高純氣體管路施工規(guī)范

1、PAGE 30PAGE 26 特殊氣體管路施工規(guī)范特殊氣體體管路暨暨高潔凈凈度管路路施工規(guī)范范目錄無(wú)塵室作作業(yè)安全全規(guī)范pipiing insstalllattionn 管路路架設(shè)彎管作業(yè)業(yè)規(guī)范熔接規(guī)范范測(cè)試規(guī)范范工安規(guī)范范監(jiān)工人員員工地監(jiān)監(jiān)工準(zhǔn)則則作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)程序1.無(wú)塵塵室作業(yè)業(yè)安全規(guī)規(guī)范1-1.一般清清潔區(qū)工工作條件件(廠務(wù)機(jī)機(jī)房).進(jìn)入工工作區(qū)前前，鞋子子必須清清理干凈凈。.最好每每天擦拭拭有類(lèi)似似金屬碎碎屑等東東西的地地方。.有規(guī)則則的存放放材料。.禁止于于工作區(qū)區(qū)內(nèi)吸煙煙、吃東東西、喝喝飲料。.所有工工作區(qū)必必須有垃垃圾筒，收集廢廢料等東東西。.材料人人員進(jìn)出出必須清清潔一次次。.所

2、有人人員及設(shè)設(shè)備每周周必須清清潔一次次。.產(chǎn)生污污染的工工作必須須個(gè)隔離離。(噴漆、磨砂輪輪機(jī)等)1-2.非常干干凈區(qū)工工作條件件(潔凈室室地下回回風(fēng)區(qū)).必須換換穿專(zhuān)用用的鞋子子或鞋套套。.使用真真空吸塵塵器清除除臟東西西。.有規(guī)則則的存放放材料。.禁止于于工作區(qū)區(qū)內(nèi)吸煙煙、吃東東西、喝喝飲料。.所有使使用過(guò)的的材料、殘余剩剩料等必必須每日日清除。.所有工工作區(qū)內(nèi)內(nèi)必須有有密封式式垃圾筒筒，收集集廢料等等東西。.材料人人員進(jìn)出出必須管管制。.所有人人員及設(shè)設(shè)備每周周必須清清潔一次次。.產(chǎn)生污污染的工工作必須須隔離(如噴漆漆、磨砂砂輪機(jī)等等)。.進(jìn)出工工作區(qū)內(nèi)內(nèi)的全部部材料必必須清理理干凈，才

3、可進(jìn)進(jìn)入。.所有工工作區(qū)必必須換穿穿干凈工工作服。.工作區(qū)區(qū)的管線線設(shè)備禁禁止勾攀攀、踐踏踏、吊掛掛東西。1-3.絕對(duì)干干凈區(qū)工工作條件件(潔凈室室生產(chǎn)區(qū)區(qū)).必須換換穿無(wú)塵塵專(zhuān)用的的鞋子或或鞋套。.使用中中央系統(tǒng)統(tǒng)真空或或特別過(guò)過(guò)濾裝置置的手提提真空吸吸塵器清清除作業(yè)業(yè)時(shí)產(chǎn)生生的金屬屬等粉屑屑。.有規(guī)則則的存放放使用材材料。.禁止于于工作區(qū)區(qū)內(nèi)吸煙煙、吃東東西、喝喝飲料。.所有使使用過(guò)的的材料、殘余剩剩料等必必須每日日清除。.所工作作區(qū)內(nèi)須須有密封封式垃圾圾筒，收收集廢料料東西。.材料人人員進(jìn)出出必須管管制。.所有工工作人員員及業(yè)主主人員每每日必須須清潔干干凈。.產(chǎn)生污污染的工工作必須須于進(jìn)

4、入入無(wú)塵室室前完成成。.進(jìn)入工工作區(qū)內(nèi)內(nèi)的全部部材料和和工具必必須用水水清洗干干凈，才才可進(jìn)入入。.除入無(wú)無(wú)塵室應(yīng)應(yīng)換穿無(wú)無(wú)塵依及及尼龍手手套外，余均應(yīng)應(yīng)穿著干干凈之工工作服。.禁止木木質(zhì)或瓦瓦愣紙材材料所做做的紙箱箱進(jìn)入無(wú)無(wú)塵室。.禁止觸觸碰任何何液體和和你不知知道的任任何器物物。.含有油油品的工工具禁止止攜入。1-4.清凈室室施工安安全規(guī)則則.指定專(zhuān)專(zhuān)人辦理理安全事事宜。.勿雇用用童工。.工作區(qū)區(qū)域內(nèi)禁禁止抽煙煙。.必須準(zhǔn)準(zhǔn)備安全全眼鏡。.在清潔潔室須戴戴安全帽帽，特別別是有震震動(dòng)時(shí)。.任何時(shí)時(shí)間內(nèi)，均不得得堵塞通通道及出出入口。.在工作作區(qū)域工工作，必必須保持持干凈；如有產(chǎn)產(chǎn)生垃圾圾，必

5、須須隨時(shí)準(zhǔn)準(zhǔn)備垃圾圾袋，于每日收收工時(shí)攜攜出清凈凈室。.如有意意外發(fā)生生，須立立刻告知知監(jiān)工。.特殊危危險(xiǎn)工作作區(qū)，須須有安全全圍籬及及警告標(biāo)標(biāo)志。.地板開(kāi)開(kāi)口處，須有安安全圍籬籬及警告告標(biāo)志，以防止止人員掉掉入。.須備有有滅火器器以防火火災(zāi)。.滅火器器僅可使使用泡沫沫滅火器器，不可可使用干干粉滅火火器。.工作架架在超出出地面22M以上上時(shí)，須須使用鷹鷹架，人人員須系系安全帶帶(索)。.鷹架、樓梯及及工具，須保持持良好狀狀況。.在超出出地面22M以上上時(shí)，工工具須放放置工具具袋(箱)內(nèi)。.同時(shí)有有兩組人人員在不不同高度度工作時(shí)時(shí)，須有有良好之之連系。.工作區(qū)區(qū)域內(nèi)須須有良好好照明設(shè)設(shè)備。.所有

