CMOS集成電路制造工藝教材

第6章CMOS集成電路制造工藝第6章CMOS集成電路制造工藝6.1CMOS工藝6.2CMOS版圖設(shè)計(jì)6.3封裝技術(shù)3木答版抄年興畫(huà)畫(huà)胸稿刻痕版套跑色林印隙刷4半徑導(dǎo)仇體兩芯罩片計(jì)制惕作吩過(guò)倍程5硅僅片容（w嚼a肝f犯e掩r）改的贊制恢作6掩劉模香版愧（m向a值s祝k裂,占r象e艦t幟i絹c要l昂e）艦的親制洋作7外家延街襯伯底嶼的孟制貍作8集缸成昆電灣路含加電工很的墊基見(jiàn)本金操亂作1、嘆形采成吸薄航膜（緞二綱氧膊化飼硅喜、隆多姓晶虎硅乞、耳金索屬收等職薄獲層泰）2、周形訊成旦圖何形（苗器搭件描和宜互討連庸線般）3、席摻余雜（盈調(diào)蹤蝶整壟器曠件誦特葵性序）91、鞏形詞成宜圖大形半徐導(dǎo)膀體盜加莫工兄過(guò)島程懸：玻將蹈設(shè)分計(jì)啞者碼提纖供險(xiǎn)的樹(shù)集飼成浴電趁路版據(jù)圖奪圖別形復(fù)割制鉗到沈硅靜片撥上光露刻旨與腰刻莊蝕畜：厲半迫導(dǎo)潮體馬加荷工果水償平疏決團(tuán)定閣于只光顫刻俗和鋪刻瘋蝕醫(yī)所慕形嘗成助的劣線漂條蓄寬言度1蘭0光爪刻辰（p貞h岔o棕t籠o朵l盆i俱t嘩h各o豈g更r數(shù)a叉p校h聰y）1域1曝浙光派（e腎x拆p衣o聞s餐u六r麥e）1徐2刻河蝕樸（e足t難c表h）1急3光倍刻窩的魯基藥本挪原恨理1亂4正堂膠斷和探負(fù)寶膠徑的倍差炸別1擱52、腸薄境膜支形驚成懸：緣瑞淀化積1服62、賓薄豆膜厲形陜成扶：略氧來(lái)化1類(lèi)73、樂(lè)摻嗽雜魄：窯擴(kuò)輝散忙和熱注餃入1轉(zhuǎn)8從帶器嫌件淚到朱電維路澆：般通孤孔1隨9從襖器與件閘到費(fèi)電濫路里：巧互慌連誦線2矛0從司器歐件氣到跪電蜂路護(hù)：億多性層已互就連2族1從冤器銳件喪到稻電翻路貞：總多怒層兼互雁連2璃2從寬硅爆片濟(jì)到赤芯爸片餐：泄加霜工招后姐端2辟3從邊硅用片濕到與芯蠶片栽：悔加遠(yuǎn)工夕后切端2櫻4從隔硅急片艷到兩芯塔片掃：欺加服工神后新端6擴(kuò).誼1稱(chēng)C像M污O騾S工蒼藝6袖.旋1仍.技1基蝴本句工蜜藝賞步障驟6深.諸1嘆.墳2夜n阱C癢M己O朋S工捕藝到流屬程6梨.蜓1泛.賺3硅豪基C櫻M開(kāi)O捆S中踏的塊閂兩鎖淡效尊應(yīng)6盲.痰1蝴.絡(luò)4先煮進(jìn)袖的C趨M經(jīng)O膚S工柴藝6恩.翼1億.且1基訓(xùn)本更工屯藝朽步類(lèi)驟(耕1匠)氧請(qǐng)化C貼M塘O表S集紙成見(jiàn)電痛路森中S就i曬O2層牧的鈔主朽要坑作墳用斯：做M廉O鬧S晶且體貴管蓬的恨柵江絕縱緣陵介替質(zhì)忽；做章雜丈質(zhì)礎(chǔ)擴(kuò)腳散喜和落離爽子糖注共入撫的屢掩卸蔽濤層挨和榨阻悉擋忌層嫁；做M守O疤S晶鼻體褲管軟之穩(wěn)間份的城隔欣離務(wù)介包質(zhì)牢；做屈多循晶鋼硅漂、牲金絨屬施等齒互女連孫層菜之男間浪的剪絕神緣責(zé)介砍質(zhì)值；做北芯章片作表萌面稠的末鈍徹化麥層譯。熱萬(wàn)氧管化孟法附：勺干薪氧滔、租濕救氧鎖、干瘦氧-濕侍氧-干擋氧約交躁替跌氧肚化6羨.路1豪.戚1基治本送工朋藝傭步粱驟(街2智)淀枝積通運(yùn)過(guò)冬物瓶理猾或襪化頌學(xué)眠的俊方絹法陡把里另券一齡種閘物尸質(zhì)形淀朽積凈在跟硅謊片蛛表喂面達(dá)形在成戒薄以膜(低爺溫)。物響理必氣辛相培淀概積(援P計(jì)h叮y甚s仰i百c稍a旱l饒V閥a委p寸o土r刷D星e短p痛o珠s械i探t怠i竊o齒n，P瞇V翁D帶)蒸范發(fā)濺影射化濃學(xué)冶氣半相罪淀肝積(蔬C炮h不e菜m腳i鉤c枯a瘋l展V汪a牙p怖o形r笑D乳e著p催o運(yùn)s溉i寺t違i衡o倒n，C璃V綱D秘)6理.博1幕.妙1基悉本店工適藝情步渴驟(財(cái)3論)光煉刻貝和限刻催蝕把蘆掩域膜捎版目上糊的叮圖滋形吃轉(zhuǎn)芬移雅到羅硅拉片券。①生逗長(zhǎng)獸一峰層S誦i倍O2薄貍膜；②在民硅船表坦面幕均擋勻挖涂驅(qū)抹此一殊層恐光穩(wěn)刻弟膠(以施負(fù)姐膠呈為籃例)；③咱蓋團(tuán)上掩抱膜喬版舌進(jìn)旋行承光膨照，使柱掩墾膜托版輩上鹽亮響的(久C薦l猴e沙a染r喚)區(qū)梳域圓對(duì)傾應(yīng)狼的泡光值刻克膠無(wú)被抖曝復(fù)光箱，灣而原掩類(lèi)膜豈版島上串暗籌的(佛D現(xiàn)a尼r子k紫)區(qū)家域趴對(duì)覽應(yīng)編的權(quán)光誰(shuí)刻級(jí)膠災(zāi)不竄能終被罰曝嫁光。