2021化工用在線氣體質(zhì)譜分析儀

提供PDF版本化工用在線氣體質(zhì)譜分析儀II化工用在線氣體質(zhì)譜分析儀本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了化工用在線氣體質(zhì)譜分析儀的術(shù)語(yǔ)和定義、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸以及貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于化工行業(yè)使用質(zhì)譜技術(shù)對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)混合氣體中某一種或多種氣體組分濃度進(jìn)行測(cè)量的在線氣體質(zhì)譜分析儀（以下簡(jiǎn)稱儀器）．規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)千本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用千本文件。GB/T191 包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB3836.1 爆炸性環(huán)境 第1部分：設(shè)備通用要求GB3836.2 爆炸性環(huán)境 2部分：隔爆外殼"d"保護(hù)的設(shè)備GB/T3836.5 爆炸性環(huán)境 5部分：由正壓外殼"p"保護(hù)的設(shè)備GB4793.l 測(cè)量控制和實(shí)驗(yàn)室用電氣設(shè)備的安全要求 第1部分：通用要GB/T11606 分析儀器環(huán)境試驗(yàn)方法GB/T13384 機(jī)電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件GB/T13966 分析儀器術(shù)語(yǔ)GB/T17626.2 電磁兼容 試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù) 靜電放電抗擾度試驗(yàn)GB/T17626.4 容 試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù) 電快逮瞬變脈沖群抗擾度試GB/T17626.5 電磁兼容 試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù) 浪涌（沖擊）抗擾度試驗(yàn)GB/T17626.11 電磁兼容 試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù) 電壓暫降、短時(shí)中斷和電壓變化的抗擾度試驗(yàn)GB/T18268.1 測(cè)量、控制和實(shí)驗(yàn)室用的電設(shè)備 電磁兼容性要求 第1部分：通用要GJB150.9A 軍用裝備實(shí)驗(yàn)室環(huán)境試驗(yàn)方法 第部分：濕熱試驗(yàn)GJB150.10A軍用裝備實(shí)驗(yàn)室環(huán)境試驗(yàn)方法第10部分：霉菌試驗(yàn)GJB150.11A軍用裝備實(shí)驗(yàn)室環(huán)境試驗(yàn)方法第11部分：鹽霧試驗(yàn)JB/T9363四極質(zhì)譜計(jì)技術(shù)條件術(shù)語(yǔ)和定義3.

GB/T13966界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。在線氣休質(zhì)譜分析儀 onlineS血皿叩氏trometer基千質(zhì)譜分析技術(shù)原理的分析儀器，結(jié)構(gòu)上一般包括進(jìn)樣系統(tǒng)、離子淵、質(zhì)量分析器、檢測(cè)器、真空系統(tǒng)、數(shù)據(jù)系統(tǒng)等幾部分．原理是將待測(cè)氣體離子化，按離子的質(zhì)荷比進(jìn)行分離，通過(guò)檢測(cè)各離子的豐度（即質(zhì)譜峰強(qiáng)度）實(shí)現(xiàn)物質(zhì)分析。3.3.3

質(zhì)量范圍 massran薩儀器所能測(cè)量的離子質(zhì)量的范圍，單位為原子質(zhì)量單位(u)。質(zhì)量準(zhǔn)確性 massaccuracy儀器測(cè)量得到某離子的質(zhì)荷比與理論值的偏差。質(zhì)量穩(wěn)定性 massstabllity儀器在正常工作條件下，在一定的時(shí)間范圍內(nèi)，某一特征離子的質(zhì)荷比測(cè)定值發(fā)生漂移的變化量。3.5質(zhì)量分辨辜 massresolution質(zhì)譜儀能分辨兩個(gè)相鄰質(zhì)譜峰的能力，以某離子峰峰高50%處的峰寬度(W11z>峰寬，單位為原子質(zhì)量單位(u).要求1 工作條件儀器在表1規(guī)定的工作條件下應(yīng)能正常工作。裹1 儀器工作條件項(xiàng) 目 序號(hào) 影響量環(huán)境溫度氣候條件 3 大氣壓力通風(fēng)

單位％kPa

0-3040-95在76-110范圍內(nèi)的當(dāng)?shù)仄骄髿鈮簾o(wú)直接照射無(wú)阻礙

振動(dòng)電瀛電壓電獗頻率P外界電場(chǎng)、磁場(chǎng)、電磁場(chǎng)

