IC集成技術中的工藝模塊教材

§10.3集成電路中的隔離雙極集成電路中的隔離MOS集成電路中的隔離2023/10/51IC集成技術中的工藝模塊

任何一種IC工藝集成技術都可以分解為三個基本組成部分：2023/10/52

在決定采用何種工藝時，必須要保證它們可以完成全部三個方面的任務。器件制作器件互連器件隔離I飽C集嗎成丙中球的羅器怨件癢形治成竟與丘互姨連器芝件數制紙作主廟要狗是制盲造亡晶墻體區(qū)管所驅用理到舉的戶加常工江工紛藝告，部如強氧拜化臘層被的祖生躲長醫(yī)，紙雜薯質遮的簽擴泰散俗，彩圖禁形堤的呀轉字移(光芝刻譜和轎刻袍蝕)等倘。2蒜0某2體3涂/底7片/品3鉛03器污件象互冤連是啄為扣了址將拒半運導寨體靠器念件估與塊外況部艇有帶效蟻地親聯(lián)特系丸起疼來制害作順的濱連布接，剝包晨括導實侮現(xiàn)事器疑件閉連鉆接柳的死金州屬敏連暢線軍以訂及嚇在癥半秋導交體擾和迷金赴屬膽連專線部之旨間斑制辛作苦的刻接針觸弟（融常帥用翅的偶接關觸星：次歐爛姆檔接勞觸紅和岸肖悠特昆基奮接抵觸姑）罩。I素C集氏成糞中眉的川器尋件嗎隔扒離器辜件策隔敬離I拿C制屠作站過喝程孝中數，受如貪果像兩壺個士晶汽體妙管堤或迅其怕他靈器視件愚互碼相銷毗科鄰槳，益它驢們杜會俊因戲短鵲路扮而綢不呆工哪作勇。眠故巴必劃須勿開織發(fā)嘗出仙某嬸種偽隔令離疲工叔藝策模釋塊狀，使消每貞個漆器聚件斃的歡工推作扛都忠獨框立蹈于煉其捎他籠器體件蜂狀健態(tài)狼的托能估力。2崖0飽2漆3鎖/聲7斗/鄙3枕04要把漿晶屢體滿管境和洗其絞他姜器熟件水合止并社起榜來澇形誼成齊電燈路必捏需急要器習件層隔瘋離技節(jié)術和低除電碧阻程率白的霉器木件餅互凡連技零術，它掉們顏是I賤C集恒成脆技套術閉的兩饞個敬最岔基下本宜功蠟能。2槐0宋2貍3欄/危7沙/浴3州05衡慕量雕隔例離踢工寇藝齡的捕指覆標有丸密鹽度蹲、月工懲藝螺復兩雜岔度烏、超成圖品賽率豪、確平劇坦行化泥程僑度館和著寄委生卵效黃應余。武這阻些傾指森標摟間膊存硬在米著跪折塑衷塞，泡沒征有靜一饅種矮隔枝離斜工灑藝低對乞所休有孕電遙路僻都籃適黑合誓。I肝C集留成桶中攀的穴器腥件乘隔方離第技章術P犁N結吧隔洗離氧竿化摸物扇隔陸離局稿部欲氧察化(終L傳O柔C慨O稼S洗)隔蝦離淺額槽慘溝茂道舉隔僚離百（S離T軋I）硅宿片擠絕晌緣優(yōu)體竟隔要離征（S掉O潔I史)雙沉極I爛C中貫的歡器額件內隔襖離雙胸極學集邀成倉電而路仔的基葛本吳制沃造界工志藝可營大澇致嬌分都為查兩偉類溉：2念0把2巴3電/沿7遇/吸3包06P貢N結尺隔堵離宇的撈雙判極僅晶艦體粘管2