KEITHLEY四探針操作手冊(cè)

南開大學(xué)硅光電子學(xué)與儲(chǔ)能實(shí)驗(yàn)室Four-PointProbeOperation|四探針操作手冊(cè)四探針操作手冊(cè)四探針操作闡明書Four-PointProbeOperation第1章 引言 Figure35所示，可看見上方4WAUTO字樣，設(shè)立完畢。FigureSTYLEREF1\s3SEQFigure\*ARABIC\s15先按?鍵，選中4-WIRE模式，按ENTER鍵。FigureSTYLEREF1\s3SEQFigure\*ARABIC\s16設(shè)備最后顯示模式，可看見上方4WAUTO。如有問題能夠查看KEITHLEY2400高壓源表使用闡明書設(shè)備闡明書設(shè)備闡明書下載。探針接觸方式探針接觸應(yīng)保持一定的壓力，但不同材料的性質(zhì)不同，有些材料的電阻率會(huì)隨外加壓力變化而變化，因而測(cè)試前要根據(jù)具體的測(cè)試材料而適宜的變化探針壓力。首先用粗調(diào)鍵旋轉(zhuǎn)探針至樣品表面，略有壓力后停止。再細(xì)調(diào)一定距離，確保測(cè)量時(shí)表面讀數(shù)穩(wěn)定后即可。數(shù)據(jù)測(cè)試指南待測(cè)試線連接無誤，源表設(shè)立完畢，探針加到樣品表面后，能夠開始測(cè)量電阻。首先調(diào)節(jié)電阻測(cè)量量程。根據(jù)樣品電阻率選擇量程范疇，如REF_Ref4\hTable1源表電阻測(cè)量量程選擇所示。TableSEQTable\*ARABIC1源表電阻測(cè)量量程選擇孫以材，半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)，冶金工業(yè)出版社，1984。孫以材，半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)，冶金工業(yè)出版社，1984。樣品電阻率范疇（??cm）通過樣品電流<<100mA<10mA1-30<1mA30-1000<100μA1000-3000<10μA按下源表右下方的ON/OFF鍵，按鍵變藍(lán)，測(cè)量開始。統(tǒng)計(jì)測(cè)量電阻值。半導(dǎo)體材料電阻率會(huì)隨電流變化而變化，因此要結(jié)合具體狀況選擇適宜的量程。根據(jù)修正公式算出方塊電阻和電阻率，測(cè)試完畢。將測(cè)試得到的電阻，膜厚代入下列公式即可算出電阻率和方塊電阻。ρ=R×FR各修正系數(shù)可從附表查出，F(xiàn)sp=.實(shí)例1.測(cè)量薄膜電阻為?（1mA檔），膜厚為。探針間距為，樣品直徑為100mm（圓中心測(cè)量），F(xiàn)sp為。D/S=100，F(xiàn)(D/S)=。W/S=10-4，F(xiàn)(W/S)=1;因此=10-3。注意事項(xiàng)附表附表SEQ附表\*ARABIC1直徑修正系數(shù)F(D/S)與D/S值的關(guān)系位置位置F（D/S）值F（D/S）值D/S值中心點(diǎn)半徑中點(diǎn)距邊沿6mm處>200200150125100766051382625附表SEQ附表\*ARABIC2厚度修正系數(shù)F(W