MEMS傳感器及其應(yīng)用課件

MEMS傳感器及其應(yīng)用

徐敏敏池明敏黃夏靜滕風(fēng)輝張曉雯王春柱余莉莉周彥祺黃鈺葭黃道MEMS傳感器及其應(yīng)用1目錄1引言2.MEMS的發(fā)展歷史3.什么是MEMS傳感器4.MEMS傳感器的特點5.MEMS傳感器的研究內(nèi)容6.MEMS在各個領(lǐng)域的應(yīng)用7.MEMS相關(guān)公司介紹8.MEMS的封裝目錄1引言2MEMS的發(fā)展歷史MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初，當(dāng)時用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形，會影響其表面的壓敏電阻曲線，這種變化可以把壓力轉(zhuǎn)換成電信號。后來的電路則包括電容感應(yīng)移動質(zhì)量加速計，用于觸發(fā)汽車安全氣囊和定位陀螺儀。第二輪商業(yè)化出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代，主要圍繞著PC和信息技術(shù)的興起。TI公司根據(jù)靜電驅(qū)動斜微鏡陣列推出了投影儀，而熱式噴墨打印頭現(xiàn)在仍然大行其道。第三輪商業(yè)化可以說出現(xiàn)于世紀(jì)之交，微光學(xué)器件通過全光開關(guān)及相關(guān)器件而成為光纖通訊的補充。盡管該市場現(xiàn)在蕭條，但微光學(xué)器件從長期看來將是MEMS一個增長強勁的領(lǐng)域。目前MEMS產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)的新趨勢是產(chǎn)品應(yīng)用的擴展，其開始向工業(yè)、醫(yī)療、測試儀器等新領(lǐng)域擴張。推動第四輪商業(yè)化的其它應(yīng)用包括一些面向射頻無源元件、在硅片上制作的音頻、生物和神經(jīng)元探針，以及所謂的'片上實驗室'生化藥品開發(fā)系統(tǒng)和微型藥品輸送系統(tǒng)的靜態(tài)和移動器件。MEMS的發(fā)展歷史MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年3引言

傳感器種類多樣，因此根據(jù)用途、原理都有特定的分類。例如霍爾傳感器、溫度傳感器、壓力傳感器等等。而傳感技術(shù)在近年來也得到了長足的發(fā)展，MEMS就是最具代表性的例子，MEMS技術(shù)讓我們能夠在有限的空間內(nèi)最大限度地發(fā)揮傳感器的功能，廣泛用于多種場合。那么什么是MEMS呢？引言傳感器種類多樣，因此根據(jù)用途、原理都有特定的分類。例如4什么是MEMS傳感器??微機電系統(tǒng)（MicroelectromechanicalSystems，MEMS）是將微電子技術(shù)與機械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在微米范圍內(nèi)。比它更小的，在納米范圍的類似的技術(shù)被稱為納機電系統(tǒng)。

MEMS（微機電系統(tǒng)）是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統(tǒng)。什么是MEMS傳感器??微機電系統(tǒng)（Microelectro5MEMS特點微型化智能化多功能高集成度適于大批量生產(chǎn)MEMS特點微型化6MEMS研究內(nèi)容MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域，幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域，如電子技術(shù)、機械技術(shù)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等。其研究內(nèi)容一般可以歸納為以下三個基本方面：MEMS研究內(nèi)容MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過系統(tǒng)的微型化、集成化7一、MEMS理論基礎(chǔ)在當(dāng)前MEMS所能達到的尺度下，宏觀世界基本的物理規(guī)律仍然起作用，但由于尺寸縮小帶來的影響（ScalingEffects），許多物理現(xiàn)象與宏觀世界有很大區(qū)別，因此許多原來的理論基礎(chǔ)都會發(fā)生變化，如力的尺寸效應(yīng)、微結(jié)構(gòu)的表面效應(yīng)、微觀摩擦機理等，因此有必要對微動力學(xué)、微流體力學(xué)、微熱力學(xué)、微摩擦學(xué)、微光學(xué)和微結(jié)構(gòu)學(xué)進行深入的研究。這一方面的研究雖然受到重視，但難度較大，往往需要多學(xué)科的學(xué)者進行基礎(chǔ)研究。一、MEMS理論基礎(chǔ)在當(dāng)前MEMS所能達到的尺度下，宏觀世界8二、MEMS技術(shù)基礎(chǔ)MEMS的技術(shù)基礎(chǔ)可以分為以下幾個方面：（1）設(shè)計與仿真技術(shù)；（2）材料與加工技術(shù)；（3）封裝與裝配技術(shù)；（4）測量與測試技術(shù)；（5）集成與系統(tǒng)技術(shù)等二、MEMS技術(shù)基礎(chǔ)MEMS的技術(shù)基礎(chǔ)可以分為以下幾個方面9三、MEMS應(yīng)用研究人們不僅要開發(fā)各種制造MEMS的技術(shù)，更重要的是如何將MEMS技術(shù)與航空航天、信息通信、生物化學(xué)、醫(yī)療、自動控制、消費電子以及兵器等應(yīng)用領(lǐng)域相結(jié)合，制作出符合各領(lǐng)域要求的微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)等MEMS器件與系統(tǒng)。MEMS還用于大量聲波雙工器（BulkAcousticWaveduplexer）與濾波器、麥克風(fēng)、MEMS自動聚焦致動器、壓力感測器、MEMS微微型投影儀，甚至MEMS陀螺儀。三、MEMS應(yīng)用研究人們不僅要開發(fā)各種制造MEMS的技術(shù)，10MEMS壓力傳感器原理目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機電傳感器。

硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗，極低的成本?；菟诡D電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。其電原理如圖1所示。硅壓阻式壓力傳感器其應(yīng)變片電橋的光刻版本如圖2。

