鑄錠車間SO培訓(xùn)教材

2多晶鑄錠鑄錠車間SOP培訓(xùn)教材部門流程介紹坩堝噴涂坩堝裝料鑄錠投料鑄錠出錠鑄錠拆錠DSS系統(tǒng)坩堝作業(yè)流程1、坩堝噴涂1.1磨料1）用電子秤準(zhǔn)確稱取HGE噴涂氮化硅配比250g(A)+200g(B)=450g,氮化硅（450g)+純水（1600ml—1800ml）+硅溶膠（100--160g)單一氮化硅粉配比：450g+1700ml（純水）+硅溶膠(100-160g)備注：氮化硅粉用量，隨著工藝時(shí)期及季節(jié)時(shí)期，會(huì)有20-30g波動(dòng)。氮化硅放于容器中。2）用尼龍網(wǎng)紗布網(wǎng)住小木桶的口。3）把氮化硅輕輕倒入尼龍網(wǎng)紗上，用塑料勺子慢慢研磨使氮化硅能通過砂網(wǎng)砂眼，達(dá)到工藝要求的顆粒大小而落入小桶中，直至磨完為止。1.2取出已檢查過未噴坩堝，視覺檢查坩堝表面有無裂紋，無缺角，記下坩堝序列號(hào)，將坩堝放置在坩堝噴涂站中，用90PSI的壓縮空氣吹掃坩堝表面，用百潔布沾純水來檫試坩堝表面，然后打開加熱裝置。1.3當(dāng)坩堝溫度達(dá)到70℃（用測(cè)溫槍測(cè)量溫度）時(shí)，用量筒取1升純水,加入研磨好的氮化硅，攪拌均勻，備用。稱氮化硅粉磨粉坩堝作業(yè)流程1.2開始噴涂2.1當(dāng)坩堝底部、測(cè)面溫度達(dá)到65℃-75℃（用測(cè)溫槍測(cè)量溫度）時(shí)，才可開始噴涂，將開始時(shí)間記錄在《坩堝噴涂記錄單》中。2.2定位噴槍上的螺旋及噴嘴1）順時(shí)針方向擰緊上螺旋，之后重新倒回螺旋1/4圈。2）順時(shí)針方向擰緊下螺旋，之后重新倒回螺旋3/2圈。3）將噴嘴設(shè)為水平橫方向。4）噴射壓力為20~35PSI。壓力計(jì)坩堝作業(yè)流程2.3開始噴涂時(shí)，先試噴在一張紙板上，以保證噴出的液體在紙板上均勻分布。2.4噴槍離所需噴涂表面垂直距離30-40cm，先噴底部，噴槍不間斷的來回噴涂7~10次，其它表面來回噴涂3~5次，直至噴完所有氮化硅混合液，手拿噴槍噴射速度勻速，時(shí)間平均分配，每點(diǎn)停留時(shí)間不超過一秒，否則混合液會(huì)凝聚在一起，影響噴涂質(zhì)量。2.5每一次噴涂前，須用測(cè)溫槍測(cè)量坩堝底部、測(cè)面溫度，所有溫度必須控制在70℃-75℃內(nèi)，溫度可以通過開關(guān)加熱器開關(guān)予以調(diào)節(jié)。操作員須記錄每次正式噴涂前的最高溫度和最低溫度，全部噴完后，再將整個(gè)噴涂過程中的最高溫度、最低溫度及噴涂結(jié)束時(shí)間記錄在《坩堝噴涂記錄單》中。攪拌噴涂?jī)扇藚f(xié)作坩堝作業(yè)流程2.6用手電筒照射檢查，看噴涂質(zhì)量，有無裂紋、凸起、脫落，如果有用純水洗掉，重新噴涂。2.7每次完成噴涂，噴涂器具清洗干凈，至少清洗二次以上。對(duì)這些水管重點(diǎn)清洗檢查噴涂是否完好坩堝作業(yè)流程4、坩堝裝料4.1操作員戴好手套，在推車上放一石墨板，擺放整齊（石墨平面與車板平行）。4.2將坩堝輕放在干凈的石墨板正中（即坩堝四個(gè)外表面到石墨板邊垂直距離為4.5±0.2cm），校正好石墨板與小車各面位置（即推車兩側(cè)邊到石墨板距離為14~17cm，正對(duì)推車扶手一面的邊緣距石墨板為6.5~7cm）。4.3擺放好用吸塵器吸去石墨板上、推車上的灰塵。4.4把坩堝推入裝料室中。4.5操作員在裝料前須確保帶好口罩、帽子、一次性膠皮手套。4.5cm±2標(biāo)準(zhǔn)著裝坩堝作業(yè)流程4.6開始裝料：4.6.1先把粒子狀、粉末狀的硅料輕輕鋪好底部，不要扔、投，避免刮破噴涂層；再放入較大塊和較小塊(如有可能)的混合料以清除空氣和氣泡。4.6.2大塊料擺放在底層，不要平鋪疊在一起，避免橫向膨脹，也不要直接貼在坩堝邊部，與坩堝內(nèi)壁之間空出5cm±2空隙。4.6.3當(dāng)裝料裝至整個(gè)坩堝高度1/2時(shí)，加入摻雜物質(zhì)，均勻擺放在硅料表面。4.6.4繼續(xù)裝料直到距坩堝頂部1-2英寸處將硅料擺在中間位置以防掉落，直至裝完，應(yīng)特別注意上部避免裝粉料或細(xì)小塊料，盡量放塊狀料。坩堝作業(yè)流程4.6.5用吸塵器吸去推車上、石墨板上的殘留物質(zhì)在坩堝四邊固定好石墨檔板四邊石墨檔緊板的邊必須與石墨底板邊相吻合，且石墨檔板與底板平面相互垂直，對(duì)邊兩檔板與坩堝距離保持一致，用手旋上螺絲，不要太緊，蓋上薄膜，填寫并附上《裝料坩堝追蹤號(hào)單》。4.6.6送往DSS鑄錠區(qū)。注意：裝料過程注意防塵，不接觸金屬，輕拿輕放，不要碰壞噴涂層，非工作人員勿進(jìn)入裝料室吸塵已裝好料裝護(hù)護(hù)板板三人人協(xié)協(xié)作作裝裝上上石石墨墨板板和和螺螺栓栓。。將石石墨墨支支撐撐板板放放在在坩坩堝堝周周圍圍，，將將螺螺栓栓對(duì)對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)安安裝裝孔孔螺螺入入且且固固定定。。螺螺栓栓不不能能擰擰得得太太緊緊，，只只能能用用手手指指擰擰緊緊。。繼繼續(xù)續(xù)固固定定支支撐撐直直到到完完全全圍圍住住坩坩堝堝。。三人協(xié)作作進(jìn)爐裝料料先把裝有有硅料的的小車推推入“U”形叉叉車大約約中間位位置，再再提升““U”叉叉至石墨墨底板4～5cm處，，提升速速度小于于5mm/s，，再調(diào)整整小車的的位置，，使硅料料處于““U”叉叉的正中中央，左左右偏差差不超過過5mm,提升升“U””叉，使使叉車支支承起硅硅料至叉叉車的上上限位置置。送入爐體體把載有硅硅料的叉叉車開至至DSS爐正正前面，，使叉車車底部?jī)蓛刹婺_與與DSS爐底部部支架導(dǎo)導(dǎo)向定位位夾保持持基本對(duì)正正。把硅料送送入爐體體內(nèi)（叉叉車速度度不超過過2cm/s）），當(dāng)叉叉車底部部限位凸凸面抵觸觸至DSS爐下下部導(dǎo)向向定位的限位位平面，，卸下硅硅料至DSS-Block上上，叉車車卸料速速度不超超過5mm/s。鑄錠裝料料進(jìn)爐裝料料定位前準(zhǔn)準(zhǔn)備兩把把刻度為為毫米、、量程大大于30mm鋼鋼尺，以以及三名名操作人人員，一一人操作作叉車，，另兩人用用刻度度尺在在下爐爐體左左右測(cè)測(cè)試定定位。。