高純氣體管道施工工法

高純氣體管道施工工法一、前言隨著我國半導體、制芯業(yè)的發(fā)展，高純氣體管道的應用也越來越廣泛，象半導體、電子、醫(yī)藥、食品等行業(yè)都不同程度的使用了高純氣體管道，因此高純氣體管道的施工對于我們來說也越來越重要。1999年，我公司引進了美國生產的全自動軌道焊機及其有關的配管安裝設備，這套設備自動化程度高，焊接過程實現(xiàn)了全自動控制，設備性能穩(wěn)定，質量好且外形美觀、體積小、重量輕、操作方便，非常適合電子廠房的干凈施工。幾年來通過我們的研究與實踐，通過向國外專家請教，向外單位同行學習，形成了這套施工工藝，在吉林華星5寸芯片生產線、杭州立昂電子有限公司6寸芯片生產線、江蘇吳江阿爾發(fā)光導纖維生產線的施工中應用了本工法，效果不錯。二、合用范疇本工藝重要合用于電子、半導體廠房的氣體管道安裝、測試，焊接薄壁不銹鋼氣體管道，同時也合用于醫(yī)藥、食品等廠房的干凈管道施工。三、工藝原理根據(jù)工程特點，工程的施工前后分為三個環(huán)節(jié)，每一步都要通過嚴格的質量和干凈度檢查，第一步是管道的預制，為確保干凈規(guī)定，管道的預制普通是在1000級的預制間內進行；第二步是現(xiàn)場安裝；第三步是系統(tǒng)的測試，系統(tǒng)測試重要是對管道內的塵埃粒子、露點、含氧量、碳氫化合物的含量進行測試。四、重要施工要點（一）施工前的準備1、組織勞動力，準備施工中使用的機具、設備。2、搭建預制間，干凈度1000級。3、施工圖分析，根據(jù)工程特點及實際狀況編制施工方案，做好技術交底。（二）管道預制1、由于高純氣體管道規(guī)定的干凈度較高，為了減少安裝現(xiàn)場的焊接工作量，確保干凈度，因此管道的施工先在1000級的預制間中預制，施工人員應穿干凈服，使用的工機具應確保干凈，另外施工人員應有較強的干凈意識，施工過程盡量減少對管子的污染。2、管道的下料管道下料使用的是專用的切管工具，切出的端面絕對和管軸心線垂直，切管時應采用方法避免外界的灰塵、空氣對管子內部的污染，下好的料應分組編號方便于組對焊接。3、管道焊接，管道焊接前應先編制焊接程序輸入到自動焊機，試焊樣品，樣品合格后，方能焊接，進行完一天的焊接后，再焊樣品，如果樣品合格，由于焊接參數(shù)始終儲存在焊機里，自動焊機焊接時又非常穩(wěn)定，因此焊縫質量也是合格的。焊接質量由微機控制，減少了由于人為因素對焊接質量的影響，既提高了工作效率，又能得到高品質的焊縫。4、焊接工序樣品焊接合格正式焊接焊接結束再焊樣品合格焊接結束不不合合格格調節(jié)參數(shù)合格檢查焊口外表查找因素、采用方法、做好統(tǒng)計（三）現(xiàn)場安裝1、高純氣體管道的現(xiàn)場安裝應整潔干凈，安裝人員必須戴干凈手套。2、支架設立距離應符合圖紙設計規(guī)定，每一固定點套上EP管專用的橡膠套。3、預制好的管子運到現(xiàn)場，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，擔上支架后，立刻上管卡。4、現(xiàn)場的管道焊接和預制階段管道焊接程序相似。5、焊接完畢經有關人員對焊口樣品及管道上的焊口檢查合格后，貼焊口標簽，填寫焊接統(tǒng)計。（四）系統(tǒng)測試1、系統(tǒng)檢測是高純氣體施工的最后一環(huán)，它是在管道壓力實驗、吹掃結束后進行。2、系統(tǒng)測試使用的氣體首先是合格氣體，氣體的干凈度、含氧量、露點及碳氫化合物應符合規(guī)定。3、指標的檢測是通過在管道里充入合格氣體，在出口處用儀器測量，管道里吹出的氣體合格了，闡明這條管路指標合格了。五、材料高純氣體管道按其流通介質的工藝規(guī)定普通采用薄壁不銹鋼管，普通采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。