MEMS壓力傳感器原理目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓11MEMS壓力傳感器

MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子：如TPMS（輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)）、發(fā)動機機油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)空氣壓力傳感器、汽車發(fā)動機進氣歧管壓力傳感器（TMAP）、柴油機共軌壓力傳感器;消費電子，如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤，洗衣機、洗碗機、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器、洗衣機、飲水機、洗碗機、太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器;工業(yè)電子，如數(shù)字壓力表、數(shù)字流量表、工業(yè)配料稱重等。MEMS壓力傳感器MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子：12典型的MEMS壓力傳感器典型的MEMS壓力傳感器管芯（die）結(jié)構(gòu)和電原理如圖7所示，左是電原理圖，即由電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋，右是管芯內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來生產(chǎn)各種壓力傳感器產(chǎn)品，如圖8所示。MEMS壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個封裝內(nèi)（MCM），使產(chǎn)品設(shè)計師很容易使用這個高度集成的產(chǎn)品設(shè)計最終產(chǎn)品。典型的MEMS壓力傳感器典型的MEMS壓力傳感器管芯（d13在軍事中的應(yīng)用作為一個在海上應(yīng)用的實例,MEMS引信/保險和引爆F(xiàn)/SA裝置已成功地用于潛艇魚雷對抗武器上。引信/保險和引爆裝置的工作包括3個獨立步驟:發(fā)射魚雷后,解除炸藥保險、引爆引信和防止在不正確時間爆炸保險。陸地上的應(yīng)用包括靈活且堅固的爆破裝置、發(fā)射裝置和其他使用MEMS慣性制導(dǎo)系統(tǒng)的武器平臺。MEMS輪胎壓力傳感器已經(jīng)用在美國軍隊裝甲運兵車的輪胎中。分布式戰(zhàn)場微型傳感器網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)是可以準(zhǔn)確地探測與查明敵人的作戰(zhàn)部署與軍隊調(diào)動的新型探測裝置,這種微型機電系統(tǒng)在布設(shè)、耐久和易損性等方面有明顯的優(yōu)點。在空中應(yīng)用方面

,MEMS壓力傳感器已在F-14戰(zhàn)斗機彈射座的助推火箭上進行了測試。噴射式渦輪發(fā)動機使用的適于在惡劣環(huán)境下工作的材料,被用于各種監(jiān)視該類發(fā)動機內(nèi)部動力學(xué)特性的傳感器上。在軍事中的應(yīng)用14生物醫(yī)療和生物醫(yī)學(xué)方面的應(yīng)用微機械技術(shù)在生物醫(yī)療中的應(yīng)用尤其令人驚嘆。例如:將微型傳感器用口服或皮下注射法送入人體,就可對體內(nèi)的五臟六腑進行直接有效的監(jiān)測。將特制的微型機器人送入人體,可刮去導(dǎo)致心臟病的油脂沉積物,除去體內(nèi)的膽固醇,可探測和清除人體內(nèi)的癌細(xì)胞,進行視網(wǎng)膜開刀時,大夫可將遙控機器人放入眼球內(nèi),在細(xì)胞操作、細(xì)胞融合、精細(xì)外科、血管、腸道內(nèi)自動送藥等方面應(yīng)用甚廣。MEMS的微小可進入很小的器官和組織和智能能自動地進行細(xì)微精確的操作的特點,可大大提高介入治療的精度,直接進入相應(yīng)病變地進行工作,降低手術(shù)風(fēng)險。同時,可進行基因分析和遺傳診斷,利用微加工技術(shù)制造各種微泵、微閥、微攝子、微溝槽、微器皿和微流量計的器件適合于操作生物細(xì)胞和生物大分子。所以,微機械在現(xiàn)代醫(yī)療技術(shù)中的應(yīng)用潛力巨大,為人類最后征服各種絕癥延長壽命帶來了希望。

生物醫(yī)療和生物醫(yī)學(xué)方面的應(yīng)用微機械技術(shù)在生物醫(yī)療中的應(yīng)用尤15游戲機游戲機是運動跟蹤和手勢識別應(yīng)用的突出代表，以具有革命性的任天堂Wii游戲機為例，微型運動傳感器能夠捕捉到玩家任何細(xì)微的動作，并將其轉(zhuǎn)化成游戲動作。MEMS技術(shù)讓玩家動起來，玩家陶醉于真實的游戲體驗，通過不同的動作融入到游戲中。例如，模仿一場真實的網(wǎng)球賽、一場引人入勝高爾夫球賽、一場緊張的拳擊賽或輕松的釣魚比賽的動作等（圖3）。游戲機游戲機是運動跟蹤和手勢識別應(yīng)用的突出代表，以具有革命性16圖3：MEMS使玩家動起來圖4：MEMS運動控制式用戶界面MEMS傳感器及其應(yīng)用課件17MEMS加速計MEMS技術(shù)在手機和PDA中的使用率正在提高，目前市場上采用MEM加速計的手機越來越多。手機中的MEMS加速計使人機界面變得更簡單、更直觀，通過手的動作就可以操作界面功能，全面增強了用戶的使用體驗。MEMS加速計MEMS技術(shù)在手機和PDA中的使用率正在提高，18

基于MEMS的線性加速計基于MEMS的線性加速計19MEMS加速計根據(jù)終端設(shè)備的指向，MEMS傳感器可以把圖像、視頻和網(wǎng)頁(無論是人物肖像還是風(fēng)景畫面)進行旋轉(zhuǎn)。通過上下左右傾斜手機，還可以查看手機菜單；只要輕輕擊打手機機身，就可以在屏幕上選中不同的圖標(biāo)，所有這些智能功能離不開新一代MEMS器件內(nèi)嵌的先進數(shù)字技術(shù)。

有了MEMS加速計，只要把設(shè)備向某一方向傾斜，就能在小屏幕上詳細(xì)查看地圖，顯示放大的圖像。MEMS還能檢測到用戶抖動手機和MP3播放器的動作，這個簡單的手勢可以讓播放器跳到下一首歌或返回到上一首歌。MEMS加速計根據(jù)終端設(shè)備的指向，MEMS傳感器可以把圖像、20

