至芯半導(dǎo)體（杭州）有限公司深紫外UVC芯片項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告

建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表建設(shè)單位：至芯半導(dǎo)體（杭州）有限公司 1二、建設(shè)項(xiàng)目所在地自然環(huán)境及相關(guān)規(guī)劃情況 14 26 37 44 78 80八、建設(shè)項(xiàng)目擬采取的防治措施及預(yù)期治理效果 108 108 1221///至芯半導(dǎo)體（杭州）有限公司注冊(cè)成立于2020年6月，經(jīng)營范圍包括一般項(xiàng)目：電子元器件制造(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動(dòng))。公司鍍膜、光刻、刻蝕、去膠、切割、研磨、測(cè)試等工藝，進(jìn)行UVC芯片約3億顆生產(chǎn)能2），料；有分割、焊接、酸洗或有機(jī)溶劑清洗工藝的”，應(yīng)編制環(huán)境影響報(bào)告表，故該項(xiàng)目至芯半導(dǎo)體（杭州）有限公司委托浙江省環(huán)境科技有限公司承擔(dān)深紫外UVC芯片）；（2）《中華人民共和國環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》（第十三屆全國人民代表大會(huì)常務(wù)委員）；（3）《中華人民共和國水污染防治法》（第十二屆全國人民代表大會(huì)常務(wù)委員會(huì)）；（4）《中華人民共和國大氣污染防治法》（第十三屆全國人民代表大會(huì)常務(wù)委員）；（5）《中華人民共和國環(huán)境噪聲污染防治法》（第十三屆全國人民代表大會(huì)常務(wù)）；（7）《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法》（中華人民共和國主席令第四）；（8）《中華人民共和國清潔生產(chǎn)促進(jìn)法》（第九屆全國人民代表大會(huì)常務(wù)委員會(huì)（9）《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》（中華人民共和國國務(wù)院令第682號(hào)，20173）；）；（11）《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019）；）；）；）；（15）關(guān)于印發(fā)《重點(diǎn)行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物綜）；（16）關(guān)于印發(fā)《“十三五”揮發(fā)性有機(jī)物污染防治工作方案》的通知（環(huán)大氣）；）；）；）；）；（8）關(guān)于印發(fā)《浙江省建設(shè)項(xiàng)目主要污染物總量準(zhǔn)入審核辦法（試行）》的通知4）；（9）《浙江省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)工業(yè)固體廢物環(huán)境管理的通知》（浙環(huán)）；）；）；（14）浙江省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于印發(fā)《浙江省“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》的（15）杭州市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于印發(fā)《杭州市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》的）；）；）；）；）；）；）；）；）；）；5）；）；至芯半導(dǎo)體（杭州）有限公司注冊(cè)成立于2020年6月，經(jīng)營范圍包括一般項(xiàng)目：電子元器件制造(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動(dòng))。公司鍍膜、光刻、刻蝕、去膠、切割、研磨、測(cè)試等工藝，進(jìn)行UVC芯片約3億顆生產(chǎn)能表1-1項(xiàng)目生產(chǎn)規(guī)模一覽表序號(hào)產(chǎn)品名稱設(shè)計(jì)生產(chǎn)能力1深紫外UVC芯片3億顆品測(cè)試間和封裝車間位于4#廠房的2層。氮?dú)庹竞臀鬯幚碚疚挥?#廠房的東側(cè)；危6圖1-1項(xiàng)目廠區(qū)廠房布置簡圖表1-2項(xiàng)目廠房功能布局及可能產(chǎn)生的環(huán)境問題一覽表序號(hào)類別主要功能可能產(chǎn)生的環(huán)境問題1生產(chǎn)車間外延車間、芯片車間（含芯片清洗間、光刻間、鍍膜、沉積間、研磨間、切割間）位于4#廠房的1層，主要包括酸洗、鍍膜、光刻、刻蝕、清洗、去膠、退火、研磨和切割等工序；成品測(cè)試間和封裝車間位于4#廠房的2層，主要包括測(cè)試、分選和包裝工序。酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣、生產(chǎn)廢水、一般固廢、危險(xiǎn)固廢2倉庫氮?dú)猓ㄍ赓彛┱竞臀鬯幚碚疚挥趫@區(qū)的東南側(cè)；危險(xiǎn)化學(xué)品倉庫位于園區(qū)西南角，面積約105m2。固體廢物3公用工程供水采用市政供水，項(xiàng)目總用水量約為34370m3/a/純水制備系統(tǒng)采用活性炭過濾+二級(jí)反滲透+紫外線殺菌裝置制備純水，設(shè)計(jì)處理能力為10m3/h。7排水采用雨、污分流系統(tǒng)，生活污水經(jīng)廠區(qū)化糞池處理后、生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站處理后排入市政污水管網(wǎng)，送臨江污水處理廠統(tǒng)一處理。/常溫冷卻水系統(tǒng)冷卻用水循環(huán)使用，定期補(bǔ)充，定期外排，排放量約為8m3/d。/工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)冷卻用水循環(huán)使用，不外排，定期補(bǔ)充。/供電由市政電網(wǎng)提供/4環(huán)保工程廢氣治理酸性廢氣：共設(shè)置一套處理設(shè)備，干法刻蝕廢氣經(jīng)濕法尾氣處理器處理后和其他酸性廢氣一起經(jīng)酸堿廢氣處理系統(tǒng)處理后由35m高排氣筒（1#）排放；工藝尾氣：其中外延和沉積廢氣共設(shè)置一套處理設(shè)備，廢氣收集后經(jīng)燃燒系統(tǒng)+酸堿廢氣處理系統(tǒng)處理后由35m高排氣筒（1#）排放；有機(jī)廢氣：共設(shè)置一套處理設(shè)備，廢氣收集后經(jīng)堿性廢氣處理系統(tǒng)+碳纖維凈化系統(tǒng)處理后由35m高排氣筒（2#）排放。/廢水處理生產(chǎn)廢水經(jīng)自建污水處理站（含氟廢水處理系統(tǒng)/有機(jī)廢水處理系統(tǒng)→酸堿廢水處理系統(tǒng)）處理后，納管排放；污水處理站位于園區(qū)南側(cè)；生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后，納管排放。/設(shè)置危險(xiǎn)廢物暫存間1間，位于園區(qū)西南角危險(xiǎn)化學(xué)品倉庫內(nèi)。/表1-3項(xiàng)目實(shí)施后生產(chǎn)設(shè)備清單車間車間分區(qū)設(shè)備名稱數(shù)量備注外延車間外延生產(chǎn)間MOCVD/外延測(cè)試室X-射線衍射儀1/PL測(cè)試儀1/金相顯微鏡21臺(tái)含微分干涉，一臺(tái)不含EL測(cè)試儀1/N2柜/技術(shù)夾道N2純化器2/NH3純化器2/H2純化器2/8露點(diǎn)儀4/手持H2探測(cè)器1/尾氣處理器4/氣柜6用于SiH4，HCl，F(xiàn)orming焙烤間Bake爐2/吹掃臺(tái)2/外延清洗間緊急沖淋洗眼器1/儲(chǔ)物柜4/外延烤箱2/清洗通風(fēng)柜1/芯片車間芯片清洗間化學(xué)槽（酸）2設(shè)備外形尺寸：2500W×1500D×2000H化學(xué)槽（有機(jī)）1設(shè)備外形尺寸：2500W×1500D×2000H化學(xué)槽（去光阻）1設(shè)備外形尺寸：2500W×1500D×2000H金相顯微鏡1/甩干機(jī)2/1/光刻間化學(xué)槽（顯影）1設(shè)備外形尺寸：2500W×1500D×2000H自動(dòng)勻膠機(jī)2/去膠機(jī)2甩干機(jī)2/光刻機(jī)系統(tǒng)2/Stepper1/200度烤箱1/金相顯微鏡1/熱板2/鍍膜、沉積間電子槍蒸鍍系統(tǒng)3/磁控濺射鍍膜設(shè)備sputter金錫合金濺射1/高溫退火爐2/泵5/干法刻蝕系統(tǒng)（ICP）2/Chiller4/等離子氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）2/合金爐1/氣瓶柜4/薄膜測(cè)試儀（F20)1/ITO光譜儀1/ITO表面電阻測(cè)試儀1/9潔凈度,溫濕度測(cè)試儀1/臺(tái)階儀1/研磨間化學(xué)槽（去蠟）1設(shè)備外形尺寸：2000W×1500D×2000H外延片上蠟機(jī)2/外延片研磨機(jī)2/外延片拋光機(jī)2/精拋機(jī)1/卸片加熱臺(tái)(含熱板）1/切割間激光劃片機(jī)6/裂片機(jī)6/膜擴(kuò)張機(jī)1/倒膜機(jī)1/貼片機(jī)1/成品測(cè)試間芯片點(diǎn)測(cè)臺(tái)/芯片分類機(jī)20/厚片抽測(cè)機(jī)2/貼膜機(jī)2/ESD測(cè)試機(jī)2放在點(diǎn)測(cè)臺(tái)里芯片計(jì)數(shù)器1/目檢顯微鏡/自動(dòng)目檢儀1/封裝車間封裝車間全自動(dòng)銀漿固晶機(jī)1/打膠機(jī)1/顯微鏡1/可編程LED測(cè)試電源（PROGRAMMABLETEST)1/積分球2/點(diǎn)焊機(jī)用旋片真空泵1/WY精密數(shù)顯直流穩(wěn)壓電源（DIGITALCC&CVDCPOWERSUPPLY)1/電熱恒溫鼓風(fēng)干燥箱1/全自動(dòng)紫外分光分色機(jī)3/全自動(dòng)紫外編帶機(jī)2/大功率LED加速老化試驗(yàn)儀1（LEDAGINGTESTER)1/大功率LED加速老化試驗(yàn)儀2（LED1/AGINGTESTER)高精度快速光譜輻射計(jì)1/202無泡攪拌機(jī)1/真空脫泡機(jī)1/氮?dú)飧稍锕?