長度計量第六章角度及角位移測量

關(guān)于長度計量第六章角度及角位移測量第1頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

第六章

角度及角位移測量本章主要內(nèi)容:1.角度的量值傳遞系統(tǒng)及圓封閉原則2.角度的各種測量方法3.圓分度誤差的測量和評價第2頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六第一節(jié)概述

一．角度單位及量值傳遞角度單位：度（°），分（′），秒（″）和弧度（rad)角度測量：將被測角度與標準角度進行比較并確定被測角度的量值。角度量值的傳遞過程：

逐級用高精度角度標準檢定低精度角度標準。二．角度的自然基準和圓周封閉原則自然基準：360°圓周角圓周封閉原則：整圓周上所有角間隔的誤差之和為零（圓周內(nèi)誤差封閉的原理）第3頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六三．實物基準實物基準：傳統(tǒng)的角度實物基準是角度塊規(guī)，后來是以高精度等分360o的圓分度器件.包括：高精度度盤、圓光柵、圓感應(yīng)同步器、角編碼器、多面棱體、多齒分度盤1.高精度度盤：常用于角度及圓分度誤差的靜態(tài)測量。2.圓光柵：光柵盤的分辨率多為10,20,用于動態(tài)測量。因其能自動瞄準讀數(shù)，常用于高精度智能化儀器及加工機械中。3.圓感應(yīng)同步器：包括激磁繞組（固定盤）和感應(yīng)繞組（動盤）兩部分。由于抗干擾能力強，常用于加工現(xiàn)場的測量。第4頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六第5頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六第6頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六4.角編碼器：將角位置定義成數(shù)字代碼的裝置，使用方便，但難以實現(xiàn)微小分度。編碼盤大多用光學(xué)玻璃制成，上面有許多同心碼道，每個碼道上有許多透光和不透光的部分，它們相間排列。如果透光=1，不透光=0，那么光電接收器的信號可以用數(shù)碼表示：0101…----絕對碼碼盤的分辨力與碼盤的碼道數(shù)關(guān)系：=360/2n如：3位編碼器，分辨力為：360/23=45o第7頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六第8頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六5.多面棱體：

形狀是正棱柱體，體面數(shù)：4、6、8、12、36、72以各工作面法線的夾角體現(xiàn)角度基準，分度精度可達0.5～1。常用于檢定安裝后的分度器件。常與自準直儀等讀數(shù)系統(tǒng)配合使用。應(yīng)用于測量圓分度誤差。多面棱體結(jié)構(gòu)示意圖1.被測度盤2.多面棱體3.工作臺

4.自準直儀5.讀數(shù)顯微鏡6.底座8第9頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六圖5－3多齒分度盤結(jié)構(gòu)示意圖a)整體結(jié)構(gòu)b)彈性齒c)剛性齒6.多齒分度盤：結(jié)構(gòu)：上齒盤、下齒盤，直徑、齒數(shù)、齒形相同齒數(shù)：360、720、1440原理：下齒盤固定不動，上齒盤抬起脫離嚙合后，即可繞其主軸旋轉(zhuǎn)；再次嚙合，即可根據(jù)轉(zhuǎn)過的齒數(shù)多少進行精確分度。特點：精度高，可達±0.1”的分度精度。具有自動定心、操作簡單、壽命長等優(yōu)點。第10頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六實現(xiàn)小分辨率分度值可采用差動方式，如實現(xiàn)l的分辨率時上：36060/864=25，下：36060/900=24。

第11頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六利用多齒分度盤測量角度塊第12頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六第二節(jié)單一角度尺寸的測量直接測量1.測角儀（絕對測量）2.工具顯微鏡（絕對測量）3.自準直儀(相對測量）4.激光干涉小角度測量儀（相對測量）間接測量坐標測量平臺測量其他測量方法第13頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

