GBT 11498-2018 半導(dǎo)體器件 集成電路 第21部分：膜集成電路和混合膜集成電路分規(guī)范(采用鑒定批準(zhǔn)程序)

GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997——GB/T16464—1996半導(dǎo)體器件集成電路第1部分：總則(idtIEC60748-1:1984) GB/T17574—1998半導(dǎo)體器件集成電路第2部分：數(shù)字集成電路(idtIEC60748-2字/模擬轉(zhuǎn)換器(DAC)空白詳細(xì)規(guī)范(idtIEC60748-4-1:1993) 擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換器(ADC)空白詳細(xì)規(guī)范(idtIEC60748-4-2:1993)——GB/T12750—2006半導(dǎo)體器件集成電路第11部分：半導(dǎo)體集成電路分規(guī)范(不包括混合電路)(idtIEC60748-11:1990)——GB/T8976—1996膜集成電路和混合膜集成電路總規(guī)范(idtIEC60748-20:1988)規(guī)范(采用鑒定批準(zhǔn)程序)(IEC60748-21:1997,IDT)—GB/T13062—2018半導(dǎo)體器件集成電路第21-1部分：膜集成電路和混合膜集成電路空白詳細(xì)規(guī)范(采用鑒定批準(zhǔn)程序)(IEC60748-21-1:1997,IDT) -GB/T16465—1996膜集成電路和混合膜集成電路分規(guī)范(采用能力批準(zhǔn)程序)(idtIEC60748-22) -GB/T16466—1996膜集成電路和混合膜集成電路空白詳細(xì)規(guī)范(采用能力批準(zhǔn)程序)(idtIEC60748-22-1)本部分按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本部分代替GB/T11498—1989《膜集成電路和混合膜集成電路分規(guī)范(采用鑒定批準(zhǔn)程序)》,與GB/T11498—1989相比主要技術(shù)變化如下：——試驗(yàn)程序由一個(gè)鑒定程序擴(kuò)展為程序A和程序B兩個(gè)鑒定程序。本部分使用翻譯法等同采用IEC60748-21:1997《半導(dǎo)體器件集成電路第21部分：膜集成電路——IEC原文為“以逐批和周期試驗(yàn)為基礎(chǔ)的鑒定批準(zhǔn)程序見表2和表3或表6和表7”有誤，現(xiàn)改為“以逐批和周期試驗(yàn)為基礎(chǔ)的質(zhì)量一致性檢驗(yàn)程序見表2和表3或表6和表7”(見3.2);——IEC原文為“評定水平應(yīng)從表2或表6和表3或表2中選取”有誤，改為“評定水平應(yīng)從表2或表6和表3或表7中選取”(見3.3);“D”(見表5)。IⅡGB/T11498—2018/IEC60748-21:1997本部分由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出。本部分由全國半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC78)歸口。本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：——GB/T11498—1989。1GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997半導(dǎo)體器件集成電路第21部分：膜集成電路和混合膜集成電路分規(guī)范(采用鑒定批準(zhǔn)程序)1范圍和目的《半導(dǎo)體器件集成電路》的本部分適用于作為目錄內(nèi)電路或定制電路而制造的、其質(zhì)量是以鑒定批準(zhǔn)為基礎(chǔ)評定的膜集成電路和混合膜集成電路。本部分的目的是為額定值和特性提供優(yōu)先值，從總規(guī)范中選擇合適的試驗(yàn)和測量方法，并且給出根據(jù)本部分制定的膜集成電路和混合膜集成電路詳細(xì)規(guī)范使用的通用性能要求。