6龜.捎1泥.懼1基則本則工抗藝茂步美驟(源3婚)光索刻捕和冠刻刊蝕④把面未牽被膨曝秧光橫的羽膠竿去伯掉暑，活顯脅影煤后壺掩兵膜黑版毛上令的輝圖型形嘗轉(zhuǎn)羨移樂(lè)到苗光須刻燭膠算上；⑤喪采書(shū)用濕糊法問(wèn)刻北蝕或干犧法分刻構(gòu)蝕早去庸除帳沒(méi)借有邊光恨刻己膠導(dǎo)保氣護(hù)菌的S棉i宜O2；⑥去勒除衛(wèi)殘照留賀在皮硅沸片泳上健的纏所衡有御光床刻僻膠抓，賀完徐成冬版罪圖肢圖盟形穴到假硅闖片從圖妻形例的不轉(zhuǎn)棒移。6竭.菌1輕.急1基翠本民工堡藝襪步寸驟(府3逐)光象刻案和跑刻威蝕光五刻圖膠負(fù)州膠戚：曝剛光令前侮可坑溶均于鉗某株種距溶罷液纏而暈曝?fù)艄獍睾笃冎T為寄不獻(xiàn)可扶溶；正狀膠擦：曝謹(jǐn)光當(dāng)前色不站溶于薪某共種托溶韻液澤而曝知光趟后秘變址為遺可骨溶；通才常拆正持膠穩(wěn)的指分問(wèn)辨揚(yáng)率資高動(dòng)于帳負(fù)出膠。6藥.惹1星.紅1基蜂本驗(yàn)工封藝仰步粉驟(男4胸)擴(kuò)葛散淹和肯離梢子閉注餅入在壘硅呈襯獵底寧中四摻淋入立雜仆質(zhì)豪原松子婚，希以鋒改鋼變木半冷導(dǎo)東體卸電假學(xué)專(zhuān)性告質(zhì)航，錄形叫成p昌n結(jié)幕、川電眉阻匠、反歐洲姆妻接毯觸坐等親結(jié)害構(gòu)咳。擴(kuò)車(chē)散：雜嶼質(zhì)原歉子在晶高釘溫蔥下久克衡服渡阻培力把進(jìn)購(gòu)入僅半選導(dǎo)梯體封，錢(qián)并雷緩垮慢警運(yùn)狼動(dòng)快。替停位節(jié)式稼擴(kuò)盼散、間忍隙愛(ài)式僑擴(kuò)庭散離顏?zhàn)訑?shù)注乎入：將莫具忍有多很潤(rùn)高約能惑量還的舊帶瞧電妙雜拳質(zhì)謠離數(shù)子乘射鴉入纖硅圖襯屬底堆中戰(zhàn)。需高葡溫悶退煎火6需.鄙1勞C宗M盾O鋤S工策藝6鼓.甚1但.遵1基可本由工溪藝姑步魄驟6認(rèn).別1忠.刮2魄n阱C誘M縣O理S工搜藝久流求程6聾.睜1丘.察3硅貸基C錢(qián)M騰O魄S中摧的顆閂存鎖麻效券應(yīng)6盲.輕1暴.剪4先炎進(jìn)菜的C航M裳O唐S工鄭藝6般.稀1脊.爭(zhēng)2稻n阱C步M皂O寺S工制藝圖流渡程兩沖種凱器吊件螞需筒要蠟兩葉種礙導(dǎo)探電幟類(lèi)營(yíng)型蓬的奇襯愿底知。在n型盒襯扎底立上礦形駐成p阱銷(xiāo)，悔把N寶M杠O棄S管匪做范在p阱決里扒；或班在p型戲襯丘底惑上難形鞭成n阱煩，討把P段M匙O殊S管寨做怨在n阱木里冊(cè)。6落.改1解.所2讓n阱C呼M旗O釀S工閃藝?yán)趿靼浅挞贉?zhǔn)墾備膜硅謙片寇材褲料p型<僚1纖0會(huì)0偶>晶習(xí)向判硅并片②形埋成n阱熱饞氧凈化己，返形火成雜掩淘蔽竊層光漲刻碗和其刻缺蝕勞，爸開(kāi)巡壽出n阱滿(mǎn)區(qū)肆窗凡口離喉子豈注槍入表并籍高津溫薪退稅火澇，寒形舉成n阱6片.忠1州.貓2沉n阱C緩M部O稻S工羅藝街流棋程③赴場(chǎng)洞區(qū)誦隔腳離局成部也氧脾化(血L稱(chēng)o孤c斥a州l矛O過(guò)x厚i伸d做a哲t傭i陶o窄n眼o漫f筍S材i猶l四i粘c顆o噴n，L牌O礦C連O裁S帳)工縱藝?yán)酶矣忻瓷讌^(qū)卻掩晴膜鏡版謊進(jìn)拳行腦光節(jié)刻鋤和令刻厘蝕登，鼓露敢出四場(chǎng)徒區(qū)場(chǎng)岡區(qū)亂注四入去枯除溪光短刻算膠補(bǔ)，占場(chǎng)桌區(qū)焦熱尺生蛙長(zhǎng)曾一汽層眼厚六的數(shù)氧債化崗層去度除哭有守源稱(chēng)區(qū)抗上的保樂(lè)護(hù)隱層場(chǎng)江區(qū)縫和棵有罵源獲區(qū)煉的扭氧毛化貨層欣臺(tái)鵝階嚴(yán)降慶低搶?zhuān)瑝炂綄幷麘?hù)度巷提練高竭。6瞧.鑼1釘.賺2終n阱C涉M殃O狀S工賓藝足流探程④形辰成咳多搶晶范硅施柵熱眼氧臺(tái)化生生鋼長(zhǎng)固?hào)胚€氧碑化械層→C疼V估D淀鮮積則多壤晶藍(lán)硅甩并浴離嘉子罪注艷入→光垃刻竿和正刻盟蝕⑤源鐵漏昌區(qū)n便+父/撫p柔+注男入利夜用同恐一n暴+掩弊膜吃版，槳采會(huì)用工負(fù)床膠自和關(guān)正平膠進(jìn)番行兩粗次光當(dāng)刻返和暈刻腥蝕，否分桃別臟進(jìn)編行n萌+注第入竊和p派+注慰入壞。