通過連連續(xù)重重復(fù)地地調(diào)整整叉車車橫向向縱向向位置置，間間接地地調(diào)整整了硅硅料的的橫向向縱向向位置置。連連續(xù)測(cè)測(cè)量四四周石墨支支承板板相對(duì)對(duì)DSS-Block邊邊緣的的凸邊邊距離離，當(dāng)當(dāng)四周周凸邊邊距離離都控控制在在10.1±1mm時(shí)，，硅料料定位位完畢畢，拖拖出叉叉車。。鑄錠裝裝料尺寸10.1mm尺寸10.1mm擦拭酒酒精和和真空空油先用一一塊干干凈的的工業(yè)業(yè)棉紙紙吸入入些酒酒精或或異兩兩醇，，在上上下爐爐體接接觸面面擦洗洗，擦擦洗過過程中中一次次抹過過去，，無需需反復(fù)復(fù)來回回地在在表面面上擦擦。擦洗后后，在在下爐爐體““O””形圈圈上稀稀薄地地抹上上一層層真空空油脂脂，在在抹的的過程程中間間隔地地涂上上米粒粒大小小的油油脂在在“O”形形圈上上，間間距為為10～15cm，，再用用干凈凈手指指頭輕輕輕滑滑抹涂涂勻。。鑄錠裝裝料擦拭酒酒精鑄錠出出爐打開腔腔室1按下下手動(dòng)動(dòng)按鈕鈕，打打開手手動(dòng)操操作屏屏幕，，如果果爐腔腔壓力力沒有有超過過980mbar,按按一次次Backfill（重重新壓壓入氣氣體））按鈕鈕使壓壓力上上升到到980mba以以上（（當(dāng)壓壓力上上980mba以上上時(shí)，，自動(dòng)動(dòng)停止止加壓壓動(dòng)作作）。。按下腔腔室提提升按按鈕（（壓力力達(dá)到到950mba以上上時(shí)才才能看看見這這個(gè)按鈕））后出出現(xiàn)一一個(gè)警警告屏屏幕。。如下下：松開4個(gè)將將上面面的腔腔室和和下面面的腔腔室連連成一一個(gè)的的夾子子后點(diǎn)點(diǎn)擊警警告屏屏幕上上的YES。2提升升下面面腔室室的控控制屏屏幕下下面腔腔室的的方向向控制制箭頭頭必須須向下下，否否則單單擊此此箭頭頭使箭箭頭向向上。。檢查查下面面腔室室的最最大提提升速速度是是否小小于或或等于于35，遞遞減速速度是是否為為5，，啟動(dòng)動(dòng)速度度是否否為0，遞遞增速速度是是否為為3。。警告面腔室室的夾夾子了了嗎？？是沒沒有警告鑄錠出出爐出錠打開下下爐體體前應(yīng)應(yīng)該戴戴上高高溫手手套，，然后后操動(dòng)動(dòng)叉車車至DSS爐正正前方方，提提升““U””形支支架，，使其高高出已已打開開的下下爐體體的表表面5～8cm,緩緩慢地地把叉叉車開開進(jìn)爐爐體內(nèi)內(nèi)，當(dāng)當(dāng)叉車車“U”形形支架架處于于下爐體體之上上，調(diào)調(diào)節(jié)““U”形形支架架的支支承面面至石石墨板板底面面以下下1～～2cm處處，再再次開開入叉叉車，，至爐體內(nèi)內(nèi)部極極限位位置，，操作作人員員應(yīng)檢檢查““U””形支支架提提升時(shí)時(shí)是否否有可可能使使臺(tái)階階面與與石墨墨底板板發(fā)生生撞擊，，如果果有可可能發(fā)發(fā)生碰碰撞應(yīng)應(yīng)重新新調(diào)整整叉車車，直直到檢檢查發(fā)發(fā)現(xiàn)石石墨底底部全全部在在“U”形形支架架支承承面范圍圍以內(nèi)內(nèi)，提提升““U””形支支架托托起硅硅錠，，駛出出叉車車，將將準(zhǔn)備備好的的小車車放入入“U”形形支架架大約約正中下下方位位置。。控制制下降降速度度不大大于1cm/s，緩緩慢卸卸下硅硅錠，，開離離叉車車。兩人協(xié)協(xié)作帶好高高溫手套套石墨條條放置置于DDS塊塊下鑄錠拆拆錠從爐體體取出出的硅硅錠由由于溫溫度過過高，，必須須在空空氣中中等待待2個(gè)小小時(shí)以以上散散熱后后，戴戴上絕絕熱手手套，，依次把把螺帽帽和石石墨板板拆開開，但但不需需要拆拆螺栓栓，當(dāng)當(dāng)還剩剩相鄰鄰兩塊塊石墨墨板時(shí)時(shí)需兩兩面名名操作作人員員相互配合合拆出出石墨墨板，，然后后再把把硅錠錠四周周坩堝堝碎塊塊清除除。鑄錠出出爐吊錠吊錠應(yīng)應(yīng)三人人協(xié)作作吊錠錠。一一人負(fù)負(fù)責(zé)按按吊錠錠開關(guān)關(guān)，一一人負(fù)負(fù)責(zé)復(fù)復(fù)稱，，另一一人拉拉錠。。注意：吊錠錠時(shí)，應(yīng)輕輕拿輕放，，安全第一一.硅錠吊好之之后，擺放放整齊，并并把復(fù)稱重重量統(tǒng)計(jì)好好。鑄錠裝料檢查把四根依次次放好，檢檢查溢流棉棉和溢流線線是否有硅硅料和雜物物，檢查螺螺母，往回回?cái)Q松半圈圈。關(guān)閉下爐體體。相應(yīng)在在“ChamberLift”界面面窗口更換換下爐體運(yùn)運(yùn)動(dòng)方向的的箭頭使其其向上，其其它。當(dāng)下下爐體到達(dá)達(dá)上限位置置，扣上四四個(gè)還將夾夾子，使下下爐體鎖扣扣在上爐體體上面而后后抽真空。。檢查螺母打開爐子ChamberLift檢查夾子裝好石墨條條安全篇1.對(duì)坩堝操作作時(shí)必需時(shí)時(shí)時(shí)配帶橡橡膠手套，，以降低操操作過程中中對(duì)坩堝的的造成的污污染；2.噴涂過程中中必需開啟啟抽風(fēng)風(fēng)機(jī)機(jī)排風(fēng)，必必需配帶專專用高級(jí)防防塵口罩。。氮化硅超超細(xì)粉對(duì)人人體危害很很大。3：灼傷危險(xiǎn)，，某些表面面溫度很高高。在高溫溫狀態(tài)時(shí)，，請(qǐng)不要觸觸摸加熱器器背部或周周圍表面。4.噴涂時(shí)，必必需確保排排風(fēng)罩暢通通。5.在噴涂操作作中必需始始終配帶合合適的防護(hù)護(hù)裝置6.操作坩堝時(shí)時(shí)需配帶橡橡膠手套，，以降低操操作過程中中對(duì)坩堝造造成污染。。7.當(dāng)心夾手！！當(dāng)機(jī)器在在運(yùn)轉(zhuǎn)中時(shí)時(shí)請(qǐng)保持手手遠(yuǎn)離機(jī)器器運(yùn)動(dòng)部件件。噴涂裝料安安全注意事事項(xiàng)風(fēng)機(jī)一定要要打開！噴涂前風(fēng)機(jī)機(jī)要開，以及時(shí)吸收收SIN粉塵，噴涂時(shí)，必必需確保排排風(fēng)罩暢通通。