低功耗的MEMS運動傳感器還可用作先進的節(jié)能技術(shù)，當(dāng)手機沒有關(guān)閉放在飯桌上時，MEMS傳感器將會把耗電大的模塊(如顯示器背光板和GPS模塊)全部關(guān)閉，以降低手機和便攜導(dǎo)航儀的能耗。只要碰觸一下機身，又可以打開全部功能。同樣地，無論何時，把手機正面向下反放在桌子上，手機設(shè)置就會切換到靜音模式；只要碰觸一下機身，就可以關(guān)閉靜音功能。MEMS運動控制技術(shù)折射出了未來手機的樣子：只有數(shù)量很少的按鍵，不再有普通的鍵盤。向手機輸入信息時，用戶在空中書寫數(shù)字和字母，MEMS傳感器識別這些動作，手機軟件將這些動作還原成數(shù)字和字母；軟件還可以把用戶預(yù)定的動作變成特殊的自定義功能。

低功耗的MEMS運動傳感器還可用作先進的節(jié)能技術(shù)，當(dāng)手機沒21MEMS加速計與陀螺儀配合使用，可以把更先進的選擇功能變?yōu)楝F(xiàn)實，例如：能夠在空中操作的三維鼠標(biāo)和遙控器。在這些設(shè)備中，傳感器檢測到用戶的手勢，將其轉(zhuǎn)換成PC屏幕上的光標(biāo)移動或機頂盒和電視機的頻道和功能選擇。圖5是一個含有MEMS傳感器的遙控器解決方案，MEMS傳感器組、兩個陀螺儀和一個加速計檢測手腕或鼠標(biāo)在空中的動作，同時微控制器執(zhí)行動作跟蹤和手勢識別功能。然后，重組的運動曲線通過無線連接發(fā)送到機頂盒或PC機，無線鏈路可以采用紅外或射頻，具體視應(yīng)用要求而定。MEMS加速計與陀螺儀配合使用，可以把更先進的選擇功能變?yōu)楝F(xiàn)22圖7

在汽車領(lǐng)域，MEMS被用于導(dǎo)航和信息娛樂設(shè)備中

圖7

在汽車領(lǐng)域，MEMS被用于導(dǎo)航和信息娛樂設(shè)備中23MEMS陀螺儀陀螺儀能夠測量沿一個軸或幾個軸運動的角速度，是補充MEMS加速計功能的理想技術(shù)。事實上，如果組合使用加速計和陀螺儀這兩種傳感器，系統(tǒng)設(shè)計人員就可以跟蹤并捕捉三維空間的完整運動，為最終用戶提供現(xiàn)場感更強的用戶使用體驗、精確的導(dǎo)航系統(tǒng)以及其它功能。MEMS陀螺儀陀螺儀能夠測量沿一個軸或幾個軸運動的角速度，24陀螺儀在系統(tǒng)方面，陀螺儀的信號調(diào)節(jié)電路可簡化為電機驅(qū)動部分和加速傳感器感應(yīng)電路兩部分：

-電機驅(qū)動部分通過靜電驅(qū)動方法，使機械元件前后振蕩，產(chǎn)生諧振;