/LED加速老化試驗(yàn)儀1/照度計(jì)（IntensityMeter)1/激光劃片機(jī)1/回流焊1/環(huán)保設(shè)施酸堿廢氣處理設(shè)施燃燒系統(tǒng)1/酸堿廢氣處理系統(tǒng)1/濕法尾氣處理器1/有機(jī)廢氣處理設(shè)施一級(jí)酸液噴淋+干燥系統(tǒng)+碳纖維吸附1/廢氣處理風(fēng)機(jī)5/其他輔助設(shè)備空壓機(jī)2/冷水機(jī)組2/冷凍水泵2/冷卻水泵2/冷卻塔2/排水泵4/加藥水泵3/表1-4項(xiàng)目實(shí)施后原輔材料清單序號(hào)名稱規(guī)格單位年消耗量備注1襯底0.2PSSkg/a-2三甲基銦300EPipurekg/a0.02-3三甲基鎵2500Adductkg/a5.25-4三乙基鎵Adductkg/a2.0-5三甲基鋁100LOWoxygenkg/a7.5-6二茂鎂Adductkg/a0.05-7氫氣-m3/a12000>99%8氮?dú)?m3/a600099.99%9氨氣-kg/a2700>99%SiH4/H2混合氣-kg/a0.5-硫酸-kg/a416>96%鹽酸-kg/a36737%氧化銦-kg/a0.74-光刻膠-kg/a501酚醛樹脂90%丙二醇甲醚醋酸酯10%顯影液-kg/a5386四甲基氫氧化銨6%水94%硝酸-kg/a36870%氯氣-kg/a-超純Ar-m3/a20-三氯化硼-kg/a0.05-20丙酮-kg/a98%21鈦-kg/a0.13-22鎳-kg/a0.15-23鋁-kg/a0.55-24鉻-kg/a0.55-25鉑-kg/a0.36-26金-kg/a-27蠟-kg/a-28藍(lán)膜-kg/a-29氧化亞氮-kg/a0.05-30硅烷混合氣-kg/a0.04-31BOE刻蝕液-kg/a6：132金剛石研磨液-kg/a554-水噸34370-34電--1500萬度-表1-5項(xiàng)目主要原輔材料理化性質(zhì)表名稱分子式理化特性燃燒爆炸性毒性毒理鹽酸HCl無色或微黃色發(fā)煙液體，有刺鼻的酸味，分子量：30.66kpa,(21oC)，熔點(diǎn)：-114.8℃/純沸點(diǎn)：108.6℃/20%，與水混融，溶于堿液，相對(duì)密度(水=1)1.20；相對(duì)密度(空氣=1)1.26，重要的無機(jī)化工原料，廣泛用于染料、醫(yī)藥、食品、印染、皮革、冶金等行業(yè)能與一些活性金屬生劇毒的氰化氫氣應(yīng)，并放出大量的急性毒性：LD50900mg/kg(兔經(jīng)口)；LC503124ppm，1小時(shí)(大鼠吸入)硫酸H2SO4純品為無色透明油狀液與易燃物和有機(jī)物屬中等毒性；LD5080mg/kg(大鼠經(jīng)與水混溶，相對(duì)密度(水要用于生產(chǎn)化學(xué)肥料，在石油提煉等工業(yè)也有廣泛的應(yīng)用接觸會(huì)發(fā)生劇烈反能與一些活性金屬氫氣。遇水大量放有強(qiáng)腐蝕性?？?；LC50510mg/m3，2小時(shí)(大鼠吸入)；320mg/m3，2小時(shí)(小鼠吸入)””””氨NH3無色有刺激性惡臭的氣506.62kPa(4.7℃)，熔點(diǎn)易溶于水、乙醇、乙醚，相對(duì)密度(水=1)0.82(-79℃)；相對(duì)密度(空氣=1)0.6，主要用作致冷劑及制取銨鹽和氮肥。與空氣混合能形成觸會(huì)發(fā)生劇烈的化裂和爆炸的危險(xiǎn)。50350mg/kg(大鼠經(jīng)口)；刺激性：家兔經(jīng)眼：100ppm，重度刺激。亞急性慢性毒性：大鼠，20mg/m3，24小時(shí)/天，84天，或5~6小時(shí)/天，7個(gè)月，出現(xiàn)神經(jīng)系統(tǒng)功能紊亂，血膽堿酯酶活性抑制等。硝酸HNO3純品為無色透明發(fā)煙液體，有酸味，分子量：4.4kPa(20℃)，熔點(diǎn)：-42℃/無水沸點(diǎn)：86℃/無水，與水混溶，相對(duì)密度(水=1)1.50(無水)；相對(duì)密度(空氣=1)2.17，用途極廣,主要用于化肥、染料、國防、炸藥、冶金、醫(yī)藥等工業(yè)燃物(如苯)和有機(jī)物(如糖、纖維素等)接觸會(huì)發(fā)生劇烈反與堿金屬能發(fā)生劇燃燒(分解)產(chǎn)物：氧化氮。毒性：屬高毒類。硝酸鹽的工業(yè)污染來自肥料生產(chǎn)、有機(jī)合成、炸藥等工業(yè)污水。水體中氮的濃度為0.3mg/L時(shí)會(huì)明顯促進(jìn)和加速浮游植物(主要是藻類)的增殖生長。它一方面消耗水中大量溶解氧，使水生生物呼吸困難，造成魚類和其他水生生物因缺氧而死亡，水質(zhì)變得黑臭；另一方面，浮游植物毒素積蓄到臨界濃度，也會(huì)對(duì)人體產(chǎn)生危害。在硅、磷及微量元現(xiàn)象。對(duì)人、畜飲水、水產(chǎn)養(yǎng)殖、食品生產(chǎn)等方面元?dú)鈺?huì)帶來嚴(yán)重問題。氯氣Cl2黃綠色有刺激性氣味的氣聚氯乙烯等一般易燃?xì)怏w或蒸氣也都能與氯氣形氣能與許多化學(xué)品等猛烈反應(yīng)發(fā)生爆炸或生成爆炸性物毒性：屬高毒類。是一種強(qiáng)烈的刺激性氣體。急性毒性：LC50850mg/m3，1小時(shí)(大鼠吸入)亞急性和慢性毒性：家兔吸入2～5mg/m3，5小時(shí)/天，1～9個(gè)月，出現(xiàn)消瘦、上呼吸道炎、肺炎、胸膜炎及肺氣腫等。大鼠吸入41～97mg/m3，2小時(shí)/天，3~4周，引起嚴(yán)重但非致死性的肺氣腫與氣管病變。致突變性：細(xì)胞遺傳學(xué)分析：人淋巴細(xì)胞20ppm。精子形態(tài)學(xué)分析：小鼠經(jīng)口20mg/kg(5天)，連續(xù)。非金屬都有腐蝕作丙酮C3H6O、CH3COCH3無色透明易流動(dòng)液體，有芳香氣味，極易揮發(fā)，熔蒸氣壓：53.32kPa/39.5℃,可混溶于乙醇、乙醚、氯仿、油類、烴類等多數(shù)有=1)0.80；相對(duì)密度(空氣=1)2.00，基本的有機(jī)原料和低沸點(diǎn)溶劑，其蒸氣與空氣可形處擴(kuò)散到相當(dāng)遠(yuǎn)的和爆炸的危險(xiǎn)。毒性：屬低毒類。急性毒性：12000ppm×4小時(shí)，最小中毒濃度。刺激性：家兔經(jīng)眼：3950μg，重度刺激。家兔經(jīng)皮開放性刺激試驗(yàn)：395mg，輕度刺激。致突變性：細(xì)胞200mmol/管。對(duì)生物降解的影響：水中含量4g/L以上時(shí)污泥消化受到抑制。水中含量840mg/L時(shí)，活性污泥對(duì)氨氮的硝化作用降低75%。行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)]納入城1.2與本項(xiàng)目有關(guān)的原有污染情況及主要環(huán)境問題：本項(xiàng)目在浙江省杭州市錢塘新區(qū)智造谷新建廠房進(jìn)行年產(chǎn)UVC芯片約3億顆的生產(chǎn)能力的生產(chǎn)。項(xiàng)目所租用廠房系首次出租，項(xiàng)目所在地歷史上主要為農(nóng)田和閑置空地，無工業(yè)企業(yè)存在，因此不存在和本項(xiàng)目有關(guān)的原二、建設(shè)項(xiàng)目所在地自然環(huán)境及相關(guān)規(guī)劃情況西寬約57.2公里，南北長約59.4公里。具東南西北圖2-1項(xiàng)目所在地周邊情況圖表2-1項(xiàng)目所在地周邊情況表序號(hào)方位距廠界距離名稱1E35m道路70m杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司2S20m園區(qū)空置廠區(qū)3W30m園區(qū)空置廠區(qū)4N30m園區(qū)空置廠區(qū)2.1.2地形、地貌、地質(zhì)參照錢江熱電廠1997年4月的工程勘探所揭露的④層粉質(zhì)粘土，灰色，飽和、松散，為層狀構(gòu)造，含多⑥層粉砂土，灰色，飽和、稍密，層狀構(gòu)造明顯，含⑦層粉質(zhì)粘土與粉土互層，灰色，飽和、疏松，薄層狀構(gòu)造清晰，厚度揭穿為⑧層淤泥質(zhì)粉質(zhì)粘土，深灰色，飽和、軟塑，土風(fēng)邊緣影響，冬季以西北風(fēng)為主，年平均風(fēng)表2-2蕭山氣象局近二十年氣象要素統(tǒng)計(jì)表平均氣壓(hpa)平均氣溫(℃)20相對(duì)濕度(%)降水量(mm)1437.9蒸發(fā)量(mm)日照時(shí)數(shù)(h)1870.342降水日數(shù)(d)雷暴日數(shù)(d)34.9大風(fēng)日數(shù)(d)2.8各級(jí)降水日數(shù)(d)/0.1≤r<10.010.0≤r<25.030.825.0≤r<50.0r≥50.03.2錢塘江自西南流向東北，多年平均徑流總量26水質(zhì)較差，屬微咸水。不宜作為生活飲用水源2.2社會(huì)環(huán)境簡況2.2.1錢塘新區(qū)社會(huì)環(huán)境概況原杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)下有三個(gè)園區(qū)，其中江東工業(yè)園區(qū)從2001年開始籌建，前進(jìn)工業(yè)園區(qū)從2002年開始籌建，臨江工業(yè)園區(qū)從2003年開始籌建，2006年三個(gè)園區(qū)經(jīng)批復(fù)正式成立。2009年市委市政府作出加快大江東區(qū)域一體化發(fā)展的戰(zhàn)略部署，正式掛牌。2010年9月21日省政府下發(fā)《關(guān)于印發(fā)浙江省產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)發(fā)展總體規(guī)劃（2011-2020年）的通知》（浙政發(fā)[2010]45號(hào)），杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)正式確立。正式掛牌。2013年12月30日，市委市政府發(fā)于印發(fā)大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)體制調(diào)整實(shí)施方案的通知》（市委發(fā)[2014]45）號(hào)，明確大江的建設(shè)各項(xiàng)管理職能。2019年4月4日，浙江省人民政府正式批復(fù)設(shè)立錢塘新區(qū)，囊開推進(jìn)杭州錢塘新區(qū)高質(zhì)量發(fā)展大會(huì)，次日，杭州錢塘新區(qū)主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：2019年實(shí)現(xiàn)規(guī)上工業(yè)增加值658.4億元；固定資產(chǎn)投資同比增長比增加49.7%；實(shí)現(xiàn)財(cái)政總收入2012.3項(xiàng)目所在地規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)評(píng)2.3.1杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)【大江東新區(qū)】分區(qū)規(guī)劃（2015-2030）積355平方千米，錢塘江水域面積72平方千米。地域范圍覆蓋河莊、義蓬、新灣、臨“兩軸”即江東大道和錢江大道兩大發(fā)展軸，是區(qū)域內(nèi)外經(jīng)濟(jì)聯(lián)系的主要通道。