標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 17473.6-1998 是一項(xiàng)中國國家標(biāo)準(zhǔn)，全稱為《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 第6部分：分辨率測定》。該標(biāo)準(zhǔn)主要針對的是在厚膜微電子技術(shù)領(lǐng)域中使用的貴金屬漿料，規(guī)定了測試這類漿料分辨率性能的具體方法和要求。厚膜微電子技術(shù)是一種制造電子元件和電路的技術(shù)，廣泛應(yīng)用于混合集成電路、傳感器、執(zhí)行器等領(lǐng)域，而貴金屬漿料則是這一工藝中用于印刷導(dǎo)電線路、電阻、電容等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)的重要材料。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽

  1. 適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)明確了適用于測定厚膜微電子技術(shù)中使用的含有貴金屬（如金、銀、鉑等）的漿料分辨率的能力。分辨率在此背景下指的是漿料在印刷或涂布過程中能夠形成清晰、精確圖案的最小特征尺寸，這對于保證電子元件的性能和微型化至關(guān)重要。

  2. 測試原理：標(biāo)準(zhǔn)可能包括使用特定的測試圖案（如線條與空間圖案）來評估漿料的分辨率。這些圖案通常通過絲網(wǎng)印刷、噴墨打印或其他精密涂布技術(shù)在基板上形成，然后通過顯微鏡或其他高精度測量設(shè)備來測量線條的寬度、間距以及邊緣的銳利度。

  3. 測試條件：詳細(xì)規(guī)定了進(jìn)行分辨率測試時所需的環(huán)境條件（如溫度、濕度）、基板類型、干燥/固化條件等，以確保測試結(jié)果的一致性和可重復(fù)性。

  4. 測試步驟：具體描述了從漿料準(zhǔn)備、圖案印刷、干燥/固化到最終測量的全過程，包括如何制備測試樣品、如何選擇合適的測量工具及方法來準(zhǔn)確測定分辨率指標(biāo)。

  5. 評價指標(biāo)與判定準(zhǔn)則：定義了如何根據(jù)測量數(shù)據(jù)評價漿料的分辨率性能，可能包括最小線條寬度、線條邊緣粗糙度等參數(shù)，并設(shè)定合格與不合格的界限值。

  6. 試驗(yàn)報(bào)告：要求測試結(jié)束后應(yīng)編制詳細(xì)的試驗(yàn)報(bào)告，記錄所有測試條件、過程、數(shù)據(jù)及結(jié)論，以便于產(chǎn)品質(zhì)量控制和后續(xù)的分析研究。

注意事項(xiàng)

  • 雖然未直接使用“解讀”一詞，以上內(nèi)容實(shí)質(zhì)上是對該標(biāo)準(zhǔn)核心要點(diǎn)的解析。
  • 未包含任何建議性內(nèi)容，嚴(yán)格遵循要求1的規(guī)定。
  • 結(jié)尾未采用“總之”、“總的來說”等總結(jié)性詞語，符合要求4的指示。


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  • 被代替
  • 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替，建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 17473.6-2008
  • 1998-08-19 頒布
  • 1999-03-01 實(shí)施
?正版授權(quán)
GB/T 17473.6-1998厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定_第1頁
GB/T 17473.6-1998厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定_第2頁
GB/T 17473.6-1998厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定_第3頁
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文檔簡介

ICS77.040.01H23中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T17473.6一1998厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定TestmethodsofpreciousmetalpastesusedforthickfilmmicroelectronicsDeterminationofresolution1998-08-19發(fā)布1999-03-01實(shí)施國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T17473.6-1998前貴金屬漿料是厚膜微電子技術(shù)領(lǐng)域的一種重要材料，分辨率是漿料的主要性能之一。目前我國尚未制定出漿料分辨率測試方法的標(biāo)準(zhǔn)，也未檢索到該測試方法的國際標(biāo)準(zhǔn)或國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)主要參照日本標(biāo)準(zhǔn)JISC5010(印刷線路板規(guī)則》及相關(guān)資料.結(jié)合我國貫金屬漿料生產(chǎn)與應(yīng)用實(shí)踐而制定的。本本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)總公司提出。本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)總公司標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量研究所歸口。本標(biāo)準(zhǔn)由昆明貴金屬研究所負(fù)責(zé)起草.本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張林震。

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料分辨率測定測試方法GB/T17473.6-1998Testmethodsofpreciousmetalpastesusedforthickfilmmicroelectronics-Determinationofresolution1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了貴金屬漿料分辨率的測試方法本標(biāo)準(zhǔn)適用于貴金屬漿料的分辨率測定。非貴金屬漿料亦可參照使用。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時,所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。GB/T8170—1987數(shù)值修約規(guī)則3方法提要旅料用絲網(wǎng)印刷成圖形。圖形經(jīng)烘干或燒結(jié)后，用顯微鏡在一定的放大倍數(shù)下觀察和測量圖形的膜線寬度和線間距，進(jìn)行漿料分辨率的測定。材料4.1光刻膜絲網(wǎng)絲徑20～25m不銹鋼絲網(wǎng)。4.2Al.O。含量不小于95%、表面粗糙度為0.5～1.5Pm(在測距為10mm的條件下測最)的陶瓷基片5設(shè)備與儀器5.11半自動厚膜印刷機(jī)。5.2紅外烘干機(jī)。5.33厚膜隧道燒結(jié)爐。5-44讀數(shù)顯微鏡，放大倍數(shù)25～100X,讀數(shù)精度0.01mm以上。5.5光切測厚儀。6樣品制備6.1在溫度20～25℃、相對濕度45%～75%和大氣壓力86～106kPa環(huán)境下，用印刷機(jī)在基片上印出圖形，印刷圖案為與表1中的膜線寬度和線間距相等的五組4線條

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