半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)資料僅供參考文件編號(hào)：2022年4月半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)版本號(hào)：A修改號(hào)：1頁(yè)次：1.0審核：批準(zhǔn):發(fā)布日期：發(fā)布上海市環(huán)境保護(hù)局上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局DB312007-02-01實(shí)施2006-××-××發(fā)布半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)Thed發(fā)布上海市環(huán)境保護(hù)局上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局DB312007-02-01實(shí)施2006-××-××發(fā)布半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)Thedischargestandardsofpollutantsforsemiconductorindustry（發(fā)布稿）DB31/374—2006上海市地方標(biāo)準(zhǔn)ICS目次TOC\o"1-2"\h\z前言 II1范圍 12規(guī)范性引用文件 13術(shù)語(yǔ)和定義 14技術(shù)內(nèi)容 25監(jiān)測(cè) 56標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施與監(jiān)督 9

前言為貫徹《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》、《中華人民共和國(guó)水污染防治法》、《中華人民共和國(guó)大氣污染防治法》、《中華人民共和國(guó)海洋環(huán)境保護(hù)法》，加強(qiáng)半導(dǎo)體企業(yè)污染物的排放控制，保障人體健康，維護(hù)生態(tài)平衡，結(jié)合上海市實(shí)際情況，制定本標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)主要有以下特點(diǎn)：1）適用于半導(dǎo)體企業(yè)水污染物、大氣污染物排放的管理；2）水污染物排放根據(jù)功能區(qū)執(zhí)行分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)；3）大氣污染物排放不根據(jù)功能區(qū)進(jìn)行分級(jí)；4）對(duì)現(xiàn)有半導(dǎo)體企業(yè)規(guī)定達(dá)到揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）排放標(biāo)準(zhǔn)的時(shí)限，對(duì)其余污染源不再按建設(shè)時(shí)間規(guī)定排放限值。半導(dǎo)體企業(yè)的噪聲控制、固體廢物控制按國(guó)家和本市的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。本標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施之日起，半導(dǎo)體企業(yè)水污染物排放按本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，不再執(zhí)行DB31/199-1997《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》；半導(dǎo)體企業(yè)大氣污染物排放按本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，不再執(zhí)行GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》。本標(biāo)準(zhǔn)為首次發(fā)布。本標(biāo)準(zhǔn)由上海市環(huán)境保護(hù)局提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)由上海市環(huán)境科學(xué)研究院和上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)負(fù)責(zé)起草。本標(biāo)準(zhǔn)由上海市人民政府2006年10月13日批準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)由上海市環(huán)境保護(hù)局負(fù)責(zé)解釋。半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體企業(yè)的水污染物和大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)值。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體企業(yè)的水污染物排放管理、大氣污染物排放管理，以及半導(dǎo)體企業(yè)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)、建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)、竣工驗(yàn)收及其投產(chǎn)后的污染控制與管理。