版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領
文檔簡介
1、exactPECVDexactPECVD設備長期關(guān)機項目檢查表深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司設備長期關(guān)機項目檢查表檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注1管無石墨舟(Y/N)反應管內(nèi)槳上2管無石墨舟(Y/N)反應管內(nèi)槳上3管無石墨舟(Y/N)反應管內(nèi)槳上4管無石墨舟(Y/N)反應管內(nèi)槳上機械手部分無石墨舟(Y/N)機械手抓手1暫存區(qū)2暫存區(qū)3暫存區(qū)石墨舟儲存環(huán)境溫度(9)濕度潔凈度N2開啟(Y/N)深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注1管抽真空所設置N2流量(SCCM)所設置SiH4流量(SCCM)所設置NH3流量(SCCM)所設置N2O流量(S
2、CCM)開啟“主抽閥”時的壓力(mbar)整個系統(tǒng)的真空底壓(mtorr)2管抽真空所設置N2流量(SCCM)所設置SiH4流量(SCCM)所設置NH3流量(SCCM)所設置N2O流量(SCCM)開啟“主抽閥”時的壓力(mbar)整個系統(tǒng)的真空底壓(mtorr)3管抽真空所設置N2流量(SCCM)所設置SiH4流量(SCCM)所設置NH3流量(SCCM)所設置N2O流量(SCCM)開啟“主抽閥”時的壓力(mbar)整個系統(tǒng)的真空底壓(mtorr)深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注4管抽真空所設置N2流量(SCCM)所設置SiH4流量(SCCM)所設置N
3、H3流量(SCCM)所設置N2O流量(SCCM)開啟“主抽閥”時的壓力(mbar)整個系統(tǒng)的真空底壓(mtorr)管道清洗特氣管道內(nèi)停止輸入特氣(Y/N)特氣管道內(nèi)輸入高純氮氣(Y/N)高純氮開啟和關(guān)閉的時間(s/s)高純氮開/關(guān)次數(shù)清洗管道時1管所設置氣體流量(SCCM)N2SiHNH3n2o清洗管道時2管所設置氣體流量(SCCM)N2SiHNH3N2O深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注清洗管道時3管所設置氣體流量(SCCM)N2SiHnh3n2o清洗管道時4管所設置氣體流量(SCCM)N2SiHNH3n2o1管溫度最高溫區(qū)的溫度(00開始降溫時按下
4、“加熱關(guān)”按鈕時開始清理爐管時1管清理爐管反應管內(nèi)壓力值(mbar)反應管內(nèi)壓力值(mtorr)清理爐管、法蘭、爐門雜物(Y/N)2管溫度最高溫區(qū)的溫度C0開始降溫時按下“加熱關(guān)”按鈕時開始清理爐管時深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注2管清理爐管反應管內(nèi)壓力值(mbar)反應管內(nèi)壓力值(mtorr)清理爐管、法蘭、爐門雜物(Y/N)3管溫度最高溫區(qū)的溫度。0開始降溫時按下“加熱關(guān)”按鈕時開始清理爐管時3管清理爐管反應管內(nèi)壓力值(mbar)反應管內(nèi)壓力值(mtorr)清理爐管、法蘭、爐門雜物(Y/N)4管溫度最高溫區(qū)的溫度。0開始降溫時按下“加熱關(guān)”按鈕
5、時開始清理爐管時4管清理爐管反應管內(nèi)壓力值(mbar)反應管內(nèi)壓力值(mtorr)清理爐管、法蘭、爐門雜物(Y/N)1管機械復位平移編碼器計數(shù)值平移原點光電開關(guān)亮(Y/N)上下編碼器計數(shù)值深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注上下原點光電開關(guān)亮(Y/N)爐門已關(guān)閉(Y/N)2管機械復位平移編碼器計數(shù)值平移原點光電開關(guān)亮(Y/N)上下編碼器計數(shù)值上下原點光電開關(guān)亮(Y/N)爐門已關(guān)閉(Y/N)3管機械復位平移編碼器計數(shù)值平移原點光電開關(guān)亮(Y/N)上下編碼器計數(shù)值上下原點光電開關(guān)亮(Y/N)爐門已關(guān)閉(Y/N)4管機械復位平移編碼器計數(shù)值平移原點光電開關(guān)亮(
