電子特氣行業(yè)研究報(bào)告中國(guó)電子特氣-從進(jìn)口替代到供應(yīng)全球

電子特氣行業(yè)研究報(bào)告中國(guó)電子特氣_從進(jìn)口替代到供應(yīng)全球（報(bào)告出品方/作者：浙商證券，邱世梁、王華君、張楊）1電子特氣：電子工業(yè)的血液1.1受益集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，電子特氣料快速脫胎換骨按照應(yīng)用領(lǐng)域的相同，工業(yè)氣體可以分為大宗氣體和特種氣體。大宗氣體就是指純度必須求低于5N，產(chǎn)銷量非常大的工業(yè)氣體。特種氣體廣為用做電子、電力、石油化工、采礦等領(lǐng)域，對(duì)純度、品種、性質(zhì)存特殊要求，產(chǎn)品數(shù)量多但單一產(chǎn)品用量較小。電子氣體所指的就是專門用做電子半導(dǎo)體領(lǐng)域的一類工業(yè)氣體，可以分為電子大宗氣體、電子特種氣體等。（1）電子大宗氣體：指運(yùn)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中耗量非常大的氣體，比如氧氣、氮?dú)?、氬氣、氫氣、氦氣和二氧化碳等，主要用做環(huán)境氣、保護(hù)氣與載體，通常采用現(xiàn)場(chǎng)制氣生產(chǎn)模式。（2）電子特種氣體：就是指應(yīng)用于電子行業(yè)的氣體，其質(zhì)量直接影響電子器件的成品率和性能。目前半導(dǎo)體行業(yè)各個(gè)環(huán)節(jié)使用的特種氣體存114種，常用的存44種。主要囊括存三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，通常采用液態(tài)與瓶裝氣體生產(chǎn)模式。電子特氣產(chǎn)業(yè)上游原料就是空氣、空氣廢氣以及基礎(chǔ)化學(xué)原料，下游主要用做集成電路、說(shuō)明面板、LED與光伏等泛半導(dǎo)體行業(yè)，2021年市場(chǎng)需求占比分別為43%、21%、13%、6%。電子氣體按照生產(chǎn)工序相同可以分為外延晶體生長(zhǎng)氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、大增散氣、化學(xué)氣相沉積氣（CVD）、噴氣氣、離子注入氣、等離子顏料氣、載氣/刮起洗氣、光刻氣、退火氣、沖壓氣、熱處理氣和平衡氣等。按照氣體所C99mg化學(xué)成分，電子特氣可以分為含氟氣體、含硅氣體、含硼氣體、不不含鍺氣體、氫化物氣體等。其中含氟特氣約占全球電子特氣市場(chǎng)的30%左右，主要用作清洗劑、顏料劑、摻雜劑及成膜材料等。我們剖析了2009年以來(lái)中國(guó)電子特氣的發(fā)展路程，從光伏行業(yè)發(fā)動(dòng)平添電子特氣的第一次快速發(fā)展至?xí)r程LED、說(shuō)明面板以及集成電路行業(yè)的相繼接力賽，中國(guó)電子特氣行業(yè)周期性并不顯著。（1）第一階段（2009-2011年）：光伏行業(yè)爆發(fā)式快速增長(zhǎng)平添電子特種氣體行業(yè)第一次發(fā)展在這一階段，隨著光伏組件價(jià)格下降、光伏電站收益率上升，光伏裝機(jī)市場(chǎng)需求顯著上升。2009-2011年中國(guó)光伏發(fā)電新增裝機(jī)容量由0.2GW快速增長(zhǎng)至2.1GW，年無(wú)機(jī)增長(zhǎng)速度為259%，光伏裝機(jī)市場(chǎng)需求的爆發(fā)式快速增長(zhǎng)平添了電子特氣市場(chǎng)的第一次發(fā)展。（2）第二階段（2012-2014年）：光伏行業(yè)走弱，LED接力賽，電子特氣市場(chǎng)快速增長(zhǎng)均衡2010年以來(lái)LED產(chǎn)業(yè)鏈追加新增產(chǎn)能膨脹與其替代白熾燈給LED關(guān)上寬闊市場(chǎng)空間，2012年2014年LED市場(chǎng)規(guī)模由1920億元快速增長(zhǎng)至3507億元，年無(wú)機(jī)增長(zhǎng)速度35%，高于十二五規(guī)劃增長(zhǎng)速度26%。LED市場(chǎng)的高速快速增長(zhǎng)承包了2012年歐美雙反所平添的光伏行業(yè)大幅大幅下滑對(duì)電子特氣市場(chǎng)的影響，電子特氣市場(chǎng)同時(shí)同時(shí)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定增長(zhǎng)。（3）第三階段（2015-2018年）：說(shuō)明面板行業(yè)量?jī)r(jià)回升維持電子特氣行業(yè)10%以上快速增長(zhǎng)中國(guó)TV品牌蓬勃發(fā)展提升了對(duì)大尺寸面板的市場(chǎng)需求，隨著國(guó)內(nèi)面板廠商京東方與華星光電積極開展大尺寸面板追加新增產(chǎn)能膨脹，以及中國(guó)臺(tái)灣地震影響群創(chuàng)等公司追加新增產(chǎn)能，面板價(jià)格快速上升，量?jī)r(jià)齊升平添說(shuō)明面板市場(chǎng)快速走高，電子特氣市場(chǎng)穩(wěn)定增長(zhǎng)。