“四區(qū)”即四大片區(qū)，也就是大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)四大發(fā)展平臺(tái)，包括江東片區(qū)、臨“產(chǎn)業(yè)功能區(qū)”包括汽車、新能源、新材料、裝備制造、空港物流、文化創(chuàng)意等產(chǎn)“城市配套區(qū)”包括大江東核心區(qū)、江東片區(qū)副中心、臨江片區(qū)副中心、空港片區(qū)“生態(tài)及農(nóng)業(yè)功能區(qū)”主要包括江東綠地、基本農(nóng)田和水網(wǎng)，包含江東現(xiàn)代農(nóng)業(yè)綜“其他功能區(qū)”主要包括遠(yuǎn)景發(fā)展用地和部分建成區(qū)。主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)：新能源產(chǎn)業(yè)、信息產(chǎn)業(yè)、汽車產(chǎn)業(yè)屬于禁止、淘汰類項(xiàng)目，符合該區(qū)域的功能定位。根據(jù)《杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)[大江東新區(qū)]分區(qū)規(guī)劃（2015-2030）》的用地規(guī)劃圖可知，項(xiàng)目擬建地規(guī)劃為工業(yè)用地2.3.2杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)（大江東新區(qū)）分區(qū)規(guī)劃環(huán)評(píng)業(yè)集聚區(qū)于2015年實(shí)體化運(yùn)作以來，作為經(jīng)濟(jì)增長快、市場(chǎng)容量大的區(qū)域，提出實(shí)現(xiàn)措施、落實(shí)現(xiàn)有問題解決方案后，該規(guī)劃的實(shí)施性廢氣一起經(jīng)酸堿廢氣處理系統(tǒng)處理后由35m高排氣筒（1#）排放；外延和沉積廢氣理；一般固廢出售；廠區(qū)內(nèi)進(jìn)行構(gòu)筑物隔聲、基礎(chǔ)減震。因此，“三廢”和噪聲經(jīng)采取表2-3杭州市蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚重點(diǎn)管控單元總體準(zhǔn)入要求環(huán)境管控單元管控要求編碼類型空間布局引導(dǎo)污染物排放管控環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防控資源開發(fā)效率要求重點(diǎn)管控對(duì)象ZH330109200蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚重點(diǎn)管控單元重點(diǎn)管控單元根據(jù)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)塊的功能定位，建立分區(qū)差別化的產(chǎn)業(yè)準(zhǔn)入條件。合理規(guī)劃居住區(qū)與工業(yè)功嚴(yán)格實(shí)施污染物總量控制制度，根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo)，削減污強(qiáng)化工業(yè)集聚區(qū)企業(yè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范設(shè)施設(shè)備建設(shè)和正常運(yùn)行監(jiān)管，加強(qiáng)重點(diǎn)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控企業(yè)/大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)能區(qū)，在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)置防護(hù)綠地、生活綠地等隔離帶。染物排放總量。所有企業(yè)實(shí)現(xiàn)雨污分流。應(yīng)急預(yù)案制定，建立常態(tài)化的企業(yè)隱患排查整治監(jiān)管機(jī)制，加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)。氧化物0.024t/a、CODCr配備必要的消防應(yīng)急措施。企業(yè)在做好以上要求之后能夠符合2.5《長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南（試行）》浙江省實(shí)施細(xì)則符合性分析（2011年本2013年修正版）》2.6蕭山臨江污水處理廠理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918-2002）中一級(jí)A標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)相關(guān)管理部門的要求，圖2-2一期提標(biāo)改造后污水處理工藝總流程圖圖2-3二期擴(kuò)建工程污水處理工藝總流程圖臨江污水處理廠屬于工業(yè)污水處理廠，污水處理廠進(jìn)水水質(zhì)控制標(biāo)準(zhǔn)為：表2-4蕭山臨江污水處理廠2020年5月、7月監(jiān)督性監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)一覽表監(jiān)測(cè)時(shí)間監(jiān)測(cè)項(xiàng)目排放濃度標(biāo)準(zhǔn)限值排放單位是否達(dá)標(biāo)2020年5月PH值6.96-9無量綱是生化需氧量7.4mg/L是總磷0.0160.5mg/L是化學(xué)需氧量4050mg/L是色度30倍是總汞<0.000040.001mg/L是烷基汞<0.00002不得檢出mg/L是總鎘<0.0050.01mg/L是總鉻<0.0040.1mg/L是六價(jià)鉻<0.0040.05mg/L是總砷<0.00030.1mg/L是總鉛<0.070.1mg/L是懸浮物8mg/L是陰離子表面活性劑0.1740.5mg/L是糞大腸菌群數(shù)48個(gè)/L是氨氮5mg/L是總氮8.97mg/L是石油類1mg/L是動(dòng)植物油0.631mg/L是2020年7月PH值7.106-9無量綱是生化需氧量2.8mg/L是總磷0.0320.5mg/L是化學(xué)需氧量2750mg/L是色度30倍是總汞<0.000040.001mg/L是烷基汞<0.00002不得檢出mg/L是總鎘<0.000090.01mg/L是總鉻0.0060.1mg/L是六價(jià)鉻<0.0040.05mg/L是總砷0.00030.1mg/L是總鉛<0.000240.1mg/L是懸浮物5mg/L是陰離子表面活性劑0.310.5mg/L是糞大腸菌群數(shù)42個(gè)/L是氨氮0.6195mg/L是總氮mg/L是石油類0.081mg/L是動(dòng)植物油0.071mg/L是3.1建設(shè)項(xiàng)目所在地區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀及主要環(huán)境問題3.1.1環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀根據(jù)杭州市環(huán)境狀況公報(bào)（2019年度），杭州（含上城區(qū)、下城區(qū)、江干區(qū)、拱本次評(píng)價(jià)收集2019年錢塘新區(qū)九中站全年自動(dòng)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)說明項(xiàng)目所在地環(huán)境空氣表3-12019年錢塘新區(qū)九中站環(huán)境空氣基本污染物監(jiān)測(cè)結(jié)果（單位：μg/m3）污染物年評(píng)價(jià)指標(biāo)現(xiàn)狀濃度標(biāo)準(zhǔn)值達(dá)標(biāo)情況塘新區(qū)九SO2年平均7.8660達(dá)標(biāo)第98百分位日平均濃度9.5達(dá)標(biāo)NO2年平均4090.4達(dá)標(biāo)第98百分位日平均濃度79.6599.6達(dá)標(biāo)PM10年平均68.237097.5達(dá)標(biāo)第95百分位日平均濃度146.4097.6達(dá)標(biāo)PM2.5年平均40.5935超標(biāo)第95百分位日平均濃度82.5575超標(biāo)CO第95百分位日平均濃度1224.71400030.6達(dá)標(biāo)O3第90百分位8h平均濃度72.1達(dá)標(biāo)到2025年，實(shí)現(xiàn)全市域大氣“清潔排放區(qū)”建設(shè)目標(biāo)，大氣污染物排放穩(wěn)定下降，基本消除重污染天氣，市區(qū)PM2.5年均濃度穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的同時(shí)，力下，全市O3濃度出現(xiàn)下降拐點(diǎn)。到2035年，大氣環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善，包括O3在內(nèi)的/立方米以下，全面消除重污染天氣。），表3-2特征因子小時(shí)均值濃度監(jiān)測(cè)結(jié)果一覽表采樣時(shí)間小時(shí)均值（mg/m3）氟化物氯化氫氯氨硫酸非甲烷總烴02時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.07<0.0050.6608時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.06<0.0050.67<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.8220時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.4502時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.07<0.0050.6308時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.09<0.0050.53<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.7720時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.4202時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.09<0.0050.7308時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