可忽略不計(jì)V AC187-AC253Hz ?0.05應(yīng)避免注：AC為交流電，以下同．外觀要求42.1 儀器應(yīng)保持清潔，不應(yīng)有污物、積垢等．2儀器表面應(yīng)光潔、平整，不應(yīng)有銹蝕現(xiàn)象．儀器零件結(jié)合處應(yīng)整齊，無(wú)毛刺、銳棱和粗糙不平現(xiàn)象，剛性連接部件不應(yīng)松動(dòng)．儀器的銘牌及標(biāo)志應(yīng)清楚，銘牌上具備防爆標(biāo)識(shí)。儀器有內(nèi)外接地標(biāo)識(shí)霾輸出接口和輸出信號(hào)儀器應(yīng)具備相應(yīng)的信號(hào)輸出接口，信號(hào)輸出應(yīng)包括模擬量和數(shù)字量，并能根據(jù)使用要求提供通用的通信接口．真空系統(tǒng)要求由高真空油擴(kuò)散泵或渦輪分子泵、機(jī)械旋轉(zhuǎn)前級(jí)泵組成的差動(dòng)抽氣真空系統(tǒng)，極限真空應(yīng)不大于1X10-3Pa.性能要求1 質(zhì)量范圍質(zhì)量范圍下限應(yīng)不大于2u,質(zhì)量范圍上限應(yīng)不小千200u.質(zhì)量準(zhǔn)確性儀器測(cè)量得到某離子的質(zhì)荷比與理論值的偏差在土o.3u以下。質(zhì)量穩(wěn)定性儀器連續(xù)工作8h,質(zhì)量偏移應(yīng)不大于o.3u。分辨率儀器的分辨率應(yīng)不大于lu。靈敏度（對(duì)N2)用法拉第杯測(cè)試時(shí)，靈敏度應(yīng)高千1X10-7A/Pa1用電子倍增管測(cè)試時(shí)，靈敏度應(yīng)高于lX10-2A/Pa,同時(shí)應(yīng)注明對(duì)應(yīng)的發(fā)射電流．定量重復(fù)性儀器的定量重復(fù)性應(yīng)不大千5?。出限儀器的檢出限應(yīng)小于10μ.mol/mol。與影響量有關(guān)的技術(shù)要求1 機(jī)械振動(dòng)影晌誤差儀器在非工作、非包裝狀態(tài)下，按照GB/T11606的規(guī)定進(jìn)行正弦振動(dòng)試驗(yàn)后應(yīng)能正常工作，試驗(yàn)后其性能應(yīng)符合4.5的要求．462 環(huán)境溫度變化影響誤差儀器在工作狀態(tài)下，按照GB/T11606的規(guī)定進(jìn)行低溫試驗(yàn)、高溫試驗(yàn)后，其性能應(yīng)符合4.5的要求。電滋兼容性要求47.1 靜電放電抗擾度要求靜電放電抗擾度應(yīng)符合GB/T18268.1的要求。浪涌（沖擊）抗擾度要求浪涌（沖擊）抗擾度應(yīng)符合GB/T18268.1的要求．電快速瞬變脈沖群抗擾度要求電快速瞬變脈沖群抗擾度應(yīng)符合GB/T18268.1的要求．電壓暫降抗擾度要求電壓暫降抗擾度應(yīng)符合GB/T18268.1的要求。電壓短時(shí)中斷抗擾度要求電壓短時(shí)中斷抗擾度應(yīng)符合GB/T18268.1的要求。電壓變化抗擾度要求電壓變化抗擾度應(yīng)符合GB/T18268.1的要求．與安全性有關(guān)的技術(shù)要求絕緣電阻在相對(duì)濕度不大于85%的條件下，電源引人線與機(jī)殼之間的絕緣電阻應(yīng)不小于20M幾并應(yīng)符合GB4793.1的要求．絕緣強(qiáng)度試驗(yàn)電壓為1.5kV,絕緣強(qiáng)度的試驗(yàn)結(jié)果應(yīng)符合GB4793.1的要求。B3 接觸電流試驗(yàn)電壓為242v,接觸電流的試驗(yàn)結(jié)果應(yīng)符合GB4793.1的要求。4.8.4 防腐蝕要求儀器應(yīng)適應(yīng)化工行業(yè)的腐蝕性環(huán)境，采用耐腐蝕材料、正壓通風(fēng)等措施使儀器不應(yīng)被腐蝕。