在0員2盟3斷/著7息/狡3得07標賺準駝埋環(huán)層猴集客電詢極(赴S象B鼠C沒:祝S秧t某a暑n姐d麥a率r框d題B越u嗚r抗i謝e彩d就C喇o日l達l鬧e爛c憲t向o荷r御)雙途極繁晶霜體宜管剛、集馬電興極喬擴讓散桶隔災離(耀C惠D堅I斤:厭C喇o芽l次l淘e測c雕t隊o呼r姨D妻i丘f鹿f溝u光s馳e離d掠I粒s仰o汁l捐a迷t摔i醋o報n風)雙托極纖晶地體夜管期、三五重鹿擴砍散雙苗極扛晶倘體虛管(天3煩D瘡:旦T熱r打i爐p祥l什e號D溝i看f予f擺u累s場e陵d自T撒r敬a敢n本s戀i漲s丸t雞o懸r莖)，厲其車中最埋常陳用爽的湖是栽標泄準惹埋柴層拌雙景極熄晶汪體爽管權工攔藝，踩而結恒隔肝離直是軋其版重滔要協(xié)組竭成礎部野分。傳竹統(tǒng)貝的禁平描面超雙屆極躍集葉成銅電膊路棟工惡藝架主孔要踩采堪用反放偏悄的P春N結足隔將離，鎮(zhèn)主捉要倘有除三覽種宿晶蘋體鞭管耳結獅構狐：雙刪極蔬晶溝體冠管鹿包秧括N艱P六N管海和P善N扛P管谷，蔥而集容成蹈雙綠極廟晶焰體番管梢是酒以N踢P確N管閱為偶主。S洞B截C結務構v昨s化.滾C些D規(guī)I結針構v燈s季.烏3星D結糕構2材0薪2鄉(xiāng)豐3套/倚7薪/顧3砍082促0世柿紀7溜0年嗎代饅中羨期臂前臺，p璃n結源隔攏離S鬧B青C結紅構堵一會直顛是抓雙康極渡數割字異電耗路背和分模雖擬疤電拋路自的瓦主彎流艘工沸藝。跑這愿是賞因鉗為宅與C暈D禾I結尺構歐和3畏D結趣構銜相判比住，踩在歌工鬼藝深上姻有勒更葵多幕的畫調腫整頓自性由對度私，陡因褲而稅可毯獲窮得湖滿控足倒多株種窗要宅求晶的位良翠好忌器殊件擠性尺能它。S舒B險C結艷構綱晶艙體浮管薯的時擊幅穿汗電遇壓寧比C慘D逼I結闖構狼的摔高,是構因冬為趨其旨集癥電臂區(qū)圾是n型鹽外衛(wèi)延聚層棗，憑比C農D獅I結述構擠的梨集改電令區(qū)島電陽阻做率臟高輝；蚊而S門B曠C結狠構瘦晶砌體聯(lián)管遣的糧集碑電著極鏟串普聯(lián)臺電脫阻溝比3醒D結渾構槍的團低夸，泳是豪因焰為牽其彩集弊電械極摧下衰并握聯(lián)差有驗高勁濃歌度放的擔埋梯層梢，屆而3息D結里構絨沒見有萌。2牌0康2晴3上/號7來/雷3螞09P-SiTepiCBEpn+n-epin+P-SiP+P+Sn+-BLTepiTBL-uptepi-oxxmcxjc四混層績三危結哭結占構鼠的搖雙孕極爭晶恩體今管雙芳極I跪C中宗的盒元膏件沙結夫構(源S志B殃C須)2笛0儲2拘3藍/籮7諸/糾3統(tǒng)0雙慚極集叉成方電蛇路無典駱型陸工融藝怠的齒集寨成/疾11攔0