.06<0.0050.59<0.0005＜0.02＜0.030.06<0.0050.8520時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.06<0.0050.5202時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.07<0.0050.6908時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.61<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.7520時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.4302時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.06<0.0050.7808時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.07<0.0050.69<0.0005＜0.02＜0.030.07<0.0050.9220時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.07<0.0050.5902時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.7108時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.59<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.8420時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.07<0.0050.6102時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.06<0.0050.4008時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.49<0.0005＜0.02＜0.030.08<0.0050.8520時(shí)<0.0005＜0.02＜0.030.07<0.0050.34標(biāo)準(zhǔn)值0.020.050.10.20.32.0達(dá)標(biāo)情況達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)（GB3095-2012）中的氟化物參考濃度限值。氯化氫、氯到《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則大氣》（HJ2.2-2018）附錄D中污染物空氣質(zhì)量濃度參考表3-3特征因子日均值濃度監(jiān)測(cè)結(jié)果一覽表采樣時(shí)間小時(shí)均值（mg/m3）氟化物氯化氫氯硫酸<0.00006＜0.004＜0.001<0.005<0.00006＜0.004＜0.001<0.005<0.00006＜0.004＜0.001<0.005<0.00006＜0.004＜0.001<0.005<0.00006＜0.004＜0.001<0.005<0.00006＜0.004＜0.001<0.005<0.00006＜0.004＜0.001<0.005標(biāo)準(zhǔn)值0.0070.0150.030.1達(dá)標(biāo)情況達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)由表可知，項(xiàng)目所在地特征因子氟化物日均值濃度能達(dá)到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）中的氟化物參考濃度限值。氯化氫、氯、硫酸日均境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則大氣》（HJ2.2-2018）附錄D中污染物空氣質(zhì)量濃度參考限值要圖3-1監(jiān)測(cè)點(diǎn)位圖3.1.2水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀根據(jù)《浙江省地面水環(huán)境保護(hù)功能區(qū)劃分（2015年）》，項(xiàng)目所在區(qū)域區(qū)段水環(huán)境功能區(qū)為工業(yè)、農(nóng)業(yè)用水區(qū)，水質(zhì)目標(biāo)為Ⅳ類，執(zhí)行《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》表3-4地表水水質(zhì)現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)單位：pH無量綱，其余為mg/L監(jiān)測(cè)點(diǎn)位監(jiān)測(cè)時(shí)間pH溶解氧高錳酸鹽指數(shù)氨氮總磷012020.2.1~2020.4.17.44~8.125.88~9.514.6~8.10.156~0.6250.237~0.329027.64~8.074.55~7.384.8~9.50.133~0.3170.2~0.263037.57~7.886.08~9.184.7~6.70.304~0.321IV類標(biāo)準(zhǔn)6~9≥3≤10≤1.5≤0.3達(dá)標(biāo)情況達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)超標(biāo)超標(biāo)無飲用水源功能。根據(jù)地形情況，地下水現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)表3-5地下水環(huán)境監(jiān)測(cè)點(diǎn)位及監(jiān)測(cè)內(nèi)容列表監(jiān)測(cè)時(shí)間監(jiān)測(cè)點(diǎn)位監(jiān)測(cè)內(nèi)容項(xiàng)目北側(cè)基本因子：pH、氨氮、硝酸鹽、亞硝酸鹽、揮發(fā)酚、氰化物、砷、汞、鉻（六價(jià)）、總硬度、鉛、氟化物、鎘、鐵、錳、溶解性總固體、高錳酸鹽指數(shù)、硫酸鹽、氯化物、總大腸菌群、細(xì)菌總數(shù)八大陰陽離子：K+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO32-、HCO3-、Cl-、SO42-項(xiàng)目東南側(cè)項(xiàng)目西南側(cè)表3-6地下水水質(zhì)基本因子監(jiān)測(cè)結(jié)果（單位：mg/L，pH除外）采樣日期Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn)值達(dá)標(biāo)情況測(cè)點(diǎn)名稱2#3#樣品性狀無色微濁無色微濁無色微濁//pH值8.288.215.5~6.5，8.5~9III類氨氮≤1.50達(dá)標(biāo)硝酸鹽8.319.88≤30.0達(dá)標(biāo)亞硝酸鹽＜0.001＜0.001＜0.001≤4.80達(dá)標(biāo)揮發(fā)酚＜0.0003＜0.0003＜0.0003≤0.01達(dá)標(biāo)氰化物＜0.002＜0.002＜0.002≤0.1達(dá)標(biāo)砷0.00320.00280.0034≤0.05達(dá)標(biāo)汞<0.0001<0.0001<0.0001≤0.002達(dá)標(biāo)六價(jià)鉻<0.004<0.004<0.004≤0.1達(dá)標(biāo)總硬度494483438≤650達(dá)標(biāo)鉛<0.0025<0.0025<0.0025≤0.1達(dá)標(biāo)氟化物0.230.230.24≤2.0達(dá)標(biāo)鎘<0.0001<0.0001<0.0001≤0.01達(dá)標(biāo)鐵0.07580.0820≤2.0達(dá)標(biāo)錳0.8060.6320.602≤1.5達(dá)標(biāo)溶解性總固體≤2000達(dá)標(biāo)耗氧量2.302.66≤10.0達(dá)標(biāo)硫酸鹽636443≤350達(dá)標(biāo)氯化物236≤350達(dá)標(biāo)總大腸菌群（MPN/100mL）≤100達(dá)標(biāo)菌落總數(shù)（CFU/mL）634228≤1000達(dá)標(biāo)表3-7地下水水質(zhì)八大陰陽離子監(jiān)測(cè)結(jié)果（單位：mg/L）離子種類2#3#離子濃度K+27.225.721.0Na+242211Ca2+42.044.442.2Mg2+89.277.271.7Cl-236SO42-CO32-67HCO3-389596458表3-8地下水離子平衡計(jì)算表離子種類2#3#K+0.6970.6590.538Na+10.5229.1747.696Ca2+Mg2+3.7173.2172.988陽離子摩爾濃度合計(jì)20.75318.48616.319Cl-6.6485.2114.620SO42-0.896CO32-2.2170.083HCO3-6.3779.7707.508陰離子摩爾濃度合計(jì)20.08317.81516.153陰陽離子平衡1.64%1.85%0.51%3.1.3聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀本項(xiàng)目所在區(qū)域聲環(huán)境執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3監(jiān)測(cè)頻次：晝夜一次監(jiān)測(cè)方法：執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-200表3-9項(xiàng)目聲環(huán)境現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)結(jié)果（Leq：dB(A)）監(jiān)測(cè)方位晝間夜間噪聲值標(biāo)準(zhǔn)值噪聲值標(biāo)準(zhǔn)值#1廠界東側(cè)55654655#2廠界南側(cè)5847#3廠界西側(cè)5947#4廠界北側(cè)5846由監(jiān)測(cè)結(jié)果表明，本項(xiàng)目所在地廠界晝夜聲環(huán)境能滿足《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》3.1.4土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀表3-10土壤環(huán)境監(jiān)測(cè)點(diǎn)位及監(jiān)測(cè)內(nèi)容列表監(jiān)測(cè)時(shí)間監(jiān)測(cè)點(diǎn)位監(jiān)測(cè)內(nèi)容項(xiàng)目北側(cè)pH、土壤容重、GB36600-2018中表1規(guī)定的45項(xiàng)基本項