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納米和微納米加工技術(shù)超精密磨削和饒面磨削2019年10月目錄技術(shù)概述二、超精密與鏡面磨削機理及主要設(shè)備、關(guān)鍵技術(shù)四、尚存問題技術(shù)概述·1、超精密磨削:采用超精密磨削、精密修整、微細磨料磨具進行亞微米級以下切深磨削,以獲得亞微米級的尺寸精度2、鏡面磨削:是使工件表面獲得髙光潔度的有效方法。一般指加工表面粗糙度達到Ra002~001pm,表面光澤如鏡的磨削方法,只強調(diào)表面粗糙度。技術(shù)概述被加工超精哲磨削機還致盛人的技藝超密磨工作環(huán)址定位夾量檢測及誤差補償圖3-19影響超精巒麝削的因景二、機理和關(guān)鍵設(shè)備超精密磨削1、超精密黁削
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