噴涂完后及及時(shí)清理風(fēng)風(fēng)口出灰塵塵。戴防塵面具具、一次性性手套、無無塵服加熱板，高高溫！噴涂涂時(shí)千萬(wàn)不不能接觸到到！抬堝時(shí)，兩兩人協(xié)作抬抬起，如一一人未用到到力，易把把堝打碎或或扭傷鑄錠車間安安全注意事事項(xiàng)1.操作硅料的的手套必需需是潔凈無無污的新手手套。千萬(wàn)萬(wàn)不能用手手直接拿硅硅料，但也也不能用觸觸摸過它物物的手套來來搬拿硅料料，否則觸觸及過它物物的手套會(huì)會(huì)二次污染染硅料，引引入新的雜雜質(zhì)。2.裝料人員必必需套鞋套套、穿無塵塵服、配帶帶高級(jí)防塵塵專用口罩罩、戴無塵塵手套。3.不能在硅料料中轉(zhuǎn)箱內(nèi)內(nèi)把大料砸砸成小料，，因?yàn)橹修D(zhuǎn)轉(zhuǎn)箱會(huì)嚴(yán)重重污染硅料料。4.裝完料后要要及時(shí)清理理裝料車間間，保持車車間的無塵塵化。緊急停爐開開關(guān)，禁止止觸摸剛出爐，注注意高溫戴好高溫手手套DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌操作及制程原原理經(jīng)過Si3N4涂涂層處理的坩坩堝里裝滿多多晶硅，并放放置在一個(gè)大大的導(dǎo)熱石墨墨塊(定向凝固塊塊或DS-Block)上。密密閉長(zhǎng)晶晶爐且抽成真真空，然后加加熱數(shù)小時(shí)以以完全熔解多多晶硅。石墨墨加熱器包圍圍在坩堝的四四個(gè)垂直面上上，一隔熱籠籠包圍住加熱熱器、DS-Block及坩堝。此此隔熱籠的垂垂直邊可以上上下移動(dòng)，暴暴露出DS-Block，允許熱能能以輻射方式式散發(fā)至通冷冷卻水的下部部爐壁。DS-Block的溫度下下降會(huì)傳至坩坩堝底部，使使坩堝內(nèi)的硅硅溶液有垂直直的溫度梯度度，此溫度梯梯度會(huì)使硅在在坩堝的底部部凝固，然后后硅晶從底部部向頂部生長(zhǎng)長(zhǎng)。當(dāng)所有的的硅液都固化化之后，鑄錠錠需經(jīng)過退火火并按設(shè)計(jì)好好的冷卻方式式進(jìn)行冷卻，，以避免裂縫縫及消除應(yīng)力力。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌系統(tǒng)硬件系統(tǒng)是由雙層層且有冷卻水水通過的不銹銹鋼爐體、電電源供應(yīng)系統(tǒng)統(tǒng)、真空泵系系統(tǒng)、控制柜柜及操作面板板所組成。爐爐體內(nèi)包含石石墨熱場(chǎng)及隔隔熱元件，一一個(gè)梯子的平平臺(tái)包圍在爐爐體的周圍，，供操作者及及維修人員進(jìn)進(jìn)入。此平臺(tái)臺(tái)亦可放置變變壓器及將電電纜設(shè)施等水水管、線整齊齊地布置于平平臺(tái)的夾板下下。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌爐體上爐體是一個(gè)個(gè)倒鐘狀的形形狀，由三個(gè)個(gè)支柱固定。。下爐體則是是通過三個(gè)重重型絲桿螺母母副（Jackscrews））安裝于上爐爐體。jackscrews之間是是由可彎曲的的驅(qū)動(dòng)纜線同同時(shí)驅(qū)動(dòng)，一一個(gè)大功率直直流馬達(dá)控制制這三個(gè)Jackscrews的上上下移動(dòng)以上上升或下降下下爐體。使得得坩堝/硅料料裝填能裝入入熱場(chǎng)及取出出長(zhǎng)成的硅錠錠。六個(gè)絕緣緣的銅電極從從爐體上方穿穿入爐體，并并提供大電流流的交流電至至加熱器。三三個(gè)可移動(dòng)的的部件在上爐爐體頂部，同同樣是由可彎彎曲的驅(qū)動(dòng)纜纜線連接至伺伺服馬達(dá)以控控制隔熱籠的的上下移動(dòng)，，從而控制硅硅錠的生長(zhǎng)。。三個(gè)隔熱籠籠支撐桿用焊焊接式不銹鋼鋼的軟密封套套密封，防止止可能的漏氣氣。兩個(gè)壓力力指示器讀取取從大氣壓力力至1x10-3mbar的壓力，，一個(gè)質(zhì)流控控制器（MFC）及相關(guān)關(guān)的閥門控制制在成長(zhǎng)的過過程中控制適適當(dāng)?shù)臍鍤饧凹昂獾妮斎肴搿筛鋮s卻水總管安裝裝在后支腳上上，冷卻水歧歧管分配水流流至爐體、電電極和真空泵泵，下爐體會(huì)會(huì)通過大量的的水以吸收在在成長(zhǎng)過程中中散發(fā)出的強(qiáng)強(qiáng)烈的輻射熱熱。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌熱場(chǎng)熱場(chǎng)是由四組組彎曲的石墨墨平板組成一一個(gè)四方型的的加熱器，每每一片角落下下部亦有連接接板作連接，，圍繞在坩堝堝的四周，籍籍此可用平板板式隔熱元件件包覆在它周周圍。隔離層層是在兩層的的不銹鋼籠內(nèi)內(nèi)，由三個(gè)支支撐桿控制。。隔離籠的石石墨板使用平平板狀，降低低部件花費(fèi)且且容易更換。。這些隔熱板板互相交疊避避免流失熱輻輻射。在下爐爐區(qū)有一塊大大的用三支石石墨桿支撐的的石墨DS-Block，可提提供能調(diào)整的的控制和散熱熱的平面，使使晶成長(zhǎng)過程程為可控制的的。另有兩片片的平板式隔隔熱層置于DS-Block之下，，在長(zhǎng)晶過程程中隔熱籠通通過三根提升升棒上下移動(dòng)動(dòng)，露出DS-Block的邊緣和和底部讓熱散散出至水冷的的下爐區(qū)壁，，在熱場(chǎng)內(nèi)形形成一個(gè)垂直直的溫度梯度度，強(qiáng)迫使熔熔液從底部開開始凝固至上上方。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌真空泵系統(tǒng)真空泵系統(tǒng)由由Rootblower及Mechanicalbackingpump組成，讓爐爐內(nèi)的壓力可可以迅速降至至0.05mbar。當(dāng)當(dāng)制程壓力需需維持在400～600mbar時(shí)時(shí)，由Mechanicalpump作用。。