角度的直接測量法：

將被測角度與標準角度相比較而直接確定其實際角度或偏差的方法。

凡帶有圓周角度刻度盤及其細分讀數(shù)裝置的量儀均可用做角度的直接測量。如光學(xué)分度盤、圓光柵等，這些儀器大多采用自準直光管瞄準，也有少數(shù)儀器采用影象法瞄準或采用接觸式瞄難。

第14頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六1.測角儀

測量范圍：

角度量塊、多面棱體、棱鏡的角度、光楔的楔角及平板玻璃兩平面的平行度等。用測角儀測量的工件一般用平行于被測角平面的端平面定位，且要求構(gòu)成被測角的被瞄準平面具有較高的反射率。

第15頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六71.工作臺2.分度盤3.主軸4.自準直光管5.讀數(shù)顯微鏡6.轉(zhuǎn)臂7.平行光管8.底座9.工件第16頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六手動旋轉(zhuǎn)自動讀數(shù)第17頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

測角儀的瞄準方式示意圖

測量時先用瞄準器瞄準被測件上組成被測角的第一個幾何要素(可能是點、線、面)(如圖中ABC所示位置)，由讀數(shù)裝置讀得讀數(shù)1

，然后使圓分度器件、主軸、工作臺及被測件一起回轉(zhuǎn)，直至瞄準器瞄準組成被測角的第二個幾何要素(如圖A’B’C’所示位置)，讀得讀數(shù)2

。根據(jù)被測角的定義作簡單的數(shù)據(jù)處理，便可得被測角度值。第18頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六2.工具顯微鏡測量范圍：

角度樣板、螺紋的牙型角、齒條上的齒形角以及刀具錐柄的錐角等。采用影像法瞄準時，成像的平行光應(yīng)與被測角度所在平面垂直，必須正確調(diào)焦使輪廓影像清晰。由于對線精度高于壓線精度，所以，用分劃板上的米線瞄準角輪廓時，采用如圖所示的對線方法，即讓米字虛線與輪廓邊緣保持一個狹窄光隙，以上光隙的寬度是否一致來判斷是否對準。影像法測角的瞄準方法結(jié)構(gòu)示意圖第19頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六相對測量

單一角度的相對測量，是將被測角與角度塊規(guī)或其它角度基準進行比較，用小角度測量儀測得偏差值，小角度測量儀的示值范圍較小，一般的為10′，較大的可至30′，也有更小的僅為1′。1.光學(xué)自準直儀組成：體外反射鏡、帶有物鏡組的光管部件、自準直測微目鏡部件。第20頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六原理：自準直分化板2和測微分劃板5都位于物鏡3的焦平面上。光源1發(fā)出的光束照射自準直分劃板2，由物鏡3將分劃板像成至無窮遠；經(jīng)反射鏡或工件表面反射后，自準直分劃板2的像有由物鏡再次成像在目鏡測微分劃板5的刻劃面上，用目鏡6可觀察到自準直分劃板像與測微分劃板零位的相對位置，由此可確定反射面4的法線與光軸的夾角。1.光源2.自準直分劃板3.物鏡4.反射面5.測微分劃板6.目鏡第21頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六圖a中，光源S發(fā)出的光，照亮了位于物鏡焦面上的分劃板，經(jīng)物鏡后成平行光束，這樣的簡單光學(xué)裝置即平行光管。垂直于光軸的反射鏡反射回來的平行光束通過物鏡仍在分劃板上的原來位置成一實象。這種現(xiàn)象稱為“自準直”。平行光管與反射鏡即構(gòu)成自準直光管（準直儀）自準直法就是通過將被測量轉(zhuǎn)換為反射鏡的傾斜量進行測量的，如測量直線度、平面度誤差。a第22頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六t與角的關(guān)系為:

如圖b所示，當反射鏡傾斜一a角時，則按光的反射定律，將在分劃板上距O點為t的O’點成象，被測量就是通過t反映出來的。第23頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