-感應(yīng)部分通過測量電容變化來測量科里奧利力在感應(yīng)質(zhì)點上產(chǎn)生的位移，這是一個穩(wěn)健、可靠的技術(shù)，被成功地用于ST的MEMS產(chǎn)品線，能夠提供強度與施加在傳感器上的角速率成正比的模擬或數(shù)字信號。陀螺儀在系統(tǒng)方面，陀螺儀的信號調(diào)節(jié)電路可簡化為電機驅(qū)動部分和25iPhone目前大多數(shù)手機都含有MEMS傳感器實現(xiàn)重力加速計和陀螺儀的功能，例如被用在iPhone中。通過對旋轉(zhuǎn)時運動的感知，iPhone可以自動地改變橫豎屏顯示，以便消費者能夠以合適的水平和垂直視角看到完整的頁面或者數(shù)字圖片。iPhone4到底用上了哪些傳感器呢？iPhone目前大多數(shù)手機都含有MEMS傳感器實現(xiàn)重力加速計26iPhone4中的傳感器1)影像傳感器 簡單說就是相機鏡頭，由于只牽涉到微光學(xué)與微電子，沒有機械 成份在里頭，即便加入馬達、機械驅(qū)動的鏡頭，這類的機械零件 也過大，不到「微」的地步，所以此屬于光電半導(dǎo)體，屬于光 學(xué)、 光電傳感器。2)亮度傳感器外界并不清楚iPhone4用何種方式感應(yīng)環(huán)境光亮度，而最簡單的實現(xiàn)方式是用一個光敏電阻，或者，iPhone4直接用影像傳感器充當(dāng)亮度偵測，也是可行。無論如此，此亦不帶機械成份，屬于光電類傳感器，甚至可能不是微型的，只是一般光學(xué)、光電傳感器。3)磁阻傳感器簡單講就是感測地磁，這樣講還是太學(xué)名，感應(yīng)地磁就是指南針原理，將這種地磁感應(yīng)電子化、數(shù)字化，就稱為數(shù)字指南針（DigitalCompass）。老實說，數(shù)字指南針技術(shù)比較偏玩具性，因為用來感測地磁的磁阻傳感器，很容易受環(huán)境影響（如高壓電塔旁、馬達旁），必須時時校正才有用。iPhone4中的傳感器1)影像傳感器27iPhone4中的傳感器4)近接傳感器近接傳感器的實現(xiàn)技術(shù)非常多種，可以是紅外線（例如便利商店的自動門、公共廁所的自動沖水器），可以是超音波、雷射等。同樣的，Apple沒講，我們只能亂猜或盡可能網(wǎng)搜，不過，近接傳感器也沒有迫切微型化的需要，不在熱門MEMS組件之列。5)聲波傳感器學(xué)名聲波傳感器，俗名麥克風(fēng)。是的，iPhone4為了強化聲音質(zhì)量，使用2組麥克風(fēng)與相關(guān)運算來達到降噪（降低噪音）的效果，這種技術(shù)稱為數(shù)組麥克風(fēng)（ArrayMIC），事實上早在Apple實行之前，2004年Wintel就已經(jīng)在PC上提出過，差別是Apple用于手機，Wintel用于PC。麥克風(fēng)需要微型化嗎？是的，需要，相當(dāng)需要，且使用一個以上的麥克風(fēng)，麥克風(fēng)的體積縮小需求就更迫切，麥克風(fēng)也牽涉到機械（聲波會使微型機械振動），并將機械振動轉(zhuǎn)換成電子信號，因此微型化的麥克風(fēng)，是個不折不扣的MEMS傳感器。iPhone4中的傳感器4)近接傳感器28iPhone4中的傳感器6)加速度傳感器俗稱加速規(guī)、G-Sensor，可以感應(yīng)物體的加速度性。事實上加速度傳感器的實現(xiàn)方式也是許多種，MEMS只是手法之一，用MEMS實現(xiàn)加速度傳感器確實是目前的趨勢。加速度傳感器一般有「X、Y兩軸」與「X、Y、Z三軸」兩種，兩軸多用于車、船等平面移動為多，三軸多用于飛彈、飛機等飛行物。而不用多說，Wii遙控器也是用三軸，iPhone可以感應(yīng)實體翻轉(zhuǎn)而自動對應(yīng)翻轉(zhuǎn)畫面，也是靠這個傳感器。7)角加速度傳感器更簡單講就是陀螺儀，陀螺儀實現(xiàn)技術(shù)有機械式與光學(xué)（紅外線、雷射）式，第六項的加速度傳感器比較能感測平移性，但對于物體有個軸心，進行角度性的移動，則其感應(yīng)效果不如陀螺儀好，所以許多應(yīng)用多半是混何使用加速度傳感器與陀螺儀，而今iPhone4也從善如流。不過，iPhone4確實是率先使用陀螺儀的手機。說了這么多，真的稱得上MEMS傳感器的，其實只有麥克風(fēng)、加速度傳感器、陀螺儀三個，其他的傳感器多是夸大延伸，不是不用微型化，就是根本沒用及機械技術(shù)。iPhone4中的傳感器6)加速度傳感器29MEMS的公司從全球看，MEMS產(chǎn)品是由一些美國和亞洲公司開發(fā)的，包括意法半導(dǎo)體（ST）、ogDevices公司（ADI）、惠普公司（HP）、德州儀器公司（TI），以及Memsic公司。下文將介紹各個制造商及其主要MEMS產(chǎn)品的現(xiàn)況。MEMS的公司從全球看，MEMS產(chǎn)品是由一些美國和亞洲公司開30意法半導(dǎo)體公司意法半導(dǎo)體公司是最大的MEMS制造商之一，提供單軸和多軸陀螺儀的廣泛選擇，各種滿量程區(qū)間，適用于數(shù)位相機和數(shù)位錄像機的影像穩(wěn)定，以及提高戲應(yīng)用中的用戶體驗。ST公司還提供3軸陀螺儀，能精確地測量沿三個正交軸的角速度。另外，STM還用下一代微電機聲學(xué)器件擴展了自己的產(chǎn)品組合。創(chuàng)新的MEMS麥克風(fēng)采用了Omron的傳感器技術(shù)，能夠大幅地提高聲音質(zhì)量，有出色的可靠性、健壯性，同時對現(xiàn)有/新興音頻應(yīng)用都有很好的成本效益，如手機、無線設(shè)備以及手持戲機等。關(guān)鍵是，MEMS麥克風(fēng)可以做得比最小的駐極體電容式麥克風(fēng)（electretscondensermicrophone）還要小，而對度變化、機械振動和電磁干擾更不敏感。意法半導(dǎo)體公司意法半導(dǎo)體公司是最大的MEMS制造商之一，提供31ADI公司ADI公司同時提供類比與數(shù)位型的全向MEMS麥克風(fēng)。最近，ADI與英飛凌科技公司商定共同發(fā)展下一代的汽車氣囊安全系統(tǒng)。這個ADI-英飛凌合作計劃將確保兩家公司相應(yīng)產(chǎn)品發(fā)展藍圖的協(xié)調(diào)一致，以及各自傳感器與芯片組的互通性。這個合作也將加速先進氣囊系統(tǒng)的發(fā)展，為安全系統(tǒng)供應(yīng)商和OEM商提供一個完整的設(shè)計平臺，從而實現(xiàn)一種可靠、具成本效益和易于使用的先進氣囊方案。ADI公司ADI公司同時提供類比與數(shù)位型的全向MEMS麥克風(fēng)32惠普公司惠普公司最近推出一種慣性探測技術(shù)（inertialsensingtechnology），能夠用來開發(fā)可當(dāng)作高階傳感器使用的數(shù)位MEMS加速度計。HP預(yù)計該技術(shù)將使芯片的靈敏度比今天市場上的批量產(chǎn)品提高1000倍。這種傳感器是以該公司已率先商業(yè)應(yīng)用在其打印機墨盒的MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)?；萜展净萜展咀罱瞥鲆环N慣性探測技術(shù)（inertial33