6、使使用之電電纜及電電線，須須有良好好絕緣。.電纜及及電線須須連結(jié)良良好，不不可以電電線直接接插入插插座。.保險(xiǎn)絲絲須確時(shí)時(shí)使用，不可以以鋼絲替替代。.電纜及及電線須須正確使使用，不不可過(guò)載載。.如已送送電之電電力供應(yīng)應(yīng)盤(pán)，須須標(biāo)示警警告標(biāo)志志高壓壓危險(xiǎn)。.所有圓圓柱型物物品須直直立，并并以鏈條條或繩索索固定。.切勿于于地板面面滾動(dòng)圓圓柱型物物品。.如須移移動(dòng)圓柱柱型物品品，須使使用特殊殊格架舉舉。.易燃物物品如無(wú)無(wú)人照料料，不可可置放于于工作區(qū)區(qū)域內(nèi)。.化學(xué)物物品如有有泄漏，必須馬馬上處理理。.易燃物物品須放放置于有有蓋容器器內(nèi)。.任何閥閥、開(kāi)關(guān)關(guān)插座、電源插插座，不不可隨意意開(kāi)、關(guān)關(guān)、拔除除

7、(機(jī)臺(tái)管管線)。.任何配配管配線線、材料料，非經(jīng)經(jīng)過(guò)監(jiān)工工人員同同意，不不可擅自自任意更更改。22.Piipinng iinsttalllatiion管管路架設(shè)設(shè)在無(wú)塵室室或簡(jiǎn)易易潔凈室室執(zhí)行高高潔凈度度配管工工作時(shí)，必須遵遵循下列列的規(guī)定定。2-1.現(xiàn)場(chǎng)工工作規(guī)定定攜入材料必須須置于特特定的貯貯藏間，在工地地現(xiàn)場(chǎng)或或在材料料間要提提供暫時(shí)時(shí)性的簡(jiǎn)簡(jiǎn)易潔凈凈室，所所有材料料要存放放整齊。在存放放材料時(shí)時(shí)，有電電子拋光光的管件件必須和和未經(jīng)電電子拋光光的管件件分開(kāi)。在尚未未使用管管件之前前都不要要將塑料料封套打打開(kāi)直到到現(xiàn)埸要要使用時(shí)時(shí)方可打打開(kāi)，并并且不要要將材料料直接放放在地上上。切管切管時(shí)

8、，使用的的自動(dòng)切切割機(jī)或或手動(dòng)切切管器必必須是專(zhuān)專(zhuān)門(mén)為半半導(dǎo)體廠廠工作所所設(shè)計(jì)的的。切管管器的刀刀片與管管件成垂垂直方向向，當(dāng)使使用自動(dòng)動(dòng)切割機(jī)機(jī)時(shí)，放放刀片的的深度要要能使管管壁尚有有薄薄的的一層未未切斷，藉以防防止切割割時(shí)的碎碎屑進(jìn)入入管內(nèi)。倒角原則上，在使用用倒角機(jī)機(jī)(TUUBE SIZZE用)或銼刀刀(PIIPE SIZZE用)時(shí)，小小心地移移開(kāi)切割割面。如如果切割割面歪斜斜未成垂垂直，焊焊口松馳馳或管子子彎曲等等狀況發(fā)發(fā)生時(shí)，這種管管路是不不合規(guī)定定，必須須重新切切割及配配置。當(dāng)當(dāng)?shù)菇菚r(shí)時(shí)，在管管的另一一端必須須用高潔潔凈度的的氮?dú)鉀_沖吹(氮?dú)庖?jīng)0.02uum的過(guò)過(guò)濾器過(guò)過(guò)濾)。

9、N2沖吹吹將管內(nèi)的的微粒沖沖吹出來(lái)來(lái)。工作后的的清潔檢視切割割機(jī)的潔潔凈度，保持機(jī)機(jī)具不受受油污，如果仍仍然看得得見(jiàn)有油油污或切切割的碎碎屑?xì)堄嘤啵凑照障铝械牡姆椒ㄇ迩鍧嵵?。用GN22沖吹使用的NN2必須須經(jīng)-880或更低低的露點(diǎn)點(diǎn)，經(jīng)00.022um的的過(guò)濾器器干燥。預(yù)制工作作(在簡(jiǎn)易易潔凈室室cleean boooth)在現(xiàn)場(chǎng)的的焊接工工作降至至最低量量是必需需的。配配管區(qū)必必須在有有潔凈氣氣的地方方，在工工作時(shí)維維持風(fēng)扇扇正常運(yùn)運(yùn)轉(zhuǎn)，于于早、中中、晚用用O2查看看器檢查查O2的濃濃度。點(diǎn)焊點(diǎn)焊使用用TIGG焊接，點(diǎn)焊的的點(diǎn)數(shù)按按照下列列規(guī)定。(CAJJON的的焊機(jī)必必需保證證管子確確實(shí)

10、牢固固，從完完成的觀觀點(diǎn)來(lái)看看，最好好不要使使用手動(dòng)動(dòng)的TIIG焊接接，因此此點(diǎn)焊被被省略)。3/4” 到15AA到80AA：344點(diǎn)。沖吹氣體體(Baack seaal ggas)使用氬氣氣，露點(diǎn)點(diǎn)-800或更低低，氧含含量在00.1pppm以以下，微微粒(00.1uum以上上)含量為為零。沖吹用管管套連接沖吹吹氣體管管路與架架設(shè)管路路，使用用(Baack seaal jjig)如圖(一一)所示Backk seea jjig (Baack seaal ggas)圖(一) (參考用用)架設(shè)程序序(圖二)將工作管管路兩端端套上管管套，連連接沖吹吹氣體及及閥氬氣沖吹吹(預(yù)先沖沖吹1分鐘以以上)點(diǎn)焊