測量時，使標準角度塊和被測角度塊的定位面處于同一位置定位，然后依次對構(gòu)成標準角和被測角的另一平面瞄準。若瞄準標準角度塊時，調(diào)整自準直儀光軸的方位使讀數(shù)為零，則瞄準被測角度塊時的讀數(shù)即為被測角相對于標準角的偏差值。第24頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六第25頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六2.激光小角度測量儀測量原理：測量被測角與標準角的微小差角的對邊，然后應(yīng)用正弦原理求出這個微小的差角。

上式中的R是儀器的設(shè)計值。該儀器設(shè)計采用了兩次光學(xué)倍頻，實現(xiàn)了8細分，在后續(xù)處理電路中實現(xiàn)了電學(xué)4細分，共實現(xiàn)32細分第26頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六瞄準：采用白光雙光束干涉瞄準白光光源發(fā)出的光，經(jīng)準直透鏡后成為平行光，由分光鏡H分為兩束，經(jīng)反射鏡M1，M2透到工件表面，并被工件返回，在交會處產(chǎn)生干涉條紋；一邊調(diào)整工件方位，一邊用調(diào)焦望遠鏡觀察干涉條紋直到零級黑色條紋出現(xiàn)為止。第27頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

二、角度和錐度的間接測量法

在有的情況下對角（錐）度的直接測量很不方便或難以達到測量精度的要求時，就要采用間接測量的方法。

角（錐）度的間接測量，是直接測量與該角（錐）度有關(guān)的若干長度量，再通過它們之間的函數(shù)關(guān)系計算得到被測角（錐）度。(一)坐標測量

凡是帶有二維或三維坐標測量裝置的測長儀器，均可實現(xiàn)平面角度的坐標測量，而一維測長儀器一般僅用于后述的平臺測量。由于長度測量可以達到很高精度，所以間接測角方法要比一般測角方法精度更高，這在小角度測量時表現(xiàn)的更為突出。第28頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六三坐標測量機測量外錐體錐度測量時應(yīng)盡可能選擇靠近錐體兩端的橫截面A、B為測量截面，即使軸向間距L盡可能的大，每個截面上各測三點坐標(x1，y1,z1)、(x2，y2，z2)、(x3,y3,z3)、(x4,y4,z4)、(x5，y5,z5)、(x6,y6,z6)求得直徑dA和dB，則錐體的錐度又可用下式求得第29頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六雙坐標測量儀測量內(nèi)錐錐度在工具顯微鏡上，用光學(xué)靈敏杠桿測孔徑的方法可測得內(nèi)錐體的錐度，測量原理如圖所示。將錐體在工作臺上定位，且必須錐孔大端朝上。先在靠近大端處測得直徑D1，再在被測錐的下面墊上尺寸為H的量塊，并保持測頭縱向位置不變，測得靠近錐體小端處的截面直徑D2，則所測內(nèi)錐的錐度即為第30頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六(二)平臺測量

平臺測量一般是利用通用的量具量儀(千分尺、卡尺、百分表、比較儀等)、長度基準(量塊)、輔助量具(平板、平尺、直角尺、正弦規(guī)等)和其它輔具(圓柱、心軸等)來測量零件的長度尺寸和角度尺寸。由于測量在作為測量基準的平板上進行，因此稱為平臺測量。第31頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

1．用標準圓柱測量內(nèi)燕尾槽的斜角

可用兩對不等直徑或一對相等直徑標準圓柱測量。

用兩對不等直徑圓柱測量時，將半徑為r1和r2的圓柱先后塞進燕尾槽內(nèi)，并緊靠燕尾槽兩內(nèi)斜面，用量塊組試塞的方法確定或用測孔徑量具測定圓柱間的間距M1和M2，內(nèi)燕尾槽的斜角a可由下式確定用一對等徑圓柱測量時，先測出M1，再在兩圓柱下墊上尺寸為a的量塊，測出M2，則內(nèi)燕尾槽的斜角為：