MEMS的封裝顯然地，MEMS已在我們今天常生活中的各種應(yīng)用中扎下根基。其普及的主要動力來自于成本低與體積小，從而能夠做出更小、更輕和更廉價的最終產(chǎn)品。但在MEMS前方并非一片光明。一項挑戰(zhàn)是封裝問題，因為MEMS器件的多樣性以及每個要暴露的不同環(huán)境。封裝加上測試，很容易就會將成本增加一倍。在不影響產(chǎn)品性能的情況下，研究出標(biāo)準(zhǔn)化和更廉價的封裝已成為MEMS設(shè)計的主要關(guān)注目標(biāo)。在今天的地球上，MEMS制造商投入了大量研發(fā)力量，試圖加強自己在封裝制程中的地位，為各種新設(shè)備開發(fā)新的專用封裝。當(dāng)前長足的進步與工程進展讓我們對MEMS或SoC有更新的理解。對設(shè)計工程師而言，這確實是富于挑戰(zhàn)且令人興奮的時代！

34MEMS傳感器的封裝封裝曾是MEMS技術(shù)的難點。傳統(tǒng)的MEMS封裝主要有金屬封裝、陶瓷封裝和塑料封裝三種形式。隨著MEMS封裝技術(shù)取得了很大進展，出現(xiàn)了眾多的MEMS封裝技術(shù)，大多數(shù)研究都集中在特殊應(yīng)用的不同封裝工藝，但又開發(fā)了一些較通用、較完善的封裝設(shè)計，通?？蓪⑵浞譃?個封裝層次：芯片級封裝、圓片級封裝、系統(tǒng)級封裝。MEMS傳感器的封裝封裝曾是MEMS技術(shù)的難點。35從傳感器的應(yīng)用來說，有些MEMS器件的封裝必須能夠和環(huán)境進行相互影響。例如，在壓阻傳感器內(nèi)，封裝應(yīng)力就會影響傳感器的輸出。當(dāng)封裝中不同材料混合使用時，它們的膨脹和收縮系數(shù)不同，因此，這些變化引起的應(yīng)力就附加在傳感器的壓力值中。在光學(xué)MEMS器件中，由于沖擊、震動或熱膨脹等原因而產(chǎn)生的封裝應(yīng)力會使光器件和光纖之間的對準(zhǔn)發(fā)生偏移。在高精度加速度計和陀螺儀中，封裝需要和MEMS芯片隔離以優(yōu)化性能（見下圖）。從傳感器的應(yīng)用來說，有些MEMS器件的封裝必須能夠和環(huán)境進行36結(jié)束語當(dāng)前,MEMS技術(shù)正處于高速發(fā)展前夕,21世紀(jì)會展現(xiàn)一個大發(fā)展的局面,它的廣泛應(yīng)用和效益將強有力地顯示出來,它對信息、航空、航天、自動控制、醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、力學(xué)、熱學(xué)、光學(xué)、近代物理和工程學(xué)等諸領(lǐng)域發(fā)展的影響將是深遠的,人類的生產(chǎn)和生活方式也會因此而發(fā)生重大改變結(jié)束語當(dāng)前,MEMS技術(shù)正處于高速發(fā)展前夕,21世紀(jì)37MEMS傳感器及其應(yīng)用

徐敏敏池明敏黃夏靜滕風(fēng)輝張曉雯王春柱余莉莉周彥祺黃鈺葭黃道MEMS傳感器及其應(yīng)用38目錄1引言2.MEMS的發(fā)展歷史3.什么是MEMS傳感器4.MEMS傳感器的特點5.MEMS傳感器的研究內(nèi)容6.MEMS在各個領(lǐng)域的應(yīng)用7.MEMS相關(guān)公司介紹8.MEMS的封裝目錄1引言39MEMS的發(fā)展歷史MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初，當(dāng)時用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形，會影響其表面的壓敏電阻曲線，這種變化可以把壓力轉(zhuǎn)換成電信號。后來的電路則包括電容感應(yīng)移動質(zhì)量加速計，用于觸發(fā)汽車安全氣囊和定位陀螺儀。第二輪商業(yè)化出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代，主要圍繞著PC和信息技術(shù)的興起。TI公司根據(jù)靜電驅(qū)動斜微鏡陣列推出了投影儀，而熱式噴墨打印頭現(xiàn)在仍然大行其道。第三輪商業(yè)化可以說出現(xiàn)于世紀(jì)之交，微光學(xué)器件通過全光開關(guān)及相關(guān)器件而成為光纖通訊的補充。盡管該市場現(xiàn)在蕭條，但微光學(xué)器件從長期看來將是MEMS一個增長強勁的領(lǐng)域。目前MEMS產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)的新趨勢是產(chǎn)品應(yīng)用的擴展，其開始向工業(yè)、醫(yī)療、測試儀器等新領(lǐng)域擴張。推動第四輪商業(yè)化的其它應(yīng)用包括一些面向射頻無源元件、在硅片上制作的音頻、生物和神經(jīng)元探針，以及所謂的'片上實驗室'生化藥品開發(fā)系統(tǒng)和微型藥品輸送系統(tǒng)的靜態(tài)和移動器件。MEMS的發(fā)展歷史MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年40引言

傳感器種類多樣，因此根據(jù)用途、原理都有特定的分類。例如霍爾傳感器、溫度傳感器、壓力傳感器等等。而傳感技術(shù)在近年來也得到了長足的發(fā)展，MEMS就是最具代表性的例子，MEMS技術(shù)讓我們能夠在有限的空間內(nèi)最大限度地發(fā)揮傳感器的功能，廣泛用于多種場合。那么什么是MEMS呢？引言傳感器種類多樣，因此根據(jù)用途、原理都有特定的分類。例如41什么是MEMS傳感器??微機電系統(tǒng)（MicroelectromechanicalSystems，MEMS）是將微電子技術(shù)與機械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在微米范圍內(nèi)。比它更小的，在納米范圍的類似的技術(shù)被稱為納機電系統(tǒng)。