6河.占1走.巧2輛n阱C沃M追O玻S工包藝糕流擋程⑥形這成奇接資觸兇孔C駱V豪D淀絕積做絕屋緣夠?qū)印庳?fù)刻辣和般刻敏蝕靈形劑成擔(dān)接爆觸解孔⑦形潛成勉金粒屬哈互悄連淀樹(shù)積膏金勉屬覺(jué)層→光因刻稼和更刻售蝕弄形季成頑金余屬截互爺連6巷.鍋1然.牌2愛(ài)n阱C河M爬O侍S工叛藝存流城程⑧形羅成作鈍角化錄層淀培積S恨i3N4或誼磷驢硅野玻喬璃→光珍刻蠅和讓刻惕蝕旗，非形糖成恭鈍評(píng)化高圖拋形鋁尚柵富工稱(chēng)藝瓦：源(或狗漏)區(qū)芹與廟柵護(hù)之運(yùn)間屈形奴成樣缺興口殲，飛無(wú)嫂法影形憶成校連派續(xù)樹(shù)的霉溝絲式道。硅墻柵紛工棟藝?yán)骸澳┳圆畬?duì)休準(zhǔn)混”6揪.錢(qián)1鏟C社M亞O矮S工膛藝6箭.辭1肝.盲1基拌本憲工屬藝和步銹驟6嚇.遺1柿.或2輔n阱C陽(yáng)M蠶O善S工問(wèn)藝都流棒程6古.民1煌.描3硅爛基C功M吵O燥S中脫的們閂榆鎖它效影應(yīng)6宿.屢1匙.菜4先瞎進(jìn)拴的C挖M罵O箏S工搶藝6滋.騰1胳.施3硅爺基C郊M棋O伐S中居的捧閂光鎖粱效修應(yīng)寄像生蛛晶閥體票管Q1、Q2，秀寄隙生維電寬阻Rn饑w、Rs衫u剃b構(gòu)劈燕成偽等骨效償電淡路Q(chēng)1和Q2交綱叉根耦熟合畜形唉成此正瞎反政饋濁回額路電脅流率在Q1和Q2之嚇間材循霞環(huán)齡放墊大VD儲(chǔ)D和G劍N醋D之壯間肝形輝成木極名大獅的妨電癥流含，瞇電椅源詞和銜地方之言間句鎖妙定限在賀一釣個(gè)尾很棵低翠的宴電勇壓(維紗持敬電皺壓Vh)6熱.擴(kuò)1賞.歡3硅汽基C提M跑O堂S中控的劈燕閂先鎖喊效袋應(yīng)發(fā)剖生崇閂稍鎖激效鈔應(yīng)聯(lián)后VD駱D和G術(shù)N幸D之焦間孔的豆電仁流-電急壓覆特封性防愁止清閂兔鎖逝效切應(yīng)扭的距方勸法禁：提管高舊阱慈區(qū)硬和頌襯慌底縮慧摻境雜沿濃蹄度；加n難+和p舟+保凱護(hù)泳環(huán)；采蘋(píng)用p詳-外幣延夏工格藝；采鬼用S西O比I廁(鞏S警i貌l業(yè)i殿c開(kāi)o下n獅O意n辰I餅n揉s成u銅l唱a蹦t援o疼r另)逮C閑M覽O歇S工雙藝。4崗2體博硅C貼M雜O基S中平的告閂骨鎖堡效紅應(yīng)4取3閂群鎖腳效坡應(yīng):等厭效翅電蜜路Q(chēng)欄1Q斬2Q冷3Q睛4V悅o貫u腸tV潔o營(yíng)u窮tR擊wR俗s4塊4防罷止惹閂頓鎖適效帽應(yīng)沖的榆措虎施減隸小悲阱賴(lài)區(qū)顆和唉襯侄底還的雹寄研生無(wú)電秒阻降表低道寄什生開(kāi)雙認(rèn)極透晶礎(chǔ)體燈管鞠的豬增振益使父襯淹底飲加芹反培向喉偏衫壓加鉛保室護(hù)課環(huán)用羊外湯延動(dòng)襯摩底采羞用S歷O衣I塵C苦M訊O迫S技勁術(shù)4叔5抑大制分閂雁鎖鵲效危應(yīng)忍：1、裙減禮小刪寄肉生爺電鐮阻2、壇降示低飛寄繪生晉晶村體團(tuán)管緒增犧益3、僻襯腸底坦加詳反偵向倉(cāng)偏數(shù)壓4屢64、桂保澡護(hù)差環(huán)4簡(jiǎn)75、續(xù)外阻延跨襯壯底6折.敲1亡C亞M乳O佳S工假藝6欠.圾1習(xí).環(huán)1基奇本冷工剃藝門(mén)步壤驟6股.亮1么.巖2逮n阱C寫(xiě)M諸O竹S工軌藝盈流云程6核.犁1恰.只3硅簽基C森M恨O感S中熱的卵閂托鎖沙效聲應(yīng)6駝.焦1抹.幕4先掃進(jìn)舍的C糕M羨O曬S工臭藝4貨9深碰亞菜微到米C位M捆O促S結(jié)搬構(gòu)首和姥工抓藝5匯0深泉亞粗微拆米C御M哲O與S工傲藝槽的還主掠要亭改稻進(jìn)淺它溝餃槽萄隔之離雙笨阱薪工姥藝非梢均泛勻袍溝可道旨摻懷雜n鼓+足/藥p蔥+兩抽種名硅鴨?wèn)艠O排淺烘的坊源蠶漏掀延缸伸憂區(qū)硅秋化勺物繳自疊對(duì)答準(zhǔn)污柵-源-漏兄結(jié)淺構(gòu)多緣瑞層燒銅刷互凍連5冷11、挖淺臟溝上槽斑隔閘離常港規(guī)C偽M甘O若S工遍藝紫中家的L襪O檔C遭O跨S隔剝離屆的早缺句點(diǎn)表惠面口有都較存大賴(lài)的溝不事平辜整炒度鳥(niǎo)唇嘴慈使沉實(shí)感際六有跨源創(chuàng)區(qū)揭面懶積愁減雪小高魯溫否氧餡化弊熱嘗應(yīng)波力躍也避會(huì)束對(duì)恥硅肅片沉造塞成李損鏡傷魔和線變狐形淺桂溝畢槽疼隔鮮離冊(cè)的秧優(yōu)手勢(shì)占阻用失的怒面母積潛小抽，狂有激利傻于括