規(guī)范性引用文件下列標(biāo)準(zhǔn)和本標(biāo)準(zhǔn)表5、表6所列分析方法標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范所含的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款，與本標(biāo)準(zhǔn)同效。GB3095環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)GB3097海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)GB3838地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)GB/T12997水質(zhì)采樣方案設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)定GB/T12998水質(zhì)采樣技術(shù)指導(dǎo)GB/T12999水質(zhì)采樣樣品的保存和管理技術(shù)規(guī)范GB13271鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測(cè)定與氣態(tài)污染物采樣方法GB16297大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)HJ/T91地表水和污水監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范HJ/T92水污染物排放總量監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范當(dāng)上述標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范被修訂時(shí)，應(yīng)使用其最新版本。術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)：半導(dǎo)體企業(yè)semiconductorindustry指從事半導(dǎo)體分立器件或集成電路的制造、封裝測(cè)試的企業(yè)。特殊保護(hù)水域specialprotectedwaterarea指經(jīng)國(guó)家或上海市人民政府批準(zhǔn)的自然保護(hù)區(qū)范圍內(nèi)水域；GB3838中II類(lèi)水域；由本市各區(qū)、縣人民政府規(guī)定的居民集中式生活飲用水取水口衛(wèi)生防護(hù)帶水域。廢氣處理設(shè)施exhaustgascontroldevices指處理廢氣的濕式洗滌塔、焚燒塔、吸收塔、冷凝塔或其他設(shè)備，但不包括工藝中設(shè)備自帶的預(yù)處理設(shè)備。密閉排氣系統(tǒng)closedventsystem指可將設(shè)備或設(shè)備組件排出或逃逸的空氣污染物捕集并輸送至廢氣污染防治設(shè)備，使傳送的氣體不直接與大氣接觸的系統(tǒng)?，F(xiàn)有污染源和新污染源existingpollutuionsourceandnewpollutionsource現(xiàn)有污染源指2007年2月1日前建設(shè)的半導(dǎo)體企業(yè)。新污染源指2007年2月1日起建設(shè)（包括改、擴(kuò)建）的半導(dǎo)體建設(shè)項(xiàng)目。建設(shè)項(xiàng)目的建設(shè)（包括改、擴(kuò)建）時(shí)間，以環(huán)境影響報(bào)告書(shū)（表）批準(zhǔn)日期為準(zhǔn)。技術(shù)內(nèi)容水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)分級(jí)特殊保護(hù)水域內(nèi)不準(zhǔn)新建排污口。原有排污口執(zhí)行表1中的A標(biāo)準(zhǔn)和表2中的特殊保護(hù)水域標(biāo)準(zhǔn)。排入GB3838中III類(lèi)水域和排入GB3097中第二類(lèi)海域的污水執(zhí)行表1中的A標(biāo)準(zhǔn)和表2中的一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。排入GB3838中IV、V類(lèi)水域和排入GB3097中第三類(lèi)海域的污水執(zhí)行表1中的B標(biāo)準(zhǔn)和表2中的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。排入設(shè)置二級(jí)污水處理廠的排水系統(tǒng)的污水執(zhí)行表1中的B標(biāo)準(zhǔn)和表2中的三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。排入未設(shè)置二級(jí)污水處理廠的排水系統(tǒng)的污水，必須根據(jù)下水道出水受納水域的功能要求，執(zhí)行、、的規(guī)定。標(biāo)準(zhǔn)值分類(lèi)本標(biāo)準(zhǔn)將污染物按其性質(zhì)及控制方式分成二類(lèi)。.1第一類(lèi)污染物，不分污水排放方式和受納水體的功能類(lèi)別，一律在車(chē)間或車(chē)間處理設(shè)施排放口采樣，其最高允許排放濃度應(yīng)達(dá)到本標(biāo)準(zhǔn)要求。.2第二類(lèi)污染物，在排放單位排放口采樣，其最高允許排放濃度應(yīng)達(dá)到本標(biāo)準(zhǔn)要求。