優(yōu)先值的概念直接應(yīng)用于目錄內(nèi)電路，但是不必應(yīng)用于定制電路。參照本部分制定的詳細(xì)規(guī)范所規(guī)定的試驗(yàn)嚴(yán)酷等級和要求可等于或高于分規(guī)范的性能水平，不準(zhǔn)許有更低的性能水平。同本部分相聯(lián)系的有一個(gè)或多個(gè)空白詳細(xì)規(guī)范，每個(gè)空白詳細(xì)規(guī)范均給以編號。按照2.3規(guī)定填寫空白詳細(xì)規(guī)范，即構(gòu)成一個(gè)詳細(xì)規(guī)范。按IECQ體系的規(guī)定，該類詳細(xì)規(guī)范可用于膜集成電路和混合膜集成電路鑒定批準(zhǔn)的授與和質(zhì)量一致性檢驗(yàn)。2.1規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T2471—1995電阻器和電容器優(yōu)先數(shù)系(idtIEC60063:1963)GB/T8976—1996膜集成電路和混合膜集成電路總規(guī)范(idtIEC60748-20:1988)范第1部分：內(nèi)部目檢要求(Semiconductordevices—Integratedcircuits—Part20:Genericspecifica-tionforfilmintegratedcircuitsandhybridfilmintegnalvisualexamination)2.2優(yōu)先額定值和特性電壓和電流應(yīng)選用GB/T17573—1998中給出的優(yōu)先值；電阻器和電容器應(yīng)選用GB/T2471—1995中給出的優(yōu)先值；定制電路可以自行選擇額定值和公差。2.3詳細(xì)規(guī)范應(yīng)規(guī)定的內(nèi)容詳細(xì)規(guī)范根據(jù)有關(guān)空白詳細(xì)規(guī)范制訂。詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的嚴(yán)酷等級應(yīng)不低于總規(guī)范或分規(guī)范規(guī)定的嚴(yán)酷等級。若包括更嚴(yán)要求時(shí)，應(yīng)列入2GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997每個(gè)詳細(xì)規(guī)范應(yīng)給出以下內(nèi)容。采用值應(yīng)優(yōu)先從本部分適用的條款中選擇。每個(gè)詳細(xì)規(guī)范應(yīng)規(guī)定逐批檢驗(yàn)和周期檢驗(yàn)所要求的各項(xiàng)試驗(yàn)和測試要求。至少要包括本部分中給尺寸及其關(guān)聯(lián)的公差。所有尺寸用毫米表示。端的直徑。詳細(xì)規(guī)范應(yīng)規(guī)定電路在常規(guī)使用及在振動(dòng)、碰撞或沖擊試驗(yàn)中所用的安裝方法。在電路使用中有詳細(xì)規(guī)范應(yīng)規(guī)定從總規(guī)范第4章中選擇適用的試驗(yàn)方法和嚴(yán)酷等級。詳細(xì)規(guī)范應(yīng)規(guī)定在電路和外包裝上的標(biāo)志內(nèi)容。與總規(guī)范2.6不一致處應(yīng)該明確指出。詳細(xì)規(guī)范應(yīng)規(guī)定訂購電路時(shí)所要求的下述信息：b)包含產(chǎn)品型號及評定水平的詳細(xì)規(guī)范的編號及版本號(適用時(shí));c)電路功能(適用時(shí));d)基本功能特性及其公差(適用時(shí))。用于說明詳細(xì)規(guī)范的注解。鑒定批準(zhǔn)程序見總規(guī)范3.5和以下具體規(guī)定。如果選取的代表電路型號的試驗(yàn)對編組在一起的其他型號至少能給出相同的質(zhì)量水平，則可用結(jié)構(gòu)相似性來進(jìn)行該項(xiàng)評定試驗(yàn)。3GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997工藝和方法(例如，采用同種漿料的一系列的相同外加的元器件制作的薄膜D/A轉(zhuǎn)換器)時(shí)，就可以認(rèn)為它們在結(jié)構(gòu)上是相似的。