第32頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六2．用標準鋼球測量內(nèi)錐角第33頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六3．用正弦規(guī)測量角（錐）度

正弦規(guī)的結(jié)構(gòu)如圖所示。正弦規(guī)的上表面為工作面，在正弦規(guī)主體1下方固定有兩個直徑相等且互相平行的圓柱體2，它們下母線的公切面與上工作面平行。在主體側(cè)面和前面分別裝有可供被測件定位用的側(cè)擋板4和前擋板3，它們分別垂直和平行于兩圓柱的軸心線。第34頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六第35頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

正弦規(guī)按正弦原理工作，即在平板工作面與正弦規(guī)一側(cè)的圓柱之間安放一組尺寸為H的量塊，使正弦規(guī)工作面相對于平板工作面的傾斜角度0等于被測角(錐)度的公稱值，(如圖所示)。量塊尺寸H由下式?jīng)Q定第36頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

將被測件安放在正弦規(guī)工作面上，用正弦規(guī)前擋板或側(cè)擋板正確定位，使被測角位于與正弦規(guī)圓柱軸線垂直的平面內(nèi)。若被測角的實際值與公稱值一致，則角度塊表面或圓錐的上素線與平板工作面平行；若被測角有偏差即則在平臺上移動測微計，可測得被測角上邊線兩端的高度差。設(shè)兩個測量位置的間距為，測微計在測角塊的小端和大端兩個位置的讀數(shù)值分別為，則被測角偏差為第37頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

由此，用正弦規(guī)測量角度的誤差由標準角度α0的誤差和測量Δα?xí)r的誤差兩部分組成。（1）標準角度α0的誤差主要由以下四項組成

1）正弦規(guī)兩圓柱中心偏差引起的誤差δα01。

兩圓柱中心矩偏差可用中心矩制造公差值δL（即偏差的最大值）來表示。如果采用高精度的測量方法將兩圓柱中心矩實際值L測出，中心局偏差ΔL引起的角度系統(tǒng)誤差即可被修正掉。

2）所用量塊組的尺寸偏差δH引起的誤差δα02，它們之間的關(guān)系是第38頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六3）正弦規(guī)工作面對兩圓柱下公切面的平行度誤差δh引起的誤差δα03,它們之間的關(guān)系是如果在第1次測量以后，將量塊組換置在正弦規(guī)另一個圓柱下面，組成標準角后再進行第2次測量，并取兩次測得值的平均數(shù)作為測量結(jié)果，則可以消除δh引起的測角誤差。4）平板平面度誤差引起的誤差δα04

這里δp是指放置正弦規(guī)和量塊組區(qū)域內(nèi)的平面度誤差。應(yīng)將規(guī)程中所給整個平板的平面度誤差值適當縮小，作為δp值。為提高正弦規(guī)測角精度，應(yīng)采用零級平板。第39頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六因此，標準角度的誤差為由前面幾式聯(lián)立可以看出，欲減小標準角度的誤差，需選擇兩圓柱中心矩L較大的正弦規(guī)。而且被測角度α越小時，標準角度的精度越高。由于角度的正切與正割兩函數(shù)在超過45o以后增加變快，為保證測角精度，正弦規(guī)和平板間形成的標準角度不宜超過45o

。第40頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

環(huán)形激光器的基本結(jié)構(gòu)如圖所示，其由等邊三角形（或四邊形等）的光學(xué)諧振腔1和位于腔管內(nèi)的氦一氖氣體放電管4組成。諧振腔由腔管和反射鏡組成閉合回路，反射鏡2、3是全反鏡，反射鏡5允許少量光線透射。氣體放電管的兩端都發(fā)出激光，一束順時針方向傳播，另一束逆時針方向傳播，棱鏡6將兩束光中透過反射鏡5的部分合成一束，射向接收器。接收器由光電轉(zhuǎn)換元件和頻率檢測裝置組成。其他測量方法——環(huán)形激光器測量法環(huán)形激光器結(jié)構(gòu)示意圖1光學(xué)諧振腔2全反鏡3全反鏡4氦-氖氣體放電管5反射鏡6棱鏡