(xiàng)目、石油烴（C10-C40）項(xiàng)目西北側(cè)表3-11土壤環(huán)境現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)結(jié)果表檢測(cè)項(xiàng)目檢測(cè)結(jié)果篩選值（第二類用地）采樣點(diǎn)位2#土壤層次及采樣深度0-0.2m0-0.2m/土壤性狀黃褐色黃褐色/理化性質(zhì)pH（無綱量）8.197.69/土壤容重（g/cm3）/重金屬類汞（mg/kg）0.0440.04138砷（mg/kg）3.043.9160鉛（mg/kg）5.05.6800鎘（mg/kg）0.070.0465鎳（mg/kg）2022900銅（mg/kg）18000鉻（六價(jià)）（mg/kg）5.7揮發(fā)性有機(jī)氯甲烷（mg/kg）<0.001<0.00137物氯乙烯（mg/kg）<0.001<0.0010.431,1-二氯乙烯（mg/kg）<0.001<0.00166二氯甲烷（mg/kg）<0.0015<0.0015616反-1,2-二氯乙烯（mg/kg）<0.0014<0.0014541,1-二氯乙烷（mg/kg）<0.0012<0.00129順-1,2-二氯乙烯（mg/kg）<0.0013<0.0013596氯仿（mg/kg）<0.0011<0.00110.91,1,1-三氯乙烷（mg/kg）<0.0013<0.0013840四氯化碳（mg/kg）<0.0013<0.00132.8苯（mg/kg）<0.0019<0.00194三氯乙烯（mg/kg）<0.0012<0.00122.81,2-二氯乙烷（mg/kg）<0.0013<0.00135甲苯（mg/kg）<0.0013<0.00131,1,2-三氯乙烷（mg/kg）<0.0012<0.00122.8四氯乙烯（mg/kg）<0.0014<0.0014531,2-二氯丙烷（mg/kg）<0.0011<0.00115氯苯（mg/kg）<0.0012<0.00122701,1,1,2-四氯乙烷（mg/kg）<0.0012<0.0012乙苯（mg/kg）<0.0012<0.001228間二甲苯+對(duì)二甲苯（mg/kg）<0.0012<0.0012570鄰二甲苯（mg/kg）<0.0012<0.0012640苯乙烯（mg/kg）<0.0011<0.00111,1,2,2-四氯乙烷（mg/kg）<0.0012<0.00121,2,3-三氯丙烷（mg/kg）<0.0012<0.00120.51,4-二氯苯（mg/kg）<0.0015<0.0015201,2-二氯苯（mg/kg）<0.0015<0.0015560半揮發(fā)性有機(jī)物硝基苯（mg/kg）<0.09<0.0976苯胺（mg/kg）<1.0<1.02602-氯酚（mg/kg）<0.06<0.062256苯并[a]蒽（mg/kg）<0.1<0.1苯并[a]芘（mg/kg）<0.1<0.1苯并[b]熒蒽（mg/kg）<0.2<0.2苯并[k]熒蒽（mg/kg）<0.1<0.1?（mg/kg）<0.1<0.1二苯并[a,h]蒽（mg/kg）<0.1<0.1茚并[1,2,3-cd]芘（mg/kg）<0.1<0.1萘（mg/kg）<0.09<0.0970其他污染物石油烴<6<64500污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)》（GB36600-2018）中第二類用3.2評(píng)價(jià)等級(jí)確定3.2.1大氣環(huán)境評(píng)價(jià)等級(jí)確定根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則－大氣環(huán)境》（HJ2.2-2018）規(guī)定，項(xiàng)目采用估型AERSCREEN估算計(jì)算評(píng)價(jià)等級(jí)。根據(jù)計(jì)算，最大地面濃3.2.2地表水環(huán)境評(píng)價(jià)等級(jí)確定根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則－地表水環(huán)境》（HJ2.3-2018）規(guī)定，本項(xiàng)目生標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)中的三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)）；臨江污水處理廠出水水質(zhì)將執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處3.2.3聲環(huán)境評(píng)價(jià)等級(jí)確定根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則－聲環(huán)境》（HJ2.4-2009）規(guī)定，本項(xiàng)目塘新區(qū)智造谷，屬于《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB309建設(shè)項(xiàng)目建設(shè)前后評(píng)價(jià)范圍內(nèi)敏感目標(biāo)噪聲級(jí)增高量在3dB(A)以下，且受影響人口數(shù)3.2.4地下水環(huán)境評(píng)價(jià)等級(jí)確定響評(píng)價(jià)行業(yè)分類表規(guī)定，本項(xiàng)目行業(yè)類別為電子元件制造，屬于“81、印刷電路板、電等級(jí)為三級(jí)，評(píng)價(jià)范圍為廠區(qū)內(nèi)及周圍6km2范圍的地下水環(huán)境，其地下水環(huán)境評(píng)價(jià)等表3-12評(píng)價(jià)工作等級(jí)分級(jí)表項(xiàng)目類別環(huán)境敏感程度Ⅰ類項(xiàng)目Ⅱ類項(xiàng)目Ⅲ類項(xiàng)目敏感一一二較敏感一二三不敏感二三三3.2.5土壤環(huán)境評(píng)價(jià)等級(jí)確定行業(yè)類別為電子元件制造，屬于制造業(yè)“設(shè)備制造、金屬制品、汽車制造及其他用品制因此，土壤環(huán)境評(píng)價(jià)等級(jí)為三級(jí)。評(píng)價(jià)范圍為占地范圍內(nèi)與占地范圍外50m范圍內(nèi)，表3-13評(píng)價(jià)工作等級(jí)分級(jí)表敏感程度評(píng)價(jià)等級(jí)占地規(guī)模II類III類大中小大中小大中小敏感一級(jí)一級(jí)一級(jí)二級(jí)二級(jí)二級(jí)三級(jí)三級(jí)三級(jí)較敏感一級(jí)一級(jí)二級(jí)二級(jí)二級(jí)三級(jí)三級(jí)三級(jí)-不敏感一級(jí)二級(jí)二級(jí)二級(jí)三級(jí)三級(jí)三級(jí)--注：“-”表示可不開展土壤影響評(píng)價(jià)工作3.3主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)根據(jù)區(qū)域環(huán)境功能特征及建設(shè)項(xiàng)目地理位置，確定本表3-14主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)類別保護(hù)目標(biāo)名稱坐標(biāo)保護(hù)對(duì)象規(guī)模環(huán)境功能區(qū)相對(duì)廠址方位相對(duì)廠界距離/mXY大氣環(huán)境新江村120.46374630.352174村莊560戶/2268人二類W江東村120.46391830.337068村莊570戶/2226人2080瑯琴灣120.48724330.329022小區(qū)926戶/2963人S2810春雷村120.50422730.338517村莊521戶/1850人2780春園村120.50422730.330706村莊573戶/354人3300水環(huán)境地表水二七橫河河流/Ⅳ類S350錢塘直河/E370地下水不作為飲用水源/工業(yè)水源IV類//聲環(huán)境廠界周邊200m范圍//土壤環(huán)境項(xiàng)目所在地及廠界周邊50m范圍（GB36600-2018）中第二類用地篩選值生態(tài)環(huán)境評(píng)價(jià)范圍內(nèi)的基本農(nóng)田/圖3-2大氣評(píng)價(jià)范圍及評(píng)價(jià)范圍內(nèi)主要敏感目標(biāo)示意圖（邊長5km）4.1環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目所在地環(huán)境空氣質(zhì)量中的氮氧化物和氟化物執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）及修改單中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)；氨、丙酮、硫酸、氯表4-1環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)污染物名稱取值時(shí)間二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)濃度限值(ug/m3)備注SO2年平均60《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）及修改單1小時(shí)平均500TSP年平均200300NO2年平均401小時(shí)平均200NOx1小時(shí)平均250PM10年平均70PM2.5年平均3575O3平均1小時(shí)平均200CO4(mg/m3)1小時(shí)平均10(mg/m3)氟化物71小時(shí)平均20氨1小時(shí)平均200《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則中附錄D丙酮1小時(shí)平均800硫酸1小時(shí)平均300氯1小時(shí)平均氯化氫1小時(shí)平均50非甲烷總烴一次值2000《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)詳解》4.1.2地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)表4-2《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)項(xiàng)目pH值DO(mg/L)高錳酸鹽指數(shù)(mg/L)COD(mg/L)BOD5(mg/L)氨氮(mg/L)氟化物(mg/L)石油類(mg/L)總氮(mg/L)標(biāo)準(zhǔn)值6～9≥3≤10≤30≤6≤1.5≤1.5≤0.5≤1.54.1.3地下水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)表4-3《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-2017單位：mg/L，pH除外）項(xiàng)目IV