11、氬氣沖吹吹焊接(自自動(dòng)焊接接)氬氣沖吹吹風(fēng)(收尾沖沖吹1分鐘以以上) GArr GArr圖(二)裝封(在在Cleean boooth內(nèi)內(nèi)進(jìn)行)完成焊接接之后，在管內(nèi)內(nèi)充滿(mǎn)AAr氣，而且用用無(wú)塵的的塑料紙紙?jiān)谀┒硕税鼉蓛蓪?。如如果末端端的閥已已經(jīng)連接接好了，把閥也也用塑料料紙裹起起來(lái)。2-2.現(xiàn)場(chǎng)施施工預(yù)制管件件連結(jié)連結(jié)在CCleaan bbootth 裝封好好的管件件現(xiàn)場(chǎng)焊接接現(xiàn)埸焊接接的人員員必須有有受過(guò)高高潔凈度度配管技技術(shù)檢定定通過(guò)。焊接工工作 (ii) (iii) GGAr GArr (iiii) GArr GGAr(iv) GGAr GArr原封至現(xiàn)現(xiàn)埸。先拆卸一一端封套套，并連連

12、接Baack seaal ggas。拆卸要焊焊接端封封套，并并沖吹干干凈。連接后將將一端之之Bacck sseall gaas拆掉掉使成出出氣端，并開(kāi)始始焊接。管路維持持條件即使焊接接結(jié)束，也要維維持小量量的N22或Ar在管管內(nèi)沖吹吹以防止止空氣流流入管內(nèi)內(nèi)。無(wú)論論如何也也要想辦辦法把管管內(nèi)的空空氣及微微粒弄出出來(lái)，如如果無(wú)法法繼續(xù)沖沖吹。焊機(jī)電源源供給電源源的電壓壓的變動(dòng)動(dòng)，對(duì)于于管路焊焊接的質(zhì)質(zhì)量影響響甚巨。使用自自動(dòng)焊接接機(jī)的電電源必需需使用特特定的整整流器。容許的的電壓波波動(dòng)ACC 1000V10%，AC 2000V10%，在焊焊接進(jìn)行行時(shí)電壓壓警報(bào)器器一直監(jiān)監(jiān)視著電電壓，如如果電壓壓

13、超過(guò)可可容許的的范圍時(shí)時(shí)，警報(bào)報(bào)器就會(huì)會(huì)發(fā)出聲聲音。2-3.其他注注意事項(xiàng)項(xiàng)下述的工工作是在在架設(shè)高高潔凈度度的管路路時(shí)必需需要執(zhí)行行的?？刂茪鍤鈿鉀_吹用壓力計(jì)計(jì)或液位位計(jì)察看看尚余有有多少氬氬氣?？戳髁坑?jì)計(jì)的刻度度檢查沖沖吹氣體體的容量量。使用采樣樣品閥從從鋼瓶或或氣體來(lái)來(lái)源收集集氬氣，測(cè)量氬氬氣純度度確定露露點(diǎn)是在在-800以下，殘余氧氧氣低于于0.11ppmm，微粒粒含量為為0 (0.11um以以上的微微粒)。在工作處處測(cè)量架架設(shè)管路路末端的的氬氣純純度，確確定露點(diǎn)點(diǎn)在-770以下殘殘余氧氣氣低于22ppmm，測(cè)量量地點(diǎn)必必須在監(jiān)監(jiān)工及焊焊接都同同意的地地方。前4項(xiàng)規(guī)規(guī)定的工工作前在在每

14、天開(kāi)開(kāi)始工作作由監(jiān)工工或工作作人員執(zhí)執(zhí)行以控控制質(zhì)量量符合要要求。若氣體容容量未達(dá)達(dá)標(biāo)準(zhǔn)，通知監(jiān)監(jiān)工，暫暫停工作作，但是是沖吹必必須持續(xù)續(xù)進(jìn)行，或使用用預(yù)留的的LN22，當(dāng)要要使用預(yù)預(yù)留LNN2時(shí)，必定要要做分析析供給氣氣體純度度的工作作。簡(jiǎn)易潔凈凈室(CCleaan bbootth)的的潔凈度度的控制制在Cleean boooth內(nèi)內(nèi)測(cè)量焊焊接處的的微粒數(shù)數(shù)量(00.1uum以上上)不能超超過(guò)1000個(gè)/c.f，claass 100000是是用作貯貯藏用，claass 10000是組組裝用。在正常使使用中測(cè)測(cè)量微粒粒的工作作一天至至少進(jìn)行行1次。潔凈衣物物的管制制在Cleean boooth

15、內(nèi)內(nèi)使用的的潔凈衣衣、潔凈凈鞋、潔潔凈手套套及其他他設(shè)備必必需在使使用前檢檢查其潔潔凈度。使用的潔潔凈衣物物等，必必需一個(gè)個(gè)星期清清洗一次次，不論論有否弄弄臟。潔凈室依據(jù)潔凈凈室人員員管制規(guī)規(guī)定的管管制細(xì)則則，所有有的工作作人員皆皆需致力力于工作作在一個(gè)個(gè)高潔凈凈空氣環(huán)環(huán)境中。焊接狀況況的檢查查(由個(gè)人人或監(jiān)工工)當(dāng)自動(dòng)焊焊接機(jī)的的工作條條件改變變時(shí)，必必須確定定焊接數(shù)數(shù)據(jù)與工工作條件件一致。鎢棒的保保養(yǎng)及管管制要時(shí)時(shí)注注意鎢棒棒是否變變形。磨鎢棒的的工作必必須是由由監(jiān)工認(rèn)認(rèn)可之專(zhuān)專(zhuān)業(yè)人員員使用特特定的設(shè)設(shè)備來(lái)執(zhí)執(zhí)行。樣品制作作及焊接接條件的的檢查(焊接者者或監(jiān)工工)每日早上上在上工工前要制制

