田口式品質(zhì)工程概況課件

田口式品質(zhì)工程TaquchiMethods2022/12/111田口式品質(zhì)工程TaquchiMethods2022/12

前言當(dāng)產(chǎn)品在製程出現(xiàn)疵病時(shí)，影響該項(xiàng)疵病的原因有多項(xiàng)，

而每項(xiàng)疵病原因又有多種水準(zhǔn)，該如何去規(guī)劃實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)才能使實(shí)驗(yàn)次數(shù)減少而又不影響品質(zhì)的判定，即決定各項(xiàng)可控制因子的水準(zhǔn)，使產(chǎn)品品質(zhì)特性為最好，田口品質(zhì)工程的直交表與參數(shù)的設(shè)計(jì)法可解決上述問(wèn)題。2022/12/112前言當(dāng)產(chǎn)品在製程出現(xiàn)疵病時(shí)，影響該項(xiàng)疵病的原因有多項(xiàng)，2

QualityEngineering(品質(zhì)工程)

TaquchiMethods(田口方法)日本品管大師田口玄一博士(Dr.GenichiTaquchi)2022/12/113QualityEngineering(品質(zhì)工程)田口品質(zhì)工程內(nèi)涵工程重點(diǎn)在於設(shè)計(jì)出堅(jiān)耐性高的製程與產(chǎn)品，降低可能的變異，提高品質(zhì)以減少產(chǎn)品出廠後造成之社會(huì)損失。2022/12/114田口品質(zhì)工程內(nèi)涵工程重點(diǎn)在於設(shè)計(jì)出堅(jiān)耐性高的製程與產(chǎn)品，2田口式品質(zhì)工程製程設(shè)計(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)產(chǎn)品設(shè)計(jì)(創(chuàng)新、改良)系統(tǒng)設(shè)計(jì)(最小變異組合)參數(shù)設(shè)計(jì)(調(diào)整允差)允差

設(shè)計(jì)(檢測(cè)、管制、調(diào)整)製造服務(wù)生產(chǎn)線外品質(zhì)管制(Off-LineQualityControl)生產(chǎn)線上品質(zhì)管制(On-LineQualityControl)2022/12/115田口式品質(zhì)工程製程設(shè)計(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)產(chǎn)品設(shè)計(jì)(創(chuàng)新、改良)(最小比較項(xiàng)目傳統(tǒng)品質(zhì)設(shè)計(jì)田口式品質(zhì)工程1.製造誤差之對(duì)策1.使用一切手法調(diào)整製程在目標(biāo)中心值2.採(cǎi)用較嚴(yán)格之規(guī)格公差1.找出使變異最小之設(shè)計(jì)製造組合2.調(diào)整製程平均符合規(guī)格中心值2.製造即售後服務(wù)之成本支出需增加成本成本不增反降3.從設(shè)計(jì)到製造之時(shí)間耗費(fèi)為達(dá)到減小變異，需自眾多因素中找出多項(xiàng)對(duì)策，頗耗時(shí)間決定對(duì)策之因素少，容易找出最佳之設(shè)計(jì)組合相對(duì)縮短開(kāi)發(fā)時(shí)間，並可發(fā)展獨(dú)特製造技術(shù)2022/12/116比較項(xiàng)目傳統(tǒng)品質(zhì)設(shè)計(jì)田口式品質(zhì)工程1.製造誤差之對(duì)策1.

名詞定義

品質(zhì)損失函數(shù)堅(jiān)耐性

S/N比因子雜音水準(zhǔn)

處理自由度直交表系統(tǒng)設(shè)計(jì)參數(shù)設(shè)計(jì)允差設(shè)計(jì)品質(zhì)特性2022/12/117名詞定義品質(zhì)處理2022/12/97

品質(zhì)(Quality)

‘品質(zhì)是產(chǎn)品出廠後對(duì)社會(huì)造成的最小損失’，田口認(rèn)為企業(yè)負(fù)有社會(huì)責(zé)任，故企業(yè)之經(jīng)營(yíng)成本不應(yīng)轉(zhuǎn)嫁成為全體人民所負(fù)擔(dān)的‘社會(huì)成本’;亦即品質(zhì)包括製造成本及出廠後之社會(huì)成本。2022/12/118品質(zhì)(Quality)2022/12/98

