第二章04電子探針

1、第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析透射電子顯微鏡思考題透射電子顯微鏡思考題1、電子衍射基本公式的應(yīng)用、電子衍射基本公式的應(yīng)用2、多晶電子衍射圖標(biāo)定、多晶電子衍射圖標(biāo)定3、明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像的形成、明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像的形成4、襯度、質(zhì)厚襯度、衍射襯度的定義、襯度、質(zhì)厚襯度、衍射襯度的定義第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析第五節(jié)第五節(jié) 電子探針電子探針X X射線顯微分析射線顯微分析（EPMAEPMA）主要內(nèi)容主要內(nèi)容 (1) (1) 電子探針的原理電子探針的原理 (2) (2) 電子探針儀的結(jié)構(gòu)電子探針儀的結(jié)構(gòu) (3) (3) 波譜儀波譜儀(WDS)(WDS)、能譜儀、能譜儀(EDS)(EDS)的

2、原理的原理 (4) (4) 電子探針分析方法電子探針分析方法第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析n第一臺(tái)商品電子探針第一臺(tái)商品電子探針X X射線顯微分析儀射線顯微分析儀( (簡(jiǎn)稱簡(jiǎn)稱電子探針儀電子探針儀) )是是19561956年制成的。年制成的。n電子探針儀是一種電子探針儀是一種微區(qū)成分微區(qū)成分分析儀器，它利分析儀器，它利用被聚焦成小于用被聚焦成小于1 1 m m的高速電子束的高速電子束( (電子探針電子探針) )轟擊樣品表面，由轟擊樣品表面，由X X射線波譜儀或能譜儀檢射線波譜儀或能譜儀檢測(cè)從試樣表面產(chǎn)生的特征測(cè)從試樣表面產(chǎn)生的特征X X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度，進(jìn)行定性或定量的化

3、學(xué)成分。度，進(jìn)行定性或定量的化學(xué)成分。 n 特點(diǎn)：不損樣，準(zhǔn)確快速，靈敏度高，特點(diǎn)：不損樣，準(zhǔn)確快速，靈敏度高，分析范圍廣（分析范圍廣（4Be92U）。）。 第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析電子束與固體樣品相互作用電子束與固體樣品相互作用電子探針信號(hào)電子探針信號(hào)第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析電子探針分析的理論依據(jù)電子探針分析的理論依據(jù) 第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析一、電子探針儀的構(gòu)造和工作原理一、電子探針儀的構(gòu)造和工作原理 電子探針鏡筒部分電子探針鏡筒部分的結(jié)構(gòu)大體上和掃的結(jié)構(gòu)大體上和掃描電子顯微鏡相同，描電子顯微鏡相同，只是在檢測(cè)器部分只是在檢測(cè)器部分使用的是使用的是

4、X X射線譜射線譜儀，儀，專門用來(lái)檢測(cè)專門用來(lái)檢測(cè)X X射線的特征波長(zhǎng)射線的特征波長(zhǎng)或特征能量，以此或特征能量，以此來(lái)對(duì)微區(qū)的化學(xué)成來(lái)對(duì)微區(qū)的化學(xué)成分進(jìn)行分析分進(jìn)行分析第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析常用的常用的X射線譜儀有兩種：射線譜儀有兩種：n一種是利用特征一種是利用特征X射線的波長(zhǎng)不同來(lái)展譜，射線的波長(zhǎng)不同來(lái)展譜，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)對(duì)不同波長(zhǎng)X射線分別檢測(cè)的波長(zhǎng)色散射線分別檢測(cè)的波長(zhǎng)色散譜儀，簡(jiǎn)稱譜儀，簡(jiǎn)稱波譜儀波譜儀（Wavelength Dispersive Spectrometer，簡(jiǎn)稱，簡(jiǎn)稱WDS）n另一種是利用特征另一種是利用特征X射線能量不同來(lái)展譜的射線能量不同來(lái)展譜的

5、能量色散譜儀，簡(jiǎn)稱能量色散譜儀，簡(jiǎn)稱能譜儀能譜儀（Energy Dispersive Spectrometer，簡(jiǎn)稱，簡(jiǎn)稱EDS）。）。第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析1 1、波譜儀（、波譜儀（WDSWDS） X射線波譜儀的譜儀系統(tǒng)射線波譜儀的譜儀系統(tǒng)也即也即X射線的分光射線的分光和探測(cè)系統(tǒng)是由分光晶體、和探測(cè)系統(tǒng)是由分光晶體、X射線探測(cè)器和相應(yīng)的射線探測(cè)器和相應(yīng)的機(jī)械傳動(dòng)裝置構(gòu)成。機(jī)械傳動(dòng)裝置構(gòu)成。第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析n把單晶體彎曲使它衍射晶面的曲率半徑等于聚焦圓半把單晶體彎曲使它衍射晶面的曲率半徑等于聚焦圓半徑徑R R的兩倍，即的兩倍，即2R2R。表面磨制成和聚焦圓

6、表面相合。表面磨制成和聚焦圓表面相合( (即即晶體表面的曲率半徑和晶體表面的曲率半徑和R R相等相等) )，當(dāng)某一波長(zhǎng)的，當(dāng)某一波長(zhǎng)的X X射線射線自點(diǎn)光源自點(diǎn)光源S S處發(fā)出時(shí)，晶體內(nèi)表面任意點(diǎn)處發(fā)出時(shí)，晶體內(nèi)表面任意點(diǎn)A A、B B、C C上上接收到的接收到的X X射線相對(duì)于點(diǎn)光源來(lái)說射線相對(duì)于點(diǎn)光源來(lái)說, ,入射角都相等，由入射角都相等，由此此A A、B B、C C各點(diǎn)的衍射線都能在各點(diǎn)的衍射線都能在D D點(diǎn)聚焦。所以這種點(diǎn)聚焦。所以這種方法也叫做完全聚焦法。方法也叫做完全聚焦法。p聚焦圓聚焦圓改變晶體和探測(cè)器的改變晶體和探測(cè)器的位置可以測(cè)到不同波位置可以測(cè)到不同波長(zhǎng)的射線長(zhǎng)的射線旋轉(zhuǎn)式