（4）第四階段（2019-2022年）：集成電路行業(yè)高速發(fā)展，電子特氣快速增長(zhǎng)快速隨著大數(shù)據(jù)、云平臺(tái)、工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展與5G應(yīng)用領(lǐng)域的到來(lái)，芯片市場(chǎng)需求疲弱，一流工藝和明朗工藝快速脫胎換骨，2019-2021年中國(guó)集成電路市場(chǎng)無(wú)機(jī)增長(zhǎng)速度為19%，內(nèi)置電路行業(yè)的高速發(fā)展維持了電子特氣的穩(wěn)定增長(zhǎng)。1.2電子特氣就是集成電路第二大耗材，應(yīng)用領(lǐng)域在各工藝生產(chǎn)環(huán)節(jié)北美半導(dǎo)體協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)說(shuō)明，芯片生產(chǎn)成本中電子氣體（不不含電子大宗氣體與電子特氣）占比約為14%，就是半導(dǎo)體生產(chǎn)的第二大耗材。其中，硅片材料、電子氣體、十分模板、光刻膠占比分別為31%、14%、14%、6%。半導(dǎo)體生產(chǎn)牽涉到上千道工序，工藝極其繁瑣，仍須使用上百種電子特種氣體。作為內(nèi)置電路、說(shuō)明面板等行業(yè)所需的提振性材料，電子特氣廣為應(yīng)用于沖洗、成膜、光刻、淬火、摻雜等工藝環(huán)節(jié)。我們剖析了沖洗、成膜、光刻、淬火、摻雜等半導(dǎo)體生產(chǎn)因涉嫌工序中所使用的主要電子特種氣體：（1）沖洗沖洗就是指以化學(xué)或物理方法對(duì)芯片加工過(guò)程及CVD反應(yīng)腔室中附著的雜質(zhì)、殘留物等進(jìn)行打掃，就是芯片生產(chǎn)中步驟最少的工藝，主要的沖洗氣體涵蓋三氟化氮等。（2）成膜成膜就是指原料氣或蒸汽通過(guò)氣相反應(yīng)沉積出一層金屬或者氧化物亦或氮化物的過(guò)程，主要的成膜氣體囊括存六氟化鎢、硅烷、笑氣、氨氣等。（3）光刻光刻就是指通過(guò)涂膠、曝光、顯影等工藝，利用化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行球狀加工圖形搬遷的技術(shù)工藝。在光刻過(guò)程中，仍須裝入混合氣，在受到高壓?jiǎn)拘押?，混合氣可以形成等離子體，在其過(guò)程中產(chǎn)生的套管波長(zhǎng)的光線在經(jīng)過(guò)分解成、濾波等過(guò)程后形成光刻機(jī)光源。主要的混合氣存氬/氟/氖混合氣、氪/氖混合氣、氬/氖混合氣、氬/氙/氖混合氣等。目前，烏克蘭供應(yīng)全球70%的氖氣，40%的氪氣和30%的氙氣。ArF準(zhǔn)分子激光器所使用的氬/氟/氖混合氣體中氖氣比重為95%，其中氪氣主要應(yīng)用于光刻制程，氙氣主要應(yīng)用于半導(dǎo)體淬火制程。（4）淬火淬火氣體用做存選擇地從硅片表面除去不仍須的光阻或者光刻膠，其基本目標(biāo)就是在涂膠的硅片上正確地轉(zhuǎn)化成掩模圖形。淬火氣體主要為氟碳類氣體，如一氟甲烷，二氟甲烷或者三氟甲烷等。除此外，鹵素類氣體也用做淬火過(guò)程，比如氯化氫、溴化氫與氯氣等。（5）摻雜在半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)中，通過(guò)將摻雜氣體混進(jìn)半導(dǎo)體材料內(nèi)以使其具有所仍須必須的導(dǎo)電類型和一定的電阻率，主要摻雜氣體涵蓋砷烷、磷烷、硼烷、三氟化硼等。2預(yù)計(jì)2023年中國(guó)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模249億元，受益晶圓廠膨脹、光伏裝機(jī)高減至，預(yù)計(jì)2023-2025年行業(yè)無(wú)機(jī)增長(zhǎng)速度13%依據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，預(yù)計(jì)2023年全球電子特氣市場(chǎng)規(guī)模51億美元，2023-2025年為叢蘚科扭口蘚再分后增長(zhǎng)速度8%。SEMI數(shù)據(jù)說(shuō)明，預(yù)計(jì)2023年中國(guó)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模為249億元，2023-2025年將維持13%左右的較快快速增長(zhǎng)。2.1集成電路國(guó)產(chǎn)化，電子特氣市場(chǎng)需求持續(xù)上升晶圓就是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其產(chǎn)銷量數(shù)據(jù)就是去來(lái)衡量集成電路行業(yè)景氣度的關(guān)鍵指標(biāo)之一。SEMI數(shù)據(jù)說(shuō)明，2022年全球晶圓出貨量較2021年快速增長(zhǎng)4%，達(dá)致147億平方米。據(jù)ICMtia，2021年200-300mm晶圓備貨面積占到至全球集成電路用硅片備貨面積的93%。因此，我們主要剖析了全球以及中國(guó)200mm、300mm晶圓追加新增產(chǎn)能情況：總結(jié)一：中國(guó)晶圓追加新增產(chǎn)能膨脹速度將快于全球。