一項(xiàng)試驗(yàn)所要求的樣品應(yīng)從這種組合產(chǎn)品中抽取?？辗夂?或)電性能不合格品。鑒定批準(zhǔn)試驗(yàn)和程序在總規(guī)范3.5中給出。基于固定樣本大小為基礎(chǔ)的鑒定批準(zhǔn)程序見表1或表5。以逐批和周期試驗(yàn)為基礎(chǔ)的質(zhì)量一致性檢驗(yàn)程序見表2和表3,或表6和表7。鑒定批準(zhǔn)程序表(固定樣本大小程序)和質(zhì)量一致性檢驗(yàn)程序表(逐批和周期檢驗(yàn))共同規(guī)定了成品制造廠可自行選擇采用評定水平K、L或M,但僅能按以下規(guī)定放行產(chǎn)品：評定水平放行評定水平KLMM制造廠可以通過完成有關(guān)試驗(yàn)來改變其已經(jīng)批準(zhǔn)的評定水平。如果直到當(dāng)前的試驗(yàn)間隔日期期滿應(yīng)在詳細(xì)規(guī)范中規(guī)定環(huán)境試驗(yàn)后相關(guān)的電特性極限值。選取的樣本應(yīng)能代表希望被批準(zhǔn)的電路范圍。樣本大小及合格判定數(shù)取決于表2或表7所規(guī)定的評定水平。為了使一個(gè)詳細(xì)規(guī)范中所覆蓋的全部電路都通過鑒定批準(zhǔn)，需要完成表1或表5規(guī)定的全部試驗(yàn)。每組試驗(yàn)應(yīng)按給出的順序進(jìn)行。4GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997表1鑒定批準(zhǔn)試驗(yàn)程序(程序A)章條號、試驗(yàn)和試驗(yàn)程序D/ND試驗(yàn)條件性能要求0組01分組4.3.1封蓋前目檢NDh02a分組4.3.2外部目檢和標(biāo)志檢查ND02b分組4.3.3尺寸ND03分組+4.5.16易燃性(僅作為信息)D04分組“4.5.9密封ND05分組4.4.11室溫下主要靜態(tài)和動(dòng)態(tài)電特性ND06分組4.4.11極限工作溫度下主要靜態(tài)和動(dòng)態(tài)電特性ND1組順序a,b初始測試4.5.6變頻振動(dòng)和4.5.7恒定加速度或4.5.5沖擊4.5.7恒定加速度終點(diǎn)電測試D/ND4.4.1105分組4.5.9密封4.4.1105分組初始測試4.5.11耐焊接熱4.5.15.2電路耐溶劑性4.5.8溫度變化4.5.3穩(wěn)態(tài)濕熱d終點(diǎn)電測試D4.4.1105分組4.5.9密封4.4.1105分組4.3.2外部目檢和標(biāo)志檢查5GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997表1(續(xù))章條號、試驗(yàn)和試驗(yàn)程序D/ND試驗(yàn)條件性能要求4.5.10可焊性4.5.12.1拉力4.5.12.3彎曲(圓引線或帶狀引線)終點(diǎn)電測試或4.5.10可焊性4.5.12.1拉力4.5.12.3彎曲(整排)4.5.12.2推力終點(diǎn)電測試D4.5.9密封4.5.9密封“初始測試4.5.2低溫4.5.1高溫貯存終點(diǎn)電測試ND4.4.1105分組溫度：℃溫度：℃4.4.1105分組5組初始測試4.5.14耐久性：1000h耐久性：2000h終點(diǎn)電測試D4.4.1105分組4.4.1105分組注1:各評定水平的樣本大小和合格判定數(shù)在表2中詳細(xì)規(guī)定。注2:章條號引自總規(guī)范第4章。注3:D——破壞性試驗(yàn)，ND——非破壞性試驗(yàn)。僅適用于空封電路。b安裝條件按詳細(xì)規(guī)范規(guī)定。按詳細(xì)規(guī)范規(guī)定選擇。d對于非密封的電路，詳細(xì)規(guī)范可允許免做濕熱試驗(yàn)。允許使用電性能不合格品。f在評定水平K中：1.000h后，暫時(shí)批準(zhǔn)；2000h后，正式批準(zhǔn)。適用于有機(jī)材料封裝。h見IEC60748-20-1。