類標(biāo)準(zhǔn)值項(xiàng)目IV類標(biāo)準(zhǔn)值氨氮≤1.50氟化物≤2.0硝酸鹽≤30.0鎘≤0.01亞硝酸鹽≤4.80鐵≤2.0揮發(fā)酚≤0.01錳≤1.5氰化物≤0.1溶解性總固體≤2000砷≤0.05耗氧量≤10.0汞≤0.002硫酸鹽≤350六價(jià)鉻≤0.1氯化物≤350總硬度≤650總大腸菌群（MPN/100mL）≤100pH值5.5~6.58.5~9菌落總數(shù)（CFU/mL）≤1000鉛≤0.1），表4-4《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008）單位：dB(A)類別晝間夜間65554.1.5土壤環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)》（試行）表4-5《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)》（試行）GB36600-2018序號(hào)污染物項(xiàng)目CAS編號(hào)篩選值管制值第一類用地第二類用地第一類用地第二類用地重金屬和無機(jī)物1砷7440-38-220①60①2鎘7440-43-92065473鉻（六價(jià)）18540-29-93.05.730784銅7440-50-82000180008000360005鉛7439-92-140080080025006汞7439-97-6838337鎳7440-02-09006002000揮發(fā)性有機(jī)物8四氯化碳56-23-50.92.89369氯仿67-66-30.30.95氯甲烷74-87-337211,1-二氯乙烷75-34-339201,2-二氯乙烷107-06-20.5256211,1-二氯乙烯75-35-46640200順-1,2-二氯乙烯156-59-2665962002000反-1,2-二氯乙烯156-60-55431二氯甲烷75-09-29461630020001,2-二氯丙烷78-87-515547630-20-62.62679-34-56.85020四氯乙烯53342171-55-6701840840840221,1,2-三氯乙烷79-00-50.62.8523三氯乙烯79-01-60.72.8720241,2,3-三氯丙烷96-18-40.050.50.5525氯乙烯75-01-40.434.326苯71-43-2144027氯苯108-90-768270200281,2-二氯苯95-50-1560560560560291,4-二氯苯106-46-75.6205620030100-41-47.2287228031苯乙烯100-42-532108-88-333間二甲苯+對(duì)二甲苯108-38-3,106-42-357050057034鄰二甲苯95-47-6222640640640半揮發(fā)性有機(jī)物35硝基苯98-95-3347676036苯胺62-53-392260211663372-氯酚95-57-82502256500450038苯并[a]蒽56-55-35.55539苯并[a]芘50-32-80.555.540苯并[b]熒蒽205-99-25.55541苯并[k]熒蒽207-08-95555042?218-01-949049001290043二苯并[a,h]蒽53-70-30.555.544茚并[1,2,3-cd]芘193-39-55.55545萘91-20-32570255700石油烴類46石油烴-8264500500090004.2污染物排放標(biāo)準(zhǔn)本項(xiàng)目排放的氮氧化物、氟化物、硫酸霧、氯氣、氯化氫和非甲烷總烴執(zhí)行表4-6《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)污染物名稱最高允許排放濃度（mg/m3）最高允許排放速率（kg/h）無組織排放監(jiān)控濃度限值mg/m3排氣筒（m）二級(jí)氮氧化物240352.975氯化氫3510.2硫酸霧45355.95氟化物9350.39750.02氯氣65350.94250.4非甲烷總烴3538.254表4-7《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)污染物名稱最高允許排放濃度（mg/m3）最高允許排放速率（kg/h）廠界標(biāo)準(zhǔn)值mg/m3排氣筒（m）二級(jí)氨/35表4-8丙酮和硅烷排放標(biāo)準(zhǔn)污染物名稱最高允許排放濃度（mg/m3）備注丙酮《上海大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB31-933-2015）中附錄A硅烷5.0《荷蘭排放導(dǎo)則》本項(xiàng)目廠區(qū)內(nèi)非甲烷總烴無組織排放執(zhí)行《揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)表4-9《揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB37822-2019）污染物名稱最高允許排放濃度(mg/m3)標(biāo)準(zhǔn)來源非甲烷總烴6（1小時(shí)平均濃度限值）在廠房外設(shè)置監(jiān)控點(diǎn)非甲烷總烴20（任意一次濃度值）控制標(biāo)準(zhǔn)（《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)中的三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)）；臨江污水處理表4-9《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）單位：除pH外，mg/L序號(hào)污染物三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)1pH6～92CODCr5003BOD530044005氨氮356動(dòng)植物油7總磷88石油類209六價(jià)鉻0.5總鉻總銀0.5總氮70氟化物20關(guān)規(guī)定。②總氮執(zhí)行《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)指標(biāo)》（GB/T31962表4-10臨江污水處理廠廢水進(jìn)管和出管標(biāo)準(zhǔn)單位：mg/L（除pH外）標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目杭州臨江污水處理廠廢水進(jìn)管控制標(biāo)準(zhǔn)杭州臨江污水處理廠廢水排放標(biāo)準(zhǔn)pH6～106～9CODCr50050BOD5B/C≥0.2520400氨氮352.5石油類251總氮70總磷80.5總鉻0.1六價(jià)鉻0.50.05總銀0.50.1注：①臨江污水處理廠企業(yè)納管控制標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)蕭水務(wù)[2010]20號(hào)關(guān)于同意實(shí)企業(yè)并網(wǎng)要求》的批復(fù)。②氨氮和總磷的納管標(biāo)準(zhǔn)參照《工業(yè)廢水氮、表4-11《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）類別標(biāo)準(zhǔn)限值（dB）晝間夜間6555總量控制4.3總量控制指標(biāo)），印發(fā)浙江省大氣污染防治“十三五”規(guī)劃的通知（浙發(fā)改規(guī)劃[2017]250號(hào)），要深入開展揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）污染治理，新增揮發(fā)性有機(jī)物排放量實(shí)行區(qū)域內(nèi)表4.3.2-1本項(xiàng)目污染物區(qū)域替代消減情況單位：t/a污染物項(xiàng)目排污量消減替代比例區(qū)域平衡替代削減量全廠總量控制建議值CODCr1：11.5766NH3-N0.0791：10.07880.079VOCs0.0310.06180.031氮氧化物0.0240.04750.024圖5.2.1-1紫外外延片生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)圖（1）裝片：將外購的襯底放入金屬有機(jī)化學(xué)氣相外延沉積（MOCVD）設(shè)備（2）外延：金屬有機(jī)化學(xué)物（MO源）為三甲基鎵（TMGa）、SiH4/H2混合控制在一定的溫度，隨后利用載氣（氫氣）通過MO源容器攜帶MO源蒸汽輸送NH3+A（CH3）3------->AN+3CH4A=GaIn應(yīng)一臺(tái)風(fēng)機(jī)，單臺(tái)風(fēng)機(jī)風(fēng)量為1000m3/h,外延過程產(chǎn)生的外延廢氣通過風(fēng)機(jī)引入管酸洗過程產(chǎn)生酸洗廢氣（G2），酸洗廢氣主要為HCl及硫酸霧，經(jīng)收集后，進(jìn)入）；（2）清洗：酸洗后的外延片進(jìn)入酸洗槽內(nèi)的清洗槽進(jìn)行清洗，以去除外延片表面的酸。清洗過程有酸性清洗廢水（W2）產(chǎn)生，清洗后，使用甩干機(jī)將外延片處理，燃燒后產(chǎn)生N2、H2O和剩余廢氣經(jīng)酸堿廢氣處理系統(tǒng)處理后，通過約35m）；硝酸、BOE刻蝕液等。在室溫下對(duì)基材進(jìn)行腐蝕，使暴露的氧化層去除。刻蝕過），（7）干法刻蝕：由于氮化物具有極高的化學(xué)穩(wěn)定性，在常溫下，酸堿對(duì)其腐蝕性極低，對(duì)GaN的刻蝕采用干法刻蝕方法。使用干法蝕刻機(jī)，利用低壓放電對(duì)）；（8）去膠：使用等離子去膠機(jī)將透明電極層的光刻膠去除，并使用丙酮將殘）；（9）窗口圖形光刻：該工序包括均膠、烘干、曝光、顯影四個(gè)階段，窗口圖形主要作為GaN芯片的電流擴(kuò)展效應(yīng)。光刻產(chǎn)生的光刻廢氣（G3-2），經(jīng)和堿性廢氣洗滌塔廢水（W8）產(chǎn)生，同時(shí)光刻工序有廢光刻膠（S4）和廢顯影劑（10）刻蝕：人工將制品放入化學(xué)槽的酸池內(nèi)，濕法刻蝕工序用到濃度約為刻蝕過程中產(chǎn)生刻蝕廢氣（G4-2），經(jīng)酸堿廢氣處理系統(tǒng)凈化后由35m高排氣筒P1排放，刻蝕過程有廢酸（S6）產(chǎn)生，同時(shí)廢氣洗滌過程產(chǎn)生少量的洗滌塔排水）；溶解，使其全部去除。