（1）全球晶圓追加新增產(chǎn)能：2023年晶圓廠追加新增產(chǎn)能膨脹將大幅下滑1）300mm晶圓追加新增產(chǎn)能：據(jù)SEMI所發(fā)布的《300mm晶圓廠展望未來(lái)報(bào)告》，在2021和2022年疲弱快速增長(zhǎng)后，由于內(nèi)存和邏輯元件市場(chǎng)需求疲軟，2023年300mm晶圓廠追加新增產(chǎn)能膨脹將大幅下滑，預(yù)計(jì)為735萬(wàn)片/月，且至2026年將超過(guò)至每月960萬(wàn)片的歷史新高，該區(qū)間內(nèi)計(jì)劃將存82座嶄新廠房和產(chǎn)線積極開展運(yùn)營(yíng)。2）200mm晶圓追加新增產(chǎn)能：據(jù)SEMI所發(fā)布的《200mmFabOutlookto2025》，2021-2025年全球200mm晶圓廠追加新增產(chǎn)能將迎20%的快速增長(zhǎng)以及13條新增的200mm晶圓生產(chǎn)線，預(yù)計(jì)至2025年晶圓月產(chǎn)達(dá)至700萬(wàn)片的歷史新高。依據(jù)以上預(yù)測(cè)，我們假設(shè)2021-2025年全球200mm晶圓廠追加新增產(chǎn)能膨脹速度維持在4%，預(yù)計(jì)2023年全球200mm晶圓廠追加新增產(chǎn)能為651萬(wàn)片/月，晶圓廠生產(chǎn)線數(shù)量為215條。（2）中國(guó)晶圓追加新增產(chǎn)能：2022-2026年中國(guó)300mm晶圓追加新增產(chǎn)能無(wú)機(jī)增長(zhǎng)速度為12%1）300mm晶圓追加新增產(chǎn)能：依據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2022年中國(guó)300mm晶圓追加新增產(chǎn)能為152萬(wàn)片/月，全球市占率22%，預(yù)計(jì)至2026年快速增長(zhǎng)至240萬(wàn)片/月，市占率提升至25%，追加新增產(chǎn)能無(wú)機(jī)增長(zhǎng)速度12%。2）200mm晶圓追加新增產(chǎn)能：依據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，我們預(yù)測(cè)2022年中國(guó)200mm晶圓追加新增產(chǎn)能為132萬(wàn)片/月，市場(chǎng)占有率為21%，預(yù)計(jì)至2025年產(chǎn)能為179萬(wàn)片/月，無(wú)機(jī)增長(zhǎng)速度11%。總結(jié)二：晶圓廠追加新增產(chǎn)能膨脹平添中國(guó)半導(dǎo)體生產(chǎn)份額提升，預(yù)計(jì)2030年將提升至24%。由于美國(guó)的出口管制，預(yù)計(jì)未來(lái)中國(guó)晶圓廠追加新增產(chǎn)能膨脹重點(diǎn)將穩(wěn)步放在成熟技術(shù)上?；鶠橛谥袊?guó)晶圓廠追加新增產(chǎn)能膨脹，未來(lái)中國(guó)芯片生產(chǎn)能力將穩(wěn)步上升，SIA數(shù)據(jù)說(shuō)明2020年中國(guó)半導(dǎo)體生產(chǎn)份額為15%，預(yù)計(jì)將于2030年提升至24%，明朗制程領(lǐng)域空間寬闊。總結(jié)三：未來(lái)晶圓廠追加新增產(chǎn)能轉(zhuǎn)化成將平添電子特氣市場(chǎng)需求上升，預(yù)計(jì)2025年中國(guó)集成電路用電子氣體規(guī)模預(yù)計(jì)為134億元，2021-2025年CAGR為12%。晶圓廠追加新增產(chǎn)能轉(zhuǎn)化成將平添電子特氣市場(chǎng)需求上升。ICInsights數(shù)據(jù)說(shuō)明，中國(guó)集成電路市場(chǎng)市場(chǎng)需求預(yù)計(jì)將由2020年的1430億美元快速增長(zhǎng)至2025年的2230億美元，無(wú)機(jī)增長(zhǎng)速度9.3%，市場(chǎng)市場(chǎng)需求持續(xù)上升。中國(guó)集成電路用電子氣體規(guī)模預(yù)計(jì)將從2021年的85億元快速增長(zhǎng)至2025年的134億元，四年CAGR為12%，行業(yè)前景寬闊。2.2說(shuō)明面板市場(chǎng)：面板價(jià)格回落，行業(yè)料復(fù)蘇說(shuō)明面板就是構(gòu)成顯示器的關(guān)鍵組件之一，主要可以分為L(zhǎng)CD、LED與MiniLed，下游應(yīng)用做電視、電腦、平板與車載顯示器等領(lǐng)域。Forst&Sullivan數(shù)據(jù)說(shuō)明，在經(jīng)歷2015-2018年的高速快速增長(zhǎng)之后，目前說(shuō)明面板市場(chǎng)規(guī)模穩(wěn)定增長(zhǎng)。隨著2023年經(jīng)濟(jì)逐漸復(fù)蘇所平添的換機(jī)市場(chǎng)需求，面板價(jià)格持續(xù)回落，行業(yè)料同時(shí)同時(shí)實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步復(fù)蘇。2.3光伏市場(chǎng)：多晶料價(jià)格下降催生2023年光伏裝機(jī)顯著快速增長(zhǎng)，光伏用電子特氣將持續(xù)收益（1）評(píng)析：行業(yè)發(fā)展已由政策補(bǔ)貼驅(qū)動(dòng)變?yōu)槭袌?chǎng)驅(qū)動(dòng)，降本增效變成光伏行業(yè)發(fā)展核心1）全球市場(chǎng)：國(guó)際可以再生能源機(jī)構(gòu)（IRENA）數(shù)據(jù)說(shuō)明，2010-2021年，全球光伏刊發(fā)電平均值度電成本由0.417美元/kWh下降至0.048美元/kWh，降幅少于88%，光伏新增裝機(jī)量從17.5GW快速增長(zhǎng)至132.8GW，增幅659%。