本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)氟化物、懸浮物（SS）、生化需氧量（BOD5）、化學(xué)需氧量（CODCr）、氨氮、總有機(jī)碳（TOC）6項(xiàng)污染物均規(guī)定了以日均值計(jì)的最高允許排放濃度和以瞬時(shí)值計(jì)的最高允許排放濃度兩項(xiàng)指標(biāo)，這6項(xiàng)污染物的排放應(yīng)同時(shí)遵守上述兩項(xiàng)指標(biāo)。其他污染物的最高允許排放濃度以日均值計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)值半導(dǎo)體企業(yè)的水污染物排放執(zhí)行表1和表2的規(guī)定。表1第一類(lèi)污染物最高允許排放濃度(日均值)單位：mg/L序號(hào)污染物A標(biāo)準(zhǔn)B標(biāo)準(zhǔn)1總鎘（按Cd計(jì)）2總鉻（按Cr計(jì)）3六價(jià)鉻（按Cr6+計(jì)）4總砷（按As計(jì)）（砷化鎵工藝）5總鉛（按Pb計(jì)）6總鎳（按Ni計(jì)）7總銀（按Ag計(jì)）表2第二類(lèi)污染物最高允許排放濃度單位：mg/L（pH值除外）序號(hào)污染物特殊保護(hù)水域標(biāo)準(zhǔn)一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)1氟化物（按F計(jì)）810(13)10(13)202總銅（按Cu計(jì)）113硫化物（按S計(jì)）1114總氰化物（按CN-計(jì)）5pH6~96~96~9－6懸浮物（SS）50(65)70(91)100(130)－7生化需氧量（BOD5）15(20)20(26)30(39)－8化學(xué)需氧量（CODCr）60(78)80(104)100(130)－9氨氮（NH3-N）810(13)15－10總有機(jī)碳（TOC）18(23)20(26)30(39)－注：表中括號(hào)內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)限值為瞬時(shí)值；無(wú)括號(hào)的標(biāo)準(zhǔn)限值，除pH值外，其余均為日均值。大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)體系本標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置下列三項(xiàng)指標(biāo)：通過(guò)排氣筒排放的污染物最高允許排放濃度。通過(guò)排氣筒排放的污染物，按排氣筒高度規(guī)定的最高允許排放速率。任何一個(gè)排氣筒應(yīng)同時(shí)遵守上述兩項(xiàng)指標(biāo)，超過(guò)其中任何一個(gè)均為超標(biāo)排放。揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）處理設(shè)施的最低處理效率。標(biāo)準(zhǔn)值位于GB3095中一類(lèi)區(qū)的污染源禁止排放表3所列的大氣污染物。大氣污染物排放的最高允許排放濃度和最高允許排放速率執(zhí)行表3的規(guī)定。揮發(fā)性有機(jī)物處理設(shè)施的最低處理效率執(zhí)行表4的規(guī)定。半導(dǎo)體企業(yè)產(chǎn)生的大氣污染物應(yīng)由密閉排氣系統(tǒng)導(dǎo)入廢氣處理設(shè)施后排放，不應(yīng)有無(wú)組織排放存在。表3大氣污染物排放限值序號(hào)污染物最高允許排放濃度(mg/m3)最高允許排放速率排氣筒高度(m)排放速率(kg/h)1硫酸霧101520302氯化氫151520303氟化氫1520304氨-152030205揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)100a--a現(xiàn)有污染源自2008年1月1日起執(zhí)行該限值；新污染源自2007年2月1日起執(zhí)行該限值。表4揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）處理設(shè)施的最低處理效率適用范圍處理設(shè)施的最低處理效率揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）排放速率>h88％aa現(xiàn)有污染源自2008年1月1日起執(zhí)行該限值；新污染源自2007年2月1日起執(zhí)行該限值。為減少全氟化物（PFCs）排放對(duì)環(huán)境產(chǎn)生的影響，集成電路制造企業(yè)宜制訂PFCs排放的年削減計(jì)劃，通過(guò)優(yōu)化工藝、原料替代、循環(huán)利用、污染治理等措施減少PFCs的排放。其他規(guī)定排氣筒高度不應(yīng)低于15m。排氣筒高度除應(yīng)遵守表3所列排放速率標(biāo)準(zhǔn)值外，還應(yīng)高出周?chē)?00m半徑范圍的建筑5m以上，不能達(dá)到該要求的排氣筒，應(yīng)按其高度對(duì)應(yīng)的表3所列排放速率標(biāo)準(zhǔn)值嚴(yán)格50%執(zhí)行。