16、作數(shù)個(gè)個(gè)同樣大大小的樣樣品。監(jiān)工切開(kāi)開(kāi)樣品，檢查管管內(nèi)部焊焊接情況況，用目目視確定定焊接的的地方?jīng)]沒(méi)有不規(guī)規(guī)則的孔孔、裂縫縫、氣孔孔或沒(méi)有有完全焊焊透等缺缺點(diǎn)存在在。若有焊接接缺陷發(fā)發(fā)現(xiàn)時(shí)，檢查焊焊接條件件、更換換鎢棒、檢查沖沖吹氣體體純度、質(zhì)量及及沖吹的的方法，直到結(jié)結(jié)果令人人滿(mǎn)意，方可進(jìn)進(jìn)行配管管工作。樣品及焊焊接數(shù)據(jù)據(jù)必須同同時(shí)保存存。2-4.要求機(jī)器攜入入及架設(shè)設(shè)從側(cè)邊帶帶入機(jī)器器要在事事先申請(qǐng)請(qǐng)同意路路線，并并且使用用的拖車(chē)車(chē)放在特特定的地地方。在水泥地地板上使使用鐵錨錨類(lèi)之固固定機(jī)器器。經(jīng)縱、橫橫的方向向確定無(wú)無(wú)誤后，固定機(jī)機(jī)器。機(jī)器必須須在地板板的防塵塵油漆涂涂上之前前裝上。管路

17、標(biāo)記記至少每55M要有有標(biāo)簽貼貼在管路路上，標(biāo)標(biāo)明氣體名稱(chēng)稱(chēng)流向開(kāi)/關(guān)顯顯示除了球閥閥外，所所有的閥閥都要有有開(kāi)/關(guān)的標(biāo)標(biāo)示。3.彎管管作業(yè)規(guī)規(guī)范3-1.說(shuō)明本項(xiàng)說(shuō)明明Gass Syysteem作成成時(shí)，如如何使用用手工具具PIPPE BBENDDER來(lái)來(lái)進(jìn)行彎彎曲作業(yè)業(yè)。主要對(duì)象象SUS 3166 BAA管，外外徑1/4” (6.35)使用工工具R11 NOO.3994 LLEVEER型TUBBE BBENDDER 。3-2.配管圖圖看法與與管長(zhǎng)之之決定配管圖尺尺寸是表表示配管管中心之之尺寸或或中心配配管末端端之長(zhǎng)之之謂。 “a” “a”通常在配配管分岐岐點(diǎn)實(shí)施施熔接很很多，茲茲以下圖圖表示

18、之之。至中心點(diǎn)點(diǎn)之長(zhǎng)度度約 +3 mmm (1/44” OOD)(則3.115 mmm 3mmm)約 +55 mmm (33/8” ODD)使用TUUBE BENNDERR 來(lái)來(lái)加以彎彎曲之中中心點(diǎn)大大約彎曲曲15RR與直角角彎曲比比較，配配管全長(zhǎng)長(zhǎng)變短，亦即圖圖面上所所配尺寸寸相加長(zhǎng)長(zhǎng)度比實(shí)實(shí)際配管管長(zhǎng)度長(zhǎng)長(zhǎng)。180度度彎曲(R彎曲曲),每一一彎曲，其SEET BBACKK為14.6 mmm 其計(jì)算算如下： 50 990 330 1200管長(zhǎng)=(50+30+90+1200)-114.66-6.4=2269 mm 11/4” ODD又3/88”時(shí)R彎曲Seet BBackk為23.6 mmm依

19、上圖原原理可得得(50+30+90+1200)-223.66-100.5=2555.9 mm 3/8” OD0755度范圍圍角度彎彎苗，其其Sett Baack為為0例如: 755度其管長(zhǎng)=(500+533.944+400)-66.4=1377.5其長(zhǎng)度差差即所謂謂Sett Baack ，在1/4” OD配配管，每每一彎曲曲可短小小6.44 mmm (66.355mm)下面有有1/44” 、3/88” 各各種埸合合之Seet BBackk之表。彎曲次數(shù)數(shù)Set Bacck1/4”3/8”1/8”16.4 mm10.55mm6.0mmm212.7721.0012319.1131.5518425.

20、4442.0024531.8863.0030638.1163.0036744.5573.5542850.8884.0048例: 必要要管長(zhǎng)=(500+700+800)-112.77=1887.333 mmm 22次彎曲曲Sett Baack因此準(zhǔn)備備1877.3 mm長(zhǎng)長(zhǎng)度配管管就可進(jìn)進(jìn)入作業(yè)業(yè)。3-3.配管切切割配管切割割使用TTubee Cuutteer (Pippe CCuttter)工具RIIDGIID NNO.1105，配管開(kāi)開(kāi)始切割割時(shí)，必必須前后后旋轉(zhuǎn)334次次半周，使配管管軸部方方向不致致造成直直角，溝溝才開(kāi)始始進(jìn)行。配管之之切斷處處，事先先用紅筆筆做記號(hào)號(hào)。切割深度度一次切切

21、割過(guò)深深會(huì)使切切口未能能成立真真圓，慢慢慢進(jìn)行行，而把把手旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)角度保保持約330度就就可。切割完畢畢，管內(nèi)內(nèi)面產(chǎn)生生突屑會(huì)會(huì)致使內(nèi)內(nèi)徑縮小小，須用用銑面CCuttter清清除。最后用銑銑面Cuutteer將突突屑、粉粉屑清除除。3-4.配管彎彎曲作業(yè)業(yè)應(yīng)注意意之原則則配管開(kāi)始始彎曲作作業(yè)應(yīng)注注意原則則比較圖面面上兩端端、由短短方面先先開(kāi)始彎彎曲，將將較短尺尺寸配管管上作記記號(hào)、此此部份應(yīng)應(yīng)放在BBendder左左側(cè)Seet之。時(shí)時(shí)檢查查Bennderr之狀態(tài)態(tài)是否會(huì)會(huì)造成管管子受傷傷或變形形。兩端一方方彎曲1180度度(R彎曲曲)時(shí)，必必須從1180度度彎曲方方向作業(yè)業(yè)。這個(gè)個(gè)時(shí)候RR彎曲尺

