GB/T 38783-2020貴金屬復(fù)合材料覆層厚度的掃描電鏡測定方法

ICS7712099

H15..

中華人民共和國國家標準

GB/T38783—2020

貴金屬復(fù)合材料覆層厚度的掃描電鏡

測定方法

Methodofcoatingthicknessdeterminationforpreciousmetal

compositesbyscanningelectronmicroscope

2020-06-02發(fā)布2021-04-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T38783—2020

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出

。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位貴研鉑業(yè)股份有限公司貴研檢測科技云南有限公司國合通用測試評價認證

:、()、

股份有限公司廣東省工業(yè)分析檢測中心北京有色金屬與稀土應(yīng)用研究所南京市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗

、、、

院郴州市場商品質(zhì)量監(jiān)督檢驗所國標北京檢驗認證有限公司

、、()。

本標準主要起草人毛端甘建壯陳雯陳國華左玉婷伍超群王峰高瑞峰張靖張卓佳劉坤鵬

:、、、、、、、、、、、

王一晴賴麗君畢勤嵩金婭秋馬媛夏雯張麗民齊岳峰張吉明

、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T38783—2020

貴金屬復(fù)合材料覆層厚度的掃描電鏡

測定方法

1范圍

本標準規(guī)定了各類貴金屬復(fù)合材料覆層厚度的掃描電鏡測量方法

。

本標準適用于的覆層厚度測量

10nm~200μm。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

金屬顯微組織檢驗方法

GB/T13298—2015

微米級長度的掃描電鏡測量方法通則

GB/T16594

微束分析能譜法定量分析

GB/T17359

金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法

GB/T17722—1999

納米級長度的掃描電鏡測量方法通則

GB/T20307

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

聚焦離子束focusedionbeamFIB

;

將液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的金屬離子離子通過離子槍加速聚焦后形成離子束流

(Ga),、。

32

.

雙束電子顯微鏡dualbeamelectronmicroscope

在掃描電子顯微鏡聚焦電子束中還安裝了聚焦離子束系統(tǒng)的顯微鏡

()(FIB)。

33

.

氣體注入系統(tǒng)gasinjectionsystemGIS

;

在雙束電子顯微鏡中集成的用于儲存和釋放各種類型金屬或非金屬氣體化合物的硬件系統(tǒng)

。

注可以通過電子束或離子束對注入氣體進行誘導(dǎo)氣相沉積在樣品表面形成特定金屬或非金屬的保護層或圖案

:,,

也可以使用電子束或離子束對其進行誘導(dǎo)刻蝕以達到增強刻蝕的目的

。

34

.

共焦點beamscoincidence

在雙束電子顯微鏡中電子束和離子束焦平面的交點在該高度位置上可同時實現(xiàn)離子束的精確加

,

工與電子束的清晰成像

。

4方法提要

根據(jù)樣品的覆層厚度選擇相應(yīng)的覆層截面制備方法厚度處于