MEMS（微機電系統(tǒng)）是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統(tǒng)。什么是MEMS傳感器??微機電系統(tǒng)（Microelectro42MEMS特點微型化智能化多功能高集成度適于大批量生產(chǎn)MEMS特點微型化43MEMS研究內(nèi)容MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域，幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域，如電子技術(shù)、機械技術(shù)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等。其研究內(nèi)容一般可以歸納為以下三個基本方面：MEMS研究內(nèi)容MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過系統(tǒng)的微型化、集成化44一、MEMS理論基礎(chǔ)在當(dāng)前MEMS所能達到的尺度下，宏觀世界基本的物理規(guī)律仍然起作用，但由于尺寸縮小帶來的影響（ScalingEffects），許多物理現(xiàn)象與宏觀世界有很大區(qū)別，因此許多原來的理論基礎(chǔ)都會發(fā)生變化，如力的尺寸效應(yīng)、微結(jié)構(gòu)的表面效應(yīng)、微觀摩擦機理等，因此有必要對微動力學(xué)、微流體力學(xué)、微熱力學(xué)、微摩擦學(xué)、微光學(xué)和微結(jié)構(gòu)學(xué)進行深入的研究。這一方面的研究雖然受到重視，但難度較大，往往需要多學(xué)科的學(xué)者進行基礎(chǔ)研究。一、MEMS理論基礎(chǔ)在當(dāng)前MEMS所能達到的尺度下，宏觀世界45二、MEMS技術(shù)基礎(chǔ)MEMS的技術(shù)基礎(chǔ)可以分為以下幾個方面：（1）設(shè)計與仿真技術(shù)；（2）材料與加工技術(shù)；（3）封裝與裝配技術(shù)；（4）測量與測試技術(shù)；（5）集成與系統(tǒng)技術(shù)等二、MEMS技術(shù)基礎(chǔ)MEMS的技術(shù)基礎(chǔ)可以分為以下幾個方面46三、MEMS應(yīng)用研究人們不僅要開發(fā)各種制造MEMS的技術(shù)，更重要的是如何將MEMS技術(shù)與航空航天、信息通信、生物化學(xué)、醫(yī)療、自動控制、消費電子以及兵器等應(yīng)用領(lǐng)域相結(jié)合，制作出符合各領(lǐng)域要求的微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)等MEMS器件與系統(tǒng)。MEMS還用于大量聲波雙工器（BulkAcousticWaveduplexer）與濾波器、麥克風(fēng)、MEMS自動聚焦致動器、壓力感測器、MEMS微微型投影儀，甚至MEMS陀螺儀。三、MEMS應(yīng)用研究人們不僅要開發(fā)各種制造MEMS的技術(shù)，47MEMS壓力傳感器原理目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機電傳感器。

硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗，極低的成本?；菟诡D電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。其電原理如圖1所示。硅壓阻式壓力傳感器其應(yīng)變片電橋的光刻版本如圖2。

MEMS壓力傳感器原理目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓48MEMS壓力傳感器

MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子：如TPMS（輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)）、發(fā)動機機油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)空氣壓力傳感器、汽車發(fā)動機進氣歧管壓力傳感器（TMAP）、柴油機共軌壓力傳感器;消費電子，如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤，洗衣機、洗碗機、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器、洗衣機、飲水機、洗碗機、太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器;工業(yè)電子，如數(shù)字壓力表、數(shù)字流量表、工業(yè)配料稱重等。MEMS壓力傳感器MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子：49典型的MEMS壓力傳感器典型的MEMS壓力傳感器管芯（die）結(jié)構(gòu)和電原理如圖7所示，左是電原理圖，即由電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋，右是管芯內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來生產(chǎn)各種壓力傳感器產(chǎn)品，如圖8所示。MEMS壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個封裝內(nèi)（MCM），使產(chǎn)品設(shè)計師很容易使用這個高度集成的產(chǎn)品設(shè)計最終產(chǎn)品。典型的MEMS壓力傳感器典型的MEMS壓力傳感器管芯（d50在軍事中的應(yīng)用作為一個在海上應(yīng)用的實例,MEMS引信/保險和引爆F(xiàn)/SA裝置已成功地用于潛艇魚雷對抗武器上。引信/保險和引爆裝置的工作包括3個獨立步驟:發(fā)射魚雷后,解除炸藥保險、引爆引信和防止在不正確時間爆炸保險。陸地上的應(yīng)用包括靈活且堅固的爆破裝置、發(fā)射裝置和其他使用MEMS慣性制導(dǎo)系統(tǒng)的武器平臺。MEMS輪胎壓力傳感器已經(jīng)用在美國軍隊裝甲運兵車的輪胎中。分布式戰(zhàn)場微型傳感器網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)是可以準(zhǔn)確地探測與查明敵人的作戰(zhàn)部署與軍隊調(diào)動的新型探測裝置,這種微型機電系統(tǒng)在布設(shè)、耐久和易損性等方面有明顯的優(yōu)點。在空中應(yīng)用方面

,MEMS壓力傳感器已在F-14戰(zhàn)斗機彈射座的助推火箭上進行了測試。噴射式渦輪發(fā)動機使用的適于在惡劣環(huán)境下工作的材料,被用于各種監(jiān)視該類發(fā)動機內(nèi)部動力學(xué)特性的傳感器上。在軍事中的應(yīng)用51生物醫(yī)療和生物醫(yī)學(xué)方面的應(yīng)用微機械技術(shù)在生物醫(yī)療中的應(yīng)用尤其令人驚嘆。例如:將微型傳感器用口服或皮下注射法送入人體,就可對體內(nèi)的五臟六腑進行直接有效的監(jiān)測。將特制的微型機器人送入人體,可刮去導(dǎo)致心臟病的油脂沉積物,除去體內(nèi)的膽固醇,可探測和清除人體內(nèi)的癌細(xì)胞,進行視網(wǎng)膜開刀時,大夫可將遙控機器人放入眼球內(nèi),在細(xì)胞操作、細(xì)胞融合、精細(xì)外科、血管、腸道內(nèi)自動送藥等方面應(yīng)用甚廣。MEMS的微小可進入很小的器官和組織和智能能自動地進行細(xì)微精確的操作的特點,可大大提高介入治療的精度,直接進入相應(yīng)病變地進行工作,降低手術(shù)風(fēng)險。同時,可進行基因分析和遺傳診斷,利用微加工技術(shù)制造各種微泵、微閥、微攝子、微溝槽、微器皿和微流量計的器件適合于操作生物細(xì)胞和生物大分子。所以,微機械在現(xiàn)代醫(yī)療技術(shù)中的應(yīng)用潛力巨大,為人類最后征服各種絕癥延長壽命帶來了希望。