6、Y/N)上下編碼器計數(shù)值上下原點光電開關(guān)亮(Y/N)爐門已關(guān)閉(Y/N)深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注機械手復位1軸原點指示燈亮(丫山)2軸原點指示燈亮(丫山)3軸原點指示燈亮(丫山)已點擊【復位】按鈕(丫山)關(guān)閉主氣路閥門(Y/N)N2壓力表顯示壓力(bar/psi)N2總閥門n2調(diào)壓閥SiH4壓力表顯示壓力(bar/psi)SiH4總閥門SiH4調(diào)壓閥NH3壓力表顯示壓力(bar/psi)nh3總閥門NH3調(diào)壓閥N2O壓力表顯示壓力(bar/psi)N2O總閥門n2o調(diào)壓閥關(guān)閉1管閥門(Y/N)n2手動閥SiH4手動閥深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股
7、份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注NH3手動閥N2O手動閥關(guān)閉2管閥門(Y/N)N2手動閥SiH4手動閥NH3手動閥N2O手動閥關(guān)閉3管閥門(Y/N)N2手動閥SiH4手動閥NH3手動閥N2O手動閥關(guān)閉2管閥門(Y/N)N2手動閥SiH4手動閥NH3手動閥N2O手動閥關(guān)閉CDA閥門(Y/N)CDA總閥門CDA調(diào)壓閥1管儀表工作正常(Y/N)電子壓力規(guī)水流量計深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注尾氣稀釋流量計N2、SiH4、NH3、N2O流量計溫控儀2管儀表工作正常(Y/N)電子壓力規(guī)水流量計尾氣稀釋流量計N2、SiH4、NH3、N2O流量計溫控儀3管儀表工作正常(Y/N)電子壓力規(guī)水流量計尾氣稀釋流量計3管儀表工作正常(Y/N)N2、SiH4、NH3、N2O流量計溫控儀4管儀表工作正常(Y/N)電子壓力規(guī)水流量計尾氣稀釋流量計N2、SiH4、NH3、N2O流量計溫控儀深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責任人備注公用儀表工作正常(Y/N)數(shù)字CDA流量表斷電斷開1管所有斷路器
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 蠶繭市場需求與消費特點分析
- 食品冷凍機械商業(yè)機會挖掘與戰(zhàn)略布局策略研究報告
- 自動變速器產(chǎn)品營銷計劃書
- 漢語拼音2《i u ü 》(教學設計)一年級語文上冊同步高效課堂系列(統(tǒng)編版2024秋)
- 電腦測深儀市場需求與消費特點分析
- 車用燈具市場發(fā)展預測和趨勢分析
- 縫中設備產(chǎn)品市場環(huán)境與對策分析
- 譯碼器商業(yè)機會挖掘與戰(zhàn)略布局策略研究報告
- 重組人胰島素市場發(fā)展預測和趨勢分析
- 電機產(chǎn)品營銷計劃書
- 麥肯錫和波士頓解決問題方法和創(chuàng)造價值技巧
- Unit 4 I have a pen pal(教學設計)-2024-2025學年人教PEP版英語六年級上冊
- 2024-2030年全球與中國大碼服裝行業(yè)市場現(xiàn)狀調(diào)研分析及發(fā)展前景報告
- 2024-2030年中國電容器行業(yè)發(fā)展態(tài)勢及產(chǎn)銷需求預測報告
- SH∕T 3097-2017 石油化工靜電接地設計規(guī)范
- 2024年質(zhì)量知識競賽考試題庫500題(含答案)
- 項目管理培訓總結(jié)與心得體會(6篇)
- 蘇教版五年級數(shù)學上冊(全冊)知識點歸納總結(jié)
- 創(chuàng)傷急救專業(yè)知識培訓專家講座
- 電動汽車直流充電樁快充設計難點與解決方案
- 2024年全國碩士研究生入學統(tǒng)一考試英語(一)真題及答案
評論
0/150
提交評論