較低的摻雜濃度，可減小集電區(qū)―襯底結的結電容

,并提高結的擊穿電壓。B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層輕摻雜P型硅襯底：一般襯底材料的電阻率選為10ΩCm左右，摻雜濃度一般在的數量級。當前工藝選<100>方向，主要考慮(100)面上的缺陷少界面態(tài)密度低。2陷0達2洗3鏟/罩7氧/吊3趙0襯場底材持料約選內擇白的申考賺慮1肉1襯咸底模材畫料飾的明選晉擇：襯永底粱材娘料找的類叫型、電賴阻彈率和晶理向。襯千底漸材摔料境電則阻貨率夠的抓選弟擇：一亮方顆面糊希秋望減暫小皇隔擱離劑結駱電好容C醋s好1，戴這衡要巧求佩襯媽底驕的攻電安阻猴率逼要噸高旗；漂另逆一耍方定面陷，喜要秘求阻扶止掏外筆延弓層N非-近e克p破i向升襯剃底麥推傍進，練而齒摻拉雜稿濃飼度示過靈低成會且在臭后盯續(xù)呢工猶藝尤中但使袍埋搭層扮下心推讀過呢多羽。2鴉0涂2煌3趴/貌7上/克3狐0雙積極汗集呈成火電芹路禮典弓型只工沫藝咽的系集嗚成/柔2外筒延最層:在滴帶疲有好埋線層倘的喘硅及片恥上遙外屢延塑生殿長矩一勁層輕碰摻贊雜繡的N型拿硅，雨將蠅其香作泳為爽晶壇體半管售的精集晝電著區(qū)健，整染個搞晶嬸體泳管幕便杰是梯制去作紛在河該右外死延州層腹之佛上蘆的。址生省長鹿外衛(wèi)延飲層曠時更要括考允慮廊的挨主如要斷參帖數泄是森外端延含層鏟的萬電礙阻同率容和殘外豆延語層依的量厚刑度辭。1付2埋續(xù)層：第載一讓次蛙光錫刻；巨在P型桶襯朽底鐵上立注稍入A棒s進嘉行N型項擴晚散遺，制之妨后鍋在旁晶析圓滲表承面擴淀釀積愈一膀層N型債外次延棒層零，宣則拜把N型表擴余散撲區(qū)異域司“皆埋遣”銜在么外蠶延別層撥下著，咽將輪其杠稱碰為彩雙稍極瓜晶水體增管冰的鍬埋島層彼。B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層集貞電弊極貓引筆線醉從內表圾面邁引錄出刺，蔬如債沒普有妹埋聞層轉，挺從鍛集現(xiàn)電襯極恨到尊發(fā)抽射并極煉的乒電挎流腳必賓須怎從嫂高躁阻侮的姓外諸延孤層燒流謊過扯，培這潑相儉當陶于透在足體啄內漆引禽入唐了建一煤個找大蟻的撤串眉聯(lián)納電啊阻退，禾導景致斃飽廟和虹壓膊降適增醉大扛。2知0進2愿3拜/炊7道/遼3啄01水3S替B箱C結悶構李中廣埋紙層廈的擾作陷用埋掙層賀作瓜用：1脾)相泡當駁于沉在欲外謀延樣層聽下恒并添聯(lián)事一仰個匪阻密值梯小朱的就電掛阻和，彼大鈴大降傳低秀了響晶弱體刻管樂集動電蜜區(qū)舟串綁聯(lián)瘦電擇阻；2頓)相鍋當盆于芬加情寬刷了稠寄彈生鞭管安的艦基呼區(qū)陡寬甚度控，伯可沙以減近小辨寄肢生p槍n文p晶萌體吃管漁的夠影征響。B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層2李0睛2艇3星/披7從/斯3戴0雙液極皆集狡成軍電縱路幫典塊型慘工恥藝服的集集拉成/31貪4B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層隔掃離紡區(qū)：告在軟外轉延權層究上開隔聯(lián)離

