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熱場(chǎng)包裹、清掃、安裝、爐臺(tái)清掃技術(shù)一部1熱場(chǎng)的包裹熱場(chǎng)包裹前的準(zhǔn)備平鋪碳?xì)稚?、中、下保溫筒包裹切割石墨碳?xì)纸涌谔幍奶幚斫壎ㄊ細(xì)滞跍y(cè)溫孔和排氣孔平整石墨碳?xì)稚喜?、下部保溫用石墨碳?xì)智鍜呤細(xì)止ぞ邭w位2熱場(chǎng)包裹前的準(zhǔn)備工具:直尺,鋼卷尺,克絲鉗,刀具,鉬絲,吸塵刷、模具,不銹鋼小車人員佩戴:潔凈工作服、潔凈鞋、一次性潔凈手套、袖套、防塵口罩3平鋪碳?xì)謱VC板平鋪在地板上,用吸塵刷將表面清理干凈,再將石墨碳?xì)执蜷_鋪在PVC板上4上、中、下保溫筒包裹用鋼卷尺測(cè)量石墨件的高度h(決定碳?xì)值膶挾龋┖屯鈴絛,并根據(jù)外徑計(jì)算石墨碳?xì)值目傞L(zhǎng)L上中下保溫筒碳?xì)趾穸确謩e為65mm/75mm/65mm(厚度為10mm碳?xì)謱訑?shù)分別為6,7,6)5切割石墨碳?xì)衷俑鶕?jù)測(cè)量的數(shù)據(jù),用鋼卷尺和直尺切割石墨碳?xì)智懈顚挾纫恢?,誤差±5mm6接口處的處理接口處一定要超出接口2-3cm切割接口處要用剛尺豎直接觸碳?xì)?,用刀具沿鋼尺豎直劃下7綁定石墨碳?xì)钟每私z鉗和鉬絲將裹好的碳?xì)掷υ?,定型每?0cm捆扎一次8挖測(cè)溫孔和排氣孔用刀具將中保溫筒測(cè)溫孔及下保溫筒排氣孔對(duì)應(yīng)的碳?xì)智谐郎y(cè)溫孔孔徑40mm±5mm,排氣孔處碳?xì)謨?nèi)徑為85mm-90mm9平整石墨碳?xì)謾z查碳?xì)稚舷卵厥欠颀R平,多余部分用刀具逐層切割,要求上下沿切割面水平碳?xì)峙c保溫桶開槽處齊平,保溫筒卡口到位且碳?xì)珠g不留縫隙10上部、下部保溫用石墨碳?xì)钟们懈钐細(xì)值哪>叻謩e將上下保溫蓋間碳?xì)郑舷聣浩g碳?xì)?,爐底碳?xì)郑瑢?dǎo)流筒內(nèi)碳?xì)智懈钔暾麑訑?shù)分別為2,2,6,111清掃石墨碳?xì)钟梦鼔m刷將包裹好的上中下保溫筒碳?xì)旨扒懈詈玫谋靥細(xì)直砻媲謇砀蓛?,再有序放置在不銹鋼小車上碳?xì)直砻嬲R,無(wú)附著物12工具歸位工具,模具等放回指定位置,清理好現(xiàn)場(chǎng)及周圍環(huán)境工具歸位,垃圾入桶13熱場(chǎng)清掃清洗臺(tái)清理打磨石墨件附著物清理石墨件浮塵石墨件放回小車整理工具,清理周邊衛(wèi)生工具歸位,垃圾入桶14清洗臺(tái)清理穿戴潔凈服,口罩,潔凈帽,耐高溫手套打開清洗臺(tái)吸塵機(jī)開關(guān),清理吸塵臺(tái)表面吸塵機(jī)抽速正常,吸塵臺(tái)表面清潔15打磨石墨件附著物依次將待清理的石墨件放到清洗臺(tái)上緩慢放置制定小車或作業(yè)臺(tái)上,嚴(yán)禁出現(xiàn)石墨件撞擊現(xiàn)象16清理石墨件浮塵用砂紙或鋼刷認(rèn)真打磨石墨件表面的附著物石墨坩堝、保溫筒及蓋板表面無(wú)硅料揮發(fā)物等附著物.17石墨件放回小車依次用吸塵刷清洗各類石墨件及碳?xì)直砻娓m表面無(wú)松散附著的氧化物18整理工具,清理周邊衛(wèi)生清理完畢的石墨件放到潔凈不銹鋼小車上依次放回指定位置19工具歸位,垃圾入桶工具放回指定位置,清洗好清洗臺(tái)及周圍環(huán)境工具指定區(qū)域放置,垃圾入桶20熱場(chǎng)的安裝工具的