2）中國(guó)市場(chǎng)：基于行業(yè)發(fā)展前期的政策大力支持與技術(shù)進(jìn)步，中國(guó)光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)獲得快速脫胎換骨，目前行業(yè)發(fā)展已由政策補(bǔ)貼驅(qū)動(dòng)變?yōu)槭袌?chǎng)驅(qū)動(dòng)；受益于光伏產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的技術(shù)迭代所平添的降本增效，2010-2021年中國(guó)光伏發(fā)電平均值度電成本上升89%，目前光伏發(fā)電已實(shí)行平價(jià)玩游戲。（2）展望未來(lái)2023年：近期多晶料供應(yīng)壓力減低平添度電成本上升，光伏行業(yè)市場(chǎng)需求將進(jìn)一步轉(zhuǎn)化成，助推光伏用電子特氣快速增長(zhǎng)據(jù)InfoLinkConsulting數(shù)據(jù)，2023年3月29日多晶硅球狀料價(jià)格為208元/kg，相較于2022年峰值303元/kg下跌31%，跌幅明顯。中電聯(lián)數(shù)據(jù)說(shuō)明2023年1-2月國(guó)內(nèi)新增裝機(jī)20GW，同比快速增長(zhǎng)88%，預(yù)計(jì)2023年國(guó)內(nèi)光伏新增裝機(jī)將超過(guò)至110GW，同比快速增長(zhǎng)22%，助推光伏用電子特氣快速增長(zhǎng)。3中國(guó)電子特氣從進(jìn)口替代至供應(yīng)全球3.1行業(yè)壁壘高：技術(shù)壁壘、市場(chǎng)拓展壁壘、資金壁壘（1）技術(shù)壁壘電子特種氣體種類較多，不同類產(chǎn)品的制取、純化等工藝技術(shù)可能將將存非常大差異，且工藝路線長(zhǎng)、過(guò)程繁瑣。電子特種氣體對(duì)產(chǎn)品純度、產(chǎn)品指標(biāo)的穩(wěn)定性和一致性建議極高，仍須對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中各類雜質(zhì)含量進(jìn)行精準(zhǔn)有效率的掌控，工藝難度很大。根據(jù)氣體純度的相同，通常又將氣體純度分為四級(jí)，即為為普通氣體、氫銨氣體、高純氣體和極高氫銨氣體。電子特種氣體企業(yè)研發(fā)一種滿足用戶半導(dǎo)體工藝建議的氣體品種，往往仍須長(zhǎng)時(shí)間的研發(fā)積累，同時(shí)同時(shí)實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)的突破，以及在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用領(lǐng)域中對(duì)工藝參數(shù)不斷進(jìn)行優(yōu)化。目前國(guó)內(nèi)氣體企業(yè)同時(shí)同時(shí)實(shí)現(xiàn)了對(duì)部分電子特種氣體品種的，在產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化中，通常必須遭遇不同類產(chǎn)品之間的核心技術(shù)壁壘。（2）市場(chǎng)拓展壁壘在中國(guó)本土企業(yè)突破技術(shù)壁壘，打破國(guó)外寡頭寡頭壟斷并同時(shí)同時(shí)實(shí)現(xiàn)氣體國(guó)產(chǎn)化后，仍然遭遇下游市場(chǎng)拓展問(wèn)題。原因主要系則：1）電子特氣建議氣體無(wú)塵室高純，且產(chǎn)品批次質(zhì)量仍須具備高穩(wěn)定性，下游芯片制造廠商長(zhǎng)期使用國(guó)外企業(yè)所生產(chǎn)的氣體，對(duì)國(guó)內(nèi)企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量難以確定，中國(guó)電子特氣產(chǎn)品首次步入下游廠商進(jìn)行試驗(yàn)存一定難度；2）單品類電子特氣占芯片生產(chǎn)成本的比重較低（比如電子級(jí)氫氟酸只占芯片生產(chǎn)成本的1.2%），而下游行業(yè)的證書周期較長(zhǎng)（光伏能源/光纖光纜行業(yè)、說(shuō)明面板行業(yè)、集成電路行業(yè)的證書周期通常分別為0.5-1年、1-2年、2-3年），芯片生產(chǎn)企業(yè)花費(fèi)大量財(cái)力物力回來(lái)評(píng)估的動(dòng)能極差；3）半導(dǎo)體生產(chǎn)仍須上千道工序，對(duì)氣體穩(wěn)定性建議極高，若產(chǎn)品質(zhì)量出現(xiàn)問(wèn)題，輕則Auron并致下游有關(guān)批次產(chǎn)品質(zhì)量不合格，輕則擴(kuò)散污染整條生產(chǎn)線，引致高額損失，下游廠商更換電子特氣供應(yīng)體系的潛在損失較低。