GB/T 34893-2017微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)面內(nèi)長度測量方法

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34893—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)

面內(nèi)長度測量方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Measuringmethodforin-planelengthmeasurementsofMEMSmicrostructures

usinganopticalinterferometer

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T34893—2017

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

測量方法

4…………………1

影響測量不確定度的主要因素

5…………4

附錄資料性附錄光學(xué)干涉顯微鏡的典型形式和主要技術(shù)特點(diǎn)

A()…………………5

GB/T34893—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位天津大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心國家儀器儀表元器件質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心南

:、、、

京理工大學(xué)中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人胡曉東郭彤于振毅李海斌程紅兵裘安萍崔波朱悅

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34893—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)

面內(nèi)長度測量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于光學(xué)干涉顯微鏡獲取微結(jié)構(gòu)表面形貌進(jìn)行面內(nèi)長度測量的方法

MEMS。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于表面反射率不低于寬深比不低于且使用光學(xué)干涉顯微鏡能夠獲取形貌

4%,1∶10,

的微結(jié)構(gòu)

MEMS。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)

GB/T3505(GPS)、

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語

GB/T26111(MEMS)

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)微幾何量評定總則

GB/T26113(MEMS)

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T3505GB/T26111。

31

.

表面形貌surfacetopography

表面結(jié)構(gòu)的宏觀和微觀幾何特性

。

注一般包括表面幾何形狀表面波紋度表面粗糙度及表面缺陷等

:、、。

32

.

面內(nèi)長度in-planelength

表面有邊緣結(jié)構(gòu)特征的兩點(diǎn)點(diǎn)與線或兩條線之間的距離

、。

4測量方法

41總則

.

411實(shí)施面內(nèi)長度測量前提是結(jié)構(gòu)具備階梯型邊緣結(jié)構(gòu)兩邊緣結(jié)構(gòu)端面和端面之間

..MEMS