熱場包裹、安裝、清掃

熱場包裹、清掃、安裝、爐臺清掃技術(shù)一部1熱場的包裹熱場包裹前的準備平鋪碳氈上、中、下保溫筒包裹切割石墨碳氈接口處的處理綁定石墨碳氈挖測溫孔和排氣孔平整石墨碳氈上部、下部保溫用石墨碳氈清掃石墨碳氈工具歸位2熱場包裹前的準備工具：直尺，鋼卷尺，克絲鉗，刀具，鉬絲，吸塵刷、模具，不銹鋼小車人員佩戴：潔凈工作服、潔凈鞋、一次性潔凈手套、袖套、防塵口罩3平鋪碳氈將PVC板平鋪在地板上，用吸塵刷將表面清理干凈，再將石墨碳氈打開鋪在PVC板上4上、中、下保溫筒包裹用鋼卷尺測量石墨件的高度h（決定碳氈的寬度）和外徑d，并根據(jù)外徑計算石墨碳氈的總長L上中下保溫筒碳氈厚度分別為65mm/75mm/65mm（厚度為10mm碳氈層數(shù)分別為6,7,6)5切割石墨碳氈再根據(jù)測量的數(shù)據(jù)，用鋼卷尺和直尺切割石墨碳氈切割寬度一致，誤差±5mm6接口處的處理接口處一定要超出接口2-3cm切割接口處要用剛尺豎直接觸碳氈，用刀具沿鋼尺豎直劃下7綁定石墨碳氈用克絲鉗和鉬絲將裹好的碳氈捆扎，定型每隔20cm捆扎一次8挖測溫孔和排氣孔用刀具將中保溫筒測溫孔及下保溫筒排氣孔對應(yīng)的碳氈切除測溫孔孔徑40mm±5mm，排氣孔處碳氈內(nèi)徑為85mm-90mm9平整石墨碳氈檢查碳氈上下沿是否齊平，多余部分用刀具逐層切割，要求上下沿切割面水平碳氈與保溫桶開槽處齊平，保溫筒卡口到位且碳氈間不留縫隙10上部、下部保溫用石墨碳氈用切割碳氈的模具分別將上下保溫蓋間碳氈，上下壓片間碳氈，爐底碳氈，導(dǎo)流筒內(nèi)碳氈切割完整層數(shù)分別為2，2，6，111清掃石墨碳氈用吸塵刷將包裹好的上中下保溫筒碳氈及切割好的保溫碳氈表面清理干凈，再有序放置在不銹鋼小車上碳氈表面整齊，無附著物12工具歸位工具，模具等放回指定位置，清理好現(xiàn)場及周圍環(huán)境工具歸位，垃圾入桶13熱場清掃清洗臺清理打磨石墨件附著物清理石墨件浮塵石墨件放回小車整理工具，清理周邊衛(wèi)生工具歸位，垃圾入桶14清洗臺清理穿戴潔凈服，口罩，潔凈帽，耐高溫手套打開清洗臺吸塵機開關(guān)，清理吸塵臺表面吸塵機抽速正常，吸塵臺表面清潔15打磨石墨件附著物依次將待清理的石墨件放到清洗臺上緩慢放置制定小車或作業(yè)臺上，嚴禁出現(xiàn)石墨件撞擊現(xiàn)象16清理石墨件浮塵用砂紙或鋼刷認真打磨石墨件表面的附著物石墨坩堝、保溫筒及蓋板表面無硅料揮發(fā)物等附著物.17石墨件放回小車依次用吸塵刷清洗各類石墨件及碳氈表面浮塵表面無松散附著的氧化物18整理工具，清理周邊衛(wèi)生清理完畢的石墨件放到潔凈不銹鋼小車上依次放回指定位置19工具歸位，垃圾入桶工具放回指定位置，清洗好清洗臺及周圍環(huán)境工具指定區(qū)域放置，垃圾入桶20熱場的安裝工具的準備熱場移至爐臺邊安裝爐底碳氈，壓片，保溫桶，電極，護套裝石墨紙、對排氣孔安裝加熱器安裝中保溫桶降爐筒校對測溫孔安裝電熱錐安裝上保溫桶安裝托桿安裝堝托，三瓣堝檢查堝轉(zhuǎn)、堝升降及對中21工具的準備吸塵刷、無塵紙、吸塵管，不銹鋼小車、力矩扳手，手電筒，石墨紙，直角尺、工作服,耐高溫手套、帆布手套，防塵口罩、酒精22熱場移至爐臺邊用不銹鋼小車將清理完畢的石墨大件平穩(wěn)移到單晶爐左側(cè)邊平行爐臺距離50cm23安裝爐底碳氈，壓片，保溫桶，電極，護套依次裝好石墨電極→爐底碳氈→爐底壓片→下保溫罩→兩側(cè)排氣管→爐底上壓片下碳氈→爐底上壓片→堝桿護套→電極護套→石英護套。嚴格按次序24裝石墨紙、對排氣孔石墨電極上下接觸面放置一層石墨紙檢查接觸面是否平整，防止打火裝入下保溫筒，再將排氣管與下爐筒兩邊排氣孔對正（可用手電筒進行照射查看）保溫筒卡口到位，排氣管入槽25安裝加熱器將清理后的加熱器裝好，擰上石墨螺絲石墨螺絲松緊適度，防止引起打火因個人力度不同，擰兩電極腳的螺絲要由一人來操作26安裝中保溫桶將清理后的中保溫筒裝好，卡口到位。并校正與加熱器的間距，要均勻一致測量四周間距差值≤2mm27降爐筒打開液壓泵，升起爐筒至上限，清洗下爐筒上下的結(jié)合部，同時轉(zhuǎn)動爐筒到適當位置。爐筒定位環(huán)與導(dǎo)柱同軸28校對測溫孔下降爐筒降到位后，校對測溫孔，對測溫孔正視，應(yīng)看不到碳氈為準。前后爐次歐陸數(shù)值在同一工序不得相差200點29安裝電熱錐安裝熱電錐，將其及對應(yīng)的密封、玻璃、四氟墊圈按原次序裝好熱電錐螺絲松緊適度，連接線接觸良好，歐陸信號正常30安裝上保溫桶將清理后的上保溫罩裝好，并卡口接到位四周入槽，測量蓋距為190mm--205mm31安裝托桿用專用工具裝好堝桿。要擰緊堝桿螺絲檢查托桿不晃動32安裝堝托，三瓣堝依次裝好堝托、三瓣堝確認堝桿、堝底、三瓣堝是否吻合33檢查堝轉(zhuǎn)、堝升降及對中打開并檢查堝轉(zhuǎn)及堝快速升降顯示值與實際值一致，無卡滯現(xiàn)象裝好后要打開堝轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)一下，檢驗三瓣堝與加熱器間距是否均勻測量四周間距差值≤2mm34爐臺的清掃作業(yè)準備A真空過濾器清洗B真空泵油檢查更換C副室的清理D小副室的清洗E爐蓋清洗F爐筒清G抽氣管道清洗35作業(yè)準備必須穿戴好潔凈工作服、鞋。準備好無塵手套、耐高溫手套、毛巾、無塵紙、研磨布、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。用毛巾將爐體從上到下一遍，擦洗時注意不要觸碰所有控制接線及開關(guān)，并把爐子周圍清掃干凈。36A真空過濾器清洗1.準備好吸塵刷、吸塵管、酒精、紙巾、扳手，帶好手套、防塵口罩。2.用扳手打開真空過濾器蓋螺絲。3.用吸塵刷仔細清洗過濾器內(nèi)壁的揮發(fā)物。4.用吸塵刷清洗過濾器蓋，用沾酒精的紙巾擦凈密封圈，并檢查密封圈是否完好就位，防止影響抽空。5.蓋好過濾器蓋并用扳手上好過濾器蓋螺絲。37B真空泵油檢查更換1.確認關(guān)閉主泵球閥和真空泵，在放油單晶爐上掛檢修牌，打開上下腔放油開關(guān)，將油有放油口放入廢油桶，放完油后關(guān)閉上下腔放油閥，廢油倒入指定油桶。2.清洗真空泵（每5爐清洗一次），用扳手打開真空泵側(cè)蓋，用毛巾徹底清理真空泵腔、側(cè)蓋和下腔濾油網(wǎng)的油污，清洗完畢后，安裝好濾網(wǎng)，檢查密封圈，安裝好側(cè)蓋。3.將真空泵油注入真空泵注油孔，油位觀察窗1/2位置，停止注油，打開泵側(cè)的油路管道閥門向下腔放油，關(guān)閉油口。4.啟動真空泵工作5min后關(guān)閉泵側(cè)的油路管道閥門，確認油位處于觀察窗1/3----1/2位置，關(guān)閉真空泵，在單晶爐上移去檢修牌。油位若低于下限重復(fù)3，4操作。5.真空泵與電磁閥連接的彎頭要在換油之前清理并安裝完好。38