22、尺寸在配配管上做做記號(hào)，而將此此處置在在Bennderr左側(cè)予予以Seet之。3-5.尺寸固固定(劃線器器劃線方方法)從配管量量尺寸用用普通量量尺就可可，再用用紅鉛筆筆作記號(hào)號(hào)。已施于彎彎曲一次次的配管管，則使使用T型特別別量尺，由配管管中心劃劃線。實(shí)施900度以?xún)?nèi)內(nèi)彎曲后后再做第第二次彎彎曲劃尺尺寸，依依下列方方法實(shí)行行。3-6.熔接部部份注意意事項(xiàng)使用Arrgonn Arrc分岐岐部份，使用專(zhuān)專(zhuān)用冶具具，并使使用Boord板板開(kāi)孔。開(kāi)孔后配配管內(nèi)部部產(chǎn)生突突起屑，粉屑用用Reaamerr工具清清除。施行多數(shù)數(shù)彎曲作作業(yè)其中中有熔接接分岐時(shí)時(shí)，彎曲曲作業(yè)中中途須要要有開(kāi)孔孔或清除除粉屑的的作

23、業(yè)，因?yàn)榈鹊鹊綇澢鳂I(yè)完完成后已已經(jīng)沒(méi)有有方法通通進(jìn)開(kāi)孔孔或清除除粉屑作作業(yè)之工工具。44.熔接接規(guī)范4-1.電源a.使用用Tessterr確認(rèn)電電壓b.使用用2200V的場(chǎng)場(chǎng)合要確確認(rèn)結(jié)線線。c.使用用1100V電源源時(shí)，為為保護(hù)配配線，要要使用附附有漏電電Breeakeer之插插座。d.接地地線要用用熔接機(jī)機(jī)單獨(dú)使使用者。4-2.氬氣Argoon ggas純純度達(dá)999.9999以以上才予予使用。原則上使使用液化化Arggon Gass 。熔接時(shí)氧氧化膜無(wú)無(wú)法去除除時(shí)要檢檢查Gaas及輸輸氣管路路。4-3.鎢Tunngstten研磨時(shí)不不能偏頗頗。產(chǎn)生熔接接聯(lián)珠或或蛇行是是鎢研偏偏所致，

24、要重磨磨。研磨磨時(shí)使用用研磨專(zhuān)專(zhuān)用機(jī)。Tapeer角度度請(qǐng)參考考下記圖圖面。 2.5。 11mm 0.22 11.6mmm 0.3熔接產(chǎn)生生Gapp時(shí)，用Gapp Gaaugee來(lái)修正正。4-4.同心圓圓之確認(rèn)認(rèn)確認(rèn)piipe規(guī)規(guī)格及材材料，然然后參考考Datta表設(shè)設(shè)定之。Set直直管接住住熔接機(jī)機(jī)頭用VVis調(diào)調(diào)整。Set短短管用同同心圓打打圓圈確確認(rèn)之。不是同心心圓時(shí)，先考慮慮是否熔熔接機(jī)頭頭之焊接接頭有歪歪曲就要要更換HHeadd。4-5.熔接條條件確認(rèn)認(rèn)使用Baack Seaaledd Gaas ，Purrge 30分分程度，清除之之流量為為5 ll/miin。使用Daate表表確認(rèn)

25、AArc Gass Seealeed GGas流流量，并并記入DDataa表。4-6.Tesst熔接接使用對(duì)焊焊熔接物物做樣品品熔接，制作CCut Sammplee。熔接面聯(lián)聯(lián)結(jié)、熔熔接程度度、氧化化膜產(chǎn)生生程度都都須確認(rèn)認(rèn)。確認(rèn)后，無(wú)問(wèn)題題才正式式進(jìn)行熔熔接。為防止表表面氧化化用噴槍槍Ar Gaas。熔接作業(yè)業(yè)重要事事項(xiàng)a.防止止中心點(diǎn)點(diǎn)偏移：鎢與熔熔接面位位置。鎢之研磨磨角度未未出來(lái)。b.熔接接聯(lián)珠不不均：切切割面990度未未出來(lái)。切割面有有突起物物。鎢的消秏秏。c.防止止熔化不不足：盡盡可能觀觀察熔接接時(shí)之熔熔接內(nèi)面面。d.防止止過(guò)熔低低陷：利利用控制制內(nèi)壓之之專(zhuān)用治治具。e.防止止膨脹

26、熔熔接作業(yè)業(yè)前，再再確認(rèn)熔熔接條件件。f.熔接接技術(shù)者者，熔接接完了后后，確認(rèn)認(rèn)熔接部部份。氧化膜除除去作業(yè)業(yè)基準(zhǔn)氧化膜除除去，使使用Sttainnlesss BBrussh SScottch Bruush。使用Sttainn Brrighht除去去作業(yè)后后，充分分用純水水洗凈。水洗后，用氮?dú)鈿馇宄僭儆肐PPA洗凈凈。進(jìn)行除去去作業(yè)時(shí)時(shí)，配管管末端用用盲Caap套住住。除去作業(yè)業(yè)完成后后，其外外部用氮氮?dú)馇宄龎m埃。收尾工程程，配管管內(nèi)部用用氮?dú)馇迩宄?。清除用氮氮?dú)猓ㄍㄟ^(guò)0.05uum以上上，具有有除去性性能之CCeraamicc或Staainllesss Fiilteer，并并在8kkg