Ar氣是制制程中壓力的的一部分，進(jìn)進(jìn)入的量由質(zhì)質(zhì)流控制器(MFC)控控制，抽氣是是由連接真空空泵的比例調(diào)調(diào)節(jié)閥（V3）調(diào)整?？湛諝鈮毫刂浦崎y（V1））用在關(guān)閉Ar氣進(jìn)氣系系統(tǒng)及使?fàn)t體體與真空系統(tǒng)統(tǒng)分開。另設(shè)設(shè)一個(gè)獨(dú)立的的閥（V7））控制He氣氣在冷卻過程程中可以通入入。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌電源供應(yīng)系統(tǒng)統(tǒng)165kVA的電源經(jīng)經(jīng)由水冷的纜纜線提供加熱熱組件功率，，電源供應(yīng)分分成兩個(gè)部份份，第一個(gè)是是位于夾層上上靠近水冷的的feedthroughs的降壓壓變壓器，變變壓器提供一一個(gè)每相為最最大壓力25VAC、3800Amps的輸出出。另一個(gè)電電源供應(yīng)柜位位于夾層后方方，內(nèi)含有控控制提供電源源至主變壓器器初級(jí)線圈的的SCR控制制器，此柜還還含有控制電電源的降壓變變壓器、加熱熱器接觸器、、真空泵接觸觸器、下爐體體驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、、各種電路斷斷路器和保險(xiǎn)險(xiǎn)絲。SCR控制器照著著powersetpoint的設(shè)定打開開及關(guān)閉一定定的時(shí)間(cycletime為為4秒)，例例如設(shè)定為30％，SCR控制器完完全打開30％的時(shí)間(1.2杪)及關(guān)閉70％的時(shí)間(2.8杪)。SCR控控制器的循環(huán)環(huán)時(shí)間為4秒秒，所以上例例中SCR的的工打開時(shí)間間為1.2秒秒，關(guān)閉時(shí)間間為2.8秒秒，然后重復(fù)復(fù)循環(huán)。這種種類型的控制制將大幅度提提高整個(gè)系統(tǒng)統(tǒng)的電源使用用的功率因素素和效率。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌控制柜控制柜內(nèi)有Input/Output模塊(I/O)、Optoprocesscontroller(LCM4)、powersupplies、insulationmotordrive及UPS。還有有必需的回路路斷路器及保保險(xiǎn)絲以避免免過載。來自自此控制柜的的電纜連接到到電源控制柜柜和機(jī)器上的的儀器及傳感感器。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌操作控制臺(tái)控制面面板位位于主主腳架架上并并包含含觸碰碰屏幕幕及計(jì)計(jì)算機(jī)機(jī)，三三個(gè)警警示燈燈及蜂蜂鳴器器安裝于于夾層層下方方，提提醒操操作者者存在在潛在在的問問題。。緊急急停止止鈕位位于面面板右右上方方，讓讓操作作者緊緊急關(guān)關(guān)閉所所有通通至機(jī)機(jī)臺(tái)輸輸出儀儀器的的電源源，這這會(huì)讓讓機(jī)臺(tái)臺(tái)處于于安全全的狀狀況。。(關(guān)閉閉所有有的氣氣閥、、泵及及電源源供應(yīng)應(yīng))DSS爐系系統(tǒng)概概貌注意緊緊急停停止按按鈕并并不會(huì)會(huì)移去去所有有的電電源，，在控控制柜柜及電電源供供應(yīng)器器內(nèi)還還是含含有危危險(xiǎn)的的電壓壓在。。操作窗窗口接下來來的部部分會(huì)會(huì)介紹紹操作作者在在控制制DSS時(shí)最最常用用到的的窗口口及功功能。。ALARMS、、OVERVIEW、MODES、RECIPE、、MANUAL(orREALVALUES)還還有PLOTDATA鍵鍵都會(huì)會(huì)顯示示在屏屏幕的的下方方。DSS爐系系統(tǒng)概概貌AlarmsButtonAlarmsScreen當(dāng)有聲聲音的的警告告出現(xiàn)現(xiàn)而需需要操操作者者注意意時(shí)，，會(huì)彈彈出這這個(gè)警警告窗窗口。。有問問題的的項(xiàng)目目會(huì)呈呈現(xiàn)紅紅色，，若是是正常常狀況況下會(huì)會(huì)呈現(xiàn)現(xiàn)綠色色。在在任何何時(shí)間間若想想進(jìn)入入此窗窗口亦亦可壓壓下Alarmsscreen鍵。。按下下SilenceAlarm鍵鍵以消消除警警告聲聲音，，此鍵鍵同時(shí)時(shí)也可可以清清除Alarm狀況況。當(dāng)當(dāng)按下下SilenceAlarm鍵鍵時(shí)，，若是是Alarm持持續(xù)存存在則則狀況況仍為為紅色色；否否則會(huì)會(huì)變成成綠色色。所所有的的Alarms都是是延遲遲的，，即是是紅色色的狀狀況不不會(huì)消消失直直到操操作者者按下下SilenceAlarm鍵鍵，即即使此此Alarm已已經(jīng)解解除。。如果偵偵測(cè)到到CriticalAlarm（危危急警警告）），電電源關(guān)關(guān)閉的的倒數(shù)數(shù)計(jì)時(shí)時(shí)會(huì)激激活，，秒數(shù)數(shù)歸零零后PowerSupplyContactor會(huì)會(huì)關(guān)閉閉。所所謂的的CriticalAlarms是是指CriticalWaterFlows、、MaxTemp及MaxPressure。。有些報(bào)報(bào)警會(huì)會(huì)在當(dāng)當(dāng)前屏屏幕的的上方方跳出出一個(gè)個(gè)新的的窗口口，這這些跳跳出的的窗口口告訴訴操作作者警警告的的一些些額外外的信信息或或要求求操作作者協(xié)協(xié)助。。另外外，Detail按按鈕會(huì)會(huì)出現(xiàn)現(xiàn)在警警告按按鈕的的左邊邊，能能夠在在當(dāng)細(xì)細(xì)節(jié)窗窗口被被關(guān)閉閉或隱隱藏時(shí)時(shí)重新新該窗窗口。。例如如：CONTROLTC1警警告出出現(xiàn)紅紅色，，因此此，TC1細(xì)節(jié)節(jié)按鈕鈕被激激活。。