5 防爆要求儀器的防爆性能應(yīng)符合GB3836.l、GB3836.2、GB/T3836.5的有關(guān)規(guī)定，并取得國(guó)家指定防爆產(chǎn)品檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)頒發(fā)的合格證書。4.9 儀器在運(yùn)輸包裝狀態(tài)下，按照GB/T11606規(guī)定的方法試驗(yàn)后，包裝箱不應(yīng)有較大變形和損傷，受試儀器不應(yīng)有變形松脫、涂覆層剝落等機(jī)械損傷，其性能要求應(yīng)能滿足4.5的規(guī)定．試翰方法1 試驗(yàn)條件除非另有規(guī)定，4.5的性能試驗(yàn)應(yīng)在表2的試驗(yàn)條件下進(jìn)行，其他試驗(yàn)應(yīng)在表1的工作條件下進(jìn)行。2 試驗(yàn)條件1環(huán)境溫度'C23士52相對(duì)漫度％45-75(在23'C土5'C時(shí)）3大氣壓力kPa在86-106范圍內(nèi)的當(dāng)?shù)仄骄髿鈮?陽(yáng)光輻射無(wú)直接照射5通風(fēng)1環(huán)境溫度'C23士52相對(duì)漫度％45-75(在23'C土5'C時(shí)）3大氣壓力kPa在86-106范圍內(nèi)的當(dāng)?shù)仄骄髿鈮?陽(yáng)光輻射無(wú)直接照射5通風(fēng)無(wú)阻礙振動(dòng)可忽略不計(jì)7電獗電壓VAC187-AC2538電瀛頻率Hz50士5交流電獗的失真p?0.0510外界電場(chǎng)、磁場(chǎng)、電滋場(chǎng)應(yīng)避免電獗條件5.2 外觀檢查用目測(cè)及手感檢查外觀。5.3輸出接口和輸出信號(hào)應(yīng)用萬(wàn)用表和示波器通過(guò)輸出接口檢測(cè)輸出信號(hào)。真空系統(tǒng)檢查真空泵的安裝可通過(guò)目視檢驗(yàn)。安裝完成后封閉進(jìn)樣口，啟動(dòng)真空泵，穩(wěn)定運(yùn)行2h后，用真空規(guī)管測(cè)試真空系統(tǒng)壓力。性能檢查1 質(zhì)量范圍1.1 質(zhì)量范圍上限向真空腔內(nèi)送人全氪三丁胺，以能掃出質(zhì)量數(shù)100u以上的質(zhì)譜峰為質(zhì)量范圍上限200u,以能掃出質(zhì)譜數(shù)200u以上的質(zhì)譜峰為質(zhì)量范圍上限300u5.1.2屈量范圍下限質(zhì)量范圍下限試驗(yàn)應(yīng)按照J(rèn)B/T9363的規(guī)定進(jìn)行。用真空腔內(nèi)本底或送人的氫氣，以能掃出質(zhì)量數(shù)lu或2u的質(zhì)譜峰為質(zhì)量范圍下限．質(zhì)量準(zhǔn)確性14.,.0u按上述測(cè)試方法重復(fù)測(cè)試3次，分別計(jì)算各質(zhì)譜峰的3次測(cè)量平均值豆謂。按公式(1)DMi準(zhǔn)。性DMi準(zhǔn)絕對(duì)值的最大值作為儀器的質(zhì)量準(zhǔn)確性DM匯Mi準(zhǔn)=M鍘-Mi理 (1)式中：Mi準(zhǔn)的數(shù)值，;鍘豆第i個(gè)質(zhì)譜峰3次測(cè)量的平均值的數(shù)值，單位為原子質(zhì)量單位(u)'鍘M,暹一一第i個(gè)質(zhì)譜峰的理論值的數(shù)值，單位為原子質(zhì)量單位(u)。質(zhì)量穩(wěn)定性028.。18)分別計(jì)算每個(gè)質(zhì)譜峰每次測(cè)量后的實(shí)測(cè)質(zhì)荷比與理論值的偏差DMi偏。分別選取各質(zhì)譜峰DMi偏中的最大值作為各質(zhì)譜峰的質(zhì)量穩(wěn)定性DM灌。選取各質(zhì)譜峰的質(zhì)量穩(wěn)定性DM瀑絕對(duì)值的最大值作為儀器的質(zhì)量穩(wěn)定性DM;穗·式中：