第41頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

如果環(huán)形激光器靜止不動，則順時針傳播的光與逆時針傳播的光光程相等，均為激光器閉合腔長度L，因此它們具有相同的頻率f。如果環(huán)形激光器以一定的角速度轉(zhuǎn)動，則反向傳播的兩束光將產(chǎn)生光程差，且光程差的大小ΔL與激光器旋轉(zhuǎn)的角速度ω成正比。由光程差ΔL引起的兩束光的頻率差Δf與角速度ω的關(guān)系為：

式中，A為環(huán)形激光器光路所包圍的面積，對一確定的環(huán)形激光器，A、λ、L均為常數(shù)。將上式中的ω對時間積分，可得在時間（t2-t1）內(nèi)，環(huán)形激光器相對于慣性系統(tǒng)的轉(zhuǎn)角

第42頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六頻差為Δf的兩路光波迭加產(chǎn)生拍頻信號，頻差Δf對時間的積分，可由拍頻信號在（t2-t1）時間內(nèi)傳播的拍頻數(shù)N確定，即所以在角度測量中，環(huán)形激光器、被測工件均與工作臺同步旋轉(zhuǎn)，用接收器接收激光器旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的光波拍頻信號，用儀器對工件的兩次瞄準信號控制接收器的開關(guān)時間（t2-t1），然后由測頻裝置確定Δf的正負（辨別旋轉(zhuǎn)方向）及所接收到的拍頻數(shù)N。第43頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

把圓周進行等分(例如n等分)，從而得到所需要的角度，稱為圓分度。度盤、圓光柵盤、圓感應(yīng)同步器、多面棱體、多齒分度盤等均可做為標準圓分度器件。對圓周進行等分時產(chǎn)生的不均勻性就是圓分度誤差。圓周封閉特性：整周上圓分度誤差值和等于零的特性。第三節(jié)圓分度誤差測量第44頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

一．圓分度誤差的評定指標1．圓分度誤差

各分度刻線(或具有分度特性的幾何要素)的實際位置對其理論位置的偏差。用i表示。分度誤差有正負值。以刻線的理論位置為準，實際刻線在角度增加的一側(cè)，則分度誤差為正，反之為負。圖中，θ0為正值，θ1為負值，θ2為零。第45頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

圓分度誤差的大小取決于刻線的理論位置。用于質(zhì)量評定的刻線理論位置是以全部圓分度誤差之和等于零為條件來確定的。即根據(jù)理論位置確定的刻線誤差具有:

的特性，且由該理論位置得到的圓分度誤差是唯一確定的2．零起分度誤差

以零刻線的實際位置為基準，確定全部刻線的理論位置，并由此求得的分度誤差稱為零起分度誤差，用表示。零起分度誤差的一般表達式為測量中，一般先測出刻線的零起分度誤差，然后再算出用于質(zhì)量評定的唯一確定的圓分度誤差。計算公式為第46頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

3．分度間隔誤差

度盤上相鄰兩刻線之間的角距離稱為間隔，實際間隔角度值與理論間隔角度值0之差即為分度間隔誤差(如圖所示)，用表示。分度間隔誤差的一般表達式為分度間隔誤差與零起分度誤差的關(guān)系為分度誤差也具有圓周封閉性，即第47頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

4．直徑誤差

為減小度盤圓分度誤差對測量的影響，很多測角儀器瞄準度盤上對徑位置上兩刻線的平均位置讀數(shù)，或在對徑位置上安置兩個讀數(shù)顯微鏡取其讀數(shù)的平均值作為測得值。這時度盤的分度精度不再以單個刻線誤差作指標，而以度盤對徑位置上兩刻線分度誤差的平均值作指標，該平均值即為直徑誤差，用(i)表示。直徑誤差的一般表達式為(i)ii+180AA0BB0O推倒過程：第48頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六如:度盤中心O，R為半徑，軸系回轉(zhuǎn)中心O1,偏心為e當軸系的轉(zhuǎn)角為時,度盤讀值為0誤差為=0-,由圖可知

