自動(dòng)檢測(cè)技術(shù)及應(yīng)用課件第電渦流傳感器

自動(dòng)檢測(cè)技術(shù)及應(yīng)用課件第電渦流傳感器第一頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一一、基本工作原理1、電渦流效應(yīng)：根據(jù)法拉第定律，塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場(chǎng)中或在磁場(chǎng)中作切割磁力線運(yùn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)體內(nèi)部將產(chǎn)生漩渦狀的感應(yīng)電流，成為電渦流，這種現(xiàn)象稱為“電渦流效應(yīng)”。特點(diǎn)：能對(duì)位移、厚度、表面溫度、速度、應(yīng)力、材料損傷等進(jìn)行非接觸式連續(xù)測(cè)量。第二頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一2、工作原理

根據(jù)法拉第定律，當(dāng)傳感器線圈通以正弦交變電流I1時(shí)，線圈周圍空間必然產(chǎn)生正弦交變磁場(chǎng)H1，使置于此磁場(chǎng)中的金屬導(dǎo)體中感應(yīng)電渦流I2，I2又產(chǎn)生新的交變磁場(chǎng)H2。根據(jù)愣次定律，H2的作用將反抗原磁場(chǎng)H1，由于磁場(chǎng)H2的作用，渦流要消耗一部分能量，導(dǎo)致傳感器線圈的等效阻抗發(fā)生變化。由上可知，線圈阻抗的變化完全取決于被測(cè)金屬導(dǎo)體的電渦流效應(yīng)。........第三頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一二、電渦流形成范圍1.電渦流的徑向形成范圍第四頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

線圈—導(dǎo)體系統(tǒng)產(chǎn)生的電渦流密度既是線圈與導(dǎo)體間距離x的函數(shù)，又是沿線圈半徑方向r的函數(shù)。當(dāng)x一定時(shí)，電渦流密度J與半徑r的關(guān)系曲線如圖所示。J0為金屬導(dǎo)體表面電渦流密度，即電渦流密度最大值。Jr為半徑r處的金屬導(dǎo)體表面電渦流密度）。由圖可知：①電渦流徑向形成范圍大約在傳感器線圈外徑ras的1.8～2.5倍范圍內(nèi)，且分布不均勻。②電渦流密度在ri=0處為零。③電渦流的最大值在r=ras附近的一個(gè)狹窄區(qū)域內(nèi)。④可以用一個(gè)平均半徑為 的短路環(huán)來(lái)集中表示分散的電渦流（圖中陰影部分）。第五頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一2.電渦流強(qiáng)度與距離的關(guān)系理論分析和實(shí)驗(yàn)都已證明，當(dāng)x改變時(shí)，電渦流密度也發(fā)生變化，即電渦流強(qiáng)度隨距離x的變化而變化。根據(jù)線圈—導(dǎo)體系統(tǒng)的電磁作用，可以得到金屬導(dǎo)體表面的電渦流強(qiáng)度為式中：I1——線圈激勵(lì)電流；

I2——金屬導(dǎo)體中等效電流；

x——線圈到金屬導(dǎo)體表面距離；

ras——線圈外徑。第六頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

以上分析表明：①電渦流強(qiáng)度與距離x呈非線性關(guān)系，且隨著x/ras的增加而迅速減小。②當(dāng)利用電渦流式傳感器測(cè)量位移時(shí)，只有在x/ras<<1(一般取0.05～0.15)的條件下才能得到較好的線性和較高的靈敏度。第七頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一所謂貫穿深度是指把電渦流強(qiáng)度減小到表面強(qiáng)度的1/e處的表面厚度。由于電磁場(chǎng)不能穿過(guò)導(dǎo)體的無(wú)限厚度，僅作用于表面薄層和一定的徑向范圍內(nèi)，并且導(dǎo)體中產(chǎn)生的電渦流強(qiáng)度是隨導(dǎo)體厚度的增加按指數(shù)規(guī)律下降的。其按指數(shù)衰減分布規(guī)律可用下式表示：