去膠過程中揮發(fā)出的有機(jī)廢氣（G6），廢氣洗滌塔廢水（W8）產(chǎn)生，同時(shí)去膠過）；（13）SiO2生長利用等離子氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）進(jìn)行沉積，通入氧化亞處理，燃燒后產(chǎn)生N2、H2O和剩余廢氣經(jīng)酸堿廢氣處理系統(tǒng)處理后，通過約35m生的光刻廢氣（G3-3），經(jīng)酸液噴淋+炭纖維裝置處理后，尾氣由35m高排氣筒（15）清洗：利用清洗機(jī)對(duì)其進(jìn)行清洗，清洗過程中產(chǎn)生有機(jī)廢水（W5-1）,鍍的金屬為鈦、鎳、鋁、鉻、鉑、金，沉積的并在有機(jī)槽內(nèi)使用丙酮對(duì)制品進(jìn)行浸泡，揮發(fā)出的剝離廢氣(G8-1)經(jīng)酸液噴淋+炭性廢氣洗滌塔廢水（W8）產(chǎn)生，浸泡后，使用純水對(duì)制品進(jìn)行沖洗，產(chǎn)生含有機(jī)），（19）SiO2生長：利用等離子氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）進(jìn)行沉積，通入氧化廢氣（G3-4），經(jīng)酸液噴淋+炭纖維裝置處理后，尾氣由35m高排氣筒P凈化過程有廢活性炭（S3）和堿性廢氣洗滌塔廢水（W8）產(chǎn)生，同時(shí)光刻工序有為70%硝酸、BOE刻蝕液等。在室溫下對(duì)基材進(jìn)行腐蝕，使暴露的氧化層去除?？涛g過程中產(chǎn)生刻蝕廢氣（G4-3），經(jīng)酸堿廢氣處理系統(tǒng)凈化后由35m高排氣筒P1排放，刻蝕過程有廢酸（S6）產(chǎn)生，同時(shí)廢氣洗滌過程產(chǎn)生少量的洗滌塔排水）；溶解，使其全部去除。去膠過程中揮發(fā)出的有機(jī)廢氣（G6），廢氣洗滌塔廢水（W8）產(chǎn)生，同時(shí)去膠過）；廢氣（G3-5），經(jīng)酸液噴淋+炭纖維裝置處理后，尾氣由35m高排氣筒P凈化過程有廢活性炭（S3）和堿性廢氣洗滌塔廢水（W8）產(chǎn)生，同時(shí)光刻工序有溶解，使其全部去除。去膠過程中揮發(fā)出的有機(jī)廢氣（G6-4）經(jīng)酸液噴淋+炭纖維）；（29）SiO2生長：利用等離子氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）進(jìn)行沉積，通入氧化廢氣（G3-6），經(jīng)酸液噴淋+炭纖維裝置處理后，尾氣由35m高排氣筒P凈化過程有廢活性炭（S3）和堿性廢氣洗滌塔廢水（W8）產(chǎn)生，同時(shí)光刻工序有溶解，使其全部去除。去膠過程中揮發(fā)出的有機(jī)廢氣（G6-5），廢氣洗滌塔廢水（W8）產(chǎn)生，同時(shí)去膠過）；并在有機(jī)槽內(nèi)使用丙酮對(duì)制品進(jìn)行浸泡，揮發(fā)出的剝離廢氣(G8-2)經(jīng)酸液噴淋+炭性廢氣洗滌塔廢水（W8）產(chǎn)生，浸泡后，使用純水對(duì)制品進(jìn)行沖洗，產(chǎn)生含有機(jī)），），度等參數(shù)對(duì)芯片進(jìn)行全自動(dòng)化挑選和分類，分類后利用外購本項(xiàng)目在營運(yùn)期間，會(huì)產(chǎn)生一定的廢水、廢氣、固廢、噪聲，具體污染因子見表表5.1-2本項(xiàng)目產(chǎn)污工序及污染因子一覽表污染物類型污染源產(chǎn)污環(huán)節(jié)主要污染因子廢水W1酸霧洗滌塔廢水酸堿廢氣處理pH、SS、氟化物、總氮W2酸性清洗廢水酸洗后清洗pH、SSW3含氟清洗廢水刻蝕后清洗pH、SS、氟化物、總氮W4濕法尾氣處理廢水濕法尾氣處理pH、SSW5有機(jī)清洗廢水光刻后清洗pH、COD、SS、石油類、氨氮、總氮W6剝離廢水剝離pH、COD、SS、石油類W7研磨廢水研磨pH、COD、SS、石油類W8堿性廢氣洗滌塔廢水堿性有機(jī)廢氣洗滌pH、COD、SS、石油類、氨氮、總氮W9堿性廢氣洗滌塔廢水酸堿廢氣處理pH、SS、氨氮、總氮W10純水站再生廢水純水制備pH、COD、SSW11常溫冷卻水系統(tǒng)廢水冷卻pH、COD、SSW12生活污水員工生活COD、SS、氨氮廢氣G1外延廢氣外延NH3、硅烷G2酸洗廢氣酸洗HCl、硫酸霧G3光刻廢氣光刻非甲烷總烴G4刻蝕廢氣濕法刻蝕氟化物、氮氧化物G5干法刻蝕廢氣干法刻蝕氯氣G6去膠廢氣去膠丙酮G7沉積廢氣SiO2生長硅烷、氧化亞氮G8剝離廢氣剝離丙酮S1不合格品分選不合格外延片、芯片S2廢酸液酸洗硫酸、鹽酸S3廢活性炭廢氣處理廢活性炭S4廢光刻膠光刻廢光刻膠S5廢顯影液光刻廢顯影液S6廢刻蝕液刻蝕廢刻蝕液、硝酸S7廢去膠液去膠丙酮S8廢剝離液剝離丙酮S9廢研磨液研磨廢研磨液S10廢邊角料切割邊角料S11廢包裝材料包裝塑料、紙S12廢原料桶（瓶）原材料包裝玻璃、塑料S13廢活性炭（純水制備）純水制備廢活性炭S14廢水處理污泥廢水處理氟化物、有機(jī)物S16生活垃圾生活垃圾設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生的機(jī)械噪聲圖5.2.3-1本項(xiàng)目水量平衡示意圖（m3/d）6（體積比）的成分混合而成）。涉及含氟物料的環(huán)節(jié)進(jìn)入廢水，進(jìn)入含氨廢水處理系統(tǒng)處理后再排入圖5.2.4-1本項(xiàng)目氟平衡示意圖（kg/a）藝尾氣全部排入“燃燒系統(tǒng)+堿性廢氣處理系統(tǒng)”處理系統(tǒng)，經(jīng)POU裝置處理后再進(jìn)入堿性廢氣洗滌塔處理后排放；POU凈化裝置及堿性廢氣洗滌塔排水進(jìn)入含氨廢水處理（2）光刻顯影工序：主要用到顯影液，少量進(jìn)入廢氣，廢顯影液作為危廢處理，圖5.2.4-2本項(xiàng)目氨平衡示意圖（kg/a）圖5.2.4-3本項(xiàng)目氯平衡示意圖（kg/a）本項(xiàng)目生產(chǎn)過程使用到會(huì)產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)廢氣（VOCs）的溶劑包括：光刻膠、顯影液、丙酮等。涉及有機(jī)溶劑的工序主要為：光刻工序（1）光刻工序：該工序包括均膠、烘干、曝光、顯影四個(gè)階段。根據(jù)企業(yè)提供的（2）去膠工序：丙酮用于濕法去除光刻膠，使用時(shí)物料中少量揮發(fā)進(jìn)入廢氣，極圖5.2.4-4本項(xiàng)目有機(jī)溶劑平衡示意圖（kg/a）術(shù)。在真空蒸發(fā)鍍膜和真空濺射鍍膜工序中均存在鍍膜后抽真空工序以使鍍膜機(jī)內(nèi)清圖5.2.4-5本項(xiàng)目金屬單質(zhì)物料平衡示意圖（kg/a）W6剝離廢水、W7研磨廢水、W8堿性廢氣洗滌塔廢水、W9堿性廢氣洗滌塔廢水、W10純水站再生廢水、W11常溫冷卻水系統(tǒng)廢水。工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)和空調(diào)熱水系鋁、鉻、金、鉑和氧化銦。根據(jù)企業(yè)提供資料，約50%的金屬入射到芯片表面，剩余（1650m3/a），項(xiàng)目生活污水產(chǎn)生系數(shù)表5.3.1-1主要廢水處理及排放情況表單位：m3/d序號(hào)廢水類別產(chǎn)生工序主要污染因子排放方式廢水排放量處理措施及排放去向1W1酸霧洗滌塔廢水酸霧洗滌pH、SS、氟化物、總氮連續(xù)2含氟廢水處理系統(tǒng)→酸堿廢水處理系統(tǒng)→廢水總排口→污水處理廠2W2酸性清洗廢水酸洗后清洗pH、SS連續(xù)6酸堿廢水處理系統(tǒng)→廢水總排口→污水處理廠3W3含氟清洗廢水刻蝕后清洗pH、SS、氟化物、總氮連續(xù)含氟廢水處理系統(tǒng)→酸堿廢水處理系統(tǒng)→廢水總排口→污水處理廠4W4濕法尾氣處理廢水濕法尾氣處理pH、SS連續(xù)0.5酸堿廢水處理系統(tǒng)→廢水總排口→污水處理廠5W5有機(jī)清洗廢水光刻后清洗氨氮、總氮連續(xù)36有機(jī)廢水處理系統(tǒng)→酸堿廢水處理系統(tǒng)→廢水總排口→污水處理廠6W6剝離廢水剝離pH、COD、SS、石油類連續(xù)4.87W7研磨廢水研磨pH、COD、SS、石油類連續(xù)68W8堿性廢氣洗滌塔廢水堿性有機(jī)廢氣洗滌氨氮、總氮連續(xù)有機(jī)廢水處理系統(tǒng)→酸堿廢水處理系統(tǒng)→廢水總排口→污水處理廠9W9堿性廢氣洗滌塔廢水堿性廢氣洗滌pH、SS、氨氮、總氮連續(xù)2酸堿廢水處理系統(tǒng)→廢水總排口→污水處理廠W10純水站再生廢水純水制備pH、COD、SS連續(xù)9.75W11常溫冷卻水系統(tǒng)廢水冷卻pH、COD、SS連續(xù)8直接排放生產(chǎn)廢水小計(jì)91.55/W12生活污水員工生活COD、SS、氨氮連續(xù)4排入園區(qū)生活污水處理系統(tǒng)根據(jù)本項(xiàng)目建設(shè)方案，采用物料衡算的方法，本項(xiàng)目廢水表5.3.1-2本項(xiàng)目廢水源強(qiáng)情況一覽表序號(hào)廢水名稱廢水源強(qiáng)（kg/a）COD氨氮氟化物總氮石油類1W1酸霧洗滌塔廢水//6.57721.896//2W2酸性清洗廢水//////3W3含氟清洗廢水//25.89025.760//4W4濕法尾氣處理廢水//////5W5有機(jī)清洗廢水42.8396.027/6.02745.09018.6636W6剝離廢水117.276////53.2147W7研磨廢水///360908W8堿性廢氣洗滌塔廢水771.2585.304/5.304/18.6639W9堿性廢氣洗滌塔廢水//81.009//W10純水站再生廢水*234.009///58.502/注：*純水再生廢水主要污染因子為CODCr、SS，濃度分別以80mg/L、20mg/L計(jì)。表5.3.1-3本項(xiàng)目廢水源強(qiáng)情況一覽表廢水處理系統(tǒng)或廢水廢水處理量t/a主要污染物處理前處理后預(yù)計(jì)處理效率產(chǎn)生量kg/a產(chǎn)生濃度mg/L排放量kg/a排放濃度mg/L含氟廢水（含W1酸霧洗滌塔廢水、W3含氟清洗廢水）5610氟化物32.4675.7873.2470.57990總氮47.6568.49547.6568.4950有機(jī)廢水（含W5有機(jī)清洗廢水、W6剝離廢水、W7研磨廢水、W8堿性廢氣洗滌塔廢水）15939COD931.37358.434651.96140.90330氨氮11.3310.71110.1980.640總氮11.3310.71110.1980.640405.09025.415202.54512.70850石油類180.54011.327126.3787.92930酸堿廢水處理系統(tǒng)（含W1酸霧洗滌塔廢水、W2酸性清洗廢水、W3含氟清洗廢水、W4濕法尾氣處理廢水、W5有機(jī)清洗廢水、W6剝離廢水、W7研磨廢水、W8堿性廢氣洗滌塔廢水、W9堿性廢氣洗滌塔廢水、W10純水站再生廢水）27572COD885.97032.133885.97032.1330氨氮91.1983.30891.1983.3080氟化物3.2470.1183.2470.1180總氮138.8625.036138.8625.0360261.0479.468261.0479.4680石油類126.3784.584126.3784.5840常溫冷卻系統(tǒng)排水2640//////生活污水COD462350462350/氨氮46.23546.235/本項(xiàng)目生產(chǎn)過程中，產(chǎn)生和排放的廢氣主要有：G1外延廢氣、G2酸洗廢氣、G3光刻廢氣、G4刻蝕廢氣、G5干法刻蝕廢氣、G6去膠廢氣、G7沉積廢氣表5.3.2-1項(xiàng)目廢氣處理系統(tǒng)排風(fēng)量統(tǒng)計(jì)表類子式設(shè)備NH3、統(tǒng)物廢氣統(tǒng)統(tǒng)附酸性廢氣產(chǎn)生于芯片生產(chǎn)廠房，主要來源于生產(chǎn)工藝過干法刻蝕廢氣經(jīng)濕法尾氣處理器處理后和其他酸性廢氣以及經(jīng)過燃燒系統(tǒng)處理的塔對(duì)酸性廢氣進(jìn)行處理，處理后由35m排氣筒排放。