兩個(gè)排放相同污染物（不論其是否由同一生產(chǎn)工藝過(guò)程產(chǎn)生）的排氣筒，若其距離小于其幾何高度之和，應(yīng)合并視為一根等效排氣筒。若有三根以上的近距離排氣筒，且排放同一種污染物時(shí)，應(yīng)以前兩根的等效排氣筒，依次與第三、四根排氣筒取等效值。等效排氣筒的有關(guān)參數(shù)計(jì)算方法同GB16297-1996中附錄A。若某排氣筒的高度處于本標(biāo)準(zhǔn)列出的兩個(gè)值之間，其執(zhí)行的最高允許排放速率以?xún)?nèi)插法計(jì)算；當(dāng)某排氣筒高度大于本標(biāo)準(zhǔn)列出的最大值（30m）時(shí)，應(yīng)按本標(biāo)準(zhǔn)列出的最大排氣筒高度對(duì)應(yīng)的最高允許排放速率執(zhí)行。內(nèi)插法的計(jì)算公式同GB16297-1996中附錄B。企業(yè)內(nèi)部設(shè)置的鍋爐，其大氣污染物排放應(yīng)執(zhí)行GB13271。監(jiān)測(cè)采樣點(diǎn)污水采樣點(diǎn)位設(shè)置應(yīng)符合HJ/T91的規(guī)定，在排放口應(yīng)設(shè)置排污口標(biāo)志、污水水量計(jì)量裝置。污水監(jiān)測(cè)采樣方案設(shè)計(jì)應(yīng)符合GB/T12997的規(guī)定。廢氣排氣筒中氣態(tài)污染物監(jiān)測(cè)的采樣點(diǎn)數(shù)目及采樣點(diǎn)位置的設(shè)置，按GB/T16157執(zhí)行。新建（包括改、擴(kuò)建）的項(xiàng)目應(yīng)在廢氣處理設(shè)施的進(jìn)口和出口預(yù)設(shè)采樣孔。采樣頻率污水樣品采集應(yīng)符合GB/T12997、GB/T12998和GB/T12999的規(guī)定。污水的采樣頻率應(yīng)符合HJ/T91的規(guī)定。排氣筒中廢氣樣品采集（不包括氨的排放速率監(jiān)測(cè)）以連續(xù)1h的采樣獲取平均值；或在1h內(nèi)，以等時(shí)間間隔采集4個(gè)樣品，并計(jì)平均值。特殊情況下廢氣的采樣時(shí)間和頻次若某排氣筒的排放為間斷性排放，排放時(shí)間小于1h，應(yīng)在排放時(shí)段內(nèi)實(shí)行連續(xù)采樣，或在排放時(shí)段內(nèi)以等時(shí)間間隔采樣2-4個(gè)樣品，并計(jì)平均值；若某排氣筒的排放為間斷性排放，排放時(shí)間大于1h，則應(yīng)在排放時(shí)段內(nèi)按的要求采樣；氨的排放速率監(jiān)測(cè)應(yīng)按生產(chǎn)周期確定監(jiān)測(cè)頻率，生產(chǎn)周期在8h以?xún)?nèi)的，每2h采集一次，生產(chǎn)周期大于8h的，每4h采集一次，取其最大測(cè)定值；在進(jìn)行污染事故排放監(jiān)測(cè)時(shí)，按需要設(shè)置的采樣時(shí)間和采樣頻次，不受上述要求限制；建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測(cè)的采樣時(shí)間和頻次，根據(jù)國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局制定的建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測(cè)辦法執(zhí)行。監(jiān)測(cè)工況要求在對(duì)污染源的日常監(jiān)督性監(jiān)測(cè)中，采樣期間的工況應(yīng)與當(dāng)時(shí)的運(yùn)行工況相同，排污單位的人員和實(shí)施監(jiān)測(cè)的人員都不應(yīng)任意改變當(dāng)時(shí)的運(yùn)行工況。建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測(cè)的工況要求按照國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局制定的建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測(cè)辦法執(zhí)行。分析方法污染物的分析方法按表5和表6執(zhí)行。表5水污染物分析方法序號(hào)污染物分析方法方法來(lái)源1總鎘原子吸收分光光度法GB7475等離子發(fā)射光譜法1)2總鉻高錳酸鉀氧化—二苯碳酰二肼分光光度法GB7466火焰原子吸收分光光度法1)等離子發(fā)射光譜法1)3六價(jià)鉻二苯碳酰二肼分光光度法GB7467續(xù)表序號(hào)污染物分析方法方法來(lái)源4總砷二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法GB7485硼氫化鉀-硝酸銀分光光度法GB/T11900新銀鹽分光光度法1)原子熒光法1)等離子發(fā)射光譜法1)氫化物發(fā)生－原子吸收分光光度法1)5總鉛原子吸收分光光度法GB7475等離子發(fā)射光譜法1)6總鎳火焰原子吸收分光光度法GB11912等離子發(fā)射光譜法1)7總銀火焰原子吸收分光光度法GB11907等離子發(fā)射光譜法1)8氟化物離子選擇電極法GB7484離子色譜法HJ/T849硫化物亞甲基藍(lán)分光光度法GB/T16489直接顯色分光光度法GB/T17133碘量法HJ/T60氣相分子吸收光譜法1)10總氰化物硝酸銀滴定法異煙酸－吡唑啉酮分光光度法吡啶－巴比妥酸分光光度法GB748611總銅原子吸收分光