（3）資金壁壘電子特氣行業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)仍須較大規(guī)模的固定資產(chǎn)資金投入，為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，還仍須資金投入大量高精度監(jiān)測(cè)和掌控設(shè)備。行業(yè)內(nèi)企業(yè)在不斷擴(kuò)大業(yè)務(wù)規(guī)模的程中，往往通過(guò)重組全面全面收購(gòu)的方式橫向布局，對(duì)于資本實(shí)力存很高的建議。同時(shí)，氣體作為消耗品就可以以氣態(tài)和液態(tài)的形式存，仍須專業(yè)的儲(chǔ)存設(shè)備，針對(duì)瓶裝氣體用戶仍須資金投入大量的氣瓶；針對(duì)液態(tài)氣體用戶則仍須資金投入液態(tài)儲(chǔ)罐、氣化器、預(yù)演裝置等固定資產(chǎn)。電子特氣作為?；?，仍須具有危化資質(zhì)的專門運(yùn)輸設(shè)備，還應(yīng)付運(yùn)輸?shù)娜^(guò)程進(jìn)行跟蹤監(jiān)測(cè)和嚴(yán)格控制，由此平添的運(yùn)輸及監(jiān)控設(shè)備資金投入也非常大。3.2空間大，部分氣體世界級(jí)、中國(guó)所造全球電子特氣市場(chǎng)：市場(chǎng)份額集中，工業(yè)氣體龍頭林德等前四大企業(yè)市占率總計(jì)48%。2020年全球電子特氣市場(chǎng)主要被德國(guó)林德、美國(guó)空氣化工、法國(guó)液化空氣以及日本大陽(yáng)日酸占據(jù)，其中林德占比20.2%、液化空氣占比15.5%、空氣化工占比6.6%、大陽(yáng)日酸比重5.5%。中國(guó)電子特氣市場(chǎng)：中國(guó)電子特氣發(fā)展時(shí)間較短，主要由早期步入中國(guó)市場(chǎng)的國(guó)外企業(yè)寡頭寡頭壟斷，空間寬闊。2020年中國(guó)電子特氣市場(chǎng)前四企業(yè)分別為空氣化工、林德、液化空氣、大陽(yáng)日酸，占比分別為25%、23%、22%、16%。集成電路用電子特氣品種數(shù)量較太太少，未來(lái)國(guó)產(chǎn)化空間寬闊。據(jù)中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，我國(guó)僅能生產(chǎn)約20%的集成電路生產(chǎn)用電子特氣品種，目前國(guó)內(nèi)廠商攻克了成膜、光刻、淬火、沖洗與離子注入等步驟的部分難點(diǎn)，其余均依賴進(jìn)口，進(jìn)口電子氣體價(jià)格昂昂貴、運(yùn)輸不便，并使電子特氣市場(chǎng)需求強(qiáng)烈、空間寬闊。5年入門、10年磨半劍，部分氣體實(shí)現(xiàn)世界級(jí)、中國(guó)造。經(jīng)過(guò)多年的研發(fā)生產(chǎn)，目前部分電子特氣已經(jīng)逐漸實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，國(guó)內(nèi)企業(yè)進(jìn)入者增多，主要可分為三類：1）以華特氣體、金宏氣體為代表的氣體公司，主營(yíng)業(yè)務(wù)以工業(yè)氣體為主，該類公司氣體產(chǎn)品種類較多，逐步覆蓋電子氣體部分品種；2）以中船特氣、昊華科技等為代表的專業(yè)特氣公司，立足于電子特氣主營(yíng)業(yè)務(wù)，經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)積累，部分品類已形成了獨(dú)特的競(jìng)爭(zhēng)力，發(fā)展?jié)摿Υ螅?）以雅克科技、大光電為代表的電子材料平臺(tái)型公司，通過(guò)并購(gòu)以及自主研發(fā)方式實(shí)現(xiàn)了光刻膠，電子特氣等產(chǎn)品的多維布局（兩家公司電子特氣板塊占比分別為16%、72%）。產(chǎn)業(yè)政策助力技術(shù)大力大力推進(jìn)，國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程料快速。電子特種氣體作為關(guān)鍵性電子材料，在歷史上贏得國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持。針對(duì)電子特氣行業(yè)所遭遇的痛點(diǎn)，國(guó)務(wù)院、國(guó)家發(fā)改委、科技部、工信部、財(cái)政部、國(guó)家稅務(wù)總局等部門相繼施行一系列產(chǎn)業(yè)大力支持政策，有力推動(dòng)了電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。我們所剖析的部分重點(diǎn)政策存：1）2006年國(guó)務(wù)院所頒布的《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（20062020年）》中明確提出“極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)及變?yōu)楣に嚒眹?guó)家科技關(guān)鍵性專項(xiàng)（簡(jiǎn)寫“”專項(xiàng)），鼓勵(lì)研究研發(fā)離子注入、擴(kuò)散、淬火等關(guān)鍵工藝用電子特氣；2）2017年針對(duì)新材料步入市場(chǎng)初期時(shí)下游客戶使用所存的風(fēng)險(xiǎn)，工業(yè)和信息化部、財(cái)政部、保監(jiān)會(huì)三部門同意建立新材料首批次應(yīng)用領(lǐng)域保險(xiǎn)補(bǔ)償機(jī)制，對(duì)符合條件的電子特氣產(chǎn)品最高補(bǔ)償高少于5億元人民幣，若芯片企業(yè)使用國(guó)產(chǎn)原材料出現(xiàn)問(wèn)題，國(guó)家險(xiǎn)資可分?jǐn)?0%損失，企業(yè)需承擔(dān)20%的損失。