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第五章電容式傳感器1.結構簡單,沒有活動觸點,工作可靠,壽命長。2.靈敏度和分辨率高。傳感器輸出信號強,有利于信號傳輸。3.重復性好,線性度好。4.能測非常小的位移,但隨著測量范圍增大分辨率下降。主要特點:5.1工作原理與結構一.基本原理二.結構1.變間隙式2.變面積式3.變介電常數(shù)式5.2特性一.變間隙式由于、和A都不變,電容與極板間的距離成反比。(非線性關系)當很小時,高次相可以忽略不計,輸入與輸出的關系近似為線性,由此帶來的誤差

為了改善傳感器的特性,常采用差動結構,這樣可以提高靈敏度一倍。更重要的是可將級數(shù)中的二次相抵消而使線性度提高。傳感器的靈敏度:可見,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。另外,減小起始間隙會限制傳感器的測量范圍,否則將產(chǎn)生較大的非線性誤差??梢?,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。傳感器輸出信號強,有利于信號傳輸。5.1工作原理與結構二.二極管不平衡環(huán)形電橋當很小時,高次相可以忽略不計,輸入與輸出的關系近似為線性,由此帶來的誤差傳感器輸出信號強,有利于信號傳輸。另外,減小起始間隙會限制傳感器的測量范圍,否則將產(chǎn)生較大的非線性誤差。若傳感器為變間隙式電容器另外,減小起始間隙會限制傳感器的測量范圍,否則將產(chǎn)生較大的非線性誤差。結構簡單,沒有活動觸點,工作可靠,壽命長。由于、和A都不變,電容與極板間的距離成反比??梢?,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。由于、和A都不變,電容與極板間的距離成反比。二.變面積式輸入和輸出呈線性關系兩極板間的電容傳感器的靈敏度可見,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。5.1工作原理與結構另外,減小起始間隙會限制傳感器的測量范圍,否則將產(chǎn)生較大的非線性誤差。但如果傳感器為變間隙式電容傳感器能測非常小的位移,但隨著測量范圍增大分辨率下降。傳感器輸出信號強,有利于信號傳輸??梢?,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。能測非常小的位移,但隨著測量范圍增大分辨率下降。重復性好,線性度好??梢?,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。由于、和A都不變,電容與極板間的距離成反比。另外,減小起始間隙會限制傳感器的測量范圍,否則將產(chǎn)生較大的非線性誤差。為了改善傳感器的特性,常采用差動結構,這樣可以提高靈敏度一倍。能測非常小的位移,但隨著測量范圍增大分辨率下降。由于、和A都不變,電容與極板間的距離成反比。輸入和輸出呈線性關系可見,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。三.變介電常數(shù)式1.(線性關系)2.(非線性關系)3.(線性關系)5.3測量電路交流電橋單臂時:

而輸出電壓與電容C成反比但如果傳感器為變間隙式電容傳感器輸出與被測位移成正比差動電容時(半橋)其中2.變壓器式交流電橋3.雙T電橋可見,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。由于、和A都不變,電容與極板間的距離成反比。輸出電壓與電容C成反比可見,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。重復性好,線性度好。由于、和A都不變,電容與極板間的距離成反比。能測非常小的位移,但隨著測量范圍增大分辨率下降。可見,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。另外,減小起始間隙會限制傳感器的測量范圍,否則將產(chǎn)生較大的非線性誤差。能測非常小的位移,但隨著測量范圍增大分辨率下降。另外,減小起始間隙會限制傳感器的測量范圍,否則將產(chǎn)生較大的非線性誤差。為了改善傳感器的特性,常采用差動結構,這樣可以提高靈敏度一倍。重復性好,線性度好。可見,要提高靈敏度,就應減小起始間隙,但這受電容器擊穿電壓的限制,而且增加裝配加工的困難。5.1工作原理與結構另外,減小起始間隙會限制傳感器的測量范圍,否則

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