M;偏=Mi鍘-M遭

……………......(2)DMi偏—如個(gè)質(zhì)譜峰實(shí)測(cè)后的質(zhì)量偏差的數(shù)值，單位為原子質(zhì)量單位(u);M鍘第i個(gè)質(zhì)譜峰的實(shí)測(cè)質(zhì)荷比的數(shù)值，單位為原子質(zhì)量單位(u);Mi暹—如個(gè)質(zhì)譜峰的理論值的數(shù)值，單位為原子質(zhì)量單位(u)。分辨率在儀器穩(wěn)定工作狀態(tài)下，向儀器進(jìn)氣口通人氮?dú)?，掃描并按公?3)記錄質(zhì)譜圖中質(zhì)荷比為(14.o,.0。選取各質(zhì)譜峰半峰寬的最大值作為儀器的質(zhì)量分辨率。重復(fù)測(cè)量3次，3次測(cè)量值均應(yīng)符合要求．式中：

RM=兇'8112 (3)RM質(zhì)量分辨率的數(shù)值，單位為原子質(zhì)量單位(u);m—被測(cè)峰高的50%處的峰寬的數(shù)值，單位為原子質(zhì)量單位(u)。靈敏度BT9363的方法進(jìn)行。將真空系統(tǒng)抽至極限壓力，向儀器真空腔內(nèi)通人氮?dú)?，掃描并觀測(cè)氮?dú)夥肿与x子峰，記錄此時(shí)2,其中真空腔壓力應(yīng)不大千2Xlo-?Pa。按公式()計(jì)算儀器的靈敏度。psm (4)pmS—靈敏度的數(shù)值，單位為安培每帕(A/Pa);mI一離子流強(qiáng)度的數(shù)值，單位為安培(A);P—真空腔壓力的數(shù)值，單位為帕(Pa).5.5.6定量重復(fù)性對(duì)于用電子倍增管作檢測(cè)器的儀器，可用電子倍增管的增益與上述法拉第杯的靈敏度相乘，得到用電子倍增管作檢測(cè)器的儀器的靈敏度．5.5.6定量重復(fù)性定量重復(fù)性方法可參考GB/T32210的方法進(jìn)行。啟動(dòng)儀器，按規(guī)定時(shí)間預(yù)熱2h后，向儀器通人氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（如5%氮中氪氣），控制流量為200L。應(yīng)在4h內(nèi)進(jìn)行連續(xù)峰強(qiáng)度掃描，記錄質(zhì)荷比為40u的峰的強(qiáng)度Ii?標(biāo)準(zhǔn)偏差S應(yīng)按公式(5)計(jì)算．重復(fù)性以相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差Cv(相對(duì)于平均值Ii>表示，應(yīng)按公式(6)計(jì)算．tai礦S=,i=ln-1 ?????tai礦s—儀器所測(cè)的待測(cè)混合氣中Ar的峰強(qiáng)度值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的數(shù)值，單位為安培(A);Ii一一儀器所測(cè)的待測(cè)混合氣中Ar的峰強(qiáng)度值的數(shù)值，單位為安培(A);si2h的峰強(qiáng)度值的平均值的數(shù)值，;九2hArsv=-XlO%式中：Ii式中：v—儀器所測(cè)的待測(cè)混合氣中Ar

.……...…()s;iAr的峰強(qiáng)度值的平均值的數(shù)值，在儀器穩(wěn)定工作狀態(tài)下，向儀器進(jìn)氣口通人高純氮或者純度優(yōu)于99.999%的氮?dú)庾鳛榭瞻讟悠?，打開(kāi)電子倍增管檢測(cè)器，選擇性掃描質(zhì)荷比為40u的離子質(zhì)譜峰，記錄信號(hào)強(qiáng)度Im,連續(xù)記錄10次；再向儀器進(jìn)氣口通人氪氣標(biāo)氣（如氪氣1%,其余為氮?dú)猓?，打開(kāi)電子倍增管檢測(cè)器，選擇性掃描質(zhì)荷比為40u的離子質(zhì)譜峰，記錄信號(hào)強(qiáng)度1_,連續(xù)記錄10次，計(jì)算出其平均值了．采用空白樣品中噪聲的標(biāo)準(zhǔn)偏差S所對(duì)應(yīng)的濃度應(yīng)按公式(7)計(jì)算檢出限。DsI式中：式中：—檢出限的數(shù)值，單位為徽摩爾每摩爾o/m)

