超純水設(shè)備EDI與混床簡介

超純水設(shè)備EDI與混床簡介一、EDI

系統(tǒng)概述半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標準，分別為1MΩ.cm、5MΩ.cm、10MΩ.cm、16MΩ.cm、18MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種：

1、采用離子交換樹脂制備超純水的其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→保安過濾器→陽床→陰床(復(fù)床)→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

二、制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→保安過濾器→高壓泵→反滲透設(shè)備→RO水箱→混床泵→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→精密過濾器→高壓泵→反滲透設(shè)備→RO水箱→(EDI)泵→保安過濾器→紫外線→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點EDI(Electro-de-ionization)是一種將離子交換技術(shù)、離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)(電滲析技術(shù))相結(jié)合的純水制造技術(shù)。該技術(shù)利用離子交換能深度脫鹽來克服電滲析極化而脫鹽不徹底,又利用電滲析極化而發(fā)生水電離產(chǎn)生H和OH離子實現(xiàn)樹脂自再生來克服樹脂失效后通過化學(xué)藥劑再生的缺陷,是20世紀80年代以來逐漸興起的新技術(shù)。經(jīng)過十幾年的發(fā)展,EDI技術(shù)已經(jīng)在北美及歐洲占據(jù)了相當部分的超純水市場。三、EDI工作原理EDI裝置屬于精處理水系統(tǒng),一般多與反滲透(RO)配合使用,組成預(yù)處理、反滲透、EDI裝置的超純水處理系統(tǒng),取代了傳統(tǒng)水處理工藝的混合離子交換設(shè)備。EDI裝置進水要求為電阻率為0.025-0.5MΩ·cm,反滲透裝置完全可以滿足要求。EDI裝置可生產(chǎn)電阻率高達18MΩ·cm以上的超純水。EDI裝置不需要化學(xué)再生,可連續(xù)運行,進而不需要傳統(tǒng)水處理工藝的混合離子交換設(shè)備再生所需的酸堿液,以及再生所排放的廢水。其主要特點如下EDI的凈水基本過程

·連續(xù)運行,產(chǎn)品水水質(zhì)穩(wěn)定

·容易實現(xiàn)全自動控制

·無須用酸堿再生

·不會因再生而停機

·節(jié)省了再生用水及再生污水處理設(shè)施

·產(chǎn)水率高(可達95%)

·無須酸堿儲備和酸堿稀釋運送設(shè)施

·占地面積小

·使用安全可靠,避免工人接觸酸堿·降低運行及維護成本

·設(shè)備單元模塊化,可靈活的組合各種流量的凈水設(shè)施

·安裝簡單、費用低廉

·設(shè)備初投資大四、EDI裝置的特點EDI裝置與混床離子交換設(shè)備屬于水處理系統(tǒng)中的精處理設(shè)備,下面將兩種設(shè)備在產(chǎn)水水質(zhì)、投資量及運行成本方面進行比較,來說明EDI裝置在水處理中應(yīng)用的優(yōu)越性。(1)產(chǎn)水水質(zhì)比較

EDI裝置是一個連續(xù)凈水過程,因此其產(chǎn)品水水質(zhì)穩(wěn)定,電阻率最高可達18.25MΩ·cm,達到超純水的指標?；齑搽x子交換設(shè)施的凈水過程是間斷式的,在剛剛被再生后,其產(chǎn)品水水質(zhì)較高,而在下次再生之前,其產(chǎn)品水水質(zhì)較差。(2)投資量比較

與混床離子交換設(shè)施相比EDI裝置投資量要高約20%左右,但從混床需要酸堿儲存、酸堿添加和廢水處理設(shè)施及后期維護、樹脂更換來看,兩者費用相差在10%左右。隨著技術(shù)的提高與批量生產(chǎn),EDI裝置所需的投資量會大大的降低。另外,EDI裝置設(shè)備小巧,所需廠房遠遠小于混床。五、EDI裝置與混床離子交換設(shè)備比較

(3)運行成本比較

EDI裝置運行費用包括電耗、水耗、藥劑費及設(shè)備折舊等費用,省去了酸堿消耗、再生用水、廢水處理和污水排放等費用。

在電耗方面,EDI裝置約0.5kWh/t水,混床工藝約0.35kWh/t水,電耗的成本在電廠來說是比較經(jīng)濟的,可以用廠用電的價格核算。

在水耗方面,EDI裝置產(chǎn)水率高,不用再生用水,因此在此方面運行費用低于混床。

至于藥劑費和設(shè)備折舊費兩者相差不大。EDI技術(shù)在國外廣泛的應(yīng)用有十幾年的時間,大多用于制藥行業(yè)、微電子行業(yè)、發(fā)電工業(yè)和實驗室。在表面清洗、表面涂裝、電解工業(yè)和化工工業(yè)的應(yīng)用也日趨廣泛。EDI技術(shù)的應(yīng)用

1、制藥行業(yè)、微電子行業(yè)、發(fā)電工業(yè)和實驗室。

2、在表面清洗、表面涂裝、電解工業(yè)和化工工業(yè)的應(yīng)用也日趨廣泛。

3、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;

4、超純材料和超純化學(xué)試劑;