27、/ccm2的氮?dú)鈿鈮毫ο孪聦⒐軆?nèi)內(nèi)清除。5.測(cè)試試規(guī)范今依據(jù)各各項(xiàng)執(zhí)行行順序可可分為七七大部份份:第一部份份外觀之之檢驗(yàn)。第二部份份為管路路的氣密密試驗(yàn)。第三部份份為管路路流程的的檢查。第四部份份為HEE測(cè)試。第五部份份為微粒粒子測(cè)試試、PAARTIICLEE。第六部份份為露點(diǎn)點(diǎn)測(cè)試。第七部份份含氧量量測(cè)試。5-1.外觀檢檢驗(yàn):半導(dǎo)體于于管線組組裝成后后,須做管管路之外外觀檢驗(yàn)驗(yàn),其檢驗(yàn)驗(yàn)項(xiàng)目為為:所有管線線是否依依設(shè)計(jì)排排列施工工,并予標(biāo)標(biāo)示氣體體種類(lèi)。所有使用用之材料料是否符符合規(guī)定定之材料料。管線之焊焊接是否否有角度度不正、傾斜、歪曲。管線是否否有污物物殘留。管線是否否有凹陷陷、龜裂裂等

28、不良良缺陷。5-2.管路氣氣密試驗(yàn)驗(yàn):在氣密試試驗(yàn)中,所采用用測(cè)試方方法均是是采用通通入高于于各管路路正常使使用壓力力的1.1倍氣氣體或11.5倍倍水的壓壓力于管管路中,再觀察察已安裝裝好之壓壓力計(jì),判斷其其是否有有漏氣現(xiàn)現(xiàn)象。但但有些的的管路受受限于二二段式的的壓力調(diào)調(diào)節(jié)計(jì),需另安安裝壓力力計(jì),并由管管路末端端處灌壓壓方式。當(dāng)氣密試試驗(yàn)中,任一管管路有了了漏氣現(xiàn)現(xiàn)象。就就必須進(jìn)進(jìn)行查漏漏步驟。一般而言言,在管路路的查漏漏均均是是采用ssnooop對(duì)漏漏氣管路路所有接接點(diǎn)作泡泡沬測(cè)試試(fooamiing tesstinng),其可偵偵測(cè)漏氣氣率約為為1*110-44 attm ccc/sse

29、c。但是有一一點(diǎn)必須須注意是是當(dāng)壓力力計(jì)上有有明顯變變化時(shí)其其漏氣已已達(dá)1*10-4 aatm cc/secc的標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)以上,故使用用snooop查查漏是相相當(dāng)可靠靠。當(dāng)然然能有更更精密儀儀器測(cè)是是最好的的方式；但是精精密測(cè)漏漏儀器使使用較為為不便,若對(duì)寬寬廣空間間當(dāng)然沒(méi)沒(méi)有問(wèn)題題，但對(duì)對(duì)狹窄及及較高地地點(diǎn)便不不能安裝裝,所以目目前為止止查漏必必須有系系統(tǒng)規(guī)劃劃執(zhí)行,否再有有精密儀儀器也找找不出漏漏氣處,就以GNN2管路路查漏為為例,就可證證明確實(shí)實(shí)是如此此。5-3.壓壓力及氣氣密之檢檢驗(yàn)方法法使用0.01uu m過(guò)過(guò)濾器過(guò)過(guò)濾的氮氮?dú)饣驈S廠內(nèi)PNN2系統(tǒng)統(tǒng)做壓力力測(cè)試。壓力測(cè)試試時(shí)所需需壓力大

30、大小及加加壓時(shí)間間,設(shè)計(jì)值值如附表表所示。測(cè)試項(xiàng)目目規(guī)定氣體體測(cè)試壓力力測(cè)試時(shí)間間氣體測(cè)試試N210kgg/cmm2(或依業(yè)業(yè)主規(guī)定定)30分鐘鐘.管路充充入規(guī)定定的壓力力氣體后后,檢查所所有被聯(lián)聯(lián)接和焊焊接的部部份,并用試試漏液做做探漏,維持管管內(nèi)充有有壓力并并做記錄錄。記錄任何何被發(fā)現(xiàn)現(xiàn)的異常常點(diǎn)。記錄使用用中的壓壓力表讀讀得有關(guān)關(guān)數(shù)據(jù)。從完成壓壓力測(cè)試試開(kāi)始做做氣密測(cè)測(cè)試,設(shè)計(jì)值值、時(shí)間間如附表表測(cè)試項(xiàng)目目規(guī)定氣體體測(cè)試壓力力測(cè)試時(shí)間間氣體測(cè)試試N28kg/cm22(或依業(yè)業(yè)主規(guī)定定)24小時(shí)時(shí)做次測(cè)試試時(shí),首先計(jì)計(jì)值充入入管線中中以100分鐘或或更久些些,然后才才開(kāi)始做做記錄,以避免免

31、產(chǎn)生誤誤差。做氣密記記錄測(cè)試試時(shí),必須使使用讀出出型壓力力計(jì)做數(shù)數(shù)據(jù)記錄錄。在規(guī)規(guī)定的壓壓力和規(guī)規(guī)定的保保持時(shí)間間后,管在線線的壓力力沒(méi)有顯顯示下降降,亦即從從試壓開(kāi)開(kāi)始測(cè)試試的壓力力和完成成測(cè)試時(shí)時(shí)的室溫溫亦不同同時(shí),無(wú)論如如,必須使使下列式式子做溫溫度系數(shù)數(shù)的校正正,來(lái)決定定測(cè)試完完成時(shí),壓力表表所獲得得之?dāng)?shù)值值能保持持在開(kāi)始始時(shí)所記記錄的998%以以上,則此測(cè)測(cè)試值被被認(rèn)可為為通過(guò)測(cè)測(cè)試。最后壓力力值= 測(cè)測(cè)完壓力力/測(cè)完溫溫度 *110098%始測(cè)壓力力/始測(cè)溫溫度9).未未接受試試壓部份份,如安全全閥、控控制閥、壓力計(jì)計(jì)等,均應(yīng)接接受氣密密試驗(yàn)。氣密試驗(yàn)驗(yàn)的壓力力以不超超過(guò)該組組件的