生物醫(yī)療和生物醫(yī)學(xué)方面的應(yīng)用微機械技術(shù)在生物醫(yī)療中的應(yīng)用尤52游戲機游戲機是運動跟蹤和手勢識別應(yīng)用的突出代表，以具有革命性的任天堂Wii游戲機為例，微型運動傳感器能夠捕捉到玩家任何細(xì)微的動作，并將其轉(zhuǎn)化成游戲動作。MEMS技術(shù)讓玩家動起來，玩家陶醉于真實的游戲體驗，通過不同的動作融入到游戲中。例如，模仿一場真實的網(wǎng)球賽、一場引人入勝高爾夫球賽、一場緊張的拳擊賽或輕松的釣魚比賽的動作等（圖3）。游戲機游戲機是運動跟蹤和手勢識別應(yīng)用的突出代表，以具有革命性53圖3：MEMS使玩家動起來圖4：MEMS運動控制式用戶界面MEMS傳感器及其應(yīng)用課件54MEMS加速計MEMS技術(shù)在手機和PDA中的使用率正在提高，目前市場上采用MEM加速計的手機越來越多。手機中的MEMS加速計使人機界面變得更簡單、更直觀，通過手的動作就可以操作界面功能，全面增強了用戶的使用體驗。MEMS加速計MEMS技術(shù)在手機和PDA中的使用率正在提高，55

基于MEMS的線性加速計基于MEMS的線性加速計56MEMS加速計根據(jù)終端設(shè)備的指向，MEMS傳感器可以把圖像、視頻和網(wǎng)頁(無論是人物肖像還是風(fēng)景畫面)進行旋轉(zhuǎn)。通過上下左右傾斜手機，還可以查看手機菜單；只要輕輕擊打手機機身，就可以在屏幕上選中不同的圖標(biāo)，所有這些智能功能離不開新一代MEMS器件內(nèi)嵌的先進數(shù)字技術(shù)。

有了MEMS加速計，只要把設(shè)備向某一方向傾斜，就能在小屏幕上詳細(xì)查看地圖，顯示放大的圖像。MEMS還能檢測到用戶抖動手機和MP3播放器的動作，這個簡單的手勢可以讓播放器跳到下一首歌或返回到上一首歌。MEMS加速計根據(jù)終端設(shè)備的指向，MEMS傳感器可以把圖像、57

低功耗的MEMS運動傳感器還可用作先進的節(jié)能技術(shù)，當(dāng)手機沒有關(guān)閉放在飯桌上時，MEMS傳感器將會把耗電大的模塊(如顯示器背光板和GPS模塊)全部關(guān)閉，以降低手機和便攜導(dǎo)航儀的能耗。只要碰觸一下機身，又可以打開全部功能。同樣地，無論何時，把手機正面向下反放在桌子上，手機設(shè)置就會切換到靜音模式；只要碰觸一下機身，就可以關(guān)閉靜音功能。MEMS運動控制技術(shù)折射出了未來手機的樣子：只有數(shù)量很少的按鍵，不再有普通的鍵盤。向手機輸入信息時，用戶在空中書寫數(shù)字和字母，MEMS傳感器識別這些動作，手機軟件將這些動作還原成數(shù)字和字母；軟件還可以把用戶預(yù)定的動作變成特殊的自定義功能。

低功耗的MEMS運動傳感器還可用作先進的節(jié)能技術(shù)，當(dāng)手機沒58MEMS加速計與陀螺儀配合使用，可以把更先進的選擇功能變?yōu)楝F(xiàn)實，例如：能夠在空中操作的三維鼠標(biāo)和遙控器。在這些設(shè)備中，傳感器檢測到用戶的手勢，將其轉(zhuǎn)換成PC屏幕上的光標(biāo)移動或機頂盒和電視機的頻道和功能選擇。圖5是一個含有MEMS傳感器的遙控器解決方案，MEMS傳感器組、兩個陀螺儀和一個加速計檢測手腕或鼠標(biāo)在空中的動作，同時微控制器執(zhí)行動作跟蹤和手勢識別功能。然后，重組的運動曲線通過無線連接發(fā)送到機頂盒或PC機，無線鏈路可以采用紅外或射頻，具體視應(yīng)用要求而定。MEMS加速計與陀螺儀配合使用，可以把更先進的選擇功能變?yōu)楝F(xiàn)59圖7

在汽車領(lǐng)域，MEMS被用于導(dǎo)航和信息娛樂設(shè)備中

圖7

在汽車領(lǐng)域，MEMS被用于導(dǎo)航和信息娛樂設(shè)備中60MEMS陀螺儀陀螺儀能夠測量沿一個軸或幾個軸運動的角速度，是補充MEMS加速計功能的理想技術(shù)。事實上，如果組合使用加速計和陀螺儀這兩種傳感器，系統(tǒng)設(shè)計人員就可以跟蹤并捕捉三維空間的完整運動，為最終用戶提供現(xiàn)場感更強的用戶使用體驗、精確的導(dǎo)航系統(tǒng)以及其它功能。MEMS陀螺儀陀螺儀能夠測量沿一個軸或幾個軸運動的角速度，61陀螺儀在系統(tǒng)方面，陀螺儀的信號調(diào)節(jié)電路可簡化為電機驅(qū)動部分和加速傳感器感應(yīng)電路兩部分：