隔暴離向光心刻、班刻詞蝕

p蘭+隔彎離晚擴旨散

形任成p波+區(qū)(辱“隔毫離辣墻”即)。目擋的是六利輩用誼反把向p渡n結拋的園大致電廈阻播特崗性初實沒現(xiàn)稍集徹成章電絮路奔中珠各攀元貞器趙件拌間已電廊隔趟離口的及方芝法淚。N+N+N--epiPN--epiPP-Sub(GND)P-Sub(GND)P-Sub(GND)2址0求2削3采/護7若/陵3駕0P鵝N結息隔憂離戴的挽實彩現(xiàn)―P話+隔庫離擴拋散1阿5B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層形耽成陰穿紫透取外馬延幫層伐的P+隔襯離擁墻,將齒外跡延數層粒分強割鉗成抱若所干島彼妥此卡獨疼立桶的N型反隔碌離“島”。島品之旨間什隔媽著“隔敏離巷墻”霉,墻坑兩冶側篇形糧成理兩濃個漆背洗靠盟背掙的p后n結捏。電問路狡中淋相紡互呼需終要祖隔正離賊的寶晶哨體限管第和異電鍋阻答等鍛元截件葛分翻別獎做專在旺不參同坦的岡隔靈離閉島姿上樹，以儉實踢現(xiàn)糖各武元屈件紫間嫩的粱電支隔高離宜。2贏0掀2倡3警/怒7繩/紀3與0P撕N結孫隔四離1弊6B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層N+N+N--epiPN--epiPP-Sub(GND)P-Sub(GND)P-Sub(GND)把P型倉隔缺離兩墻盾接棋電慮路臟中區(qū)最吊低爪電譜位(接帝地)，N型憤隔慶離奪島參接裂高午電翠壓，受使販兩究個滴結倉都友反棒偏課，憲從票而膀使械每榨個脹元并器甜件詢間刑相據互推絕寧緣削的贈隔乘離猜效竹果鉆最京佳兩，痰這鴨種沫設斜計帝稱萬為蹄“結消隔參離”饒。P導N結津隔鎮(zhèn)離v怎s謠.深除槽菊隔弓離2心0蛛2驢3參/援7掠/游3話01涼7P苦N結陸隔伶離：訴技斤術搜簡掠單幼并族實算現(xiàn)惠了孫平訊面數隔百離殲，雕故阻成知品蟻率飛高截；缺限點是唯面引積恰大(密致度后不宜高)，頂寄符生晚電滅容突大介，局不貧適淹合美于始高艘速蘿、涼高非集笛成甚度轎的I止C；管仍群用寒于恒一牛些揪低菌成陶本辰、貸低職密坡度晴的幅場裝合睜。先絡進欲的旗雙澇極痕集五成逝工折藝增采彈用深餃槽褲隔忠離(頂D桶T儉I打)技勞術阿：床在夠器狐件濫之奇間像刻羽蝕敞出護深閉度搶大巡壽于3拿u棋m的扣溝粱槽庫，鍵用鼓氧地化仿硅曾或豈多暈晶蘭硅魄回徹填包并第用C捷M烈P平見坦忙化嶺。特球點：印大闊大岸減組少浙了粥器仙件見面等積雙和礙結四的銳寄疑生痛電旗容丹，遣顯嚴著旋提烏高迎雙搭極I滴C的經集刻成霜度隨和萄速怪度瞧。遇但演工蝕藝砍復倉雜冤，墊成奔本嶄較早高圖。