提深高殃集任成筐密調(diào)度不虎會(huì)歷形云成談鳥(niǎo)秧嘴用C楊V向D淀棉積憑絕竟緣架層徒從押而質(zhì)減夾少文了紛高替溫晃過(guò)顆程5僅2淺寫(xiě)溝拳槽置隔最離紙（S浴T轉(zhuǎn)I）光筍刻籃膠氮益化基硅（a）（b）（c）（d）5委3S本T靈I抑振制推窄山溝抽效灣應(yīng)5盡42、隆外膛延佛雙骨阱限工淡藝常斥規(guī)驅(qū)單羅阱C停M慰O摧S工伏藝扛，棉阱京區(qū)溜濃聲度墓較笛高秘，哥使廟阱信內(nèi)課的悅器溪件萍有盜較河大去的盟襯輸偏娃系膽數(shù)董和賣(mài)源愛(ài)、躲漏季區(qū)p牲n結(jié)狹電悄容采偏用棵外安延輕雙伍阱低工侮藝搭的神好逢處由膚于舞外蒼延看層弊電霜阻姻率閉很騰高租，懸可慰以闊分蠟別繡根劑據(jù)N床M徐O粉S和P爆M拋O框S性屋能粥優(yōu)砍化聯(lián)要年求奮選耳擇壓適刺當(dāng)金的n阱罰和p阱昆濃親度做抓在軌阱搜內(nèi)裹的閉器傻件蔬可察以稻減再少堂受挨到α粒岔子焦輻沾射蛋的鞏影示響外獅延畜襯吳底孔有壤助肉于銀抑傅制合體茶硅C藥M滲O懸S中嫂的張寄條生調(diào)閂萄鎖寨效瞞應(yīng)5突53溝督道暢區(qū)晶的攜逆師向挨摻醋雜連和濟(jì)環(huán)獨(dú)繞速摻謹(jǐn)雜菌結(jié)津構(gòu)溝夠道糟摻鄭雜亞原雹子乒數(shù)止的篩隨匯機(jī)熟漲政落儲(chǔ)引漿起既器犯件劈燕閾候值塑電你壓航參洪數(shù)旬起搖伏鴨，雕因秀此閑希咸望稼溝先道蓄表禍面莊低功摻張雜銹；后體忌內(nèi)霧需標(biāo)要副高茫摻桂雜坦抑恢制乒穿到通睜電震流逆袍向隙摻筒雜譽(yù)技移術(shù)代利暈用遵縱轎向旋非攔均略勻診襯去底祝摻饅雜劉，繭抑峽制關(guān)短敘溝秧穿括通行電裁流環(huán)憶繞沾摻遞雜百技矩術(shù)溝利執(zhí)用么橫含向剃非亡均惡勻沖摻蘆雜丘，夠在竹源膀漏怕區(qū)刻形豬成濁局傲部板高蒼摻演雜清區(qū)5晝6逆鳳向巾?yè)嚼s逆嘉向磚摻溝雜泥雜枝質(zhì)誼分茅布0聚.寧2魚(yú)5膀u暑m工狼藝1以0次0個(gè)N閣M洪O適S器奔件緒閾氧值章電竊壓猶統(tǒng)澡計(jì)止結(jié)陰果器尼件虛閾鏡值聯(lián)分脆布佩的隙標(biāo)稈準(zhǔn)袋差邀減順小5各7逆皇向內(nèi)摻盞雜竿：D竹e融l帆t紛a溝濱道孟技簽術(shù)P山M奧O確S溝主道塑區(qū)A陵s離誘子弱注仇入N改M煎O日S注適硼射，橡硼絹的偵氧機(jī)化納增狹強(qiáng)紛擴(kuò)板散須效疫應(yīng)銅影曾響砍雜廳質(zhì)落分概布D臨e駐l廊t噴a溝疏道猜技點(diǎn)術(shù)仔可連以仆獲航得另較乓陡筐峭得的膝縱到向率低浙－從高董摻坦雜大分茂布5普8橫相向尼溝圣道翅工鬧程欠：H好A甩L躬O摻互雜駐結(jié)畏構(gòu)橫溜向在高月?lián)阶铍s而區(qū)片可恐以市抑指制膝源挨漏p削n結(jié)設(shè)耗香盡公區(qū)腫向哨溝技道委內(nèi)敵的僵擴(kuò)腸展南，牽減霜小侄短廊溝倡效屈應(yīng)H潤(rùn)a飲l帥o結(jié)薦構(gòu)伯可謀以燈利棋用膊大網(wǎng)角吊度污注查入喇實(shí)皂現(xiàn)5厲9橫朱向啄溝繞道惕工傻程眠：P化O透C慕K襯E科T摻妥雜輪結(jié)劑構(gòu)6鐵04、n＋事、p＋踢兩諸種勻硅摸柵在C適M庫(kù)O炭S電栽路池中鬧希昆望N亡M艘O利S和P軋M砌O捧S的足性公能久對(duì)籮稱(chēng)，免這乓樣賓有籠利蒼于桂獲析得志最拋佳威電蘭路冬性駛能使N脈M舒O京S和P邀M弱O僚S性妙能輛對(duì)璃稱(chēng)婆很撿重明要炒的杯一唉點(diǎn)吳是勁使杜它憂們挨的閾烘值船電矮壓躁絕只對(duì)佩值歉基制本共相闊同在夏同題樣忘條渣件沾下唐，搏如魂果N糊M守O侍S和P滋M毛O蠢S都多選鵝用n墻+硅倒柵剪，涼則P帥M州O明S的乖負(fù)嚇閾偏值嘉電必壓安絕獄對(duì)財(cái)值魂要這比N治M賓O驕S的銅閾求值冤電鴉壓盡大縮慧很掛多P譯M貧O軌S采室用p＋坑硅壟柵肝減暫小騰其狂閾拴值濾電陵壓墓的群絕目對(duì)孕值挽，隱從醒而漂獲呆得噸和N域M樓O舞S采川用n＋定硅代柵悄對(duì)臟稱(chēng)誤的纖性州能6視15、S巾D躍E結(jié)愿構(gòu)減厲小閑源補(bǔ)漏女區(qū)狗結(jié)橫深筆有勺利旺于容抑值制野短練溝決效使應(yīng)客。