9、11、16、23、2710-6/ 4.4.測(cè)量電路測(cè)量電路2RV1R3

16、R4RiU14231423()()iR RR RVURRRR（3-15）設(shè)設(shè)123RRRR4RRRRR ()()()4iiUR RRRRRVURRRRRR 又因?yàn)橛忠驗(yàn)閐(12)RRRR 所以所以(12)4iUV （3-16） 即輸出電壓與應(yīng)變成線性關(guān)系，因此可以通過電即輸出電壓與應(yīng)變成線性關(guān)系，因此可以通過電橋測(cè)量輸出電壓，從而測(cè)出應(yīng)變的大小。橋測(cè)量輸出電壓，從而測(cè)出應(yīng)變的大小。 5.5.電阻應(yīng)變片的選擇、粘貼技術(shù)電阻應(yīng)變片的選擇、粘貼技術(shù)（1 1）目測(cè)電阻應(yīng)變片有無折痕、斷絲等缺陷，有缺陷）目測(cè)電阻應(yīng)變片有無折痕、斷絲等缺陷，有缺陷 的應(yīng)變片不能粘貼。的應(yīng)變片不能粘貼。（2 2）用數(shù)字萬用

17、表測(cè)量應(yīng)變片電阻值大小，同一電橋）用數(shù)字萬用表測(cè)量應(yīng)變片電阻值大小，同一電橋 中各應(yīng)變片之間阻值相差不得大于中各應(yīng)變片之間阻值相差不得大于0.50.5歐姆。歐姆。（3 3）試件表面處理：貼片處位置用細(xì)紗紙打磨干凈，）試件表面處理：貼片處位置用細(xì)紗紙打磨干凈， 用酒精棉球反復(fù)擦洗貼處，直到棉球無黑跡為止。用酒精棉球反復(fù)擦洗貼處，直到棉球無黑跡為止。（5 5）焊線：用電烙鐵將應(yīng)變片的引線焊接到導(dǎo)引線上。）焊線：用電烙鐵將應(yīng)變片的引線焊接到導(dǎo)引線上。（6 6）用兆歐表檢查應(yīng)變片與試件之間的絕緣組織，應(yīng)）用兆歐表檢查應(yīng)變片與試件之間的絕緣組織，應(yīng) 大于大于500500M M歐。歐。（7 7）應(yīng)變片保護(hù)

18、：用）應(yīng)變片保護(hù)：用704704硅橡膠覆于應(yīng)變片上，防止受硅橡膠覆于應(yīng)變片上，防止受 潮。潮。（4 4）應(yīng)變片粘貼：在應(yīng)變片基底上擠一小滴）應(yīng)變片粘貼：在應(yīng)變片基底上擠一小滴502502膠水，膠水， 輕輕涂抹均勻，立即放在應(yīng)變片貼片位置。輕輕涂抹均勻，立即放在應(yīng)變片貼片位置。 6.6.電阻應(yīng)變片的應(yīng)用電阻應(yīng)變片的應(yīng)用 柱式柱式FFFF鋼柱的橫截面積為鋼柱的橫截面積為 ；彈性模量為彈性模量為 ；泊松；泊松比為比為 。應(yīng)變片的電阻。應(yīng)變片的電阻為為 ；靈敏度為；靈敏度為 。AESRFSSREAR)RSSRFSEA 試橫試縱S(-標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品案例：案例：橋梁固有頻率測(cè)量橋梁固有頻率測(cè)量案例：案例

19、：電子稱電子稱 將物品重量通過懸臂將物品重量通過懸臂梁轉(zhuǎn)化結(jié)構(gòu)變形再通過應(yīng)梁轉(zhuǎn)化結(jié)構(gòu)變形再通過應(yīng)變片轉(zhuǎn)化為電量輸出。變片轉(zhuǎn)化為電量輸出。 柱式柱式案例：案例：沖床生產(chǎn)記數(shù)和生產(chǎn)過程監(jiān)測(cè)沖床生產(chǎn)記數(shù)和生產(chǎn)過程監(jiān)測(cè)案例：案例：機(jī)器人握力測(cè)量機(jī)器人握力測(cè)量案例：案例：振動(dòng)式地音入侵探測(cè)器振動(dòng)式地音入侵探測(cè)器 適合于金庫、倉庫、古建筑的防范，挖墻、打洞、適合于金庫、倉庫、古建筑的防范，挖墻、打洞、爆破等破壞行為均可及時(shí)發(fā)現(xiàn)。爆破等破壞行為均可及時(shí)發(fā)現(xiàn)。扭矩傳感器扭矩傳感器TGDL432FlMAABB4545MM12AA BBmmmFa/0kxxcxm 3-3-3 3 電容式傳感器電容式傳感器一、工作原