除了了壓力力警告告、氬氬氣流流量警警告、、泄漏漏檢查查、PLC電池池不足足、CDA供應(yīng)應(yīng)以外外，其其它所所有的的警告告都伴伴隨有有細(xì)節(jié)節(jié)按鈕鈕的出出現(xiàn)。。DSS爐爐系統(tǒng)概概貌Power/phaselossscreen主電源丟丟失及相相的損失失其回復(fù)復(fù)是自動(dòng)動(dòng)執(zhí)行的的，會(huì)自自動(dòng)地將將功率增增加到損損失時(shí)功功率值之之上一點(diǎn)點(diǎn)點(diǎn)，如如果損失失時(shí)是溫溫度控制制模式，，會(huì)自動(dòng)動(dòng)地轉(zhuǎn)換換成溫度度控制模模式。當(dāng)當(dāng)損失的的情況已已經(jīng)回復(fù)復(fù)之后會(huì)會(huì)要求操操作者確確認(rèn)程序序回到正正常狀況況下。電電源丟失失后若TC1溫溫度下降降超出設(shè)設(shè)定范圍圍外，而而電力還還未回復(fù)復(fù)時(shí)，依依照電力力丟失時(shí)時(shí)程序在在哪個(gè)模模式而決決定程序序會(huì)跳至至冷卻程程序或緊緊急冷卻卻步驟。。DSS爐爐系統(tǒng)概概貌另外還有有兩個(gè)警警告窗口口：當(dāng)隔隔熱籠的的移動(dòng)有有問題時(shí)時(shí)，會(huì)出出現(xiàn)OpenManualInsulation鈕；如如果按下下MeltorGrowthEndDisable鈕鈕則會(huì)出出現(xiàn)EndTriggerDisable鈕鈕，指示示操作者者必須決決定何時(shí)時(shí)這些““End”程程序結(jié)束束。接觸器失失效窗口口當(dāng)發(fā)生一個(gè)個(gè)criticalalarm且時(shí)間間超過設(shè)定定值，加熱熱器電源連連接器會(huì)關(guān)關(guān)閉，右方方的窗口會(huì)會(huì)彈出。此此窗口可以以關(guān)閉且ContactorFailure鈕會(huì)出現(xiàn)現(xiàn)在模式窗窗口。關(guān)閉閉ContactorFailure窗口，，允許操作作者去檢查查跳閘的原原因。按下下ContactorFailure細(xì)節(jié)按按鈕ContactorFailure窗口口又會(huì)出現(xiàn)。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌連接器失效按按鈕操作者關(guān)閉連連接器失效窗窗口并查明連連接器關(guān)閉原原因。連接器器失效窗口可可按FailureDetail鈕打打開。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌模式窗口這可使連接器器重新激活并并回復(fù)功率至至連接器關(guān)閉閉時(shí)之?dāng)?shù)值。。當(dāng)造成錯(cuò)誤誤的問題排解解后，打開加加熱器電源連連接器并在功功率欄輸入連連接器關(guān)閉時(shí)時(shí)的數(shù)值或是是高于5％，用來補(bǔ)補(bǔ)償溫度損失失。接下來進(jìn)進(jìn)入RealValues窗口去去監(jiān)看程序以以回復(fù)到正常常狀況。如果果連接器關(guān)閉閉時(shí)處于溫度度控制模式，，則當(dāng)溫度爬爬升至之前的的值后必須回回到溫度控制制模式。注意意，機(jī)器仍處處于暫停模式式除非按下回回復(fù)鈕。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌OverviewButton總窗口的中央央顯示現(xiàn)在的的模式、步驟驟及剩多少時(shí)時(shí)間至下個(gè)步步驟。Gti方框顯示示機(jī)器的ID號(hào)和當(dāng)前的的日期及時(shí)間間，按ID可可改變名稱或或爐子的標(biāo)識(shí)識(shí)—這一特性性只有在非自自動(dòng)運(yùn)行模式式時(shí)有用，用用WindowsControlPanelfeature可可改變PC的的日期及時(shí)間間，然后按Change/SyncTime/Date鈕可使時(shí)時(shí)間及日期與與PC同步。。OverviewScreen總窗口也顯示示實(shí)時(shí)的功率率設(shè)定值、溫溫度、壓力、、氣體流量及及水流量。電電源供應(yīng)的電電流及電壓也也會(huì)顯示出來來，但是這些些值因?yàn)殡娫丛词浅掷m(xù)的開開關(guān)供應(yīng)而出出現(xiàn)不穩(wěn)定的的值。測(cè)量出出最高功率的的值會(huì)顯示在在PeakkVA欄。。氣閥在開啟狀狀態(tài)是顯示綠綠色，關(guān)閉狀狀態(tài)則是紅色色。質(zhì)流控制制、壓力控制制、隔熱區(qū)位位置及PID控制都有DetailScreen可顯示示詳細(xì)的測(cè)量量值及趨勢(shì)圖圖，按下Detail鈕鈕可進(jìn)入此窗窗口。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌這些窗口顯示示實(shí)時(shí)測(cè)量的的過程序變化化值、設(shè)定值值、輸出值及及PID參數(shù)，，并附有短時(shí)時(shí)間的趨勢(shì)圖圖。DSS爐系系統(tǒng)概概貌DSS爐系系統(tǒng)概概貌ModeButtonModescreen顯示示自動(dòng)動(dòng)成長(zhǎng)長(zhǎng)的選選項(xiàng)。。正常常時(shí)采采用默默認(rèn)選選項(xiàng),當(dāng)按按下鈕鈕即開開始自自動(dòng)成成長(zhǎng)。。Timeofday的的開始始是從從AutoMode開開始算算始的的,后后來的的過程程自動(dòng)動(dòng)執(zhí)行行。鍵鍵入預(yù)預(yù)設(shè)的的日期期和時(shí)時(shí)間，，然后后按下下Timeofday旁旁邊的的綠色色按鈕鈕。機(jī)機(jī)臺(tái)會(huì)會(huì)預(yù)先先做抽抽真空空步驟驟，然然后等等待（（自動(dòng)動(dòng)成長(zhǎng)長(zhǎng)時(shí)））開始始計(jì)時(shí)時(shí)。