三級-高真空高真空和檢漏_第1頁
三級-高真空高真空和檢漏_第2頁
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文檔簡介

實驗步驟打開復(fù)合真空計電源，接通熱偶計，對鐘罩內(nèi)抽至1.3Pa0.13Pa抽至電離計指針基本不動時（10－3量級）記錄此時電離計的示數(shù)，然后對電離計規(guī)管除氣（5分鐘。10抽至極限真空度，記錄此時電離計和V2待擴散泵冷卻至不燙手（約四十分鐘數(shù)據(jù)記錄及處理分析5中記錄的真空系統(tǒng)的壓強，電離計的示數(shù)為P1＝2.4×10－3Pa；7中抽至極限真空度時，V2示數(shù)PV2=0.6Pa電離計的示數(shù)P2=1.7×10－3靜態(tài)升壓法測得的P－t05由上表得出的P-t曲線如下PPPP tPP t y=a+Adj.R-Square StandardPIntercept P 由圖線可知系統(tǒng)只有漏氣，無放氣。斜率dp/dt＝（0.0012±8.2E-Q漏=V*dp/dt（不知道容器的容積，無法計算漏率實驗注意事項40:為什么測量完放氣曲線后立即關(guān)閉電離答:測量完放氣曲線后，容器內(nèi)壓強10-1pa真空度比較高，而電離計的工作范圍:為什么擴散泵和機械泵之間要加儲氣答:擴散泵的工作原理是由沸騰的油分子帶動鐘罩內(nèi)的氣體分子運動，擴散到氣壓較低的儲氣罐中，油滴經(jīng)冷卻水冷卻，變成液態(tài)回流到擴散泵中，氣體分子經(jīng)儲能防止氣體反沖進入擴散泵。為什么關(guān)閉高閥和擴散泵以后不能立即關(guān)閉機械答:因為關(guān)

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