損失函數(shù)(LossFunction)

當(dāng)品質(zhì)特性從其目標(biāo)值因變異而偏移時(shí)，該產(chǎn)品之品質(zhì)損失結(jié)果將趨近於拋物線二次方程式，意即損失不應(yīng)只是合格/不合格(GO/NOGO)二分法來(lái)討論，而是具有連續(xù)性的特質(zhì)。品質(zhì)特性LSLmUSL大損失小m:目標(biāo)值2022/12/119損失函數(shù)(LossFunction)品質(zhì)特性LS

堅(jiān)耐性(Robustness)

產(chǎn)品經(jīng)特別設(shè)計(jì)後，品質(zhì)特性不受雜音因素影響，或?qū)﹄s音不敏感。

S/N比(SignaltoNoiseRatio)

係從實(shí)驗(yàn)的結(jié)果換算db值，表示產(chǎn)品品質(zhì)性能的尺度，包括製程或產(chǎn)品水準(zhǔn)，及受變異影響之程度(特別指其穩(wěn)定度)。2022/12/1110堅(jiān)耐性(Robustness)S/N比(Si

因子(Factor)

控制因子(ControlFactor):因子的參數(shù)值可以被設(shè)計(jì)工程師選定且可被控制者。雜音因子(NoiseFactor):又稱誤差因子，其效應(yīng)在於調(diào)節(jié)其它控制因子的水準(zhǔn)，已尋找控制因子各水準(zhǔn)的最適宜條件與適用範(fàn)圍。信號(hào)因子(SignalFactor):又稱調(diào)整因子，此因子在設(shè)計(jì)的或一定狀態(tài)下，具有控制品質(zhì)特性的動(dòng)態(tài)特性。2022/12/1111因子(Factor)2022/12/911

雜音(Noise)

某些無(wú)法控制的因子，會(huì)造成產(chǎn)品品質(zhì)特性的改變，使得產(chǎn)品功能偏離目標(biāo)值，一般又可分成下列三種雜音:A.內(nèi)部雜音:由內(nèi)部因素所造成的雜音，如:劣化、

磨耗……。B.外部雜音:由外部因素所引起的雜音，如:溫度、

環(huán)境變異……。

C.產(chǎn)品間雜音:零(組)件間變異的雜音。2022/12/1112雜音(Noise)2022/12/912屬產(chǎn)品設(shè)計(jì)屬製程設(shè)計(jì)控制因子尺寸、材質(zhì)、型態(tài)加工程序、加工條件機(jī)具組合外部雜音因子使用者、操作方式溫度、衝擊、振動(dòng)溫度、操作人員、進(jìn)料電壓改變內(nèi)部雜音因子零組件、材料老化機(jī)具老化、工具磨耗產(chǎn)品間雜音因子產(chǎn)品之間的品質(zhì)差異製程變異各種品質(zhì)工程因子2022/12/1113屬產(chǎn)品設(shè)計(jì)屬製程設(shè)計(jì)控制因子尺寸、材質(zhì)、型態(tài)加工程序、加工條水準(zhǔn)(Level)某因子在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)時(shí)，所選用的數(shù)個(gè)特定值。

處理(Treatment)各因子之水準(zhǔn)數(shù)之組合。

自由度(DegreeofFreedom)係實(shí)驗(yàn)時(shí)獲取情報(bào)大小之衡量基準(zhǔn)，一般自由度愈大，獲得情報(bào)則愈多，其計(jì)算式為“因子水準(zhǔn)數(shù)-

1

=

自由度”。

2022/12/1114水準(zhǔn)(Level)處理(Treatment

直交表(Orthogonal)

直交表是有效的用最少的實(shí)驗(yàn)次數(shù)，作為設(shè)計(jì)者檢討多數(shù)因素的實(shí)驗(yàn)法。直交表對(duì)實(shí)驗(yàn)有下列好處:

1.實(shí)驗(yàn)次數(shù)少。2.具有良好再現(xiàn)性。3.可以正確地分析資料。系別２系３系混合系直交表名稱因素各數(shù)

水準(zhǔn)數(shù)實(shí)驗(yàn)次數(shù)多元配置的次數(shù)2022/12/1115直交表(Orthogonal)系別２系３系混合系Expt.No.Column12345671234567811111111112222122112212222112121212212212122111212212111成份ababcacbcabc直交表(A)(B)(C)(D)實(shí)驗(yàn)1234567結(jié)果

12345678111111112111222213122112221122221118212121222212212119221112120221211117(i)無(wú)交互作用的分析(A,B,C,D四種控制因子)2022/12/1116Expt.Column111ColumnColumn12345671(1)3254762(2)167453(3)76544(4)1235(5)326(6)17(7)B1C2(B×C)3D4(B×D)5A6711111111352111222248312211222141222211385212121250621221214372211221318221211222(ii)有交互作用的分析(已知有BXC,BXD之交互作用)交互作用配行表2022/12/1117ColumnColumn12345671(1)3254762Expt.ColumnNo.1234111112122231333421235223162312731328321393321成份ababExpt.ColumnNo.1234567891011111111111111211111222222311222111222412122122112512212212121612221221211721221122121821212221112921122212211102221111221211221212111221222112121221直交表

直交表2022/12/1118Expt.ColumnNo.1234111112122231Expt.ColumnNO.12345678910111213141511111111111111112111111122222222311122221111222241112222222211115122112211221122612211222211221171222211112222118122221122111122921212121212121210212121221212121112122121121221211221221212121121213221122112211221142211221211221121522121121221211216221211221121221成份ababcacbcabcdadbdabdcdacdbcdabcd直交表2022/12/1119Expt.ColumnNO.1234567891011121Expt.ColumnNo.12345678111111111211222222311333333412112233512223311612331122713121323813232131913313212102113322111212113321221322113132212313214222312131522312321162313231217232131231823321231直交表2022/12/1120Expt.ColumnNo.123456781111111〔實(shí)驗(yàn)例〕設(shè)某一電氣回路的輸出Y，能夠?qū)發(fā)生影響的因素有A=R1、B=R2、C=R3、D=C1、E=C2五個(gè)種類，各因素皆以2水準(zhǔn)來(lái)實(shí)驗(yàn)。

I.舊法:實(shí)驗(yàn)次數(shù)次12121212121212112212R1R2R3C2C12022/12/1121〔實(shí)驗(yàn)例〕I.舊法:實(shí)驗(yàn)次數(shù)

II.直交表的實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)次數(shù)8次No.ABCDE12345671234567811111111112222122112212222112121212212212122111212212111行2022/12/1122II.直交表的實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)次數(shù)8次品質(zhì)特性(QualityCharacteristic)特性值望目特性動(dòng)特性（信號(hào)因素M的水準(zhǔn)已知)2022/12/1123品質(zhì)特性(QualityCharacteristic)特性系

統(tǒng)

設(shè)

計(jì)(SystemDesign)在設(shè)計(jì)新產(chǎn)品時(shí)，考量將工程上已知或成熟之技術(shù)運(yùn)用於零(組、元)件選用及組裝成系統(tǒng)，以期產(chǎn)品或製程機(jī)能在既訂之目標(biāo)內(nèi)。亦稱為機(jī)能設(shè)計(jì)或一次設(shè)計(jì)。

參

數(shù)

設(shè)

計(jì)(ParameterDesign)在產(chǎn)品設(shè)計(jì)階段，針對(duì)品質(zhì)特性去挑選適當(dāng)參數(shù)組合，使產(chǎn)品在低成本之下，仍有理想的機(jī)能或最小的變異。亦稱為二次設(shè)計(jì)或堅(jiān)耐設(shè)計(jì)。

允

差

設(shè)

