光學(xué)薄膜檢測技術(shù)課件

1、光學(xué)薄膜檢測技術(shù)綜述測試技術(shù)是一門學(xué)科測試技術(shù)的重要性只要能測的出來的特性，就一定能制備的出來元件制備出來了，但不知性能怎樣性能測出來了，但不知測的準(zhǔn)不準(zhǔn)光學(xué)薄膜測試技術(shù)的發(fā)展隨著薄膜制備技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展，不斷更新不斷進(jìn)步反射透射散射吸收折射率厚度應(yīng)力附著力組分結(jié)構(gòu)光學(xué)薄膜檢測技術(shù)光學(xué)特性光學(xué)參數(shù)非光學(xué)特性薄膜厚度和折射率的測量厚度測量臺(tái)階儀干涉法具有臺(tái)階樣品的制備膠帶紙刀片對于干涉法，在臺(tái)階樣品基板上全部鍍上不透光的金屬膜消除位相躍變的影響LL薄膜厚度和折射率的測量折射率測量方法很多，最簡單最普遍方法是測量單層薄膜在中心波長位置的R，由 得到薄膜折射率精確測量的方法有布儒斯特

2、角法改變偏振光的入射角，當(dāng)膜層反射光強(qiáng)與基底反射光強(qiáng)一致時(shí)，這時(shí)的入射角就是布儒斯特角，有 tg0n，即得到薄膜折射率薄膜透過率和反射率的測量常用測量方法分光光度計(jì)其它方法根據(jù)元件的特殊要求建立相應(yīng)的一些測量裝置薄膜透過率和反射率的測量常用測量方法分光光度計(jì)其它方法根據(jù)元件的特殊要求建立相應(yīng)的一些測量裝置分光光度計(jì)基于光譜分光原理單光路分光光度計(jì)基于光譜分光原理雙光路雙光路分光光度計(jì)結(jié)構(gòu)示意圖光源及單色部分分光部分樣品室探測器部分處理系統(tǒng)透射率測量在透射測量時(shí)，儀器測量的是通過樣品光路到達(dá)檢測器的光強(qiáng)P與通過參比光路到達(dá)檢測器的光強(qiáng)P0的比值，稱之為透過率T光路校準(zhǔn)測量PP0反射率測量相對反射

3、率測量簡單難找到滿足測量要求的參考樣品任意角度下的相對反射率的測量反射率測量絕對反射率測量V-W型反射率測量絕對反射率測量V-N型反射率測量根據(jù)V-W和V-N測量原理設(shè)計(jì)自己的測量附件自己設(shè)計(jì)制作的45絕對反射率測量附件分光光度計(jì)中影響測量的因素光源及單色部分分光部分樣品室探測器部分處理系統(tǒng)分光光度計(jì)中影響測量的因素光源影響波長的測量范圍單色部分狹縫的大小影響波長的分辨率探測器影響測量精度光學(xué)系統(tǒng)形成部分偏振光以及非平行光影響測量精度噪聲容易忽略的影響因素探測器探測器必須工作在其線性范圍之內(nèi)探測器光敏面不同位置引起不同的接受信號大小，從而對測量的影響光學(xué)系統(tǒng)部分偏振光發(fā)散角具體測量中的一些問題

4、傾斜入射入射光位置偏移帶來測量的問題如果測自然光的傾斜入射透過率，由于入射光偏振態(tài)的問題帶來測量問題 突跳現(xiàn)象傾斜入射測量問題的解決辦法入射光位置偏移帶來測量的問題加光路補(bǔ)償鏡傾斜入射測量問題的解決辦法入射光位置偏移帶來測量的問題加光路補(bǔ)償鏡探測器用積分球傾斜入射測量問題的解決辦法測自然光的傾斜入射透過率，由于入射光偏振態(tài)的問題帶來測量問題加消偏器消偏器傾斜入射測量問題的解決辦法測自然光的傾斜入射透過率，由于入射光偏振態(tài)的問題帶來測量問題加消偏器加起偏器T=(Tp+Ts)/2起偏器傾斜入射透射測量問題的解決辦法測自然光的傾斜入射透過率，由于入射光偏振態(tài)的問題帶來測量問題加消偏器加起偏器沒有消偏器和起偏器時(shí)將入射面旋轉(zhuǎn)90度測量二次 T=(T1+T2)/2傾斜入射透射測量問題的解決辦法突跳現(xiàn)象突跳現(xiàn)象產(chǎn)生的原因這種現(xiàn)象一般都出現(xiàn)在傾斜入射的情況下偏振的影響偏振光在可見光和近紅外光的差異光斑位