3.電渦流的軸向貫穿深度式中：d——金屬導(dǎo)體中某一點(diǎn)與表面的距離；

Jd——沿H1軸向d處的電渦流密度；

J0——金屬導(dǎo)體表面電渦流密度，即電渦流密度最大值；

h——電渦流軸向貫穿的深度（趨膚深度）。第八頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一式中:f——線圈激磁電流的頻率。

第九頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一三、電渦流傳感器等效電路ω——線圈激磁電流角頻率；R1、L1——線圈電阻和電感；M——互感系數(shù)。第十頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一解得等效阻抗Z的表達(dá)式為式中：Req——線圈受電渦流影響后的等效電阻Leq——線圈受電渦流影響后的等效電感線圈的等效品質(zhì)因數(shù)Q值為第十一頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一四、電渦流傳感器測(cè)量電路1.調(diào)頻式電路第十二頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

傳感器線圈接入LC振蕩回路，當(dāng)傳感器與被測(cè)導(dǎo)體距離x改變時(shí)，在渦流影響下，傳感器的電感變化，將導(dǎo)致振蕩頻率的變化，該變化的頻率是距離x的函數(shù)，即f=L(x),該頻率可由數(shù)字頻率計(jì)直接測(cè)量，或者通過(guò)f-V變換，用數(shù)字電壓表測(cè)量對(duì)應(yīng)的電壓。振蕩器電路如圖(b)所示。它由克拉潑電容三點(diǎn)式振蕩器(C2、C3、L、C和Ｖ1)以及射極輸出電路兩部分組成。振蕩器的頻率為為了避免輸出電纜的分布電容的影響，通常將L、C裝在傳感器內(nèi)。此時(shí)電纜分布電容并聯(lián)在大電容C2、C3上，因而對(duì)振蕩頻率f的影響將大大減小。第十三頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一由傳感器線圈L、電容器C和石英晶體組成的石英晶體振蕩電路如圖所示。石英晶體振蕩器起恒流源的作用，給諧振回路提供一個(gè)頻率（f0）穩(wěn)定的激勵(lì)電流io，LC回路輸出電壓式中,Z為L(zhǎng)C回路的阻抗。

當(dāng)金屬導(dǎo)體遠(yuǎn)離或去掉時(shí)，LC并聯(lián)諧振回路諧振頻率即為石英振蕩頻率fo，回路呈現(xiàn)的阻抗最大，諧振回路上的輸出電壓也最大；當(dāng)金屬導(dǎo)體靠近傳感器線圈時(shí)，線圈的等效電感L發(fā)生變化，導(dǎo)致回路失諧，從而使輸出電壓降低，L的數(shù)值隨距離x的變化而變化。因此，輸出電壓也隨x而變化。輸出電壓經(jīng)放大、檢波后，由指示儀表直接顯示出x的大小。

2.調(diào)幅式電路第十四頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一五、電渦流傳感器的應(yīng)用1.低頻透射式渦流厚度傳感器第十五頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

在被測(cè)金屬板的上方設(shè)有發(fā)射傳感器線圈L1，在被測(cè)金屬板下方設(shè)有接收傳感器線圈L2。當(dāng)在L1上加低頻電壓U1時(shí)，L1上產(chǎn)生交變磁通φ1，若兩線圈間無(wú)金屬板，則交變磁通直接耦合至L2中，L2產(chǎn)生感應(yīng)電壓U2。如果將被測(cè)金屬板放入兩線圈之間，則L1線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)將導(dǎo)致在金屬板中產(chǎn)生電渦流,并將貫穿金屬板，此時(shí)磁場(chǎng)能量受到損耗，使到達(dá)L2的磁通將減弱為φ1′，從而使L2產(chǎn)生的感應(yīng)電壓U2下降。金屬板越厚，渦流損失就越大，電壓U2就越小。因此，可根據(jù)U2電壓的大小得知被測(cè)金屬板的厚度。透射式渦流厚度傳感器的檢測(cè)范圍可達(dá)1～100mm，分辨率為0.1μm，線性度為1%。.....第十六頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一2.高頻反射式渦流厚度傳感器高頻反射式渦流測(cè)厚儀測(cè)試系統(tǒng)圖第十七頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