DSS爐系系統(tǒng)概概貌儲(chǔ)存recipe及及讀取取recipe鈕是是讓操操作者者可以以從硬硬盤選選擇(讀取取)新新的recipe或或儲(chǔ)存存recipe到硬硬盤內(nèi)內(nèi)。讀讀取或或儲(chǔ)存存recipe操作作后，，當(dāng)前前的recipe名名稱會(huì)會(huì)顯示示出來來。當(dāng)自動(dòng)動(dòng)成長(zhǎng)長(zhǎng)開始始時(shí)，，數(shù)據(jù)據(jù)儲(chǔ)存存的訊訊號(hào)會(huì)會(huì)在屏屏幕上上方閃閃爍，，當(dāng)前前的模模式、、步驟驟及此此步驟驟的殘殘余時(shí)時(shí)間亦亦會(huì)顯顯現(xiàn)出出來。。如果按按下暫暫停鈕鈕，在在左下下方會(huì)會(huì)出現(xiàn)現(xiàn)一些些新的的選項(xiàng)項(xiàng)。如如果需需要跳跳至新新的模模式或或是步步驟，，輸入入新的的時(shí)間間及模模式號(hào)號(hào)碼(在屏屏幕的的下方方有各各模式式及其其相對(duì)對(duì)應(yīng)的的號(hào)碼碼)，，步驟驟號(hào)碼碼欄也也會(huì)出出現(xiàn)。。輸入入所期期望的的步驟驟號(hào)碼碼程序序，填填入新新的數(shù)數(shù)值，，程序序會(huì)從從現(xiàn)在在的步步驟往往前或或往后后跳至至所輸輸入的的步驟驟，采采用新新輸入入的時(shí)時(shí)間。。也可可藉此此直接接按下下AdvancetoNextStep鈕讓讓程序序跳至至下個(gè)個(gè)步驟驟。DSS爐系系統(tǒng)概概貌AdvancetoNextStepButton(閱讀讀自動(dòng)動(dòng)成長(zhǎng)長(zhǎng)章節(jié)節(jié)以獲獲得更更多有有關(guān)跳跳程序序的細(xì)細(xì)節(jié))，當(dāng)當(dāng)按下下Resume鈕會(huì)會(huì)回復(fù)復(fù)到自自動(dòng)成成長(zhǎng)程程序。。當(dāng)按下下Pause鈕鈕時(shí)，，Abortauto鈕會(huì)會(huì)出現(xiàn)現(xiàn)。如如果選選擇Abort會(huì)彈彈出另另一個(gè)個(gè)窗口口詢問問操作作者是是否確確定要要跳至至緊急急冷卻卻程序序DSS爐系系統(tǒng)概概貌是否真真要跳跳出如果操操作者者選擇擇OK，，程序序會(huì)進(jìn)進(jìn)入緊緊急冷冷卻，，執(zhí)行行完Recipe中中余下下的程程序；；選擇擇Cancel會(huì)回回到模模式窗窗口。。如果果錯(cuò)誤誤地跳跳轉(zhuǎn)到到緊急急冷卻卻，處處理的的快的的話或或是在在按下下RESUME鍵前前，跳跳回前前面的的自動(dòng)動(dòng)成長(zhǎng)長(zhǎng)步驟驟是有有可能能的。。DSS爐系系統(tǒng)概概貌這個(gè)窗窗口允允許操操作者者去修修正這這些項(xiàng)項(xiàng)目，，但是是在自自動(dòng)模模式下下不能能修改改。這這些項(xiàng)項(xiàng)目與與Recipe的的值互互相搭搭配以以控制制在自自動(dòng)過過程中中的各各部份份條件件。(翻閱閱AdvancedFunctions部分分可得得到較較完全全信息息)DSS爐爐系系統(tǒng)統(tǒng)概概貌貌PIDValuesScreen此窗窗口口顯顯示示溫溫度度、、氣氣體體流流入入及及氣氣體體流流出出的的PID控控制制回回路路的的數(shù)數(shù)值值，，PID調(diào)調(diào)節(jié)節(jié)的的數(shù)數(shù)值值可可在在屏屏幕幕上上修修改改。。修改改這這些些參參數(shù)數(shù)可可能能會(huì)會(huì)擾擾亂亂機(jī)機(jī)臺(tái)臺(tái)的的控控制制，，只只有有經(jīng)經(jīng)過過審審核核的的人人員員可可以以修修改改這這些些數(shù)數(shù)值值。。ManualButton此鈕鈕只只有有進(jìn)進(jìn)入入自自動(dòng)動(dòng)運(yùn)運(yùn)行行時(shí)時(shí)才才會(huì)會(huì)出出現(xiàn)現(xiàn)，，與與機(jī)機(jī)器器不不是是在在自自動(dòng)動(dòng)程程序序時(shí)時(shí)屏屏幕幕右右下下方方的的Manual鈕鈕作作用用一一樣樣。。按按下下此此鈕鈕會(huì)會(huì)出出現(xiàn)現(xiàn)另另一一個(gè)個(gè)窗窗口口詢?cè)儐枂柌俨僮髯魇鞘欠穹裾嬲娴牡囊质謩?dòng)動(dòng)進(jìn)進(jìn)行行，，且且必必須須輸輸入入密密碼碼才才能能打打開開手手動(dòng)動(dòng)窗窗口口。。DSS爐爐系系統(tǒng)統(tǒng)概概貌貌ManualScreen(需需要要密密碼碼進(jìn)入入)打開開手手動(dòng)動(dòng)窗窗口口會(huì)會(huì)使使自自動(dòng)動(dòng)程程序序進(jìn)進(jìn)入入暫暫停停狀狀況況，，且且可可對(duì)對(duì)自自動(dòng)動(dòng)成成長(zhǎng)長(zhǎng)做做重重大大改改變變。。DSS爐爐系系統(tǒng)統(tǒng)概概貌貌只有有經(jīng)經(jīng)過過審審核核的的人人員員可可以以嘗嘗試試更更改改這這些些參參數(shù)數(shù)、、打打開開或或關(guān)關(guān)閉閉閥閥門門、、移移動(dòng)動(dòng)隔隔熱熱籠籠位位置置或或開開關(guān)關(guān)電電源源供供應(yīng)應(yīng)等等。。在在做做任任何何變變更更以以前前必必須須要要有有清清醒醒的的認(rèn)認(rèn)定定，，對(duì)對(duì)任任何何的的變變動(dòng)動(dòng)所所產(chǎn)產(chǎn)生生之之影影響響要要有有全全盤盤的的了了解解。。直到到當(dāng)當(dāng)前前的的步步驟驟跑跑完完，，機(jī)機(jī)器器將將不不會(huì)會(huì)有有自自動(dòng)動(dòng)的的行行為為對(duì)對(duì)人人為為的的變變動(dòng)動(dòng)做做補(bǔ)補(bǔ)救救。