在對徑位置上安置兩個讀數(shù)顯微鏡取其讀數(shù)的平均值作為測得值可以消除偏心e的影響AB第49頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

二、圓分度誤差的絕對測量法將被測圓分度器件與標準圓分度器件同軸安裝，并進行直接比較測量以求得被測圓分度誤差的方法，是圓分度誤差的絕對測量法。其測量原理簡單，標準件的誤差和測微瞄準、讀數(shù)裝置的誤差是兩項最主要的誤差。為提高圓分度誤差直接測量法的精度，必須設(shè)法減小標準分度器件的誤差與瞄準、讀數(shù)裝置的誤差。

1.標準度盤平均瞄準法的原理作為圓分度器件的標準度盤是圓周封閉的，其刻線誤差也是周而復(fù)始的，故可把度盤的刻線誤差值看成是一個以2∏為周期的刻線位置的函數(shù)。把它展開成為傅氏級數(shù)第50頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六實際上度盤刻線是有限的（設(shè)為2n條），并且常取全部刻線誤差之和為零（即）來確定各刻線誤差值。因此，度盤的刻線誤差可寫為A0=0，度盤的刻線誤差可寫為在度盤刻度圓上均勻地分布m個讀數(shù)裝置，他們相互間夾角為：第51頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六分別從它們上面取得讀數(shù)值。第1個讀數(shù)裝置瞄準度盤上α1刻線，帶入的誤差是第2個讀數(shù)裝置瞄準度盤上刻線，帶入的誤差是第m個讀數(shù)裝置瞄準度盤上刻線，帶入的誤差是第52頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六取上述m個讀數(shù)的平均值作為度盤讀數(shù)，所具有的誤差為第53頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六

將前面兩式進行比較可以看出，在標準度盤上均勻布置m個讀數(shù)裝置并取它們讀數(shù)的平均值作為度盤讀數(shù)時，可將度盤刻線誤差中除m及其正整數(shù)倍以外的各次諧波予以消除，從而減少了標準度盤刻線系統(tǒng)誤差對測量結(jié)果的影響。由此可知，在精密測角儀器中常常采用的對徑合象讀數(shù)，不僅消除了度盤偏心和度盤刻線誤差中基波成分對測量的影響，也消除了刻線誤差中其它奇次諧波分量的影響。第54頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六2.光電式度盤自動測量儀

為了提高基準度盤1的定位精度，基準度盤采用了5個在圓周上均勻分布的光電顯微鏡進行瞄準。光電顯微鏡6用作粗定位，即主軸先較快地旋轉(zhuǎn)直至被瞄準刻線被顯微鏡6瞄準，顯微鏡6發(fā)出信號使主軸轉(zhuǎn)動速度變慢且使5個精定位光電顯微鏡開始工作。5個光電顯微鏡各自瞄準相應(yīng)的刻線并輸出信號，用5路信號的合成信號控制主軸轉(zhuǎn)動，直至合成信號為零，這時瞄準的是5根刻線的平均位置，由此可消除基準度盤刻線誤差中除5和5的倍數(shù)以外的各次諧波分量對測量結(jié)果的影響，提高了基準度盤的分度精度。主軸停止轉(zhuǎn)動后，控制系統(tǒng)對對徑安置的瞄準被測度盤2的兩臺光電顯微鏡5發(fā)出讀數(shù)指令，計算兩臺光電顯微鏡讀數(shù)的平均值即可求得被瞄準刻線的直徑誤差。第55頁，共66頁，2022年，5月20日，12點25分，星期六光電式度盤檢查儀測量示意圖第56