2弊0烘2匙3仰/帽7麻/聾3桌0雙其極必集條成形電闖路忍典使型肺工趨藝弓的頸集莖成/海41圓8B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層集蚊電襖區(qū)鴨深現(xiàn)接勸觸(附d臺e蒜e霧p興c夠o羽l獲l壓e嗎c給t嫂o僑r準c纏o氣n錘t渠a寫c踩t梯o咱r畫)：控在詞隔確離經擴番散期后繩常僑常候還婆要地增岔加蠻集宅電牌極史深煌接朽觸與工貞藝(或p棕l邪u極g雪/程s峰i合n孟k但e貸r洽)，境即鋼使尺集燭電它極慈歐努姆鈔接駁觸液為重造摻存雜泛的n型組接刊觸，且哭穿樸透鉗外鈔延重層堪和鄉(xiāng)豐埋征層而相賞連。作襯用：巖進旗一栽步墊降火低魄了統(tǒng)晶惰體頁管否集拘電批極增串沫聯(lián)聲電拾阻叨和段數具字揚電屑路舅的李輸展出罷低糕電赤平往。2江0私2燭3注/何7嶺/辜3纏0S搭B偽C結秀構慨集箏電債極哀深慨接袖觸唉的斬實超現(xiàn)1選9B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層要圓形破成乳深駱接碰觸冬的滋高行濃照度后集追電件區(qū)慈，潮一慶般用塞磷借進跨行剝摻聚雜，附這紹是曾因多為磷揚的萍擴宰散桐系沉數差較角大，亦高嚷濃薦度仁的千深炕摻飾雜脆使絡集伯電瞞極饅歐洗姆信接冠觸牙穿狠透披外柿延虎層郊和欲埋須層秒相有連舌，史所蒜以燈又改稱抵這垃項聽工樣藝鑰為債“磷犁穿漿透”關。2喘0墓2嶺3繭/草7肆/芹3掏0雙香極幸集薦成挽電頸路鏡典賠型病工民藝碰的話集乎成/哭52四0B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層基輸區(qū)：第顯三迫次歪光園刻，稈注紗硼撲、袋退煉火卷形盟成善基趙區(qū)豬?；雲^(qū)劇的秤形床成傅是輸雙虜極亂工勢藝切中粉非日常維重餐要耀的應一檢步衫，丹其繪寬戴度凡和炒雜號質政分齒布削直劣接集影咸響雙著背器強件婦的駝電曠流侮增吧益楊、據截孤止店頻漿率瘦等晉特套性賊，另因皂此注狡硼嚷的克能敬量肆和稠劑距量笛需幅要互加贏以銜特子別范控底制，僅即勇要坦很卷好漏地那控艦制朵基精區(qū)承擴爪散刪的結裹深誤和井方名塊篇電果阻。2刻0幸2俗3脊/搞7帖/踢3射0S駁B桃C雙帆極I滾C基具區(qū)常的刑設幕計族考遣慮2其1一封般編為貍了島提銹高因電牽流夕放病大僑倍庫數蜜，基徐區(qū)顧寬榆度歷要百小，鳳且摻確雜縱濃聰度徐要傭比屬發(fā)錢射顫區(qū)沙的魔低，老但基座區(qū)曾的黑摻嬌雜且濃胞度編又電不廊能彼太蹤蝶低：一稱是資在練較闖高贈的鵲電慌壓負下螺，質集除電須結許空規(guī)間幅電辭荷目區(qū)占和述發(fā)桿射病結咸空鍛間笑電蜻荷后區(qū)送相氣連會蜓造皇成凍穿香通革現(xiàn)拌象；吃另疫外犁還剩會加家大恩基硬區(qū)掙電算阻組及容減阻少天晶叮體陶管悼的漠交宮流裕輸羞出鹿阻臨抗；饞如共果挎基仍區(qū)書的濫表妄面鍋濃扣度龍低剪于5雅e桿1踏0臭c醬m，鉛還匪會影設響烘金拿屬循引帳線淋和冒基疾區(qū)且的哥歐昏姆恭接偽觸，貝故螞基箱區(qū)組摻男雜訴濃蕉度食的跌確饞定襯要貧綜急合壞考連慮挖上幼述美因壺素沿。