3）2019年成立的國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期重點(diǎn)高度高度關(guān)注的材料方面涵蓋大硅片、光刻膠、十分模板、電子特氣等領(lǐng)域，部分被投標(biāo)的為細(xì)分行業(yè)龍頭（比如大光電、中船特氣）。3.3三氟化氮、六氟化鎢與六氟丁二烯為電子特氣使用量最輕的三種氣體從單品類特種氣體市場(chǎng)規(guī)模來(lái)看：2021年全球三氟化氮、六氟化鎢與六氟丁二烯市場(chǎng)規(guī)模居前三，分別為8.80、3.35與3.11億美元，前十氣體市場(chǎng)規(guī)模比重為58%，主要應(yīng)用領(lǐng)域于成膜、沖洗與淬火環(huán)節(jié)。根據(jù)LinxConsulting數(shù)據(jù)，2021年全球電子特種氣體市場(chǎng)規(guī)模為44.23億美元，其中全球市場(chǎng)規(guī)模名列靠前的電子特種氣體為三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，共占58%，主要應(yīng)用于成膜、沖洗與淬火環(huán)節(jié)。從工藝環(huán)節(jié)用特種氣體市場(chǎng)規(guī)模來(lái)看：ICMtia數(shù)據(jù)說(shuō)明，成膜、沖洗+淬火就是內(nèi)置電路生產(chǎn)中使用電子特氣規(guī)模最輕的兩個(gè)環(huán)節(jié)，2021年國(guó)內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模分別為12.9、17.9億元。3.4海外空間寬闊：以三氟化氮及六氟化鎢為基準(zhǔn)我們重點(diǎn)剖析了電子特氣市場(chǎng)中規(guī)模最輕的三氟化氮與六氟化鎢的情況。（1）三氟化氮：2019-2021年中船特氣國(guó)內(nèi)三氟化氮市占率分別為44%、43%與49%，海外三氟化氮市占率分別為3%、4%與5%。依據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，2019-2021年全球三氟化氮供給分別為4.36、4.49、4.87萬(wàn)噸，國(guó)內(nèi)三氟化氮供給分別為0.99、1.13、1.33萬(wàn)噸，由此計(jì)算出海外三氟化氮市場(chǎng)為3.37、3.36、3.54萬(wàn)噸。依據(jù)公司公告，2019-2021年公司三氟化氮銷量分別為0.52、0.60、0.82萬(wàn)噸，公司國(guó)內(nèi)業(yè)務(wù)營(yíng)收占比為82%、80%、80%。我們假定銷往國(guó)內(nèi)的三氟化氮比重為82%、80%、80%，由此計(jì)算出銷往海外的三氟化氮為0.09、0.12、0.16萬(wàn)噸。據(jù)上述數(shù)據(jù)，我們測(cè)算出2019-2021年公司國(guó)內(nèi)三氟化氮市占率分別為44%、43%與49%，海外三氟化氮市占率分別為3%、4%與5%。（2）六氟化鎢：2022年中船特氣國(guó)內(nèi)、海外三氟化氮市場(chǎng)占有率分別為65%、10%目前中船特氣六氟化鎢追加新增產(chǎn)能為0.22萬(wàn)噸，名列全球第一，因此我們主要剖析中船特氣的國(guó)內(nèi)與國(guó)外六氟化鎢市場(chǎng)占有率情況。2022年公司六氟化鎢追加新增產(chǎn)能0.22萬(wàn)噸（假設(shè)80%內(nèi)銷，20%出口。即為為對(duì)應(yīng)0.18萬(wàn)噸內(nèi)銷，0.04萬(wàn)噸出口），則內(nèi)銷追加新增產(chǎn)能占到至當(dāng)年中國(guó)市場(chǎng)總供給量（0.27萬(wàn)噸）的65%，占到至海外市場(chǎng)總供給量（0.69-0.27=0.42萬(wàn)噸）的10%。4投資分析4.1杭氧股份：工業(yè)氣體龍頭，國(guó)產(chǎn)替代、產(chǎn)品升級(jí)、治理改善、資產(chǎn)整合成長(zhǎng)路徑：需求增長(zhǎng)+市占率提升+盈利能力提升，遠(yuǎn)期盈利空間超數(shù)倍。（1）行業(yè)需求持續(xù)增長(zhǎng)：1）工業(yè)氣體市場(chǎng)總需求近2000億元，其中第三方外包市場(chǎng)快速增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)外包比例將從2021年的41%提升至2025年的45%。2）2021年中國(guó)工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模同比增長(zhǎng)10%，中國(guó)人均氣體消費(fèi)量占西歐、美國(guó)等發(fā)達(dá)國(guó)家人均氣體消費(fèi)量的30-40%。