酸堿廢氣處理系統(tǒng)中二級(jí)堿液噴酸洗分別使用70%硫酸及20%鹽酸，濕法刻蝕工序用到濃度約為70%硝酸，根據(jù)《排污申報(bào)登記適用手冊(cè)》(國家環(huán)境保護(hù)總局編著，中國環(huán)境科學(xué)出版社2003年出版)P569推薦的酸霧估算公式估算酸霧產(chǎn)生量，同時(shí)式中：G——酸霧量，kg/h；M——液體(即酸)的分子量，HCl為36.5，H2SO4為P——相應(yīng)于酸液溫度下的空氣中的蒸汽分壓力mmHg柱（具體見適用手冊(cè)）；表5.3.2-2酸性廢氣排放量統(tǒng)計(jì)表酸性廢氣種類產(chǎn)生工序產(chǎn)生量（m3/h）酸堿廢氣處理裝置風(fēng)機(jī)總風(fēng)量處理效率換風(fēng)次數(shù)G2酸洗廢氣酸洗1700085%~90%G4刻蝕廢氣刻蝕G5干法刻蝕廢氣干法刻蝕60%表5.3.2-2項(xiàng)目酸性廢氣污染源強(qiáng)核算表廢氣種類污染物產(chǎn)生量（kg/h）備注G2酸洗廢氣HCl0.001進(jìn)入酸堿廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理硫酸霧0.012G4刻蝕廢氣氟化物0.001氮氧化物0.020G5干法刻蝕廢氣氯氣2.03E-05進(jìn)入濕法尾氣處理器進(jìn)行處理后再進(jìn)入酸堿廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理工藝尾氣產(chǎn)生于外延車間和芯片生產(chǎn)車間，主要來自外延和SiO2生長等工序，尾經(jīng)35m排氣筒排放。燃燒系統(tǒng)采用電加熱，本項(xiàng)目不涉及天然氣使用。酸堿廢氣處理系統(tǒng)內(nèi)擬設(shè)置1套一級(jí)酸液噴淋塔對(duì)堿性廢氣進(jìn)行處理，處理后由35m排氣筒排放。表5.3.2-3工藝尾氣排放量統(tǒng)計(jì)表酸性廢氣種類產(chǎn)生工序產(chǎn)生量（m3/h）酸堿廢氣處理裝置風(fēng)機(jī)總風(fēng)量處理效率G1外延廢氣外延120001700085%~99.9%G7沉積廢氣SiO2生長2000表5.3.2-4項(xiàng)目酸性廢氣污染源強(qiáng)核算表廢氣種類污染物產(chǎn)生量（kg/h）備注G1外延廢氣NH30.102進(jìn)入燃燒系統(tǒng)+堿性廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理硅烷1.26E-05G7沉積廢氣硅烷1.01E-06氮氧化物1.26E-06碳酸鹽為有機(jī)強(qiáng)堿，具有較強(qiáng)的腐蝕性，因此項(xiàng)目擬設(shè)置堿性廢氣處理系統(tǒng)+碳纖維凈化系統(tǒng)對(duì)有機(jī)廢氣進(jìn)行處理，處理后由35m排氣筒排放。該系統(tǒng)綜合處理效率為表5.3.2-5工藝尾氣排放量統(tǒng)計(jì)表酸性廢氣種類產(chǎn)生工序產(chǎn)生量（m3/h）酸性廢氣處理裝置風(fēng)機(jī)風(fēng)量處理效率G3光刻廢氣光刻5000700075%~90%G6去膠廢氣去膠G8剝離廢氣剝離表5.3.2-6項(xiàng)目酸性廢氣污染源強(qiáng)核算表廢氣種類污染物產(chǎn)生量（kg/h）備注G3光刻廢氣非甲烷總烴0.005進(jìn)入堿性廢氣處理系統(tǒng)+碳纖維凈化系統(tǒng)進(jìn)行處理G6去膠廢氣丙酮0.014G8剝離廢氣丙酮表5.3-1廢氣污染源強(qiáng)核算結(jié)果及相關(guān)參數(shù)一覽表工序/生產(chǎn)線裝置污染源污染物污染物產(chǎn)生治理措施污染物排放排放/h核算方法廢氣產(chǎn)生量/(m3/h)產(chǎn)生量/(kg/h)產(chǎn)生濃度/(mg/m3)工藝效率/%核算方法廢氣排放量/(m3/h)排放量/(kg/h)排放濃度/(mg/m3)外延MOCVD氣筒NH3物料衡算法120000.1028.523燃燒+一級(jí)酸噴淋+二級(jí)堿噴淋90排污系數(shù)法170000.0100.6027920外延MOCVD氣筒硅烷物料衡算法120001.26E-051.05E-0399.9排污系數(shù)法170001.36E-088.02E-077920SiO2生長PECVD氣筒硅烷物料衡算法20001.01E-065.05E-0499.9排污系數(shù)法170007920SiO2生長PECVD氣筒氮氧化物物料衡算法20001.26E-06<3排污系數(shù)法170001.89E-07<37920酸洗化學(xué)槽氣筒HCl物料衡算法0.001一級(jí)酸噴淋+二級(jí)堿噴淋90排污系數(shù)法17000<0.27920酸洗化學(xué)槽氣筒硫酸霧物料衡算法0.01212.000排污系數(shù)法170000.002<0.27920刻蝕（濕法）化學(xué)槽氣筒氟化物物料衡算法0.0010.92390排污系數(shù)法170009.23E-05<0.067920刻蝕（濕法）化學(xué)槽氣筒氮氧化物物料衡算法0.02020.000排污系數(shù)法170000.003<37920干法刻蝕干法刻蝕機(jī)氣筒氯氣物料衡算法2.03E-05<0.03水洗+一級(jí)酸噴淋+二級(jí)堿噴淋60排污系數(shù)法17000<0.037920光刻化學(xué)槽2#排非甲物料衡50000.0050.943一級(jí)酸液90排污系70004.71E-04<0.077920均膠機(jī)、烤箱氣筒烷總烴算法噴淋+干燥系統(tǒng)+碳纖維吸附數(shù)法去膠化學(xué)槽（去光2#排氣筒丙酮物料衡算法0.0146.85675排污系數(shù)法0.0030.4907920剝離化學(xué)槽（有機(jī)）2#排氣筒丙酮物料衡算法75排污系數(shù)法7920表5.3.3-1主要噪聲源強(qiáng)一覽表序號(hào)名稱噪聲源強(qiáng)數(shù)量備注設(shè)備位置1廢氣處理風(fēng)機(jī)75~805距離噪聲源車間內(nèi)2空壓機(jī)80~9723冷水機(jī)組78~8524冷凍水泵75~8025冷卻水泵75~8026冷卻塔75~8027排水泵75~8048加藥水泵703循環(huán)使用，定期補(bǔ)充酸，約每個(gè)季度清理一次，廢酸液產(chǎn)生量約為1.26t/a，經(jīng)收集后項(xiàng)目光刻廢氣、去膠廢氣和剝離廢氣采用“一級(jí)酸液噴淋+干燥系統(tǒng)+碳纖維吸附”的組合處理，為保證活性炭凈化效率，要定期更換活性炭。根據(jù)有機(jī)溶劑平衡圖（圖），項(xiàng)目光刻工序使用到光刻膠和顯影液，根據(jù)有機(jī)溶劑平衡圖（圖5.2.4-4），項(xiàng)目項(xiàng)目濕法刻蝕工序用到濃度約為70%硝酸、BOE刻蝕液，根據(jù)氟平衡示意圖（圖項(xiàng)目去膠和剝離工序使用丙酮對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行浸泡、清洗。根據(jù)有機(jī)溶劑平衡圖（圖），廢包裝材料主要有廢包裝箱、包裝袋、包裝紙箱和廢本項(xiàng)目擬自建污水處理站，用于處理生產(chǎn)過程中工藝廢水及廢氣處理中噴淋廢水鋁、鉻、金、鉑和氧化銦。根據(jù)企業(yè)提供資料，約50%的金屬入射到芯片表面，剩余家直接回收。根據(jù)《固體廢物鑒別標(biāo)準(zhǔn)通則》6.1中B項(xiàng)，不經(jīng)過貯存或堆積過程，本項(xiàng)目勞動(dòng)定員100人，生活垃圾產(chǎn)生量約為0.5kg/人·d，則生表5.3.4-1本項(xiàng)目污染物產(chǎn)生情況匯總表（單位：t/a）副產(chǎn)物名稱預(yù)計(jì)產(chǎn)生量排放量處置方式S1不合格品0.0010出售綜合利用S2廢酸液0交由資質(zhì)單位統(tǒng)一處理S3廢活性炭0.690交由資質(zhì)單位統(tǒng)一處理S4廢光刻膠0.4260交由資質(zhì)單位統(tǒng)一處理S5廢顯影液5.5780交由資質(zhì)單位統(tǒng)一處理S6廢刻蝕液0交由資質(zhì)單位統(tǒng)一處理S7廢去膠液0.9230交由資質(zhì)單位統(tǒng)一處理S8廢剝離液S9廢研磨液0.4990交由資質(zhì)單位統(tǒng)一處理S10廢邊角料0.0010出售綜合利用S11廢包裝材料0出售綜合利用S12廢原料桶（瓶）10交由資質(zhì)單位統(tǒng)一處理S13廢活性炭（純水制0.20建議交由資質(zhì)單位統(tǒng)一處理S14廢水處理污泥20根據(jù)鑒定結(jié)果，按照規(guī)范處置S15廢靶材0.0050專業(yè)單位進(jìn)行回收利用S16生活垃圾0交由環(huán)衛(wèi)部門處理表5.3.4-2本項(xiàng)目污染物屬性判定序號(hào)副產(chǎn)物名稱產(chǎn)生工序形態(tài)主要成分是否屬于判斷依據(jù)1S1不合格品分選不合格外延片、芯片是2S2廢酸液酸洗液態(tài)硫酸、鹽酸是4.2/b3S3廢活性炭廢氣處理廢活性炭是4.3/l4S4廢光刻膠光刻液態(tài)廢光刻膠是4.2/b5S5廢顯影液光刻液態(tài)廢顯影液是4.2/b6S6廢刻蝕液刻蝕液態(tài)廢刻蝕液、硝酸是4.2/b7S7廢去膠液去膠液態(tài)丙酮是4.2/b8S8廢剝離液剝離液態(tài)丙酮是4.2/b9S9廢研磨液研磨液態(tài)廢研磨液是4.2/bS10廢邊角料切割邊角料是4.2/aS11廢包裝材料包裝塑料、紙是S12廢原料桶原材料包裝玻璃、塑料是S13廢活性炭（純水制備）純水制備廢活性炭是S14廢水處理污泥廢水處理氟化物、有機(jī)物是4.3/eS15廢靶材真空鍍膜鈦、鎳、鋁、鉻、鉑、金、氧化銦否S16生活垃圾生活垃圾是表5.3.4-3本項(xiàng)目危險(xiǎn)廢物屬性判定序號(hào)廢物名稱產(chǎn)生工序是否屬于危險(xiǎn)固廢廢物代碼1S1不合格品分選否/2S2廢酸液酸洗是900-300-343S3廢活性炭廢氣處理是900-041-494S4廢光刻膠光刻是397-001-165S5廢顯影液光刻是397-001-166S6廢刻蝕液刻蝕是397-005-347S7廢去膠液去膠是900-402-068S8廢剝離液剝離是900-402-069S9廢研磨液研磨是900-200-08S10廢邊角料切割否/S11廢包裝材料包裝否/S12廢原料桶（瓶）原材料包裝是900-041-49S13廢活性炭（純水制備）純水制備否/S14廢水處理污泥廢水處理待鑒定/S16生活垃圾否/表5.3.4-4