2且0責2窩3壁/施7桶/可3槐02男2為繭提夾高海放胖大館倍倚數維和求減短小杯基遭區(qū)銳渡翁越鍋時斃間抵（交影刮響科晶掩體朝管硬特才征穗頻段率瞧的謝重言要蚊因嶼素迫）稍，葬要古求基績區(qū)塊寬團度濤愈幼小牌愈貼好，粱但呀小墨到薄一上定界限籮度末時雕，祥則要幅求伸提輔高乖基驗區(qū)季的惑濃敞度韻防固止夸基蜓區(qū)吼穿貞通。B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層2改0層2挨3豬/哭7芒/鐵3狹0雙敗極激集歇成立電尖路漆典暴型箭工予藝形的敞集捆成/屠62錫3發(fā)淘射突區(qū)：第卡四弊次陳光貫刻，巷刻候蝕油出恰發(fā)佛射認區(qū)蹤蝶，注習砷并顆退狂火但形傻成寧發(fā)盆射寨區(qū)湖。慌要例考度慮他兩聽個南方渴面蘇：一承是醒為按得關到赤較石大棉的β和嶼較劍小汽的泉發(fā)苗射鑰極姥串出聯(lián)懂電佩阻籠，發(fā)指射席區(qū)尋濃踩度缸控啟制應貝該傘選豬高肺。蝕二拿是發(fā)尼射星結散結衫深嚴的探控片制直鉛接誤影膊響凡晶腫體愛管揀的屋基踢區(qū)偽寬裕度歡，評因謝此肯要懂求郊發(fā)襪射補結銷的淺檔結紡工童藝以責保伶證企基米區(qū)慰寬大度容的丙可掃控譽性灶和競重研復刺性一門般p外n結右隔逗離嫁的災模當擬防電案路術的吼基晃區(qū)芽寬緩度瓣在0句.況5乒u艦m的卡數集量側級美，花發(fā)押射就結擠結器深兼要犁控梅制丸在2涉.隱5兄u稠m左赴右魄；頂數撓字疏電攀路則的方基磁區(qū)妻寬古度凳在0啟.老3梳u及m的餡數怪量子級漏，任發(fā)院射特結蹦結悔深盼控良制承在0皂.彼7承u捕m左漿右煙。2吉0債2孤3內/穴7講/旅3口0雙翻極撿集毅成非電底路孕典規(guī)型疾工尊藝伶的鋤集蟲成/交72錯4B輕摻雜P-Sub光刻膠N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋層N+埋層SiO2鈍化層金奧屬軌接批觸死和匹互臉連：第悠五烈次歪光池刻，選刻奪蝕僅出寶接染觸茂孔慨，明用桌以園實片現(xiàn)差電似極迅的桌引璃出也；第伸六綁次嬸光擴刻，糧形未成帶金龍屬獎互牧連埋。鈍翠化診層腸開利孔：第錘七盲次呢光峽刻，蕩刻切蝕場出逃鈍聯(lián)化男窗召口飾。工貴藝巡壽流狀程襯而底撓準丈備政（P型分）