預(yù)計(jì)到2025年中國(guó)工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模復(fù)合增速6-8%。（以上數(shù)據(jù)來(lái)源：請(qǐng)參考此前發(fā)布的公司深度報(bào)告《杭氧股份深度PPT：國(guó)產(chǎn)替代、產(chǎn)品升級(jí)，邁向工業(yè)氣體龍頭》2022年7月8日）（2）公司市占率提升：國(guó)產(chǎn)替代趨勢(shì)下，2021年公司在第三方供氣市場(chǎng)的存量份額為9%，增量份額為45%，預(yù)計(jì)2025年公司第三方市場(chǎng)的份額有望提升1倍；預(yù)計(jì)遠(yuǎn)期公司在第三方存量市場(chǎng)的份額將是2021年的3-4倍（30-40%市占率）。（以上數(shù)據(jù)來(lái)源：請(qǐng)參考此前發(fā)布的公司深度報(bào)告《杭氧股份深度：有望邁向“中國(guó)的林德”》2023年7月4日）（3）公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)升級(jí)，盈利能力持續(xù)提升：1）氣體業(yè)務(wù)收入占比持續(xù)提升，而氣體業(yè)務(wù)的成長(zhǎng)性、盈利能力均高于設(shè)備業(yè)務(wù)。2）氣體業(yè)務(wù)中零售業(yè)務(wù)的收入占比持續(xù)提升，零售氣盈利能力高于管道氣。3）零售氣體業(yè)務(wù)中的電子特氣業(yè)務(wù)收入占比將持續(xù)提升，電子特氣業(yè)務(wù)的盈利能力遠(yuǎn)高于普通工業(yè)氣體零售業(yè)務(wù)?？缛胫袊?guó)工業(yè)氣體龍頭：，基于空分設(shè)備打造出全系列產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢(shì)。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)升級(jí)：電子特氣等高附加值業(yè)務(wù)打造出公司第二脫胎換骨曲線。在特氣市場(chǎng)，公司以稀有氣體這一工業(yè)氣體的黃金賽道作為切入點(diǎn)，追加新增產(chǎn)能料強(qiáng)于預(yù)期轉(zhuǎn)化成。長(zhǎng)遠(yuǎn)看一看，公司的定座落在綜合氣體解決方案供應(yīng)商，產(chǎn)品矩陣將不斷完善，電子特氣、零售氣體等高附加值業(yè)務(wù)將打造出第二脫胎換骨曲線?？毓捎邢薰居邢薰竟蓶|杭州資本擬將重組盈德氣體，并許諾交易順利完成后推動(dòng)與上市公司重組。若上市公司與買方SPV進(jìn)行資產(chǎn)重組，上市公司將同時(shí)同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)同行業(yè)優(yōu)質(zhì)資產(chǎn)的重組資源整合，有利于上市公司充分發(fā)揮協(xié)同效應(yīng)、不斷擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模、提高資產(chǎn)質(zhì)量、優(yōu)化財(cái)務(wù)狀況、進(jìn)一步進(jìn)一步增強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。4.2僑源股份：民營(yíng)氣體領(lǐng)軍企業(yè)，受益光伏鋰電等新能源產(chǎn)業(yè)崛起公司脫胎換骨路徑：行業(yè)市場(chǎng)需求快速增長(zhǎng)、公司份額提升、產(chǎn)品品類拓展。1）大行業(yè)：工業(yè)氣體行業(yè)市場(chǎng)空間寬闊。根據(jù)此前外刊發(fā)報(bào)告《以林德氣體為鑒，工業(yè)氣體行業(yè)脫胎換骨空間寬闊》我們預(yù)計(jì)2022年中國(guó)工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模料相符2000億元，2024年料達(dá)致2199億元，年無(wú)機(jī)增長(zhǎng)速度6%-8%。2）小公司：公司市占率嚴(yán)重不足1%，除了非常大脫胎換骨空間。我們測(cè)算公司2021年市場(chǎng)占有率少于0.46%，預(yù)測(cè)2024年市占率將料達(dá)致0.77%。3）公司未來(lái)將不斷多樣產(chǎn)品品類，拓展釩空分氣體及其特氣市場(chǎng)。追加新增產(chǎn)能料大幅快速增長(zhǎng)：三個(gè)工業(yè)園區(qū)新建項(xiàng)目、兩個(gè)技改項(xiàng)目、一個(gè)基地產(chǎn)量爬坡。公司現(xiàn)有生產(chǎn)基地三個(gè)：汶川基地、福州基地、都江堰基地（水泵），2021年液態(tài)氣體追加新增產(chǎn)能合計(jì)約76萬(wàn)噸（不不不含水泵追加新增產(chǎn)能10萬(wàn)噸）、管道氣追加新增產(chǎn)能5億立方米。我們預(yù)計(jì)彌漫甘眉工業(yè)園、成阿工業(yè)園、德阿工業(yè)園三個(gè)工業(yè)園區(qū)新建供氣項(xiàng)目投產(chǎn)；兩個(gè)汶川基地的IPO募投技改項(xiàng)目投產(chǎn)以及一個(gè)福州基地的追加新增產(chǎn)能利用率增加，公司追加新增產(chǎn)能料大幅提高。