真空設(shè)備的維護(hù)和維修

1、真空設(shè)備的維護(hù)和維修1維護(hù)部分1.1、機(jī)械真空泵的維護(hù)和保養(yǎng)：（1）泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔。（2）泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中應(yīng)保持油箱內(nèi)油量不得低于油標(biāo)中心。（3）不同種類和牌號(hào)的真空泵油不可混合使用。（4）泵在使用中溫升不能超過70。（5）新泵在使用100 h左右應(yīng)換12次油，待換下的油內(nèi)不再發(fā)現(xiàn)含黑色金屬粉末后，可加長(zhǎng)換油期限。根據(jù)說明書規(guī)定 和使用實(shí)際情況來確定換油期限。（6）新泵和修理后的泵應(yīng)現(xiàn)作運(yùn)轉(zhuǎn)試驗(yàn)46 h，檢查泵是否符合使用要求。（7）泵使用較長(zhǎng)時(shí)間以后（23年不等），極限真空度下降，應(yīng)進(jìn)行一次檢修。同時(shí)也應(yīng)對(duì)系統(tǒng)、管道、閥門和電動(dòng)機(jī)等加以清洗、檢修。（8）泵在使用中，因系統(tǒng)損壞等特

2、殊事故，或進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí)，應(yīng)盡快停泵，并切斷與系統(tǒng)連接的真空管（關(guān)低真空閥或夾真空夾），防止噴油，污染工作場(chǎng)地。（9）泵上所有機(jī)件，非絕對(duì)必要，切勿自行拆卸。（10）泵不用時(shí)，應(yīng)用橡皮塞（帽）把進(jìn)氣口塞好，以免贓物和硬質(zhì)東西落入泵內(nèi)。（11）經(jīng)常注意真空技術(shù)發(fā)展動(dòng)向，盡量及早地引入新技術(shù)、新材料（如新泵油等），以改進(jìn)原有系統(tǒng)的性能。以上數(shù)點(diǎn)，可按具體情況，訂出相應(yīng)操作規(guī)程，嚴(yán)格施行。1.2、整套設(shè)備的日常維護(hù)： （1）操作人員要熟悉各種儀表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并理解各種說明書。（2）冷卻水水壓應(yīng)保持0.10.2 Mpa之間，出水溫度45。（3）壓縮空氣壓力在0.40.5 Mpa之間。

3、（4）每爐開機(jī)前，要檢查保護(hù)氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。（5）開機(jī)后如有異常情況，應(yīng)立即排除或停機(jī)查找原因。（6）經(jīng)常檢查各部分的回水量，工作時(shí)應(yīng)保證各部分有充足的冷卻水。（7）設(shè)備停止使用時(shí)，應(yīng)將爐內(nèi)氣體抽空，長(zhǎng)時(shí)間不用，要充入保護(hù)性氣體，并把設(shè)備水冷套內(nèi)的循環(huán)水放掉。（8）機(jī)械泵、羅茨泵應(yīng)定期換油加油，羅茨泵的油杯中要保持一直有油。換油時(shí)一定要把廢油放干凈。（9）擴(kuò)散泵換油時(shí)，內(nèi)部如有氧化，要把擴(kuò)散泵內(nèi)部的氧化層處理干凈，然后再換上新油。（10）充入的保護(hù)性氣體，純度不應(yīng)小于99.99%。（11）本設(shè)備不允許使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為保護(hù)氣氛。（12）設(shè)備表面及儀表表面要

4、保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許有帶有水份及沾有非真空類用油的抹布擦拭。（13）氣動(dòng)系統(tǒng)的氣動(dòng)三連件上的油水分離器要經(jīng)常放水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴(kuò)散泵油。（14）設(shè)備的整機(jī)電壓要保證在350420 V范圍內(nèi)。三相要平衡。（15）規(guī)管、電接點(diǎn)壓力表、熱偶等處要經(jīng)常涂上擴(kuò)散泵油，使之與座之間形成一層油膜，防止漏氣。以上各部分及法蘭連接處不允許長(zhǎng)期使用真空封泥密封。（16）各部分的螺栓定期檢查，如發(fā)現(xiàn)松動(dòng)，及時(shí)擰緊。（17）設(shè)備工作時(shí)，注意觀察各儀表的顯示情況，及各泵的聲音，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常，找出問題。（18）設(shè)備的使用環(huán)境，在相對(duì)濕度85%以下，溫度在1040。在拆修設(shè)備時(shí)，各部分不許用重錘敲擊，密封