問(wèn)訪題伏：簡(jiǎn)姻單古地哈減以小懲源麻、承漏碧區(qū)澤結(jié)墓深朝將跟使照源絞、膛漏岔區(qū)州寄稻生屠電版阻換增唇大緣瑞造兼成M裹O記S晶肌體拿管匯性種能塔退該化!解重決徹辦焰法產(chǎn)：使喝用S軟D睡E結(jié)喪構(gòu)崗，境在鍛溝充道頁(yè)兩憤端害形逗成可極磨淺軟的偵源株、階漏滴延挖伸妙區(qū)。6贈(zèng)2S箏D路E結(jié)桶深暫減星小哄趨嘩勢(shì)6卷36、懶硅酸化芒物決自莖對(duì)伏準(zhǔn)編結(jié)印構(gòu)在齡柵充極弦兩讀側(cè)膀形抬成泡一線定茫厚寧度柜的史氧付化蘭硅派或病氮刮化帳硅倉(cāng)側(cè)場(chǎng)墻例，行然再后哨淀駁積論難厭熔紐奉金船屬賄并民和尿硅保反栗應(yīng)歪形邀成駕硅練化咸物作貝用壘：減滅小偷多闊晶虜硅溜線紀(jì)和讓源間、巴漏兄區(qū)飲的容寄品生民電善阻姻；裝減柄小原金元屬濃連職線有與糕源大、劇漏懷區(qū)逃引紡線破孔西的簽接膠觸喚電概阻硅染化葉物賊同什時(shí)捉淀絲式積愉在粥柵塵電限極折上斜和彩暴洗露罵的炭源碼、衡漏貍區(qū)顫上攔，因奔此琴是系自天對(duì)美準(zhǔn)箱結(jié)接構(gòu)6呆47、濕銅愈互令連銅哭比娛鋁政的銷(xiāo)電順阻序率窗低4好0％倦左恒右革。舅用僻銅喉互陡連扶代鴨替褲鋁螞互琴連瞇可釋以鞭顯省著啄減糠小絮互魂連靈線集的摘寄區(qū)生羨電猛阻舉從懼而夠減聞小埋互呆連鋼線撤的R書(shū)C延夸遲銅鄉(xiāng)豐易爽于搬擴(kuò)捷散孩到擋硅歲中姜，承會(huì)蛙影畜響其器憶件價(jià)性富能裕；施銅脂還行會(huì)敘對(duì)沈加愉工李設(shè)啦備縱造推成讀污饑染館，體因照此貌銅等互礦連作不丑能綱用萬(wàn)常撕規(guī)越的咸淀津積巡壽和孝干蕩法霜刻掀蝕李方證法掘形無(wú)成銅根互嫁連搞技扁術(shù)蕩特韻點(diǎn)風(fēng)：顯稠著峰減泊小漿互口連桌線得的亮寄魂生友電半阻與腸低k介播質(zhì)猜材徑料陰結(jié)愉合呆減熊小蒜寄媽生怕電泥容堂，饑提溝高引電皮路際性店能需劃要辟特搞殊繞的臺(tái)工韻藝聲技體術(shù)扇：“鑲烤嵌”（季大臉馬甚士敞革膠）續(xù)技督術(shù)江和臣化而學(xué)斗機(jī)把械泰拋寄光徹技變術(shù)6訴5常壯規(guī)菊互柿連啊和辨鑲螞嵌綢工蘇藝悄比童較氧楚化旗層光桐刻秒膠金溝屬6未6采吳用您銅最互騰連往可解以五減梁少捷連既線助層鴿數(shù)6壤7先仙進(jìn)恰深塊亞增微前米C躬M患O雪S工仙藝秘過(guò)谷程6荒8先偏進(jìn)樓深棄亞冊(cè)微們米C恩M如O阿S工惰藝平過(guò)掠程咱（甲續(xù)習(xí)）6著99賀0腰n術(shù)m嘗C布M大O副S技牧術(shù)還平色臺(tái)腥的稅主迎要謙指開(kāi)標(biāo)參數(shù)一般器件低功耗器件低閾值常規(guī)閾值低閾值常規(guī)閾值電源電壓VDD(V)1.01.01.21.2LG≤70≤90Tox(nm)1.62.1NMOSIon(uA/um)640520540415NMOSIoff(nA/um)1010.40.01NMOSJG(A/cm2)20.005PMOSIon(uA/um)280215250170PMOSIoff(nA/um)1010.40.01PMOSJG(A/cm2)10.002第6章C芳M懶O曬S集厭成益電喂路蜜制巡壽造單工光藝6珍.陽(yáng)1耕C泰M行O纏S工盯藝6統(tǒng).榜2竭C魄M屠O蘭S版該圖蘇設(shè)懶計(jì)6怠.畜3冰S丑O溫I工調(diào)藝7尼1違蕉背束版潔圖吵設(shè)鵲計(jì)手規(guī)擴(kuò)則偶的亦結(jié)夢(mèng)果6改.興2染C鬼M肉O陶S版鈴圖欄設(shè)夕計(jì)版坦圖走設(shè)絨計(jì)緞規(guī)速則墳代犬表天了坊一湊種稈容斧差題要跌求鴉，議這自種獎(jiǎng)容購(gòu)差五要滔求買(mǎi)可聯(lián)保志證藝最捕高塞的詠成藝品輛率銳。(吊1街)以λ為露單勉位論的能設(shè)襯計(jì)蔽規(guī)撓則版核圖磚設(shè)巡壽計(jì)貍中亮各健種明幾堵何寬尺局寸翼限比制寇約瞞定團(tuán)為λ的郵倍蒼數(shù)；根愈據(jù)擔(dān)不貪同壇的釣工靈藝皆分隙辨赤率丙，齒給膊出巾相圍容半的λ值；版睬圖怕設(shè)拳計(jì)隔可事以離獨(dú)伯立絲式于肚工遮藝氧和蠢實(shí)贏際登尺編寸。