-電機驅(qū)動部分通過靜電驅(qū)動方法，使機械元件前后振蕩，產(chǎn)生諧振;

-感應(yīng)部分通過測量電容變化來測量科里奧利力在感應(yīng)質(zhì)點上產(chǎn)生的位移，這是一個穩(wěn)健、可靠的技術(shù)，被成功地用于ST的MEMS產(chǎn)品線，能夠提供強度與施加在傳感器上的角速率成正比的模擬或數(shù)字信號。陀螺儀在系統(tǒng)方面，陀螺儀的信號調(diào)節(jié)電路可簡化為電機驅(qū)動部分和62iPhone目前大多數(shù)手機都含有MEMS傳感器實現(xiàn)重力加速計和陀螺儀的功能，例如被用在iPhone中。通過對旋轉(zhuǎn)時運動的感知，iPhone可以自動地改變橫豎屏顯示，以便消費者能夠以合適的水平和垂直視角看到完整的頁面或者數(shù)字圖片。iPhone4到底用上了哪些傳感器呢？iPhone目前大多數(shù)手機都含有MEMS傳感器實現(xiàn)重力加速計63iPhone4中的傳感器1)影像傳感器 簡單說就是相機鏡頭，由于只牽涉到微光學(xué)與微電子，沒有機械 成份在里頭，即便加入馬達、機械驅(qū)動的鏡頭，這類的機械零件 也過大，不到「微」的地步，所以此屬于光電半導(dǎo)體，屬于光 學(xué)、 光電傳感器。2)亮度傳感器外界并不清楚iPhone4用何種方式感應(yīng)環(huán)境光亮度，而最簡單的實現(xiàn)方式是用一個光敏電阻，或者，iPhone4直接用影像傳感器充當(dāng)亮度偵測，也是可行。無論如此，此亦不帶機械成份，屬于光電類傳感器，甚至可能不是微型的，只是一般光學(xué)、光電傳感器。3)磁阻傳感器簡單講就是感測地磁，這樣講還是太學(xué)名，感應(yīng)地磁就是指南針原理，將這種地磁感應(yīng)電子化、數(shù)字化，就稱為數(shù)字指南針（DigitalCompass）。老實說，數(shù)字指南針技術(shù)比較偏玩具性，因為用來感測地磁的磁阻傳感器，很容易受環(huán)境影響（如高壓電塔旁、馬達旁），必須時時校正才有用。iPhone4中的傳感器1)影像傳感器64iPhone4中的傳感器4)近接傳感器近接傳感器的實現(xiàn)技術(shù)非常多種，可以是紅外線（例如便利商店的自動門、公共廁所的自動沖水器），可以是超音波、雷射等。同樣的，Apple沒講，我們只能亂猜或盡可能網(wǎng)搜，不過，近接傳感器也沒有迫切微型化的需要，不在熱門MEMS組件之列。5)聲波傳感器學(xué)名聲波傳感器，俗名麥克風(fēng)。是的，iPhone4為了強化聲音質(zhì)量，使用2組麥克風(fēng)與相關(guān)運算來達到降噪（降低噪音）的效果，這種技術(shù)稱為數(shù)組麥克風(fēng)（ArrayMIC），事實上早在Apple實行之前，2004年Wintel就已經(jīng)在PC上提出過，差別是Apple用于手機，Wintel用于PC。麥克風(fēng)需要微型化嗎？是的，需要，相當(dāng)需要，且使用一個以上的麥克風(fēng)，麥克風(fēng)的體積縮小需求就更迫切，麥克風(fēng)也牽涉到機械（聲波會使微型機械振動），并將機械振動轉(zhuǎn)換成電子信號，因此微型化的麥克風(fēng)，是個不折不扣的MEMS傳感器。iPhone4中的傳感器4)近接傳感器65iPhone4中的傳感器6)加速度傳感器俗稱加速規(guī)、G-Sensor，可以感應(yīng)物體的加速度性。事實上加速度傳感器的實現(xiàn)方式也是許多種，MEMS只是手法之一，用MEMS實現(xiàn)加速度傳感器確實是目前的趨勢。加速度傳感器一般有「X、Y兩軸」與「X、Y、Z三軸」兩種，兩軸多用于車、船等平面移動為多，三軸多用于飛彈、飛機等飛行物。而不用多說，Wii遙控器也是用三軸，iPhone可以感應(yīng)實體翻轉(zhuǎn)而自動對應(yīng)翻轉(zhuǎn)畫面，也是靠這個傳感器。7)角加速度傳感器更簡單講就是陀螺儀，陀螺儀實現(xiàn)技術(shù)有機械式與光學(xué)（紅外線、雷射）式，第六項的加速度傳感器比較能感測平移性，但對于物體有個軸心，進行角度性的移動，則其感應(yīng)效果不如陀螺儀好，所以許多應(yīng)用多半是混何使用加速度傳感器與陀螺儀，而今iPhone4也從善如流。不過，iPhone4確實是率先使用陀螺儀的手機。說了這么多，真的稱得上MEMS傳感器的，其實只有麥克風(fēng)、加速度傳感器、陀螺儀三個，其他的傳感器多是夸大延伸，不是不用微型化，就是根本沒用及機械技術(shù)。iPhone4中的傳感器6)加速度傳感器66MEMS的公司從全球看，MEMS產(chǎn)品是由一些美國和亞洲公司開發(fā)的，包括意法半導(dǎo)體（ST）、ogDevices公司（ADI）、惠普公司（HP）、德州儀器公司（TI），以及Memsic公司。下文將介紹各個制造商及其主要MEMS產(chǎn)品的現(xiàn)況。MEMS的公司從全球看，MEMS產(chǎn)品是由一些美國和亞洲公司開67意法半導(dǎo)體公司意法半導(dǎo)體公司是最