半導(dǎo)體制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）閥門技術(shù)規(guī)范-編制說(shuō)明

I 2 2 2 2 2 4 4 4 4 四、采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的程度及理由，以及與國(guó)際、國(guó)外同類標(biāo)準(zhǔn)水 1于<半導(dǎo)體制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)閥門技術(shù)規(guī)范>等兩項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)的通知》，由科訊工業(yè)制造（深圳）有限公司牽頭申報(bào)的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)閥門技術(shù)規(guī)范》PFA材料具有卓越的抗腐蝕性、耐熱性、抗粘性，廣泛應(yīng)用于過(guò)程中金屬離子析出和潔凈度要求較高的半導(dǎo)體、行業(yè)。芯片制造過(guò)程中單片/多片的酸洗、涂膠顯影環(huán)節(jié)使用的塑料管材、接頭和閥門對(duì)產(chǎn)品的金屬離子析出和潔凈度要求較高，PFA材料因其優(yōu)越的耐腐蝕性和抗粘性，可滿足芯片制造過(guò)程中對(duì)塑料閥門的超低金屬離子析出和超高的潔凈度要求。該標(biāo)準(zhǔn)制定后為半導(dǎo)體制造行業(yè)的發(fā)展起到至關(guān)重要的作用，為產(chǎn)品質(zhì)量保駕護(hù)航。本標(biāo)準(zhǔn)由科訊工業(yè)制造（深圳）有限公司牽頭編制。訊”）召開(kāi)標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)討論會(huì)。會(huì)議決定以科訊工業(yè)制造（深圳）有限公司積累多年的閥門研發(fā)和生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)為基礎(chǔ)，檢索對(duì)比國(guó)內(nèi)外閥門相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，組建標(biāo)準(zhǔn)編制組，開(kāi)始進(jìn)行預(yù)研工作。2框架和主要內(nèi)容等。2024年11月4日，科訊工業(yè)制造（深圳）有限公司向深圳市戰(zhàn)略性深圳市戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進(jìn)會(huì)發(fā)布《關(guān)于<半導(dǎo)體制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)閥門技術(shù)規(guī)范>團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)通知》，正式批準(zhǔn)《半導(dǎo)體制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)閥門技術(shù)規(guī)范》立項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)后，編制組進(jìn)行了新一輪的標(biāo)準(zhǔn)查新，并根據(jù)立項(xiàng)任務(wù)書的計(jì)劃，著手起草初稿，并于2024年12月6日完成標(biāo)準(zhǔn)草案。編制組對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)行研討，研討會(huì)后編制組對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)行了修改和完善，2024年12月30日，形成《半導(dǎo)體制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)閥門技術(shù)規(guī)范》（征求意見(jiàn)稿）和編制說(shuō)明。PFA閥門是以PFA為主要材料的隔膜閥，本標(biāo)準(zhǔn)旨在規(guī)范用于半導(dǎo)體制造的PFA隔膜閥的技術(shù)規(guī)范，包括壁厚及公差、壓力、流通能力、耐腐蝕性等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)和性能的規(guī)定。1.適用性原則。制定本標(biāo)準(zhǔn)的出發(fā)點(diǎn)是統(tǒng)一半導(dǎo)體制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)閥門的技術(shù)要求，保證產(chǎn)品質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。制定標(biāo)準(zhǔn)過(guò)程中，根據(jù)產(chǎn)品工藝的成熟與完善、技術(shù)發(fā)展水平及測(cè)試數(shù)據(jù)確定技術(shù)指標(biāo)取值范圍，力求確保標(biāo)準(zhǔn)的合理性與適用性。3并與現(xiàn)行閥門相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)一致。3.規(guī)范性原則。