圖形層次設(shè)計(jì)規(guī)則內(nèi)容幾何尺寸要求n阱NW1－最小寬度10λNW2.1－等電位n阱最小間距6λNW2.2－不等電位n阱最小間距9λ有源區(qū)AA1－最小寬度3λAA2－最小間距3λAA3－n阱內(nèi)p+有源區(qū)到n阱邊界最小間距5λAA4－n阱外n+有源區(qū)與n阱最小間距5λ6菊.鈔2編C圣M嫂O國(guó)S版紹圖袍設(shè)答計(jì)(懇1社)以λ為總單寄位錯(cuò)的銜設(shè)飼計(jì)構(gòu)規(guī)禾則圖形層次設(shè)計(jì)規(guī)則內(nèi)容幾何尺寸要求多晶硅GT1－最小寬度2λGT2－最小間距2λGT3－伸出有源區(qū)外的最小長(zhǎng)度2λGT4－硅柵到有源區(qū)邊界的最小距離3λGT5－與有源區(qū)的最小外間距1λ注入框SN1－最小寬度5λSN2－最小間距2λSN3－對(duì)有源區(qū)的最小覆蓋2λ接觸孔CT1×CT1－最小接觸孔面積2λ×2λCT2－最小間距2λCT3－有源區(qū)或多晶硅對(duì)接觸孔的最小覆蓋1.5λCT4－有源區(qū)接觸孔到多晶硅柵的最小間距2λCT5－多晶硅接觸孔到有源區(qū)的最小間距2λCT6－金屬對(duì)接觸孔的最小覆蓋1λ金屬M(fèi)1－最小線寬3λM2－最小間距3λ6烘.叢2捎C古M遼O底S版共圖戴設(shè)胖計(jì)(欄2誓)以編微包米東為骨單奇位霸的阿設(shè)厘計(jì)繞規(guī)模則每卻個(gè)陜尺帆寸丹之昂間挺沒(méi)摘有似必稠然肥的峰比警例紫關(guān)融系俯，凈各旁尺塑寸知之緊間期可倍以膊獨(dú)是立渴選盛擇；靈員活條性癥大過(guò)，丙針億對(duì)營(yíng)性低強(qiáng)；通隸用誦性凱差。圖形層次設(shè)計(jì)規(guī)則內(nèi)容幾何尺寸要求n阱NW1－最小寬度0.6μmNW2－等電位n阱最小間距0.6μmNW3－不等電位n阱最小間距1.2μm有源區(qū)AA1－最小寬度0.15μmAA2－最小間距0.2μmAA3－n阱內(nèi)p+有源區(qū)到阱邊界最小間距0.3μmAA4－n阱外n+有源區(qū)與阱最小間距0.3μmAA5－n阱至阱外p+區(qū)的最小間隔0.3μmAA6－n阱至阱外n+區(qū)的最小間隔0.3μm6只.申2即C哀M訊O貼S版錄圖哥設(shè)因計(jì)(汗2檔)以師微庸米印為牽單障位狡的刻設(shè)豎計(jì)席規(guī)效則圖形層次設(shè)計(jì)規(guī)則內(nèi)容幾何尺寸要求多晶硅GT1－最小寬度0.13μmGT2－最小間距0.18μmGT3－伸出有源區(qū)外的最小長(zhǎng)度0.18μmGT4－有源區(qū)外多晶硅與有源區(qū)邊界的最小距離0.25μmGT5－有源區(qū)上多晶硅與有源區(qū)邊界的最小距離0.20μmGT6－與有源區(qū)的最小外間距0.07μm注入框SN1－最小寬度0.3μmSN2－最小間距0.3μmSN3－對(duì)有源區(qū)的最小覆蓋0.18μm接觸孔CT1×CT1－最小面積0.16μm×0.16μmCT2－最小間距0.18μmCT3－有源區(qū)或多晶硅對(duì)接觸孔的最小覆蓋0.07μmCT4－有源區(qū)接觸孔到多晶硅柵的最小間距0.1μmCT5－多晶硅接觸孔到有源區(qū)的最小間距0.15μmCT6－金屬對(duì)接觸孔的最小覆蓋0.05μm6眨.燒2遣C澇M走O敢S版?zhèn)葓D額設(shè)加計(jì)(旅2裝)以隆微解米闖為喇單劣位揭的濫設(shè)臨計(jì)龍規(guī)蠟則圖形層次設(shè)計(jì)規(guī)則內(nèi)容幾何尺寸要求金屬M(fèi)n1－最小線寬0.16μmMn2－最小間距0.18μm通孔Vn1×Vn1－最小面積0.18μm×0.18μmVn2－最小間距0.2μmVn3－金屬對(duì)通孔的最小覆蓋0.05μm壓焊塊PA1－最小面積60μm×60μmPA2－最小間距90μm6炭.并2攪C圣M狂O曲S版士圖儀設(shè)綿計(jì)6銜.興2配C斷M吉O懶S版攔圖尼設(shè)就計(jì)四碰輸暑入島與刺門(mén)居版毛圖脂與圖版脆圖倆設(shè)恨計(jì)刪規(guī)毒則齊所蘋(píng)對(duì)百應(yīng)肆的啄相劃關(guān)棍尺杏寸版撫圖摧設(shè)狠計(jì)胃完貪成流后艘，盆需痰要年進(jìn)嗽行皇設(shè)指計(jì)集規(guī)圖則撇檢優(yōu)查(真D途e肺s弄i蛙g煮n圍R謎u瞎l狠e創(chuàng)C臨h棋e(cuò)糟c按k，D園R炮C泥)。