為了克服帶材不夠平整或運(yùn)行過(guò)程中上下波動(dòng)的影響，在帶材的上、下兩側(cè)對(duì)稱地設(shè)置了兩個(gè)特性完全相同的渦流傳感器S1和S2。S1和S2與被測(cè)帶材表面之間的距離分別為x1和x2。若帶材厚度不變，則被測(cè)帶材上、下表面之間的距離總有x1+x2=常數(shù)的關(guān)系存在。兩傳感器的輸出電壓之和為2Uo，數(shù)值不變。如果被測(cè)帶材厚度改變量為Δδ，則兩傳感器與帶材之間的距離也改變一個(gè)Δδ，兩傳感器輸出電壓此時(shí)為2Uo±ΔU。ΔU經(jīng)放大器放大后，通過(guò)指示儀表即可指示出帶材的厚度變化值。帶材厚度給定值與偏差指示值的代數(shù)和就是被測(cè)帶材的厚度。第十八頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

圖所示為電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器工作原理圖。在軟磁材料制成的輸入軸上加工一鍵槽，在距輸入表面d0處設(shè)置電渦流傳感器，輸入軸與被測(cè)旋轉(zhuǎn)軸相連。3.電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器第十九頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

當(dāng)被測(cè)旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，電渦流傳感器與輸出軸的距離變?yōu)閐0+Δd。由于電渦流效應(yīng)，使傳感器線圈阻抗隨Δd的變化而變化，這種變化將導(dǎo)致振蕩諧振回路的品質(zhì)因數(shù)發(fā)生變化，它們將直接影響振蕩器的電壓幅值和振蕩頻率。因此，隨著輸入軸的旋轉(zhuǎn)，從振蕩器輸出的信號(hào)中包含有與轉(zhuǎn)速成正比的脈沖頻率信號(hào)。該信號(hào)由檢波器檢出電壓幅值的變化量，然后經(jīng)整形電路輸出頻率為fn的脈沖信號(hào)。該信號(hào)經(jīng)電路處理便可得到被測(cè)轉(zhuǎn)速。這種轉(zhuǎn)速傳感器可實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，抗污染能力很強(qiáng)，可安裝在旋轉(zhuǎn)軸近旁長(zhǎng)期對(duì)被測(cè)轉(zhuǎn)速進(jìn)行監(jiān)視。最高測(cè)量轉(zhuǎn)速可達(dá)600000r/min。第二十頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

若旋轉(zhuǎn)體上已開有一條或數(shù)條槽或做成齒狀則可在旁邊安裝一個(gè)電渦流式傳感器，如圖4-18所示。當(dāng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，傳感器周期也改變著與旋轉(zhuǎn)體表面之間的距離。于是它的輸出也周期性的發(fā)生變化，此輸出信號(hào)經(jīng)放大、變換后，可以用頻率計(jì)測(cè)出其變化頻率，從而測(cè)出轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速，若轉(zhuǎn)軸上開P個(gè)槽頻率計(jì)的讀數(shù)為f（單位為Hz），則轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速n（單位為r/min）的計(jì)算公式為

第二十一頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一第二十二頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

當(dāng)金屬體靠近電渦流探頭時(shí)，隨著金屬體表面電渦流的增大，電渦流的Q值越來(lái)越低，振蕩器的振蕩幅度也越來(lái)越低。當(dāng)兩者的距離小于某一限定值時(shí)，振蕩器停振，比較器輸出高電平，報(bào)警器報(bào)警，執(zhí)行機(jī)構(gòu)操作。第二十三頁(yè)，共二十四頁(yè)，編輯于2023年，星期一

電渦流式傳感器的結(jié)構(gòu)電渦流式傳感器的結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，