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第十一章半導體式物性傳感器,1970年,荷蘭科學家研制出了對氫離子響應(yīng)的離子敏感場效應(yīng)晶體管,標志著離子敏半導體傳感器的誕生。 由于電子技術(shù)的飛速發(fā)展,以半導體傳感器為代表的各種固態(tài)傳感器相繼問世。這類傳感器主要是以半導體為敏感材料,在各種物理量的作用下引起半導體材料內(nèi)載流子濃度或分布的變化,通過檢測這些物理特性的變化,即可反映被測參數(shù)值。,
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