第6章C奸M棗O它S集農(nóng)成動(dòng)電哈路撈制高造宣工奸藝6談.異1抱C術(shù)M村O怖S工根藝6菊.縣2蜂C獄M究O項(xiàng)S版諷圖抱設(shè)繡計(jì)6析.爬3超S泳O柳I工圖藝8練02回.糟3聽(tīng).叛2漆S冒O德I笛C厭M庸O漸S基撤本央工嘉藝S描O鏡I結(jié)內(nèi)構(gòu)S當(dāng)O醉I工投藝S漆O未I優(yōu)達(dá)點(diǎn)8疤1S腥O項(xiàng)I脹C已M寺O葡S結(jié)匆構(gòu)1崗.體水區(qū)手和喂襯著底漢隔囑離肚。冠體去電把位轟是徹浮喚空童會(huì)嫁引灑起臺(tái)浮撇體星效萍應(yīng)儀。蛛需叢專(zhuān)拿門(mén)影設(shè)慕計(jì)碌體筆區(qū)真的褲引尤出戰(zhàn)端喇。2隆.襯株底以相潤(rùn)對(duì)偉溝卵道吧區(qū)潛也背相獨(dú)當(dāng)段于才一居個(gè)M怠O籠S結(jié)爸構(gòu)圈，亂因脫此稈也薄把S詢(xún)O脆I報(bào)M稱(chēng)O天S舞F肆E莫T的晶襯欄底圓又確叫岡做容背膊柵,是杯五希端殿器述件汁。8近2S交O晉I寄M拒O鴿S崖F踐E萄T的援性除能厚仗膜坡器橋件t葡s佳i抗>胖2苦xd喪m。視背堵柵組對(duì)M夫O璃S權(quán)F遷E弓T性誕能之基鄙本辭沒(méi)富有厘影席響訂，和市體州硅M嚷O頁(yè)S器登件肢基搞本壯相筆同薄隱膜抽器闊件t昌s故i依<蛇xd劣m。服在幸柵禽電煉壓絡(luò)的鐵作襲用鉛下班可軋以翼使搭頂窗層限硅藥膜荷全薪部杰耗嶄盡可便以槍通厘過(guò)儲(chǔ)減乒薄據(jù)硅那膜五抑筆制窩短期溝貞道攀效正應(yīng)8稠3形瞧成S現(xiàn)O蠶I硅近片助的漠基姑本飾工額藝(樹(shù)1想)注逐氧仇隔勒離誦技伐術(shù)女（S培I赴M嘗O確X）通士過(guò)舞高糧能輝量稈、甩大恐劑伴量蹄注接氧恥在私硅類(lèi)中麗形租成華埋廚氧窄化虧層.O狀+的甜劑橡量幟在1悠.館8暑×古1岔01訓(xùn)8c幅m-鍋2左乎右運(yùn)；能斜量~葬2頁(yè)0侵0樸k鼻e本v埋有氧己化撞層糠把便原晚始奏硅梨片偏分語(yǔ)成2部燥分謹(jǐn)，物上恭面碗的磨薄片層游硅悶用妹來(lái)甘做性器戒件送，鈴下掌面熔是吐硅沾襯挎底8潔4形販成S重O坦I硅估片鑼的悔基孔本賢工蘿藝(震2渾)鍵如合石減施薄偏技億術(shù)弱（B葬E）把2個(gè)斤生蒼長(zhǎng)圍了環(huán)氧零化鞏層武的市硅梁片駛鍵削合腿在韻一彩起奧，譜兩擋個(gè)彎氧游化濾層每通逆過(guò)母鍵拒合紅粘撫在禽一山起并成逐為執(zhí)埋拜氧展化板層其裁中尖一途個(gè)綱硅裹片搞腐腔蝕燭拋侵光駐減諷薄隙成唱為薄做脹器息件硬的圖薄侵硅嚇膜頌，堪另故一銅個(gè)末硅暖片偵作乓為魔支漠撐桿的桐襯怠底8桂5形霞成S吹O能I硅萄片借的呢基異本屑工動(dòng)藝(托3非)智餓能助剝兵離揉技群術(shù)碗（s斬m足a省r松t埋c鄰u揭t）解執(zhí)決侮了溉如草何林用輩鍵持合考技先術(shù)湊形幻玉成餐薄鐘膜S貝O瓶I材版料可妻以子形質(zhì)成我高閣質(zhì)曠量野的阿薄杰硅提膜S但O晶I材叢料8得68墓7基羨于中臺(tái)駝面涂隔等離位的S障O涂I皆C獵M朗O銜S基捎本話工報(bào)藝節(jié)流津程8梢88構(gòu)9S伍O進(jìn)I饑C標(biāo)M酷O供S的販優(yōu)賊越晝性每猜個(gè)剖器茅件燈都終被纏氧座化瞧層無(wú)包師圍繁，憑完疏全兵與知周找圍蛛的洽器鞋件掘隔污離奮，炸從節(jié)根喝本覆上近消癢除蚊了芳閂腳鎖和效餐應(yīng)蹲；減標(biāo)小黎了p摔n結(jié)宴電繩容墨和懂互理連登線臘寄更生癢電炮容不啄用揀做繁阱礦，紐奉簡(jiǎn)辯化黑工壘藝當(dāng)，退減臉小匹面咽積極麗大請(qǐng)減咐小薄了洗源滑、腥漏刷區(qū)p削n結(jié)場(chǎng)面陜積儀，稠從肉而柿減種小圖了p侄n結(jié)搬泄舅漏辱電懲流有齊利營(yíng)于爬抑屈制猛短騾溝糞效稿應(yīng)蹲；有壯很崗好霧的話抗岸幅膚照蘆性蛾能撒；實(shí)么現(xiàn)四三誘維邊立符體蜜集鹽成幕。9說(shuō)0S代O蜻I技角術(shù)獄實(shí)端現(xiàn)迫三編維適立叨體墳集道成9元1S忍O(píng)每I辱C露M得O尺S反惜相店器練結(jié)事構(gòu)9創(chuàng)2S騰O縣I與燃體續(xù)硅C危M狗O傭S性鵝能帆比欺較9、轎靜較夜釘四磚無(wú)型鄰旨，拌荒慚居某舊訊業(yè)惡貧曬。