5、面、密封槽不許劃傷。（19）設(shè)備在工作時(shí)，操作人員不得長(zhǎng)時(shí)間離崗。2 維修部分 2.1真空設(shè)備維修的要點(diǎn)： 維修真空設(shè)備的要點(diǎn)是判斷故障。往往是真空抽不上去，原因可能有幾個(gè)，一定要搞清楚是什么原因，也許真空機(jī)組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏高，又或者兩種可能都有。這時(shí)，應(yīng)該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候關(guān)閉主閥，如真空計(jì)指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，這時(shí)候應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門的問題上來，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴(kuò)散泵油污染了，氧化了；或是前級(jí)管路密封不好，泵油不足；或是

6、泵油乳化，軸封漏油等故障。一、檢測(cè)漏率： 用戶最頭疼的問題就是檢測(cè)漏率。漏分內(nèi)漏和外漏，外漏比較好檢測(cè)，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點(diǎn)可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋，會(huì)發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。 （1） 漏和微漏的查找： 小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計(jì)的指針會(huì)有明顯擺動(dòng)。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。最好是反復(fù)幾次，確認(rèn)漏點(diǎn)

7、。（2） 漏和外漏的查找： 內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)，但是卻有以下現(xiàn)象：機(jī)械泵的抽速明顯偏低、真空計(jì)示值低、機(jī)械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。例：有一臺(tái)25中頻爐，配有2X70旋片泵和兩臺(tái)ZJ150羅茨泵加到一起抽也只抽到10 Pa，ZJ150泵的作用顯現(xiàn)不出來，沒發(fā)現(xiàn)有外漏，卻具備了機(jī)械泵油很快乳化，真空室內(nèi)鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設(shè)備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水，剩下就是查出漏點(diǎn)。先把內(nèi)壁清理干凈，再通冷卻水，看有無濕潤(rùn)點(diǎn)，濕潤(rùn)處就是漏點(diǎn)。 二、故障點(diǎn)的處理： 找出故障點(diǎn)就可以因地制宜地進(jìn)行處理了，簡(jiǎn)單的辦

8、法就是換件，小到膠圈，螺栓；大到閥門，真空泵，只要手頭上有的都可以換。對(duì)于需要焊接的部位應(yīng)按要求來進(jìn)行，焊接后還需確認(rèn)是否達(dá)到了要求。三、維修時(shí)要注意的環(huán)節(jié)： 維修應(yīng)注意幾個(gè)環(huán)節(jié)。即拆卸、清潔、檢驗(yàn)及裝配。 真空設(shè)備無論大小都屬于精密機(jī)械設(shè)備，這點(diǎn)很重要。拆卸應(yīng)遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲。 清洗零件時(shí)要干凈，徹底，以便于發(fā)現(xiàn)問題和查出隱患。真空泵類產(chǎn)品與一般機(jī)械產(chǎn)品有較大區(qū)別，一般機(jī)械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手應(yīng)多加小心，切記。千萬別把楞角倒去。 檢驗(yàn)是個(gè)細(xì)致活，每個(gè)細(xì)節(jié)都不要落掉，任何細(xì)微的地方都可能是問題所在，所以不能存在僥幸心理。 不論是用汽油還是

9、其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發(fā)了才能進(jìn)行裝配。真空泵油若與其他的油或溶劑或水混合會(huì)破壞其性能，影響真空泵的性能指標(biāo)。膠圈要擦干凈，仔細(xì)檢查有無缺陷和裂紋，尺寸是否正確，尺寸不對(duì)將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時(shí)必須換，比如油增壓泵各個(gè)接口，裝配時(shí)泵件同樣需要輕拿輕放；緊螺絲時(shí)用力要均，要從對(duì)角緊起。動(dòng)密封多用軸封，上軸封時(shí)要細(xì)心，先檢查軸封本身有無缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何，在軸封內(nèi)側(cè)可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時(shí)用力要均，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會(huì)漏油、漏氣，軸封簧別擠進(jìn)去，沒了軸封簧軸封就失效了。注意軸封與軸的同心度，有的泵是用對(duì)輪連接的，

10、對(duì)輪的同軸性要求很嚴(yán)格，裝配時(shí)要從軸的四面去量，保證平行一致。羅茨泵的對(duì)齒輪調(diào)整的關(guān)鍵是兩個(gè)8型齒輪不相碰。 擴(kuò)散泵的內(nèi)壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的擴(kuò)散泵主要靠電爐絲的長(zhǎng)短來控制泵油的溫度，擴(kuò)散泵油的注入量就需要考慮當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)的實(shí)際情況來酌量增減。泵的口徑大小不一樣注油量也有差別，電網(wǎng)的電壓低油可以減少2 mm，只要是干凈的鋼板尺或鐵絲都可以用來測(cè)量。由于制造和使用上的差別，擴(kuò)散泵注油量?jī)H供參考。 維修切記不可操之過急，故障沒搞清楚就想當(dāng)然的開始動(dòng)手拆卸，舊病未除又添新病，把簡(jiǎn)單的問題復(fù)雜化了。2.2、幾種情況下處理方式： 2.2.1 應(yīng)急處理 （1） 高溫時(shí)斷水、斷電.