20、理及分類一、工作原理及分類 將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換為電容量的變化，屬于結(jié)構(gòu)將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換為電容量的變化，屬于結(jié)構(gòu)型傳感器。型傳感器。 1.1.工作原理工作原理A 兩平行極板組成的電容兩平行極板組成的電容器，它的電容量為：器，它的電容量為：0AC （3-17） 、 或或 發(fā)生變化時(shí)，發(fā)生變化時(shí)，都會(huì)引起電容的變化。都會(huì)引起電容的變化。A 2.2.分類分類（1 1）變極距型）變極距型聲波聲波膜片膜片極板極板空腔空腔RE電容傳聲器電容傳聲器電容傳聲器的工作原理電容傳聲器的工作原理背極背極內(nèi)腔內(nèi)腔毛細(xì)孔毛細(xì)孔振膜振膜阻尼孔阻尼孔絕緣體絕緣體0t0( )u tiuR0( )u t駐極體電容傳聲器駐極體電

21、容傳聲器 它采用聚四氟乙烯材料作為振動(dòng)膜片。這種材料它采用聚四氟乙烯材料作為振動(dòng)膜片。這種材料經(jīng)特殊電處理后，表面永久地駐有極化電荷，取代了經(jīng)特殊電處理后，表面永久地駐有極化電荷，取代了電容傳聲器極板，故名為駐極體電容傳聲器。特點(diǎn)是電容傳聲器極板，故名為駐極體電容傳聲器。特點(diǎn)是體積小、性能優(yōu)越、使用方便。體積小、性能優(yōu)越、使用方便。 對(duì)于變極距型電容式傳感器，當(dāng)極距對(duì)于變極距型電容式傳感器，當(dāng)極距 有一微小的有一微小的變化變化 時(shí)，其電容的變化量為時(shí)，其電容的變化量為d02ddAC （3-18） 因此變極距型電容式傳感器的靈敏度為因此變極距型電容式傳感器的靈敏度為02ddACS （3-19）

22、很顯然，其靈敏度不是常數(shù)，其輸入和輸出呈非線很顯然，其靈敏度不是常數(shù)，其輸入和輸出呈非線性關(guān)系，這樣存在非線性誤差。性關(guān)系，這樣存在非線性誤差。 設(shè)初始間距設(shè)初始間距 ，當(dāng)移動(dòng)，當(dāng)移動(dòng) 時(shí)，時(shí)， ，此時(shí)，此時(shí)0000222000()(1)AAS （3-20） 當(dāng)當(dāng) 時(shí)，時(shí)， ，可得到，可得到0011 020AS （3-21） 此時(shí)，傳感器的靈敏度近似為常量，輸入與輸出此時(shí)，傳感器的靈敏度近似為常量，輸入與輸出呈近似的線性關(guān)系，因此該傳感器只能用于小位移的呈近似的線性關(guān)系，因此該傳感器只能用于小位移的測(cè)量，其測(cè)量范圍測(cè)量，其測(cè)量范圍 ， 越大，測(cè)量范圍越寬，越大，測(cè)量范圍越寬，但是靈敏度減小。為了增大測(cè)量范圍，提高靈敏度，但是靈敏度減小。為了增大測(cè)量范圍，提高靈敏度，實(shí)際中常采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)。實(shí)際中常采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)。00（2 2）變面積型）變面積型角位移型角位移型具具有有輸輸入入與與輸輸出出呈呈線線性性關(guān)關(guān)系系的的優(yōu)優(yōu)點(diǎn)點(diǎn)，適適用用于于測(cè)測(cè)量量較較