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NXCL300mmlowoxygencontentsingI本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的1300mm低氧含量直拉硅單晶本文件規(guī)定了300mm低氧含量直拉硅單晶的技術(shù)要求、試運輸、貯存、質(zhì)量證明書和質(zhì)量承諾等方面本文件適用于以電子級多晶硅為主要原材料，采用直拉法制備的直徑為300mm的低氧含量硅單YS/T769非本征半導體中少數(shù)載流子擴散長度的穩(wěn)態(tài)表面光電壓測試方法4技術(shù)要求），），），），），24.3電學參數(shù)N磷4.5.1氧含量硅單晶的間隙氧含量應不大于2.5×1017原子數(shù)/cm3，氧含量的徑向變化具體指標應不大于104.5.2碳含量硅單晶的碳含量應不大于5×1016原子數(shù)/cm3，或由供需雙方商定。4.5.3體金屬含量硅單晶的體鐵含量應不大于5×1013原子數(shù)/cm3，其他體金屬每種元素含量應不大于5×1011原子4.6完整性4.6.1硅單晶無孔洞、裂紋、劃傷、蝕坑等。4.7頭尾區(qū)分4.8其他5.5硅單晶的晶向及偏離度的測量按照GB/5.6硅單晶的間隙氧含量測量按照GB/T1535.9硅單晶體的體鐵含量測量按YS/T679進行，其他體金屬含量測量按GB/T370496.1.1產(chǎn)品應由供方的品質(zhì)部門進行檢驗，保證產(chǎn)品符合本文件規(guī)定，并向需方提供產(chǎn)品質(zhì)量證明書6.1.2需方可在收到產(chǎn)品后按照本文件規(guī)定進行檢測，若檢測結(jié)果與本文件（或訂貨合同）不符，可6.2組批6.3檢驗項目6.4檢驗結(jié)果的判定6.4.1直徑、晶向、導電類型、頭尾標記中某6.4.2電阻率、電阻率徑向變化、氧含量、氧含量徑向變化、碳含量、體金屬含量、晶體完整性中有7.2包裝47.3運輸與貯存7,4其他
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