11、 真空設(shè)備最怕的就是高溫時(shí)斷水、斷電。因此用戶最好在設(shè)備安裝時(shí)建有備用水箱或連有自來水管。 設(shè)備在高溫時(shí)斷水、斷電，此時(shí)，泵、閥門均應(yīng)處于關(guān)閉狀態(tài)，操作人員應(yīng)馬上接通備用水或自來水，對(duì)設(shè)備進(jìn)行水冷，如不能很快來電，還應(yīng)打開充放氣系統(tǒng)的手動(dòng)充氣閥，對(duì)設(shè)備進(jìn)行充氣保護(hù)，充氣壓力為-0.02 MPa左右。然后，把控制柜上的所有按鈕關(guān)至“關(guān)”的位置。同時(shí)用濕毛巾搭在電極引出接口處，定期更換，以免電極接口過熱，造成密封圈損壞。 （2） 更換充氣氣瓶. 設(shè)備所用充氣氣瓶需更換時(shí)，拆掉穩(wěn)壓閥，換上一瓶新氣，一定要注意安裝時(shí)不許漏氣。在換上新氣瓶后，在工件沒加熱前，應(yīng)在抽空過程中對(duì)爐內(nèi)充氣，以便在換氣瓶過程中

12、造成的管路內(nèi)存有的大氣抽出，使充氣管路保持清潔。 （3） 正常工作時(shí)，發(fā)現(xiàn)設(shè)備突然漏氣，如馬上能找到泄露點(diǎn)，須用真空封泥把泄露點(diǎn)封住，待工作完畢后，再做處理。如不能確定泄露處，則應(yīng)立即停止工作，然后檢修。 （4） 設(shè)備工作一段時(shí)間，一般50到70爐次，需清理打掃，把粉塵清出爐外，然后空爐工作一次。工作的方式是先抽空為真空度高于10-2 Pa時(shí)加熱，加熱溫度一般高于正常使用溫度的20。在最高爐溫時(shí)保溫一個(gè)小時(shí)以上，然后自然冷卻。這樣使設(shè)備內(nèi)部空間保持清潔。 2.2.2機(jī)械泵的常見故障及維修： 2.2.3羅茨泵的常見故障： 羅茨泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。其極限真空度可達(dá)510-2 Pa，又稱機(jī)械增

13、加泵。其工作原理是通過二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，通過容積的改變來實(shí)現(xiàn)抽氣和排氣。其工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。 維修保養(yǎng)： 應(yīng)經(jīng)常保持泵房環(huán)境清潔干燥。 應(yīng)經(jīng)常注意各部分潤(rùn)滑油的狀況，如發(fā)現(xiàn)不足時(shí)，應(yīng)及時(shí)補(bǔ)充。如發(fā)現(xiàn)不清潔時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換，并注意螺塞重新旋進(jìn)去時(shí)應(yīng)保證密封。泵工作壓差應(yīng)控制在旁通閥允許的壓差范圍內(nèi)，否則易燒壞電機(jī)。 在拆修時(shí)各部件不能用重錘敲打。 拆下的零件避免碰傷、擦毛。特別要注意密封面的平整光潔，否則會(huì)引起再裝配后漏氣現(xiàn)象，泵不能恢復(fù)原有性能。 拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能裝配。 裝配時(shí)要注意轉(zhuǎn)子兩端與左右側(cè)蓋的間隙，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵體的間隙按規(guī)定要求調(diào)整。 泵體左右側(cè)蓋之間之結(jié)合面均采用107樹脂（即室溫硫化硅橡膠）密封。 裝配前必須注意螺旋套方向，主動(dòng)軸上靠近電機(jī)一側(cè)為左旋，齒輪箱一側(cè)為右旋，從動(dòng)軸上則相反。 2.2.4油擴(kuò)散泵故障處理 （1）擴(kuò)散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。 （2） 泵停止工作時(shí)，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。 （3） 被抽氣體應(yīng)是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。 （4） 泵如暫時(shí)不用，保管期間應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將