重要有鉻、鎳、鉬三種合金元素，鉻的存在提高了不銹鋼在氧化性介質中的耐腐蝕性，形成一層富鉻氧化膜；而鉬的存在則提高了不銹鋼在非氧化性介質中的耐腐蝕性；鎳是奧氏體的形成元素，它們的存在既提高了鋼的耐腐蝕性，又提高了鋼的工藝性能。六、機具設備自動焊機ARCM207A2臺切管機RA412臺端面加工機2臺電源穩(wěn)壓器2臺手工鎢極氬弧焊機3臺氬氣過濾器3個不銹鋼彎管器1/4″、3/8″、1/2″、3/4″各1個粒子測試儀1臺露點測試儀1臺碳氫化合物測試儀1臺氬氣純度檢測儀1臺七、勞動力組織項目經理1名管道工程師1名焊接工程師1名管道施工組長2名焊工2名管道施工組員6名八、施工質量規(guī)定1、工程施工執(zhí)行的質量原則⑴干凈室施工及驗收規(guī)范JGJ71-90⑵干凈廠房設計規(guī)范GB50073-⑶工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范GB50235-97⑷現(xiàn)場設備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范GB50236-982、為確保工程質量，應采用下列方法⑴工程技術人員負責施工計劃、工程技術和干凈方法的制訂，繪制預制加工圖，并負責組織、指導全方面實施，對施工質量負責。⑵管工必須按規(guī)定的干凈、技術方法按圖預制和安裝，負責專用設備的對的使用和保養(yǎng)，負責做好各項測試準備工作和測試工作，負責管道的預制、安裝達成質量原則。⑶質量檢查人員，應對管道預制、安裝作業(yè)進行全方面質量檢查和控制，督促檢查各項干凈方法的貫徹執(zhí)行；檢查確認預制安裝質量、檢查確認焊接前后的焊口樣品；檢查確認焊接統(tǒng)計和多個檢測及其統(tǒng)計的對的性；并負責匯總和整頓交工資料。⑷發(fā)生質量事故，不得隱瞞，及時上報，查找因素并及時解決。九、安全方法1、嚴格執(zhí)行《建筑安裝工人安全技術操作規(guī)程》及中電四公司的安全規(guī)章制度，組織工人學習，經考核合格后方能上崗。2、高空作業(yè)，腳手架在超出地面兩米（含兩米）以上時，人員須系安全帶，工具須放入工具袋內，腳手架必須圍籬。3、全部帶電設備、帶電工具必須有漏電保護方法，臨時電纜、電線的接線須由專職電工實施。4、動火作業(yè)應辦理動火作業(yè)許可證，動火作業(yè)人員應持證上崗，并備好防火用品。5、安全人員隨時檢查班組施工人員的安全狀況，發(fā)現(xiàn)安全隱患及時排除。十、工程實例吉林華微電子5寸芯片生產線、杭州立昂電子有限公司6寸芯片生產線、江蘇吳江阿爾發(fā)光導纖維生產線的施工中應用了本工法。吉林華微芯片加工能力每年100萬片，封裝能力6億只/每年，產品質量達成國家IEC原則，性能達成日本東芝同類產品水平，產品入選“吉林市十大名牌產品”、榮獲省、部“優(yōu)等品”、“吉林省名牌產品”、“電子行業(yè)出名品牌”、“全國顧客滿意產品”等稱號。產品重要銷往國內三十多個都市和地區(qū)，被長虹、TCL、康佳、創(chuàng)維、海信等公司評為“A級配套公司”、“品質優(yōu)秀供應商”。自以來，我公司安裝的高純氣體管道系統(tǒng)運行良好，沒有發(fā)現(xiàn)任何質量問題，為公司在電子行業(yè)施工贏得了良好的信譽。我公司引進自動焊接技術后，承當?shù)墓こ添椖浚?、1月，吉林華星5寸芯片生產線高純氣體管道安裝★2、.7～.9石家莊三鹿利樂包生產線,乳品管道。3、.2～.3北京有研總院氣體動力管道(PN、CDA、PO、PH)。4、.5～.7深圳大學光電子研究室氣體動力管道（PN、CDA、PO）。5、.8信息產業(yè)部第十三所氣體動力管道（PN、CDA、PO、PH）。6、.5～.7上海中芯國際(做臺灣弘達久下包)大宗氣體管道。7、.1～