計(jì)(ToleranceDesign)在產(chǎn)品設(shè)計(jì)階段，系統(tǒng)與系統(tǒng)內(nèi)各元件間中心值確定後，考量對(duì)系統(tǒng)之變異及成本影響，調(diào)整零件允許誤差之設(shè)計(jì)稱之。亦可稱為三次設(shè)計(jì)。2022/12/1124系統(tǒng)設(shè)計(jì)(SystemDesign)參數(shù)設(shè)參數(shù)設(shè)計(jì)之觀念

A1A2y要因AB1B2y要因B先利用非線性關(guān)係把變異縮小

利用線性關(guān)係把特性平均值調(diào)整到目標(biāo)值上

目標(biāo)值m2022/12/1125參數(shù)設(shè)計(jì)之觀念A(yù)1A2y要因AB1B2y要

參數(shù)設(shè)計(jì)的步驟步驟1、明白確定設(shè)計(jì)的目的步驟2、檢討目的特性及因素步驟3、因素的配置步驟4、決定實(shí)驗(yàn)程序，進(jìn)度安排步驟5、實(shí)驗(yàn)和取得數(shù)據(jù)步驟6、數(shù)據(jù)的解析和最適條件的決定步驟7、最適條件下效果的推定步驟8、確認(rèn)實(shí)驗(yàn)2022/12/1126參數(shù)設(shè)計(jì)的步驟步驟1、明白確定設(shè)計(jì)的目的2022/12/

參數(shù)設(shè)計(jì)之應(yīng)用實(shí)例步驟一：設(shè)計(jì)的目的半導(dǎo)體用矽晶圓上的鎳鎘電鍍膜，必須開(kāi)發(fā)沒(méi)有電解質(zhì)電鍍的電鍍法，電鍍膜被要求的特性是晶圓面上的電鍍膜厚，晶圓面上的變異必須在2.0±0.35m，請(qǐng)求出開(kāi)發(fā)新電鍍法的最適條件。

2022/12/1127參數(shù)設(shè)計(jì)之應(yīng)用實(shí)例步驟一：設(shè)計(jì)的目的2022/12/927步驟二：目的特性因子的檢討Ni電鍍膜厚晶圓面內(nèi)位置還原劑量2c.c./4c.c./6c.c.氨水(浴PH調(diào)整值)10/20/30電鍍時(shí)間5min/10min/15min電鍍槽溫度adbecDBCA晶圓面內(nèi)位置2022/12/1128步驟二：目的特性因子的檢討Ni電鍍膜厚晶圓面還原劑量氨水電鍍步驟三：因子的配置記號(hào)123A2c.c.4c.c.6c.cBC102030D5min10min15min行A1B2C3D4S(晶圓面內(nèi)位置)號(hào)電鍍時(shí)間電鍍槽溫度氨水還原劑量abcdeNo1111121222313334212352231數(shù)據(jù)62312731328321393321步驟四：決定實(shí)驗(yàn)順序，進(jìn)度安排因子與水準(zhǔn)因子配置表2022/12/1129步驟三：因子的配置記號(hào)123ABCD行ABCDS(晶圓面內(nèi)位步驟五：實(shí)驗(yàn)及收集數(shù)據(jù)行ABCDNi膜厚數(shù)據(jù)(單位:刻度)號(hào)1234abcdeNo111110.800.640.500.540.50212221.661.451.631.831.50313331.391.211.361.531.45421231.952.022.162.102.14522310.430.570.540.640.96623123.203.023.583.764.66731321.481.522.442.321.84832134.353.894.485.024.76933212.052.222.481.672.67

實(shí)驗(yàn)的配置及數(shù)據(jù)2022/12/1130步驟五：實(shí)驗(yàn)及收集數(shù)據(jù)行ABCDNi膜厚數(shù)據(jù)(單位:刻度)號(hào)步驟六：數(shù)據(jù)分析及決定最適條件(1)SN比之計(jì)算(2)靈敏度S之計(jì)算(3)作出各個(gè)樣本SN比和靈敏度S一覽表樣本NO.12345678913.3420.6821.3427.479.8915.0812.6620.4315.12-4.544.152.846.33-4.1111.25.6213.066.892022/12/1131步驟六：數(shù)據(jù)分析及決定最適條件(1)SN比之計(jì)算樣(4)求各因子水準(zhǔn)的SN比及靈敏度S之平均值(5)作出各因子和各水準(zhǔn)的SN比及靈敏度S的一覽表要因123Max-MinA18.4517.4816.672.39B17.8217.0017.180.82C16.2921.0914.636.46D12.7816.1523.0810.3要因123Max-MinA0.854.478.537.70B2.474.376.984.51C6.575.761.455.12D-0.596.997.418.00SN比之一覽表(db)