準(zhǔn)備熱場(chǎng)移至爐臺(tái)邊安裝爐底碳?xì)郑瑝浩?,保溫桶,電極,護(hù)套裝石墨紙、對(duì)排氣孔安裝加熱器安裝中保溫桶降爐筒校對(duì)測(cè)溫孔安裝電熱錐安裝上保溫桶安裝托桿安裝堝托,三瓣堝檢查堝轉(zhuǎn)、堝升降及對(duì)中21工具的準(zhǔn)備吸塵刷、無(wú)塵紙、吸塵管,不銹鋼小車、力矩扳手,手電筒,石墨紙,直角尺、工作服,耐高溫手套、帆布手套,防塵口罩、酒精22熱場(chǎng)移至爐臺(tái)邊用不銹鋼小車將清理完畢的石墨大件平穩(wěn)移到單晶爐左側(cè)邊平行爐臺(tái)距離50cm23安裝爐底碳?xì)?,壓片,保溫桶,電極,護(hù)套依次裝好石墨電極→爐底碳?xì)帧鸂t底壓片→下保溫罩→兩側(cè)排氣管→爐底上壓片下碳?xì)帧鸂t底上壓片→堝桿護(hù)套→電極護(hù)套→石英護(hù)套。嚴(yán)格按次序24裝石墨紙、對(duì)排氣孔石墨電極上下接觸面放置一層石墨紙檢查接觸面是否平整,防止打火裝入下保溫筒,再將排氣管與下?tīng)t筒兩邊排氣孔對(duì)正(可用手電筒進(jìn)行照射查看)保溫筒卡口到位,排氣管入槽25安裝加熱器將清理后的加熱器裝好,擰上石墨螺絲石墨螺絲松緊適度,防止引起打火因個(gè)人力度不同,擰兩電極腳的螺絲要由一人來(lái)操作26安裝中保溫桶將清理后的中保溫筒裝好,卡口到位。并校正與加熱器的間距,要均勻一致測(cè)量四周間距差值≤2mm27降爐筒打開液壓泵,升起爐筒至上限,清洗下?tīng)t筒上下的結(jié)合部,同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)爐筒到適當(dāng)位置。爐筒定位環(huán)與導(dǎo)柱同軸28校對(duì)測(cè)溫孔下降爐筒降到位后,校對(duì)測(cè)溫孔,對(duì)測(cè)溫孔正視,應(yīng)看不到碳?xì)譃闇?zhǔn)。前后爐次歐陸數(shù)值在同一工序不得相差200點(diǎn)29安裝電熱錐安裝熱電錐,將其及對(duì)應(yīng)的密封、玻璃、四氟墊圈按原次序裝好熱電錐螺絲松緊適度,連接線接觸良好,歐陸信號(hào)正常30安裝上保溫桶將清理后的上保溫罩裝好,并卡口接到位四周入槽,測(cè)量蓋距為190mm--205mm31安裝托桿用專用工具裝好堝桿。要擰緊堝桿螺絲檢查托桿不晃動(dòng)32安裝堝托,三瓣堝依次裝好堝托、三瓣堝確認(rèn)堝桿、堝底、三瓣堝是否吻合33檢查堝轉(zhuǎn)、堝升降及對(duì)中打開并檢查堝轉(zhuǎn)及堝快速升降顯示值與實(shí)際值一致,無(wú)卡滯現(xiàn)象裝好后要打開堝轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)一下,檢驗(yàn)三瓣堝與加熱器間距是否均勻測(cè)量四周間距差值≤2mm34爐臺(tái)的清掃作業(yè)準(zhǔn)備A真空過(guò)濾器清洗B真空泵油檢查更換C副室的清理D小副室的清洗E爐蓋清洗F爐筒清G抽氣管道清洗35作業(yè)準(zhǔn)備必須穿戴好潔凈工作服、鞋。準(zhǔn)備好無(wú)塵手套、耐高溫手套、毛巾、無(wú)塵紙、研磨布、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。用毛巾將爐體從上到下一遍,擦洗時(shí)注意不要觸碰所有控制接線及開關(guān),并把爐子周圍清掃干凈。36A真空過(guò)濾器清洗1.