32、最最大許可可操作壓壓為限。5-44.氣體體管路流流程檢查查此項(xiàng)目之之測(cè)試依依下列步步驟為之之:將所有氣氣體管路路的末端端閥打開(kāi)開(kāi)。列出(各各種特殊殊氣體管管路應(yīng)到到遠(yuǎn)的末末端閥的的歸納表表)關(guān)閉所所試特殊殊氣體管管路的末末端閥。由所欲測(cè)測(cè)特殊氣氣體以NN2充壓壓該管路路至一定定壓力,并觀察察五分鐘鐘,視壓力力計(jì)是否否有下降降現(xiàn)象。若壓力計(jì)計(jì)無(wú)下降降,即代表表管路無(wú)無(wú)錯(cuò)接現(xiàn)現(xiàn)象。若若無(wú)下降降現(xiàn)象打打開(kāi)欲測(cè)測(cè)特氣體體管路末末端閥,判斷壓壓力計(jì)是是否會(huì)下下降至零零,若降至至零代表表壓力計(jì)計(jì)無(wú)問(wèn)題題。5-5.測(cè)漏檢檢驗(yàn)特殊氣體體配管,管做完完上述測(cè)測(cè)試后將將管路抽抽真空,以HE氣做做測(cè)漏率率的測(cè)試試。

33、本公司使使用為BBALZZER HLTT 1660 HHELIIUM LEAAKDEETECCTORR設(shè)備。本公司設(shè)設(shè)備測(cè)漏漏率可達(dá)達(dá)到-11*100-111 attm.ccc/ssec。測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)1*110-88 MAABR L/SS2*10-9 aatm.cc/secc Inn booardd或業(yè)主主規(guī)定。本公司有有支持設(shè)設(shè)備相同同機(jī)型的的提供廠廠商漢疆股股份有限限公司。操作說(shuō)明明及注意意事項(xiàng)在開(kāi)機(jī)前前,應(yīng)先平平穩(wěn)放置置不得傾傾斜。開(kāi)機(jī)后,不得隨隨意移動(dòng)動(dòng)。關(guān)機(jī)后,必須聽(tīng)聽(tīng)到VEENT氣氣聲或33-5分分鐘后,方可移移動(dòng)或重重新啟動(dòng)動(dòng)。在開(kāi)機(jī)前前,須確定定電壓是是否正確確(1110V/22

34、00V)電壓頻率率選擇于于60HHZ。本機(jī)系屬屬于精密密電子儀儀器,故必須須使用有有接地的的插頭。5-6.微氧分分析測(cè)試程序序注意事項(xiàng)選用氣體體 a.使用氣氣體氧分分純度必必須500PPBB以下或或經(jīng)過(guò)純化器濾濾過(guò)氮?dú)鈿饣蛲鹊燃兌戎畾怏w。測(cè)試設(shè)備備熱機(jī) a.微微氧分析析儀開(kāi)機(jī)機(jī)后,必須熱熱機(jī)200分鐘才才可銜接管路測(cè)測(cè)試。清凈管路路 a.將將測(cè)試管管路或盤(pán)盤(pán)面進(jìn)氣氣孔接上上氣源。 b.將將測(cè)試管管路盤(pán)面面上,所有閥閥件全部部打開(kāi)。 c.使使用設(shè)計(jì)計(jì)壓力之之氣源來(lái)來(lái)Purrge所所要測(cè)試試之管路。 d.此此Purrge程程序需維維持300分鐘以以上。 a.氣氣體于接接上設(shè)備備前必須須將銜接接

35、測(cè)試管管路Puurgee 55分鐘。 NO b.經(jīng)經(jīng)過(guò)Puurgee的銜接接測(cè)試管管路,銜接上上微氧分分析測(cè)試儀后后,打開(kāi)微微氧分析析儀后,打開(kāi)微微氧分析析儀電源進(jìn)行測(cè)測(cè)試。 c.測(cè)測(cè)試時(shí)依依微氧分分析儀測(cè)測(cè)試數(shù)值值的狀況況,同時(shí)進(jìn)進(jìn)行測(cè)試與與Purrge直直到測(cè)試試值達(dá)到到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)數(shù)值(550 PPPB)以下,才合格格。 YESS結(jié)束 aa.需測(cè)測(cè)試姞果果記錄于于微氧分分析測(cè)試試記錄表表,以作日后追溯溯與識(shí)別別用的。5-7.水份分分析測(cè)試程序序注意事項(xiàng)選用氣體體 aa.使用用氣體氧氧分純度度必須550PPPB以下下或經(jīng)過(guò)純化器器濾過(guò)氮氮?dú)饣蛲燃兌榷戎畾怏w體。清凈管路路 a.將將測(cè)試管管路或

36、盤(pán)盤(pán)面進(jìn)氣氣孔接上上氣源,將測(cè)試管路或或盤(pán)面所所有,所有閥閥件全部部打開(kāi)。 b.使使用設(shè)計(jì)計(jì)壓力氣氣源來(lái)PPurgge測(cè)試試之盤(pán)面面管路。 c.此此Purrge程程序需維維持300分鐘以以上。 aa.氣體體管路于于銜接水水份分析析儀SEENSOOR前,必 NOO 須將將銜接測(cè)測(cè)試管路路Purrge55分鐘,讓銜接接測(cè)試管路內(nèi)內(nèi)之水份份隨Puurgee氣體流流出。測(cè)試 b.并聯(lián)氣氣體管路路之出氣氣口至水水份分析析儀 SEENSOOR樣品品取樣進(jìn)進(jìn)氣口。 (注注意:氣體管管路之出出氣口銜銜接水份份分析儀儀 YYES SEENSOOR時(shí),Puurgee氣體必必須在流流通的狀狀況下,且水水份分析析儀必