靈敏度S之一覽表(db)

2022/12/1132(4)求各因子水準(zhǔn)的SN比及靈敏度S之平均值要回應(yīng)圖ABCD242220181614121086420-2123123123123A:電鍍時(shí)間B:電鍍槽溫C:氨水量D:還原劑量2022/12/1133回應(yīng)圖ABCD2422201(6)決定各要因的最適條件

減少變異→選擇中最大水準(zhǔn)→符合目標(biāo)值→選擇對(duì)不太發(fā)生效果並且大幅度改變膜厚值的要因調(diào)整那一因子？調(diào)整因子調(diào)整B因子時(shí)品質(zhì)變動(dòng)不大調(diào)整多少？電鍍膜厚的目標(biāo)值2.0的靈敏度值之最大水準(zhǔn)的靈敏度值最適條件→→內(nèi)差法求B因子的溫度2022/12/1134(6)決定各要因的最適條件步驟七：最適條件之效果的推定調(diào)整前調(diào)整後SN比之估計(jì)靈敏度S之估計(jì)的估計(jì)的估計(jì)與目標(biāo)值之比較步驟八：確認(rèn)實(shí)驗(yàn)2022/12/1135步驟七：最適條件之效果的推定調(diào)整前調(diào)整後SN比之估計(jì)靈敏度田口式品質(zhì)工程TaquchiMethods2022/12/1136田口式品質(zhì)工程TaquchiMethods2022/12

前言當(dāng)產(chǎn)品在製程出現(xiàn)疵病時(shí)，影響該項(xiàng)疵病的原因有多項(xiàng)，

而每項(xiàng)疵病原因又有多種水準(zhǔn)，該如何去規(guī)劃實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)才能使實(shí)驗(yàn)次數(shù)減少而又不影響品質(zhì)的判定，即決定各項(xiàng)可控制因子的水準(zhǔn)，使產(chǎn)品品質(zhì)特性為最好，田口品質(zhì)工程的直交表與參數(shù)的設(shè)計(jì)法可解決上述問(wèn)題。2022/12/1137前言當(dāng)產(chǎn)品在製程出現(xiàn)疵病時(shí)，影響該項(xiàng)疵病的原因有多項(xiàng)，2

QualityEngineering(品質(zhì)工程)

TaquchiMethods(田口方法)日本品管大師田口玄一博士(Dr.GenichiTaquchi)2022/12/1138QualityEngineering(品質(zhì)工程)田口品質(zhì)工程內(nèi)涵工程重點(diǎn)在於設(shè)計(jì)出堅(jiān)耐性高的製程與產(chǎn)品，降低可能的變異，提高品質(zhì)以減少產(chǎn)品出廠後造成之社會(huì)損失。2022/12/1139田口品質(zhì)工程內(nèi)涵工程重點(diǎn)在於設(shè)計(jì)出堅(jiān)耐性高的製程與產(chǎn)品，2田口式品質(zhì)工程製程設(shè)計(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)產(chǎn)品設(shè)計(jì)(創(chuàng)新、改良)系統(tǒng)設(shè)計(jì)(最小變異組合)參數(shù)設(shè)計(jì)(調(diào)整允差)允差