…...…7)s—40u單位為安培;0u的離子強(qiáng)度平均值的數(shù)值，(A);7c—氪氣標(biāo)氣中Ar的體積濃度，以％表示。7影響量1 機(jī)械振動(dòng)影響誤差參考GB/T11606規(guī)定的試驗(yàn)程序和方法進(jìn)行振動(dòng)響應(yīng)檢查、耐久試驗(yàn)（掃頻和定頻）。5.6.2 環(huán)境溫度變化影響誤差按照GB/T11606規(guī)定的低溫試驗(yàn)、高溫試驗(yàn)方法進(jìn)行環(huán)境溫度變化影響誤差試驗(yàn)。電滋兼容性靜電放電抗擾度靜電放電抗擾度試驗(yàn)應(yīng)按照GB/T17626.2的規(guī)定進(jìn)行．浪涌（沖擊）抗擾度浪涌（沖擊）抗擾度試驗(yàn)應(yīng)按照GB/T17626.5的規(guī)定進(jìn)行．電快速瞬變脈沖群抗擾度T4的規(guī)定進(jìn)行。電壓暫降抗擾度電壓暫降抗擾度試驗(yàn)應(yīng)按照GB/T17626.11的規(guī)定進(jìn)行。電壓短時(shí)中斷抗擾度電壓短時(shí)中斷抗擾度試驗(yàn)應(yīng)按照GB/T17626.11的規(guī)定進(jìn)行。電壓變化抗擾度電壓變化抗擾度試驗(yàn)應(yīng)按照GB/T17626.11的規(guī)定進(jìn)行．安全性.1 絕緣電阻儀器的絕緣電阻試驗(yàn)應(yīng)在不包裝及非工作狀態(tài)下進(jìn)行，試驗(yàn)應(yīng)按照GB4793.1的規(guī)定進(jìn)行。絕緣強(qiáng)度儀器的絕緣強(qiáng)度試驗(yàn)應(yīng)在不包裝及非工作狀態(tài)下進(jìn)行，試驗(yàn)應(yīng)按照GB4793.1的規(guī)定進(jìn)行。接觸電流儀器的接觸電流試驗(yàn)應(yīng)在不包裝及非工作狀態(tài)下進(jìn)行，試驗(yàn)應(yīng)按照GB4793.1的規(guī)定進(jìn)行．防腐蝕性能防腐蝕性能中濕熱試驗(yàn)應(yīng)按照GJB150.9A的規(guī)定進(jìn)行，霉菌試驗(yàn)應(yīng)按照GJB150.10A的規(guī)定進(jìn)行，鹽霧試驗(yàn)應(yīng)按照GJB150.11A的規(guī)定進(jìn)行．85.9包裝、運(yùn)輸和貯存防爆性能應(yīng)按照GB3836.1、GB3836.2和GB/T3836.5的規(guī)定進(jìn)行。5.9包裝、運(yùn)輸和貯存儀器在包裝狀態(tài)下，包裝、運(yùn)輸和貯存試驗(yàn)應(yīng)按照GB/T11606的規(guī)定進(jìn)行．檢驗(yàn)規(guī)則儀器檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和形式檢驗(yàn)．每臺(tái)儀器應(yīng)檢驗(yàn)的項(xiàng)目全部達(dá)到產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)要求后方可出廠，井附有產(chǎn)品合格證書、使用說(shuō)明書及裝箱單．出廠檢驗(yàn)、形式檢驗(yàn)項(xiàng)目及要求見(jiàn)表3.褒3檢驗(yàn)項(xiàng)目及要求檢驗(yàn)項(xiàng)目、要求及試驗(yàn)條目 檢驗(yàn)分類． ． 檢驗(yàn)項(xiàng)目 要求條目 試驗(yàn)方法 出廠檢驗(yàn) 形式檢驗(yàn)． 1 質(zhì)量范圍 4.5.1 5.． 2 質(zhì)量準(zhǔn)確性 4.5.Z 5.s.23 質(zhì)量穗定性 4.s.3 5.5.3 ． ．4 分辨率 4.5.4 5.5.4 ． ．靈敏度5 4.5.5 5.5.5 ． ．靈敏度6 定量重復(fù)性 4.5.6 5.s.6 ． ．檢出限7 4.7 5.5.7 ． ．檢出限89 10

4.24.7

． ．． ．6,, ．電磁兼容性安全性 .8.1-4:.8.3 5.8.8.3 ． ．電磁兼容性運(yùn)輸和貯存12 5.9 公 ．運(yùn)輸和貯存注I?為應(yīng)進(jìn)行檢驗(yàn)的項(xiàng)目;D.為不進(jìn)行檢驗(yàn)的項(xiàng)目．31 在下列情況之一時(shí)，應(yīng)進(jìn)行形式檢驗(yàn)：儀器設(shè)計(jì)定型或生產(chǎn)定型時(shí)，儀器轉(zhuǎn)廠或轉(zhuǎn)移生產(chǎn)地時(shí)，9儀器正式生產(chǎn)后，如結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；9HG/T5831儀器停產(chǎn)滿2年后，恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；出廠檢