肺。7絞月神-宿2擋37宮月疊-蚊2勤3S叢u低n等d止a脖y停,償J幕u鄉(xiāng)豐l斗y貍3撥0送,歷2矛0余2看31擺0、百雨秀中擇黃虜葉端樹(shù)冒，遵燈悲下惕白換頭荒人欲。險(xiǎn)。2恢0佩:戀1銳2太:劣1別12鋤0什:遵1尺2炎:吹1碼12淡0無(wú):星1名27昆/圍3賽0迅/載2抽0材2繪3掀8背:慨1咳2學(xué):方1歪1塌P交M1嬌1、貢以搞我燒獨(dú)箏沈蟻久叉，柿愧鈴君抬相都見(jiàn)縣頻煎。喪。7豈月盒-勻2鹿32雄0雄:供1若2僵:嘆1脆12先0軌:叢1名2J形u饞l兼-獅2犯33終0付-兩J怪u程l客-誼2皺31墨2、革故稅人昨江侍海擾別陸，召幾跑度洲隔導(dǎo)山撤川腹。尸。2常0閣:殃1錘2耽:晨1跑12勞0弦:兩1旋2燃:跟1鐘12即0館:壺1豪2S博u狗n游d站a覽y棵,峽J上u乎l冬y獨(dú)3抵0壟,虎2掠0醒2司31漿3、磨乍辭見(jiàn)抖翻撲疑摩夢(mèng)鞠，役相江悲朱各稻問(wèn)紫年滔。針。7柴月零-鴨2詳37悲月偽-映2饒32允0斯:麗1淚2裁:暈1飯12燦0揉:和1機(jī)2但:扒1哨1J擴(kuò)u隙l末y壁3致0厭,循2堅(jiān)0秧2景31汁4、殼他悲鄉(xiāng)援生躁白型發(fā)然，贏舊塞國(guó)喇見(jiàn)妖青錦山亞。禁。3愿0勿七鑼月填2欲0榨2酒38童:貍1信2怠:他1攏1堡下紡午2英0祝:曠1揭2蹤蝶:扁1免17障月鉗-珍2予31兵5、炮比寸不怖了術(shù)得敵就蘋(píng)不憲比根，軍得較不五到痛的韻就鈔不灑要去。遼。。七拜月隸2恩38鴨:尿1勤2呆下織午7斯月直-弓2異32擦0高:戰(zhàn)1置2J繼u陸l劇y脾3鳥(niǎo)0哈,閱2謹(jǐn)0熊2萌31廁6、灑行呈動(dòng)紗出冊(cè)成窩果洽，化工凳作燈出頓財(cái)擔(dān)富執(zhí)。姐。2進(jìn)0楊2崖3班/娃7剃/彈3蔽0爐2塘0橫:齊1安2域:貴1監(jiān)12悼0禾:傘1衫2瞎:比1蠅13裙0垃J妻u具l抵y誘2營(yíng)0牧2詢(xún)31婦7、從做飼前法，麻能疏夠雹環(huán)身視朗四食周姨；竄做恢時(shí)隙，懲你尖只刊能悶或雹者叢最溝好俊沿金著狗以作腳小為洗起淹點(diǎn)段的癢射蛾線煙向腿前砍。尿。8捕:鵝1善2屆:亡1弓1孫下套午8放:躍1剪2直下畏午2漫0里:糟1百2活:假1敗17朵月頭-付2白39、爬沒(méi)蹄有撥失惰敗豪，結(jié)只例有忍暫縣時(shí)臺(tái)停租止捕成栽功濤！魂。7邊月綿-票2棉37旋月峽-公2吵3S察u語(yǔ)n恐d拾a螺y翅,紹J鍛u率l兔y窯3翁0名,菜2除0勉2荒31樂(lè)0、眨很嚷多尤事燈情蹲努崗力坐了蹤蝶未習(xí)必璃有而結(jié)尤果忘，既但圈是腐不住努喝力賠卻廁什診么評(píng)改蠟變林也脅沒(méi)膝有萄。米。2央0狼:找1遠(yuǎn)2胞:蜓1遠(yuǎn)12桑0縣:蛛1糊2帶:在1曬12蛾0叉:號(hào)1候27婆/蘆3賢0擔(dān)/間2請(qǐng)0騎2舊3疊8澤:瀉1宋2姑:分1蘿1帥P瓜M1鉗1、堪成韻功傲就踐是蔥日理復(fù)絹一禍日梢那糞一璃點(diǎn)破點(diǎn)令小企小柏努裙力擱的報(bào)積梳累澆。號(hào)。7喘月則-蠻2勇32真0廊:尊1爐2妙:抬1久12罰0期:訴1輝2J邀u詞l仗-深2泳33某0川-肉J兆u(yù)敏l聰-私2些31裁2、兩世算間容成庭事搜，憑不沿求城其偏絕撕對(duì)喂圓鋪滿(mǎn)娛，翻留膝一很份只不垮足踏，蟻可藝得居無(wú)府限狹完野美偷。絕。2方0程:面1齊2膚:娛1買(mǎi)12憑0壞:躺1聰2夾:旦1侵12融0鋸:遮1辱2S惜u梢n敬d蚊a代y獻(xiàn),擇J市u錦l從y英3趕0庫(kù),演2廢0誤2箭31愉3、敢不朵知憤香剪積嗽寺悄，獸數(shù)刺里糕入挽云僻峰桐。但。7棕月婆-丟2不37唐月種-減2贏32材0鉛:嗚1燙2胸:很1命12惰0炊:顏1涼2慢:亡1的1J橫u葛l論y洗3厘0燙,愛(ài)2境0泡2撈31賀4、烘意零志劍堅(jiān)繳強(qiáng)青的務(wù)人糊能冰把星世霜界驕放底在佛手危中衣像拜泥去塊鎮(zhèn)一靜樣救任刃意挽揉即捏尤。3裙0屢七龍?jiān)履?蟻0述2法38艘:嶺1治2終:春1勻1舌下止午2夏0膛:朵1馳2繭:嚴(yán)1階17拌月妨-蕉2宏31帶5、舒楚影塞賺三寸湘質(zhì)接費(fèi)，霉荊懶門(mén)漁九要派敵通虧。豈。。七舍月播2摘38諸:科1犯2廊下停午