設(shè)計(jì)(檢測(cè)、管制、調(diào)整)製造服務(wù)生產(chǎn)線外品質(zhì)管制(Off-LineQualityControl)生產(chǎn)線上品質(zhì)管制(On-LineQualityControl)2022/12/1140田口式品質(zhì)工程製程設(shè)計(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)產(chǎn)品設(shè)計(jì)(創(chuàng)新、改良)(最小比較項(xiàng)目傳統(tǒng)品質(zhì)設(shè)計(jì)田口式品質(zhì)工程1.製造誤差之對(duì)策1.使用一切手法調(diào)整製程在目標(biāo)中心值2.採(cǎi)用較嚴(yán)格之規(guī)格公差1.找出使變異最小之設(shè)計(jì)製造組合2.調(diào)整製程平均符合規(guī)格中心值2.製造即售後服務(wù)之成本支出需增加成本成本不增反降3.從設(shè)計(jì)到製造之時(shí)間耗費(fèi)為達(dá)到減小變異，需自眾多因素中找出多項(xiàng)對(duì)策，頗耗時(shí)間決定對(duì)策之因素少，容易找出最佳之設(shè)計(jì)組合相對(duì)縮短開(kāi)發(fā)時(shí)間，並可發(fā)展獨(dú)特製造技術(shù)2022/12/1141比較項(xiàng)目傳統(tǒng)品質(zhì)設(shè)計(jì)田口式品質(zhì)工程1.製造誤差之對(duì)策1.

名詞定義

品質(zhì)損失函數(shù)堅(jiān)耐性

S/N比因子雜音水準(zhǔn)

處理自由度直交表系統(tǒng)設(shè)計(jì)參數(shù)設(shè)計(jì)允差設(shè)計(jì)品質(zhì)特性2022/12/1142名詞定義品質(zhì)處理2022/12/97

品質(zhì)(Quality)

‘品質(zhì)是產(chǎn)品出廠後對(duì)社會(huì)造成的最小損失’，田口認(rèn)為企業(yè)負(fù)有社會(huì)責(zé)任，故企業(yè)之經(jīng)營(yíng)成本不應(yīng)轉(zhuǎn)嫁成為全體人民所負(fù)擔(dān)的‘社會(huì)成本’;亦即品質(zhì)包括製造成本及出廠後之社會(huì)成本。2022/12/1143品質(zhì)(Quality)2022/12/98

損失函數(shù)(LossFunction)

當(dāng)品質(zhì)特性從其目標(biāo)值因變異而偏移時(shí)，該產(chǎn)品之品質(zhì)損失結(jié)果將趨近於拋物線二次方程式，意即損失不應(yīng)只是合格/不合格(GO/NOGO)二分法來(lái)討論，而是具有連續(xù)性的特質(zhì)。品質(zhì)特性LSLmUSL大損失小m:目標(biāo)值2022/12/1144損失函數(shù)(LossFunction)品質(zhì)特性LS

堅(jiān)耐性(Robustness)

產(chǎn)品經(jīng)特別設(shè)計(jì)後，品質(zhì)特性不受雜音因素影響，或?qū)﹄s音不敏感。

S/N比(SignaltoNoiseRatio)

係從實(shí)驗(yàn)的結(jié)果換算db值，表示產(chǎn)品品質(zhì)性能的尺度，包括製程或產(chǎn)品水準(zhǔn)，及受變異影響之程度(特別指其穩(wěn)定度)。2022/12/1145堅(jiān)耐性(Robustness)S/N比(Si

因子(Factor)

控制因子(ControlFactor):因子的參數(shù)值可以被設(shè)計(jì)工程師選定且可被控制者。雜音因子(NoiseFactor):又稱誤差因子，其效應(yīng)在於調(diào)節(jié)其它控制因子的水準(zhǔn)，已尋找控制因子各水準(zhǔn)的最適宜條件與適用範(fàn)圍。信號(hào)因子(SignalFactor):又稱調(diào)整因子，此因子在設(shè)計(jì)的或一定狀態(tài)下，具有控制品質(zhì)特性的動(dòng)態(tài)特性。2022/12/1146因子(Factor)2022/12/911

雜音(Noise)

某些無(wú)法控制的因子，會(huì)造成產(chǎn)品品質(zhì)特性的改變，使得產(chǎn)品功能偏離目標(biāo)值，一般又可分成下列三種雜音:A.內(nèi)部雜音:由內(nèi)部因素所造成的雜音，如:劣化、