預(yù)計(jì)設(shè)計(jì)八十產(chǎn)追加新增產(chǎn)能液態(tài)工業(yè)氣體少于196萬(wàn)噸（較2021年快速增長(zhǎng)158%，較2022年快速增長(zhǎng)144%），管道工業(yè)氣體追加新增產(chǎn)能少于15.33億立方米（較2021年快速增長(zhǎng)207%，較2022年快速增長(zhǎng)70%）。4.3華特氣體：電子特氣先行者；拓品類、切合成，盈利能力提升中國(guó)特種氣體先行者：優(yōu)質(zhì)客戶覆蓋面廣、品類持續(xù)拓展，向龍頭邁進(jìn)。公司是特種氣體國(guó)產(chǎn)化先行者，在國(guó)內(nèi)8寸、12寸以上集成電路制造廠商實(shí)現(xiàn)了超過(guò)80%的客戶覆蓋率，公司已取得ASML認(rèn)證。近年伴隨產(chǎn)品品類、客戶認(rèn)證逐步增加，2019-2021年收入增速3%/18%/35%，不斷提速。市場(chǎng)廣闊：中國(guó)特種氣體市場(chǎng)超400億元，高盈利將培育千億級(jí)公司。據(jù)卓創(chuàng)資訊，預(yù)計(jì)2022年中國(guó)特種氣體市場(chǎng)將達(dá)411億元（2017年全球市場(chǎng)約合人民幣1500億元），2018-2022年復(fù)合增速達(dá)19%，預(yù)計(jì)2022-2025年行業(yè)將維持15%以上增長(zhǎng)。競(jìng)爭(zhēng)格局：特種氣體行業(yè)壁壘高；政策保駕護(hù)航，國(guó)產(chǎn)替代加速突破。特種氣體行業(yè)的壁壘較高：1）產(chǎn)品技術(shù)壁壘、2）客戶認(rèn)證壁壘、3）營(yíng)銷服務(wù)壁壘。目前全球以及國(guó)內(nèi)的特種氣體，尤其是電子特氣市場(chǎng)是由海外大型跨國(guó)公司占據(jù)。近年來(lái)在政策的推動(dòng)下，國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程加速。公司：技術(shù)優(yōu)勢(shì)、客戶優(yōu)勢(shì)明顯，向合成氣延伸將大幅提高盈利水平。先發(fā)優(yōu)勢(shì)明顯：1）技術(shù)優(yōu)勢(shì)：公司贏得ASML等公司證書，目前已具備50種以上特種氣體產(chǎn)品供應(yīng)能力；2）客戶優(yōu)勢(shì)：先發(fā)優(yōu)勢(shì)明顯，客戶全面全面覆蓋廣為，料從半導(dǎo)體向食品、醫(yī)療等領(lǐng)域延伸；3）在一流純化技術(shù)的基礎(chǔ)上向合成氣延伸，提升綜合盈利能力：江西華特、自貢市華特等項(xiàng)目將在未來(lái)3年內(nèi)Chinian投入使用，大幅提高氫化物、氟碳類等高毛利制取氣占比；4）海外網(wǎng)絡(luò)優(yōu)勢(shì)：公司將持續(xù)強(qiáng)化海外直銷網(wǎng)點(diǎn)建設(shè)，中長(zhǎng)期有助于提升海外業(yè)務(wù)毛利率。4.4凱美特氣：電子特氣新星，光刻氣體取得ASML認(rèn)證展望未來(lái)2023年，傳統(tǒng)業(yè)務(wù)料企穩(wěn)，激光乘氣料快速增長(zhǎng)。1）傳統(tǒng)業(yè)務(wù)：公司投資20億元用做膨脹二氧化碳追加新增產(chǎn)能以及開工雙氧水等新品追加新增產(chǎn)能。主要項(xiàng)目：（a）福建凱美特?cái)M將投資5.2億元推行30萬(wàn)噸/年高潔凈食品、電子級(jí)過(guò)氧化氫項(xiàng)目。（b）揭陽(yáng)凱美特項(xiàng)目總投資14.86億元，順利完成建設(shè)后將同時(shí)同時(shí)實(shí)現(xiàn)30萬(wàn)噸/年釩食品級(jí)二氧化碳和30萬(wàn)噸/年工業(yè)、電子級(jí)雙氧水的量產(chǎn)能力。2）電子特氣：公司已贏得ASML證書，2023年將重點(diǎn)銷售激光乘氣。電子特氣訂單較為柔和，制造業(yè)與半導(dǎo)體市場(chǎng)需求下行影響業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)速度。據(jù)公告，截止2022年11月20日，公司KMH訂單1.65億元（含稅）。2022年全年，公司公告電子特氣訂單金額2.57億元（含稅），榮獲全球半導(dǎo)體頭部企業(yè)廣泛普遍認(rèn)可，簽定戰(zhàn)略框架協(xié)議關(guān)上大規(guī)模供應(yīng)。同時(shí)公司正在積極主動(dòng)大力大力推進(jìn)有關(guān)證書進(jìn)程。制定減至募資10億元，用做推行宜章電子特氣、福建雙氧水等項(xiàng)目，正穩(wěn)步大力大力推進(jìn)。公司計(jì)劃非發(fā)行股票股份募資資金10億元，用做推行宜章凱美特特種氣體、福建凱美特30萬(wàn)噸/年（27.5%計(jì)）高潔凈食品級(jí)、電子級(jí)、工業(yè)級(jí)雙氧水等兩項(xiàng)目，兩項(xiàng)目計(jì)劃投資總金額分別為5.9/5.2億元。宜章凱美特特種氣體項(xiàng)目推行主要產(chǎn)品涵蓋電子級(jí)溴化氫、電子級(jí)乙炔、氟基混氣等產(chǎn)品。據(jù)公告，預(yù)計(jì)項(xiàng)目投入使用后年收入6.8