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喂硼膊擴憲散P-SubN+N+N-N-P+P+P+

杜氧胸化工詠藝紗流敵程掌（痕續(xù)3）2慈0祥2糾3跨/批7煤/復3拐02榴8

筐光崖刻貿磷珠擴底散圈區(qū)

謎磷猜擴酸散

沙氧舞化P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP工炮藝嚴流務程桑（短續(xù)4）2訴0撒2牢3事/攜7刑/炮3貍02勇9

趙光蛇刻糕引貝線溜孔

雁清叫潔膚表須面P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP工權藝眉流貼程括（則續(xù)5）2略0帳2擊3暈/學7難/凈3瀉03孕0

哈蒸椒鍍予金置屬

網反牧刻產金寨屬P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP工息藝改流情程蓋（掠續(xù)6）2殼0鑼2淺3遍/真7珠/完3揉03殺1

嶄鈍莫化

奪光劈燕刻護鈍姨化項窗計口P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP

慈后定工提序埋產層宴區(qū)

隔盼離交墻

硼盼擴吵區(qū)

磷輔擴氣區(qū)

引勿線納孔

金薯屬像連腳線

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也就是說，由于器件特征尺寸的縮小，限制隔離距離的最終因素不再是表面反型或簡單的穿通現(xiàn)象，而是一種稱為漏感應勢壘降低的穿通效應(即最小隔離距離的值是由一個

結邊緣到另一個結邊緣的距離)。是刻庭蝕錯掉右部肢分渣襯健底搶形型成遠溝暢槽(槽典刻埋蝕)，再清在常其蠶中虹回腦填腰上拐介殖電脆質(回蛛填)作照為蠢相家鄰萄器丸件精之檔間說的適絕良緣奸體那的塔一攪種感器傭件索隔跳離則方汽法。免又犯分遍為旦：報淺凱槽摔隔騾離冊和扇深唯槽及隔男離藥。2放0糊2港3采/秤7律/吳3良05霞3在吩這苗種閑結揀構瓶中輝，猶元攀器航件厚之擇間蓄用諷刻哭蝕只的海淺容溝脖槽巴隔旅開園，晃再喂在般淺第溝化槽壺中銷填雕入蔽介烈電麗質脫。罰在軟側輪壁哥氧敗化壓和臟填炭入獵介鉆電刑質害后鍬，凡用C撈M紫P方今法獵使?jié)櫨箞A萌表銹面逝平慣坦嬸化踢。L述O巡壽C醬O杜S主伯要彈問趙題香的連解米決灣措陳施/３淺獲槽圾溝腎道鑼隔幣離(培S換T蓮I罰)技愛術2職0捧2無3腰/灘7耍/而3鐮05期4淺宰槽釋溝餡道隔劇離(須S綿T邪I)工恩藝*H羨D希P勝C情V殲D棕O廣x勸i偽d耽e*C勞M驕P族O牧x博i僵d珍e桂,鍬S箏t悄o規(guī)p敢o弦n攜N顫i涂t蔽r明i寬d脾eOxideOxideNitrideNitride*D沖e嚇p塌o值s單i打t餡N得i盡t淹r豈i嬌d期e齊,隊O飯x龍i桐d棄e沫;E浸t襖c嗓hN揮i余t輛r保i義d升e,O暢x肝i檢d味ea我n元dS訊i賓l扇i澤c蠟o筍n;倉S符t妻r代i帽p艇P法h姑o狼t船o詠r謝e催s罰i責s豬tPadOxidePadOxideTrench2帥0附2愧3低/鞠7良/騰3雄05饅5S六T世I孕v塘s孫.參L娛O匠C雨O校SL第O謹C摧O圓S–償S完i視m案p集l訪e漢r繁,球c迎h(huán)依e襪a謠p存e渾r健,再a株n控d裙p蔽r棗o多d哨u井c濫t權i裕o案n寧p衰r納o脖v輩e奇n–深u阿s宮e正d電i英n探I滋C酒f渠a占b造r編i鋼c德a鋼t街i副o無n涼u輔n窗t砌i攀l嘗f土e跡a澇t平u太r埋e蔽<符0翻.壘3舊5撿m懼mS橫T饞I–辰N友o乓b賤i裁r碼d涌’氏s悄b炕e絞a材k脊,端S染m句o題o字t業(yè)h濱e康r扶s矛u獲r舟f獻a扶c邁e斑,蘿b碗u度t乏M狀o涉r鋸e摘p遞r賓o弊c健e圾s醒s巨s茫t堆e現(xiàn)p腰s–S輩t猴a揮n溉d凱a筋r啞d弟i喉s博o善l月a丈t悅i球o窩n器t聯(lián)e垂c衣h攪n杜o原l得o壁g頓yu盒s塌e趁di猾n派I蕉C響f魚a夜b屋r抗i歷c礙a吃t洞i瓶o續(xù)n遍u諒n