C副室的清理1.準備好清洗棒、紙巾、酒精。2.在清洗棒上纏上沾有酒精的無塵紙，清洗付室內(nèi)部至上部，直至確認無污物。3.快速降下籽晶夾頭，用沾有酒精的無塵紙認真擦洗重錘，夾具及鉬夾頭。必要時要將重錘摘下用研磨布認真打磨，并清洗干凈。摘下重錘時，防止鋼絲繩上彈出槽。4.清洗鋼絲繩時要檢查其接頭部位是否老化或損壞，若有應(yīng)截去一截鋼絲繩，防止在拉晶過程中鋼絲繩斷裂。清洗升重錘時，防止重錘晃動導(dǎo)致重錘掛住付室下沿，拉斷鋼絲繩。39D小副室的清洗1.打開付室小門，用沾有酒精的無塵紙擦洗小付室內(nèi)的附著物。揮發(fā)物附著較多時，先用吸塵刷處理。 2.用沾有酒精的無塵紙認真擦洗付室抽氣口、其它小孔及翻板閥四周及轉(zhuǎn)軸。翻板閥的溝槽部位及焊縫處先用無塵紙卷成筒狀再認真擦洗。3.清洗過的小付室將翻板閥蓋住閥口，并關(guān)閉付室小門。4.用潔凈的無塵紙將小付室上口蓋住。40E爐蓋清洗a.爐蓋清洗1.先用無塵紙擦洗內(nèi)壁(氧化物過多先用吸塵刷清理)。2.小孔部位、觀察窗部位、伊爾根部位、閥口部位等各處的接口及焊接口等部位要用沾有酒精的無塵紙認真擦洗至確認無污物。3.

爐蓋內(nèi)壁揮發(fā)物要用研磨布認真研磨直至內(nèi)壁出現(xiàn)光亮無污物。4.觀察窗、伊爾根窗口要認真清理，所有小孔的位置要把紙巾卷成卷清理直至沒有污物。b41F爐筒清洗

1.先用無塵紙擦洗內(nèi)壁(氧化物過多先用吸塵刷清理)。2.中爐筒取光孔部位要用沾有酒精的無塵紙認真擦洗。3.下爐筒兩邊排氣孔，堝桿入口及銅電極處附著氧化物要用研磨布認真研磨，直至光亮無污物。3.中爐筒，下爐筒內(nèi)壁存在揮發(fā)物要用