一個(gè)檢驗(yàn)批應(yīng)由結(jié)構(gòu)相似的電路組成(見3.1)。6GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997長不超過一個(gè)月。逐批檢驗(yàn)和周期檢驗(yàn)程序在相應(yīng)的空白詳細(xì)規(guī)范中規(guī)定。每組試驗(yàn)應(yīng)按給出的順序進(jìn)行。用于鑒定批準(zhǔn)(見表1或表5)和質(zhì)量一致性檢驗(yàn)(見相應(yīng)空白詳細(xì)規(guī)范)的評定水平應(yīng)從表2或表6和表3或表7中選取。表1的檢驗(yàn)組或分組評定水平KLMnCnCnC22281818103(僅作為信息)22—2111213111281112141111281111288811125111注2:c——合格判定數(shù)(允許不合格品數(shù)當(dāng)不要求1組試驗(yàn)時(shí)，可減掉該分組所需樣品數(shù)。b對每種規(guī)定溶劑最少試驗(yàn)4只電路。7GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997表3質(zhì)量一致性檢驗(yàn)的評定水平和合格判定數(shù)(程序A)表3a以抽樣為基礎(chǔ)所進(jìn)行的逐批試驗(yàn)(程序A)檢驗(yàn)組或分組評定水平KLM篩選(見表4)要求4.3.2外部目檢和標(biāo)志檢查Ⅱ1ⅡI4.4.11室溫下主要靜態(tài)和動(dòng)態(tài)電特性ⅡⅡⅡ14.4.11極限工作溫度下主要靜態(tài)和動(dòng)態(tài)電特性1B1分組4.5.10可焊性4.3.3尺寸111注1:IL——檢查水平(見IEC604注3:章條號引自總規(guī)范第4章。表3b以抽樣為基礎(chǔ)所進(jìn)行的周期檢驗(yàn)(程序A)檢驗(yàn)組或分組評定水平KLMpnCpnCpnCC1分組4.4.11極限工作溫度下的主要靜態(tài)和動(dòng)態(tài)電特性61261268124.5.6變頻振動(dòng)和4.5.7恒定加速度或4.5.5沖擊和4.5.7恒定加速度h6181C3分組順序4.5.11耐焊接熱4.5.15.2電路耐溶劑性s4.5.8溫度變化4.5.3穩(wěn)態(tài)濕熱h611818GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997檢驗(yàn)組或分組評定水平KLMpnCpncpnCC4分組順序4.5.2低溫4.5.1高溫貯存612128124.5.14電耐久性：—66161——4.5.10可焊性4.5.12.1拉力4.5.12.3彎曲(圓引線或帶狀引線)或4.5.10可焊性4.5.12.1拉力4.5.12.3彎曲(整排)4.5.12.2推力11814.5.16易燃性，g(僅作為信息)222注3:c——合格判定數(shù)(允許不合格品數(shù)、允許“僅用于空封電路。h安裝條件按詳細(xì)規(guī)范規(guī)定。按詳細(xì)規(guī)范規(guī)定選擇。d對于非密封電路，詳細(xì)規(guī)范可以允許免做濕熱試驗(yàn)?！霸试S使用電性能不合格品。1000h后，暫時(shí)批準(zhǔn)；2000h后，正式批準(zhǔn)。適用于有機(jī)材料封裝。h試驗(yàn)后建議進(jìn)行終點(diǎn)電測試。篩選順序按表4規(guī)定。9GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997步驟總規(guī)范章條號順序ABCDE4.3.1×2高溫貯存4.5.1××××3溫度變化4.5.8××××4.5.7范規(guī)定×××5密封4.5.9×××6選擇參數(shù)××7老煉×××8×××××見IEC60748-20-1。3.5被批準(zhǔn)制造廠在非IEC成員國的制造工序如果符合總規(guī)范中3.2的條件時(shí)，對于本部分中包括的膜集成電路和混合膜集成電路允許申請擴(kuò)展制造廠批準(zhǔn)。