DSS爐爐系系統(tǒng)統(tǒng)概概貌貌PumpdownScreen抽真真空空的的項(xiàng)項(xiàng)目目檢檢查查窗窗口口與與抽抽真真空空鈕鈕在在自自動(dòng)動(dòng)過過程程中中的的抽抽真真空空步步驟驟會(huì)會(huì)出出現(xiàn)現(xiàn)DSS爐爐系系統(tǒng)統(tǒng)概概貌貌RecipeButtonRecipeScreen按下下在在任任何何屏屏幕幕下下方方的的Recipe鈕鈕，，可可顯顯示示出出四四頁(yè)頁(yè)Recipe中中的的第第一一頁(yè)頁(yè)。。在在Recipe窗窗口口的的右右上上方方有有按按鍵鍵可可前前后后翻翻頁(yè)頁(yè)。。Recipe能能夠夠在在模模式式窗窗口口中中讀讀取取及及儲(chǔ)儲(chǔ)存存，，但但是是只只可可在在這這窗窗口口中中用用列列表表中中模模式式和和步步驟驟代代碼碼創(chuàng)創(chuàng)建建或或修修改改Recipe。。這這些些步步驟驟會(huì)會(huì)按按照照指指令令執(zhí)執(zhí)行行并并自自動(dòng)動(dòng)跑跑完完設(shè)設(shè)定定的的時(shí)時(shí)間間。。在在AdvancedFunctions章章節(jié)節(jié)對(duì)對(duì)于于創(chuàng)創(chuàng)建建及及修修改改Recipe部部分分有有詳詳細(xì)細(xì)的的描描述述。。DSS爐爐系統(tǒng)概概貌ManualButtonManualScreen當(dāng)機(jī)器不不是處于于自動(dòng)模模式，屏屏幕下方方會(huì)顯示示手動(dòng)窗窗口按鈕鈕。此按按鈕會(huì)顯顯示如上上方窗口口，允許許操作者者操縱閥閥門、打打開或關(guān)關(guān)閉電源源供應(yīng)連連接器、、改變功功率及溫溫度設(shè)定定值、調(diào)調(diào)整壓力力值及隔隔熱區(qū)移移動(dòng)的目目標(biāo)位置置，在壓壓力大于于950mbar時(shí)也也可按ChamberLift鈕鈕控制下下爐體的的移動(dòng)；；按ManualInsulation鈕則可可移動(dòng)隔隔熱區(qū)上上下。按按下PressOncetoBackfill鈕鈕，可使使?fàn)t體也也可回復(fù)復(fù)到大氣氣壓力。。如果輸輸入正確確的密碼碼，按下下Maint鈕鈕維護(hù)窗窗口會(huì)出出現(xiàn)—見見維護(hù)手手冊(cè)。在在自動(dòng)模模式下，，進(jìn)入手手動(dòng)窗口口時(shí)此按按鈕不可可見。如果機(jī)臺(tái)臺(tái)處于自自動(dòng)模式式，窗口口下方不不會(huì)出現(xiàn)現(xiàn)Manual鈕，但但是會(huì)出出現(xiàn)在模模式窗口口中。在在進(jìn)入手手動(dòng)窗口口做任何何改變閥閥、連接接器參數(shù)數(shù)等之前前，必須須輸入密密碼。在在自動(dòng)模模式下Manual鈕鈕的地方方會(huì)被窗窗口下方方叫RealValue鈕鈕取代，，此窗口口可設(shè)定定功率、、溫度、、壓力等等之極限限值。DSS爐爐系統(tǒng)概概貌RealValuesScreenDSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌ManualInsulationScreen此窗口可按在在手動(dòng)窗口上上方的ManualInsulation鈕鈕進(jìn)入，可上上下移動(dòng)隔熱熱籠以幫助上上、下料等。。按最上方一一欄的提示，，可輸入新的的移動(dòng)目標(biāo)及及移動(dòng)速度再再按Run即即會(huì)開始移動(dòng)動(dòng)。隔熱籠會(huì)會(huì)以新的速度度移動(dòng)到新的的位置后再停停止。當(dāng)隔熱熱籠移動(dòng)到距距離目標(biāo)0.5cm時(shí)，，速度會(huì)自動(dòng)動(dòng)降至2cm/min.。中間欄的信息息顯示現(xiàn)在隔隔熱籠的位置置、隔熱籠速速度及移動(dòng)限限制開關(guān)的狀狀態(tài)，紅色是是表示隔熱籠籠位于上或下下端；綠色表表示隔熱籠在在兩端之間的的某個(gè)位置。。PositionOffset是要修正在在隔熱籠的MotorDriveControl(MDC)之電電源關(guān)閉后儲(chǔ)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)機(jī)的位置，低低點(diǎn)的Homingroutine會(huì)執(zhí)行。。PositionCounts是顯示隔熱熱籠MDC的的總計(jì)算位置置，通?？梢砸院雎圆焕怼！SS爐系系統(tǒng)概貌查閱維修手手冊(cè)。當(dāng)隔隔熱籠在關(guān)關(guān)閉（零位位）時(shí)，如如果COUNTS之值值超過30,000,000和OFFSET之之值超過±±5CM，隔隔熱籠的MDC能夠夠使COUNTS累累計(jì)重新置置零，迫使使隔熱籠的的位置偏移移接近零。。下方字段的的信息及按按鈕通常顯顯示MDC的狀態(tài)，，其它的按按鈕及操作作只有在Drive有問題的的時(shí)候才會(huì)會(huì)出現(xiàn)。通常剎車是是處于松開開狀態(tài)，除除非MDC有問題或或是電源關(guān)關(guān)閉才會(huì)鎖鎖緊。如果剎車激激活，則隔隔熱籠不能能移動(dòng)。如果Drive有錯(cuò)誤，，MotorFault會(huì)會(huì)從綠色變變?yōu)榧t色，，Drive重置按按鈕會(huì)出現(xiàn)現(xiàn)，按下此此鈕會(huì)嘗試試重置此錯(cuò)錯(cuò)誤。如果果錯(cuò)誤沒有有清除，找找出控制柜柜中隔熱籠籠MDC錯(cuò)錯(cuò)誤代碼并并與廠商（（PacificScientific）聯(lián)聯(lián)絡(luò)以獲得得更多信息息。通常試試著去關(guān)閉閉再開啟MDC的電電源可清除除錯(cuò)誤。DSS爐系系統(tǒng)概貌ManualInsulationScreenWith““Homing””RoutineDSS爐爐系系統(tǒng)統(tǒng)概概貌貌DriveCommFault紀(jì)紀(jì)錄錄從從MotorDrive傳傳送送或或接接收收的的速速度度及及位位置置的的通通訊訊錯(cuò)錯(cuò)誤誤總總次次數(shù)數(shù)。。