- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2023-08-06 頒布
- 2024-03-01 實(shí)施
下載本文檔
文檔簡(jiǎn)介
ICS77040
CCSH.17
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
GB/T24582—2023
代替GB/T24582—2009
多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量測(cè)定
酸浸取-電感耦合等離子體質(zhì)譜法
Testmethodformeasuringsurfacemetalimpuritycontentofpolycrystalline
silicon—Acidextraction-inductivelycoupledplasmamassspectrometrymethod
2023-08-06發(fā)布2024-03-01實(shí)施
國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
GB/T24582—2023
前言
本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定
GB/T1.1—2020《1:》
起草
。
本文件代替酸浸取電感耦合等離子質(zhì)譜儀測(cè)定多晶硅表面金屬雜質(zhì)與
GB/T24582—2009《-》,
相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外主要技術(shù)變化如下
GB/T24582—2009,,:
更改了適用范圍見(jiàn)第章年版的第章
a)(1,20091);
刪除了術(shù)語(yǔ)與縮略語(yǔ)見(jiàn)年版的第章
b)“”“”(20093);
更改了方法原理見(jiàn)第章年版的第章
c)(4,20094);
更改了干擾因素見(jiàn)第章年版的第章
d)(5,20095);
更改了試劑和材料見(jiàn)第章年版的第章
e)(6,20096);
更改了儀器設(shè)備見(jiàn)第章年版的第章
f)(7,20097)
更改了樣品要求見(jiàn)第章年版的第章
g)(8,20098);
更改了多晶硅塊表面金屬雜質(zhì)浸取方式見(jiàn)年版的
h)(9.4,20099.2);
更改了試驗(yàn)數(shù)據(jù)處理見(jiàn)第章年版的第章
i)(10,200910);
更改了精密度見(jiàn)第章年版的第章
j)(11,200911);
更改了試驗(yàn)報(bào)告見(jiàn)第章年版的第章
k)(12,200912)。
請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任
。。
本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)
(SAC/TC203)
化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)共同提出并歸口
(SAC/TC203/SC2)。
本文件起草單位亞洲硅業(yè)青海股份有限公司內(nèi)蒙古通威高純晶硅有限公司宜昌南玻硅材料
:()、、
有限公司青海芯測(cè)科技有限公司江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司新疆大全新能源股份有限公司陜
、、、、
西有色天宏瑞科硅材料有限責(zé)任公司洛陽(yáng)中硅高科技有限公司新疆新特新能材料檢測(cè)中心有限公
、、
司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司江蘇鑫華半導(dǎo)體科技股份有限公司新疆協(xié)鑫新能源材料
、、、
科技有限公司
。
本文件主要起草人尹東林鄭連基劉軍魏東亮蔡延國(guó)李素青侯海波田洪先劉文明
:、、、、、、、、、
薛心祿王彬于生海徐巖曹巖德姜士兵邱艷梅趙培芝萬(wàn)首正趙娟龍申梅桂劉海月王春明
、、、、、、、、、、、、。
本文件于年首次發(fā)布本次為第一次修訂
2009,。
Ⅰ
GB/T24582—2023
多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量測(cè)定
酸浸取-電感耦合等離子體質(zhì)譜法
警示———使用本文件的人員應(yīng)有正規(guī)實(shí)驗(yàn)室工作的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)本文件并未指出所有可能的安全問(wèn)
。
題使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈WC符合國(guó)家有關(guān)法律規(guī)定的條件
,,。
1范圍
本文件描述了用酸從多晶硅表面浸取金屬雜質(zhì)并用電感耦合等離子質(zhì)譜儀定量檢測(cè)多晶硅表面
,
金屬雜質(zhì)含量的方法
。
本文件適用于太陽(yáng)能級(jí)多晶硅和電子級(jí)多晶硅表面堿金屬堿土金屬和第一系列過(guò)渡元素如鈉
、、
鉀鈣鐵鎳銅鋅鋁等雜質(zhì)元素含量的測(cè)定測(cè)定范圍為
、、、、、、,0.01ng/g。
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文
。,
件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于
,;,()
本文件
。
電子級(jí)水
GB/T11446.1
潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)
GB/T25915.1—20211:
3術(shù)語(yǔ)和定義
本文件沒(méi)有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義
。
4方法原理
試料在硝酸氫氟酸去離子水的混合液中浸取一定的時(shí)間后通過(guò)進(jìn)樣系統(tǒng)將浸取液送進(jìn)高溫等
、、,
離子體源中并在高溫矩管中蒸發(fā)離解原子化和電離絕大多數(shù)金屬離子成為單價(jià)離子這些離子通
,、、,,
過(guò)錐接口進(jìn)入質(zhì)量分析器后根據(jù)質(zhì)荷比的不同依次分開(kāi)在電感耦合等離子質(zhì)譜儀上測(cè)定
,。(ICP-MS)
待分析金屬元素的含量
。
5干擾因素
51取樣應(yīng)在潔凈室內(nèi)進(jìn)行并確認(rèn)取樣夾子以及樣品收納袋等無(wú)污染如需異地取樣應(yīng)將樣品密封
.,,,
在雙層袋中并保證傳遞過(guò)程中無(wú)破損取樣過(guò)程中避免樣品沾污
,。。
52測(cè)試前應(yīng)確認(rèn)
溫馨提示
- 1. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)文本僅供個(gè)人學(xué)習(xí)、研究之用,未經(jīng)授權(quán),嚴(yán)禁復(fù)制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡(luò)傳播等,侵權(quán)必究。
- 2. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)均為PDF格式電子版文本(可閱讀打印),因數(shù)字商品的特殊性,一經(jīng)售出,不提供退換貨服務(wù)。
- 3. 標(biāo)準(zhǔn)文檔要求電子版與印刷版保持一致,所以下載的文檔中可能包含空白頁(yè),非文檔質(zhì)量問(wèn)題。
最新文檔
- 汽車發(fā)動(dòng)機(jī)構(gòu)造與維修 教案 8.2認(rèn)識(shí)曲軸飛輪結(jié)構(gòu)、作用及工作原理
- 蘇教版二年級(jí)上冊(cè)數(shù)學(xué)導(dǎo)學(xué)案
- 記賬實(shí)操-混凝土企業(yè)賬務(wù)處理分錄
- 周年慶活動(dòng)策劃方案模板-企業(yè)管理
- 2025高考物理步步高同步練習(xí)第三章2 摩擦力含答案
- 《未來(lái)世界》科技幻想教案
- 《涼州詞》邊塞風(fēng)光教案
- 專升本(英語(yǔ))模擬試卷15(共820題)
- 人教版八年級(jí)數(shù)學(xué)下冊(cè)全套教案 全冊(cè)
- 蘇教版小學(xué)語(yǔ)文四年級(jí)下冊(cè)教案 全冊(cè)
- 橋梁檢測(cè)試驗(yàn)計(jì)劃
- 中秋知識(shí)競(jìng)賽
- GB 8537-2018食品安全國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)飲用天然礦泉水
- 農(nóng)產(chǎn)電商直播基地項(xiàng)-目商業(yè)計(jì)劃書
- 主要農(nóng)作物(糧食作物)課件
- 《信息可視化設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)》課程教學(xué)大綱
- 國(guó)際人力資源管理課件
- 宋小寶海燕小品《碰瓷》劇本臺(tái)詞完整版
- 2020龍江疫情防控會(huì)議簽到表
- 《建筑工程消防施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》
- 第一課-筆墨千秋課件
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論