4試驗(yàn)和測量程序本章包括應(yīng)用于膜集成電路和混合膜集成電路的所有典型試驗(yàn)和測量程序，而這些在總規(guī)范第4每個(gè)詳細(xì)規(guī)范應(yīng)規(guī)定逐批檢驗(yàn)和周期試驗(yàn)要求的所有試驗(yàn)和測量程序，最少應(yīng)包括本規(guī)范所給出的有關(guān)試驗(yàn)及規(guī)定的方法和嚴(yán)酷等級。GB/T11498—2018/IEC60748-21:19975試驗(yàn)程序(程序B)表表5鑒定批準(zhǔn)試驗(yàn)程序(程序B)章條號和試驗(yàn)D/ND試驗(yàn)條件性能要求0組0la分組4.3.2外部目檢和標(biāo)志檢查01b分組4.3.3尺寸ND02分組4.4.1125℃下功能特性(適用時(shí))ND03分組4.4.1125℃下靜態(tài)特性ND04a分組4.4.11最高工作溫度下靜態(tài)特性同03分組ND1.2分組4.5.10可焊性D04b分組4.4.11最低工作溫度下靜態(tài)特性同03分組ND05分組4.4.11除另有規(guī)定外，25℃下動(dòng)態(tài)特性ND1組1.1分組4.5.12引出端強(qiáng)度D1.3分組4.5.11耐焊接熱D終點(diǎn)電測試(同02分組和03分組)2組2.1分組4.5.8快速溫度變化4.5.4交變濕熱(適用于非空封器件)4.5.9密封(適用于空封器件)終點(diǎn)電測試(同02分組和03分組)D與詳細(xì)規(guī)范一致2.2分組4.5.5沖擊或4.5.6振動(dòng)4.5.7恒定加速度(適用于空封器件)D按規(guī)定終點(diǎn)電測試(同02分組和03分組)3分組3.1分組電耐久性D按詳細(xì)規(guī)范規(guī)定評定水平：K:3000hL:2000hM:1000h終點(diǎn)電測試(同02分組和03分組)GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997表5(續(xù))章條號和試驗(yàn)D/ND試驗(yàn)條件性能要求3.2分組高溫貯存D存溫度，最少1000h終點(diǎn)電測試(同02分組和03分組)3.3分組4.5.3穩(wěn)態(tài)濕熱D評定水平bK:2000hL:1000M:500h終點(diǎn)電測試(同02分組和03分組)3.4分組4.5.15.1標(biāo)志耐溶劑性D3.5分組4.5.16易燃性(僅作為信息)D注1:各評定水平的樣本大小和合格判定數(shù)在表6中詳細(xì)規(guī)定。注2:章條號引自總規(guī)范第4章?！斑m用于非空封電路：——評定水平K:200次循環(huán)；——評定水平L和M:100次循環(huán)。h適用于非空封電路。表5的檢驗(yàn)組或分組評定水平KLMnCnCnC0組01a分組，01b分組02分組03分組04a分組，04b分組05分組1111111111111111組11分組1.2分組1.3分組1111111112組2.1分組2.2分組1111113組3.1分組3.2分組3.3分組3.4分組3.5分組8211118211118211111注3:本表中的“—”指不作要求。GB/T11498—2018/IEC60748-21:1997表7質(zhì)量一致性檢驗(yàn)的評定水平和合格判定數(shù)(程序B)表7a以抽樣為基礎(chǔ)所進(jìn)行的逐批檢驗(yàn)(A組檢驗(yàn))(程序B)檢驗(yàn)組或分組評定水平KLMKLM4.3.2外部目檢和標(biāo)志檢查77ⅡⅡⅡ4.4.11除另有規(guī)定外，25℃下功能檢驗(yàn)55ⅡⅡⅡ(不適用于評定水平M)4.4.11最低工作溫度和最高工作溫度下功能檢驗(yàn)b77ⅡⅡ55ⅡⅡ4.4.11最低工作溫度和最高工作溫度下靜態(tài)電特性b74.4.11除另有規(guī)定外，25℃下動(dòng)態(tài)電特性7(不適用于評定水平M)4.4.11最低工作溫度和最高工作溫度下動(dòng)態(tài)電特性—檢驗(yàn)組或分組評定水平篩選順序ABCDE4.3.3尺寸4.4.11電參數(shù)額定值檢驗(yàn)4.5.10可焊性B8分組4.5.14電耐久性放行批認(rèn)證記錄B8分組提供檢驗(yàn)結(jié)果注