磨耗……。B.外部雜音:由外部因素所引起的雜音，如:溫度、

環(huán)境變異……。

C.產(chǎn)品間雜音:零(組)件間變異的雜音。2022/12/1147雜音(Noise)2022/12/912屬產(chǎn)品設(shè)計(jì)屬製程設(shè)計(jì)控制因子尺寸、材質(zhì)、型態(tài)加工程序、加工條件機(jī)具組合外部雜音因子使用者、操作方式溫度、衝擊、振動(dòng)溫度、操作人員、進(jìn)料電壓改變內(nèi)部雜音因子零組件、材料老化機(jī)具老化、工具磨耗產(chǎn)品間雜音因子產(chǎn)品之間的品質(zhì)差異製程變異各種品質(zhì)工程因子2022/12/1148屬產(chǎn)品設(shè)計(jì)屬製程設(shè)計(jì)控制因子尺寸、材質(zhì)、型態(tài)加工程序、加工條水準(zhǔn)(Level)某因子在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)時(shí)，所選用的數(shù)個(gè)特定值。

處理(Treatment)各因子之水準(zhǔn)數(shù)之組合。

自由度(DegreeofFreedom)係實(shí)驗(yàn)時(shí)獲取情報(bào)大小之衡量基準(zhǔn)，一般自由度愈大，獲得情報(bào)則愈多，其計(jì)算式為“因子水準(zhǔn)數(shù)-

1

=

自由度”。

2022/12/1149水準(zhǔn)(Level)處理(Treatment

直交表(Orthogonal)

直交表是有效的用最少的實(shí)驗(yàn)次數(shù)，作為設(shè)計(jì)者檢討多數(shù)因素的實(shí)驗(yàn)法。直交表對(duì)實(shí)驗(yàn)有下列好處:

1.實(shí)驗(yàn)次數(shù)少。2.具有良好再現(xiàn)性。3.可以正確地分析資料。系別２系３系混合系直交表名稱因素各數(shù)

水準(zhǔn)數(shù)實(shí)驗(yàn)次數(shù)多元配置的次數(shù)2022/12/1150直交表(Orthogonal)系別２系３系混合系Expt.No.Column12345671234567811111111112222122112212222112121212212212122111212212111成份ababcacbcabc直交表(A)(B)(C)(D)實(shí)驗(yàn)1234567結(jié)果

12345678111111112111222213122112221122221118212121222212212119221112120221211117(i)無(wú)交互作用的分析(A,B,C,D四種控制因子)2022/12/1151Expt.Column111ColumnColumn12345671(1)3254762(2)167453(3)76544(4)1235(5)326(6)17(7)B1C2(B×C)3D4(B×D)5A6711111111352111222248312211222141222211385212121250621221214372211221318221211222(ii)有交互作用的分析(已知有BXC,BXD之交互作用)交互作用配行表2022/12/1152ColumnColumn12345671(1)3254762Expt.ColumnNo.1234111112122231333421235223162312731328321393321成份ababExpt.ColumnNo.1234567891011111111111111211111222222311222111222412122122112512212212121612221221211721221122121821212221112921122212211102221111221211221212111221222112121221直交表

直交表2022/12/1153Expt.ColumnNo.1234111112122231Expt.ColumnNO.12345678910111213141511111111111111112111111122222222311122221111222241112222222211115122112211221122612211222211221171222211112222118122221122111122921212121212121210212121221212121112122121121221211221221212121121213221122112211221142211221211221121522121121221211216221211221121221成份ababcacbcabcdadbdabdcdacdbcdabcd直交表2022/12/1154Expt.ColumnNO.1234567891011121Expt.ColumnNo.12345678111111111211222222311333333412112233512223311612331122713121323813232131913313212102113322111212113321221322113132212313214222312131522312321162313231217232131231823321231直交表2022/12/1155Expt.ColumnNo.123456781111111〔實(shí)驗(yàn)例〕設(shè)某一電氣回路的輸出Y，能夠?qū)發(fā)生影響的因素有A=R1、B=R2、C=R3、D=C1、E=C2五個(gè)種類，各因素皆以2水準(zhǔn)來(lái)實(shí)驗(yàn)。