準(zhǔn)備好吸塵刷、吸塵管、酒精、紙巾、扳手,帶好手套、防塵口罩。2.用扳手打開真空過(guò)濾器蓋螺絲。3.用吸塵刷仔細(xì)清洗過(guò)濾器內(nèi)壁的揮發(fā)物。4.用吸塵刷清洗過(guò)濾器蓋,用沾酒精的紙巾擦凈密封圈,并檢查密封圈是否完好就位,防止影響抽空。5.蓋好過(guò)濾器蓋并用扳手上好過(guò)濾器蓋螺絲。37B真空泵油檢查更換1.確認(rèn)關(guān)閉主泵球閥和真空泵,在放油單晶爐上掛檢修牌,打開上下腔放油開關(guān),將油有放油口放入廢油桶,放完油后關(guān)閉上下腔放油閥,廢油倒入指定油桶。2.清洗真空泵(每5爐清洗一次),用扳手打開真空泵側(cè)蓋,用毛巾徹底清理真空泵腔、側(cè)蓋和下腔濾油網(wǎng)的油污,清洗完畢后,安裝好濾網(wǎng),檢查密封圈,安裝好側(cè)蓋。3.將真空泵油注入真空泵注油孔,油位觀察窗1/2位置,停止注油,打開泵側(cè)的油路管道閥門向下腔放油,關(guān)閉油口。4.啟動(dòng)真空泵工作5min后關(guān)閉泵側(cè)的油路管道閥門,確認(rèn)油位處于觀察窗1/3----1/2位置,關(guān)閉真空泵,在單晶爐上移去檢修牌。油位若低于下限重復(fù)3,4操作。5.真空泵與電磁閥連接的彎頭要在換油之前清理并安裝完好。38
C副室的清理1.準(zhǔn)備好清洗棒、紙巾、酒精。2.在清洗棒上纏上沾有酒精的無(wú)塵紙,清洗付室內(nèi)部至上部,直至確認(rèn)無(wú)污物。3.快速降下籽晶夾頭,用沾有酒精的無(wú)塵紙認(rèn)真擦洗重錘,夾具及鉬夾頭。必要時(shí)要將重錘摘下用研磨布認(rèn)真打磨,并清洗干凈。摘下重錘時(shí),防止鋼絲繩上彈出槽。4.清洗鋼絲繩時(shí)要檢查其接頭部位是否老化或損壞,若有應(yīng)截去一截鋼絲繩,防止在拉晶過(guò)程中鋼絲繩斷裂。清洗升重錘時(shí),防止重錘晃動(dòng)導(dǎo)致重錘掛住付室下沿,拉斷鋼絲繩。39D小副室的清洗1.打開付室小門,用沾有酒精的無(wú)塵紙擦洗小付室內(nèi)的附著物。揮發(fā)物附著較多時(shí),先用吸塵刷處理。 2.用沾有酒精的無(wú)塵紙認(rèn)真擦洗付室抽氣口、其它小孔及翻板閥四周及轉(zhuǎn)軸。翻板閥的溝槽部位及焊縫處先用無(wú)塵紙卷成筒狀再認(rèn)真擦洗。3.清洗過(guò)的小付室將翻板閥蓋住閥口,并關(guān)閉付室小門。4.用潔凈的無(wú)塵紙將小付室上口蓋住。40E爐蓋清洗a.爐蓋清洗1.先用無(wú)塵紙擦洗內(nèi)壁(氧化物過(guò)多先用吸塵刷清理)。2.小孔部位、觀察窗部位、伊爾根部位、閥口部位等各處的接口及焊接口等部位要用沾有酒精的無(wú)塵紙認(rèn)真擦洗至確認(rèn)無(wú)污物。3.
爐蓋內(nèi)壁揮發(fā)物要用研磨布認(rèn)真研磨直至內(nèi)壁出現(xiàn)光亮無(wú)污物。4.觀察窗、伊爾根窗口要認(rèn)真清理,所有小孔的位置要把紙巾卷成卷清理直至沒(méi)有污物。b41F爐筒清洗
1.先用無(wú)塵紙擦洗內(nèi)壁(氧化物過(guò)多先用吸塵刷清理)。2.中爐筒取光孔部位要用沾有酒精的無(wú)塵紙認(rèn)真擦洗。3.下?tīng)t筒兩邊排氣孔,堝桿入口及銅電極處附著氧化物要用研磨布認(rèn)真研磨,直至光亮無(wú)污物。3.中爐筒,下?tīng)t筒內(nèi)壁存在揮發(fā)物要用
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