37、須須在開(kāi)機(jī)機(jī)的狀況況下) cc.測(cè)試試時(shí)依水水份分析析儀測(cè)試試數(shù)值的的狀況,同時(shí)進(jìn)行測(cè)試試與Puurgee直到水水份分析析儀測(cè)試試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)數(shù)值(10PPPB)以下。結(jié)束 a.需將測(cè)測(cè)試結(jié)果果記錄于于水份分分析測(cè)試試記錄表表上,以作作日后追追溯與識(shí)識(shí)別用。6.工安安規(guī)范一般守則則請(qǐng)于施工工前五天天向工安安部申請(qǐng)請(qǐng)施工許許可。不可將逃逃指示燈燈及緊急急照明燈燈取下使使用。工作中不不可穿拖拖鞋、高高跟鞋及及赤腳。遇停電時(shí)時(shí)，不得得亂跑或或喧嚷，應(yīng)先立立于原地地不動(dòng)；再依規(guī)規(guī)定方法法離開(kāi)現(xiàn)現(xiàn)埸。地上濺有有油漬應(yīng)應(yīng)立即除除去。電器開(kāi)關(guān)關(guān)、消防防設(shè)施附附近不可可擺放物物品。攀爬過(guò)程程中禁止止踐踏管管線

38、以免免管線破破裂。工作時(shí)要要配戴個(gè)個(gè)人必須須之安全全防護(hù)具具，并選選擇最安安全之工工作方法法。各項(xiàng)作業(yè)業(yè)應(yīng)依循循標(biāo)準(zhǔn)作作業(yè)程序序，不可可擅自更更改作業(yè)業(yè)程序。對(duì)于施工工環(huán)境認(rèn)認(rèn)知不足足或工作作執(zhí)行有有困難、疑問(wèn)時(shí)時(shí)應(yīng)先請(qǐng)請(qǐng)示工程程監(jiān)督單單位。施工許可可/動(dòng)火許許可單應(yīng)應(yīng)留置工工作現(xiàn)場(chǎng)場(chǎng)隨時(shí)備備查。進(jìn)入廠區(qū)區(qū)工作應(yīng)應(yīng)配戴工工作證進(jìn)入無(wú)塵塵室內(nèi)應(yīng)應(yīng)依工程程監(jiān)督單單位穿戴戴潔凈服服，在FFAB一一樓應(yīng)穿穿鞋套。6-1.吊裝作作業(yè)注意意事項(xiàng)工作區(qū)域域應(yīng)標(biāo)示示禁止人人員通過(guò)過(guò)，并有有專(zhuān)人在在現(xiàn)場(chǎng)指指揮作業(yè)業(yè)。吊掛作業(yè)業(yè)人員應(yīng)應(yīng)具法定定合格執(zhí)執(zhí)照。作業(yè)前應(yīng)應(yīng)對(duì)吊索索、吊煉煉、吊環(huán)環(huán)、吊鉤鉤等進(jìn)行行檢查，確

39、定正正常方可可開(kāi)始作作業(yè)。起吊物不不得越過(guò)過(guò)人員上上方。起吊物不不可超過(guò)過(guò)負(fù)載。吊鉤應(yīng)盡盡量移掛掛于起重重物重心心之上。不可以單單索吊等等不穩(wěn)定定方法起起吊。起吊長(zhǎng)形形物或不不安定物物料時(shí)，應(yīng)使用用導(dǎo)引索索，并以以安全的的方法操操作。6-2.高空作作業(yè)注意意事項(xiàng)高處作業(yè)業(yè)應(yīng)使用用安全帶帶、安全全索、安安全鞋、安全帽帽及其它它必需之之安全防防護(hù)具。高處作業(yè)業(yè)應(yīng)防止止工具、材料落落下傷人人。不可將兩兩架梯連連接當(dāng)長(zhǎng)長(zhǎng)梯使用用。上下梯子子應(yīng)面向向梯子，以雙手手扶梯。梯子應(yīng)避避免置于于入口，否則門(mén)門(mén)應(yīng)加鎖鎖。金屬梯不不可靠近近電氣設(shè)設(shè)施以防防止漏電電。使用架空空板、鷹鷹架及梯梯子應(yīng)先先檢查確確定安全全

40、后方可可使用。遇有大雨雨等惡劣劣天候應(yīng)應(yīng)停止工工作。施工區(qū)域域應(yīng)作標(biāo)標(biāo)示，并并注意地地面行人人安全。6-3.動(dòng)火作作業(yè)注意意事項(xiàng)需于施工工前三天天向工安安部申請(qǐng)請(qǐng)動(dòng)火許許可。應(yīng)于施工工現(xiàn)場(chǎng)備備妥滅火火器方可可正式動(dòng)動(dòng)火。搬運(yùn)電焊焊機(jī)應(yīng)切切斷電源源。在高處電電焊時(shí)應(yīng)應(yīng)設(shè)置防防制他人人從下方方通過(guò)。不得在易易燃易爆爆物附進(jìn)進(jìn)近從事事電焊作作業(yè)。在潮濕地地點(diǎn)從事事電焊作作業(yè)時(shí)，應(yīng)穿著著絕緣良良好之安安全鞋。應(yīng)穿著防防護(hù)衣、手套及及護(hù)目鏡鏡。搬運(yùn)氣體體鋼瓶應(yīng)應(yīng)將瓶閥閥關(guān)閉，并用鐵鐵鏈條系系牢，嚴(yán)嚴(yán)禁棄置置地面。按照正常常程操作作，防止止回火現(xiàn)現(xiàn)象。所有動(dòng)火火作須已已具廠商商動(dòng)火作作業(yè)令核核可后始始可施工工。電焊機(jī)應(yīng)應(yīng)接地，但不得得搭接在在機(jī)械設(shè)設(shè)備、欄欄桿或鐵鐵梯上。嚴(yán)禁在高高壓氣體體容器上上打火。電焊