出出現(xiàn)現(xiàn)5-8次次錯(cuò)錯(cuò)誤誤記記錄錄問問題題不不大大，，但但如如果果錯(cuò)錯(cuò)誤誤記記錄錄迅迅速速增增加加，，特特別別連連續(xù)續(xù)錯(cuò)錯(cuò)誤誤記記錄錄上上升升超超過過50時(shí)時(shí)，，就就存存在在問問題題了了。。如如果果發(fā)發(fā)生生這這種種狀狀況況，，先先按按下下StopMotor鈕鈕，，檢檢查查通通訊訊崩崩潰潰的的原原因因。。當(dāng)當(dāng)馬馬達(dá)達(dá)停停止止時(shí)時(shí)DriveCommFault會(huì)會(huì)重重置置為為0。。如果隔隔熱籠籠達(dá)到到低點(diǎn)點(diǎn)限制制位置置，““HomingRoutine”會(huì)會(huì)激活活而且且RunHomeRoutine鈕及及ResetHomeTimer數(shù)值值會(huì)出出現(xiàn)且且時(shí)間間會(huì)開開始倒倒數(shù)。。這會(huì)會(huì)使隔隔熱籠籠以0.5cm/min.的的速度度向上上移動(dòng)動(dòng)且ResetHomeTimer會(huì)會(huì)跑60sec.。。當(dāng)隔隔熱籠籠向上上跑離離限制制開關(guān)關(guān)后馬馬達(dá)會(huì)會(huì)停止止。程程序會(huì)會(huì)在此此位置置調(diào)整整補(bǔ)償償值強(qiáng)強(qiáng)制讓讓位置置歸零零，即即是所所有位位置移移動(dòng)的的參考考零點(diǎn)點(diǎn)。如如果低低點(diǎn)限限制開開關(guān)還還是紅紅色，，可以以按RunHomeRoutine鈕鈕執(zhí)行行Routine程程序。。如果有有速度度偏差差或DriveCommFault的的次數(shù)數(shù)大于于9，，隔熱熱籠移移動(dòng)的的警示示按鈕鈕會(huì)變變紅而而且馬馬達(dá)會(huì)會(huì)停止止。按按此InsulationLiftAlarm鈕去去重置置錯(cuò)誤誤。在在此窗窗口下下面也也會(huì)顯顯示一一些錯(cuò)錯(cuò)誤排排解信信息。。繪圖資料（（以圖表的的形式顯示示在屏幕的的右下角））。DSS爐系系統(tǒng)概貌PlotDataButton可按窗口右右下方的圖圖標(biāo)標(biāo)志進(jìn)進(jìn)入此窗口口PlotDataScreen（Heat）這個(gè)趨勢(shì)勢(shì)窗口顯顯示5個(gè)個(gè)小時(shí)的的8條實(shí)實(shí)時(shí)曲線線，可以以觀察功功率、3個(gè)熱電電偶溫度度、爐內(nèi)內(nèi)壓力、、隔熱區(qū)區(qū)位置、、硅溶化化pyrometer的值及及紅色警警示燈。。每個(gè)曲曲線都可可以在某某個(gè)特別別或干擾擾處放大大倍率或或出出現(xiàn)現(xiàn)異常情情況的分分析。HistoricalFunction也可觀觀察之前前5小時(shí)時(shí)所記錄錄的資料料，以分分析之前前過程。。記得在選擇其其它窗口前要要執(zhí)行實(shí)時(shí)的的擷取資料。。PlotDataScreen(MeltEnd)下面的窗口顯顯示了典型的的溶化結(jié)束曲曲線。MeltPyrometer的位位置顯示在窗窗口中—綠色色表示MeltPyrometer正在觀察察硅溶化。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌MeltandGrowthEndTrendScreen下面的窗口可可得到第二個(gè)個(gè)趨勢(shì)圖。這里顯示了更更多的功率和和DS-Block溫度度細(xì)節(jié)，使確確定溶化結(jié)束束或角部晶生生長(zhǎng)結(jié)束更容容易，等等。。這些曲線的的斜率和它們們當(dāng)前的數(shù)值值也顯示出來來，可以和主主參數(shù)表的trigger值相比較較。為了幫助助確定結(jié)束點(diǎn)點(diǎn)，趨勢(shì)圖的的比例可擴(kuò)大大或縮小。DSS爐系統(tǒng)統(tǒng)概貌PowerProfilesScreen通過PowerProfiles鈕出現(xiàn)一窗窗口。正常運(yùn)運(yùn)行時(shí)，模式式號(hào)碼、步驟驟號(hào)碼、功率率設(shè)定值和絕絕熱區(qū)的位置置每五分鐘在在表中存儲(chǔ)一一次。當(dāng)熱電電偶失效時(shí)，，這些表創(chuàng)建建的功率設(shè)定定的和絕熱區(qū)區(qū)的位置數(shù)據(jù)據(jù)文件能夠用用來硅錠的生生長(zhǎng)。功率對(duì)比曲線線繪出了當(dāng)前前的模式、步步驟、功率設(shè)設(shè)定和絕熱籠籠的位置。它它同時(shí)顯示最最后一次保存存的功率及隔隔熱籠曲線和和已載入表中中的曲線的數(shù)數(shù)值。最后的的數(shù)值用與recipe的步驟和/或未改變的的時(shí)間同樣長(zhǎng)長(zhǎng)的且與當(dāng)前前同步的最后后的模式和步步驟繪成曲線線。考慮到每每一次運(yùn)行中中溶化和成長(zhǎng)長(zhǎng)結(jié)束時(shí)都幾幾會(huì)乎有所不不同，因此要要作適當(dāng)?shù)难a(bǔ)補(bǔ)償。當(dāng)前的的數(shù)據(jù)和最后后的數(shù)據(jù)重疊疊使得決定當(dāng)當(dāng)前的數(shù)據(jù)是是否為保存為為將來的“profile”變得相相對(duì)容易。操操作者在每次次運(yùn)行后需作作此決定。趨趨勢(shì)圖讓歷史史數(shù)據(jù)顯示出出來，以決定定是否應(yīng)該為為將來而保留留老的“profile”。DSS爐爐系系統(tǒng)統(tǒng)概概貌貌PowerProfilesMode/StepScreen按下下Mode/StepScreen鈕鈕彈彈出出此此窗窗口口。。這這個(gè)個(gè)窗窗口口顯顯示示了了過過去去常常保保存存當(dāng)當(dāng)前前和和上上次次數(shù)數(shù)據(jù)據(jù)的的一一系系列列表表格格的的細(xì)細(xì)節(jié)節(jié)。。在在上上一一次次的的表表中中有