I.舊法:實(shí)驗(yàn)次數(shù)次12121212121212112212R1R2R3C2C12022/12/1156〔實(shí)驗(yàn)例〕I.舊法:實(shí)驗(yàn)次數(shù)

II.直交表的實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)次數(shù)8次No.ABCDE12345671234567811111111112222122112212222112121212212212122111212212111行2022/12/1157II.直交表的實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)次數(shù)8次品質(zhì)特性(QualityCharacteristic)特性值望目特性動(dòng)特性（信號(hào)因素M的水準(zhǔn)已知)2022/12/1158品質(zhì)特性(QualityCharacteristic)特性系

統(tǒng)

設(shè)

計(jì)(SystemDesign)在設(shè)計(jì)新產(chǎn)品時(shí)，考量將工程上已知或成熟之技術(shù)運(yùn)用於零(組、元)件選用及組裝成系統(tǒng)，以期產(chǎn)品或製程機(jī)能在既訂之目標(biāo)內(nèi)。亦稱為機(jī)能設(shè)計(jì)或一次設(shè)計(jì)。

參

數(shù)

設(shè)

計(jì)(ParameterDesign)在產(chǎn)品設(shè)計(jì)階段，針對(duì)品質(zhì)特性去挑選適當(dāng)參數(shù)組合，使產(chǎn)品在低成本之下，仍有理想的機(jī)能或最小的變異。亦稱為二次設(shè)計(jì)或堅(jiān)耐設(shè)計(jì)。

允

差

設(shè)

計(jì)(ToleranceDesign)在產(chǎn)品設(shè)計(jì)階段，系統(tǒng)與系統(tǒng)內(nèi)各元件間中心值確定後，考量對(duì)系統(tǒng)之變異及成本影響，調(diào)整零件允許誤差之設(shè)計(jì)稱之。亦可稱為三次設(shè)計(jì)。2022/12/1159系統(tǒng)設(shè)計(jì)(SystemDesign)參數(shù)設(shè)參數(shù)設(shè)計(jì)之觀念

A1A2y要因AB1B2y要因B先利用非線性關(guān)係把變異縮小

利用線性關(guān)係把特性平均值調(diào)整到目標(biāo)值上

目標(biāo)值m2022/12/1160參數(shù)設(shè)計(jì)之觀念A(yù)1A2y要因AB1B2y要

參數(shù)設(shè)計(jì)的步驟步驟1、明白確定設(shè)計(jì)的目的步驟2、檢討目的特性及因素步驟3、因素的配置步驟4、決定實(shí)驗(yàn)程序，進(jìn)度安排步驟5、實(shí)驗(yàn)和取得數(shù)據(jù)步驟6、數(shù)據(jù)的解析和最適條件的決定步驟7、最適條件下效果的推定步驟8、確認(rèn)實(shí)驗(yàn)2022/12/1161參數(shù)設(shè)計(jì)的步驟步驟1、明白確定設(shè)計(jì)的目的2022/12/

參數(shù)設(shè)計(jì)之應(yīng)用實(shí)例步驟一：設(shè)計(jì)的目的半導(dǎo)體用矽晶圓上的鎳鎘電鍍膜，必須開(kāi)發(fā)沒(méi)有電解質(zhì)電鍍的電鍍法，電鍍膜被要求的特性是晶圓面上的電鍍膜厚，晶圓面上的變異必須在2.0±0.35m，請(qǐng)求出開(kāi)發(fā)新電鍍法的最適條件。

2022/12/1162參數(shù)設(shè)計(jì)之應(yīng)用實(shí)例步驟一：設(shè)計(jì)的目的2022/12/927步驟二：目的特性因子的檢討Ni電鍍膜厚晶圓面內(nèi)位置還原劑量2c.c./4c.c./6c.c.氨水(浴PH調(diào)整值)10/20/30電鍍時(shí)間5min/10min/15min電鍍槽溫度adbecDBCA晶圓面內(nèi)位置2022/12/1163