標(biāo)準(zhǔn)在結(jié)構(gòu)和編寫規(guī)則上符合GB/T1.1《標(biāo)準(zhǔn)化工作允許偏差方面，部分指標(biāo)適當(dāng)加嚴(yán)；在耐腐蝕能方面，實(shí)現(xiàn)多種化學(xué)品耐本標(biāo)準(zhǔn)名稱為“半導(dǎo)體制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)閥門不應(yīng)有凹凸不平等缺陷。PFA閥門的壁厚和公差對(duì)閥門的安全性能、穩(wěn)定性能、壓力性能及使閥門的壁厚及公差做出要求，進(jìn)行技術(shù)指標(biāo)的規(guī)范。4不同長(zhǎng)度的PFA閥門適用范圍不同，制造精度也有所不同，對(duì)不同長(zhǎng)度的閥門進(jìn)行偏差要求，適當(dāng)提高技術(shù)指標(biāo)，促進(jìn)閥門制造精度的提升。PFA閥門的壓力性能是重要指標(biāo)，是確保其正常工作和長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵因素，對(duì)閥門的設(shè)計(jì)、選材、制造和維護(hù)都有著重要的指導(dǎo)意義。因此，在本標(biāo)準(zhǔn)中，對(duì)PFA閥門的耐壓性進(jìn)行要求，確保閥門在生產(chǎn)時(shí)符合規(guī)范，使用時(shí)具有較高的安全性能和適用性。PFA閥門的流通能力是設(shè)計(jì)和選型的重要依據(jù)，也是性能測(cè)試的關(guān)鍵因素之一。半導(dǎo)體制造用PFA閥門需要有優(yōu)越的流通能力，本標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)PFA閥門的流通能力做了具體的規(guī)定，給出了在20℃,0.1MPa條件下PFA閥門流通能力應(yīng)符合的參數(shù)，以供生產(chǎn)廠商參照使用。半導(dǎo)體制造用液體具有高純度和高敏感性的特點(diǎn)，良好的氣密性可以性在處理有毒氣體、腐蝕性液體的過(guò)程中可以起到保護(hù)作用，防止泄漏傷人。因此本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)氣密性的指標(biāo)進(jìn)行了一定的提高，旨在促進(jìn)PFA閥門制造業(yè)及半導(dǎo)體制造業(yè)的進(jìn)步。半導(dǎo)體制造過(guò)程中可能會(huì)受到機(jī)械振動(dòng)的影響，良好的耐振性可以確保閥門在這些條件下保持穩(wěn)定的性能，避免因振動(dòng)導(dǎo)致的閥門損壞或性能下降，同時(shí)提高生產(chǎn)率。半導(dǎo)體制造過(guò)程中涉及大量腐蝕性化學(xué)試劑的使用，如刻蝕液、清洗5證制程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量。PFA閥門在長(zhǎng)期接觸腐蝕性物質(zhì)的情況下仍能保持閥門結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和功能性，可減少維護(hù)成本。因此，本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)PFA閥門的耐腐蝕性能進(jìn)行了規(guī)定，在表1規(guī)定的化學(xué)品濃度中，PFA閥門應(yīng)完全耐腐蝕。37%28%49%69%40%40%在制造方面，與SEMIF57-2021《用于超純水和液體化學(xué)分配系統(tǒng)的聚合物組件的臨時(shí)規(guī)范（Provisionalspecificationforpolymercomponentsusedinultrapurewaterandliquidchemicaldistributionsystems）》協(xié)調(diào)一致，對(duì)閥門的表面粗糙度和潔凈度提出了要求。限位及扭矩過(guò)載保護(hù)設(shè)置。閥門的耐用性也是使用中的重要考察因素，根據(jù)科訊多年的研究與制造經(jīng)驗(yàn)，適當(dāng)提高閥門的啟閉次數(shù)，促進(jìn)閥門制造行業(yè)進(jìn)步。6在顆粒度、離子污染、金屬污染、總有機(jī)碳（TOC）的限量方面，與SEMIF57-2021《用于超純水和液體化學(xué)分配系統(tǒng)的聚合物組件的臨時(shí)規(guī)范（Provisionalspecificationforpolymercomponentsusedinultrapurewaterandliquidchemicaldistributionsystems）》協(xié)調(diào)一致。目前國(guó)內(nèi)尚未有關(guān)于這些參數(shù)指標(biāo)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，但在半導(dǎo)體制造中，這些參數(shù)與指標(biāo)必不可少，因此采用國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。施條例》等現(xiàn)行法律、法規(guī)的規(guī)定。標(biāo)準(zhǔn)與GB/T44578—2024《熱塑性塑料隔膜閥》、GB/T44580—2024《熱塑性塑料閥門疲勞強(qiáng)度試驗(yàn)方法》、GB/T17213.9—2005《工業(yè)過(guò)程控制閥第2-3部分流通能力試驗(yàn)程序》等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)一致。本標(biāo)準(zhǔn)是以我國(guó)P