7、波譜儀旋轉(zhuǎn)式波譜儀X射線的出射窗口較大射線的出射窗口較大第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析n這種譜儀的特點(diǎn)是分光晶體從點(diǎn)光源這種譜儀的特點(diǎn)是分光晶體從點(diǎn)光源A A向外沿著一直線運(yùn)動(dòng)，向外沿著一直線運(yùn)動(dòng)，X X射線出射角不變射線出射角不變，晶體通過自轉(zhuǎn)改變，晶體通過自轉(zhuǎn)改變 角。角。p全聚焦直進(jìn)式波譜儀全聚焦直進(jìn)式波譜儀這種譜儀結(jié)構(gòu)復(fù)雜，但這種譜儀結(jié)構(gòu)復(fù)雜，但X射射線照射晶體的方向固定，使線照射晶體的方向固定，使X射線穿出樣品射線穿出樣品表面過程中表面過程中所走的路線相同，也就是所走的路線相同，也就是吸吸收條件相同收條件相同。nRdLndndRL sin2sin22sin第二章第二章 電子顯

8、微分析電子顯微分析n 可見在直進(jìn)式譜儀中，特征可見在直進(jìn)式譜儀中，特征X射線的波長(zhǎng)射線的波長(zhǎng)直接與分光晶體和點(diǎn)光源間的距離成正比。直接與分光晶體和點(diǎn)光源間的距離成正比。L由小變大意味著被檢測(cè)的由小變大意味著被檢測(cè)的X射線波長(zhǎng)射線波長(zhǎng) 由短由短變長(zhǎng)，變長(zhǎng)，改變改變L就能檢測(cè)到不同波長(zhǎng)，即就能檢測(cè)到不同波長(zhǎng)，即不同不同元素元素的的X射線。射線。nRdLnd sin2nmk1937. 0nmk1542. 0例如：例如：R=140mmR=140mm，LiFLiF分光晶體的衍射晶面間距分光晶體的衍射晶面間距 d = 0.2013nm d = 0.2013nm（200200），）， 在在L=134.7mm

9、L=134.7mm處處, ,可探測(cè)可探測(cè)Fe ,Fe ,在在L=107.2mmL=107.2mm處處, ,可探測(cè)可探測(cè)CuCu , ,。第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析p 分光晶體分光晶體n分光晶體是專門用來(lái)對(duì)分光晶體是專門用來(lái)對(duì)X X射線起色散（分光）作用的晶體，射線起色散（分光）作用的晶體，它應(yīng)具有良好的衍射性能、強(qiáng)的反射能力和好的分辨率。在它應(yīng)具有良好的衍射性能、強(qiáng)的反射能力和好的分辨率。在X X射線譜儀中使用的分光晶體還必須能彎曲成一定的弧度、射線譜儀中使用的分光晶體還必須能彎曲成一定的弧度、在真空中不發(fā)生變化等。在真空中不發(fā)生變化等。n各種晶體能各種晶體能色散的色散的X X射線

10、波長(zhǎng)范圍，取決于衍射晶面間距射線波長(zhǎng)范圍，取決于衍射晶面間距d d和和布拉格角布拉格角 的可變范圍的可變范圍，對(duì)波長(zhǎng)大于，對(duì)波長(zhǎng)大于2d2d的的X X射線則不能進(jìn)行色射線則不能進(jìn)行色散。譜儀的散。譜儀的 角有一定變動(dòng)范圍，角有一定變動(dòng)范圍，1515-65-65；每一種晶體的；每一種晶體的衍射晶面是固定的，因此它只能色散一段波長(zhǎng)范圍的衍射晶面是固定的，因此它只能色散一段波長(zhǎng)范圍的X X射線射線和適用于一定原子序數(shù)范圍的元素分析。和適用于一定原子序數(shù)范圍的元素分析。n目前，電子探針儀能分析的目前，電子探針儀能分析的元素范圍是原子序數(shù)為元素范圍是原子序數(shù)為4 4的鈹?shù)拟敚˙eBe）到原子序數(shù)為）到原

11、子序數(shù)為9292的鈾（的鈾（U U）。其中小于氟（。其中小于氟（F F）的元）的元素稱為輕元素，它們的素稱為輕元素，它們的X X射線波長(zhǎng)范圍大約在射線波長(zhǎng)范圍大約在1.8-11.3 nm1.8-11.3 nm。第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析161PX-ray探測(cè)器：與探測(cè)器：與X-ray衍射儀相同。衍射儀相同。記錄系統(tǒng)：記錄系統(tǒng)：X-ray強(qiáng)度顯示，強(qiáng)度顯示， X-ray強(qiáng)度分布曲線強(qiáng)度分布曲線圖圖292，X-ray波長(zhǎng)色散譜波長(zhǎng)色散譜第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析2 2、 能譜儀（能譜儀（EDSEDS）利用特征利用特征X-ray能量不同展

12、譜能量不同展譜 n能譜儀的主要組成部分如圖所示，由能譜儀的主要組成部分如圖所示，由探測(cè)器探測(cè)器、前置放大器、前置放大器、脈沖信號(hào)處理單元、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、多道分析器、小型計(jì)算機(jī)脈沖信號(hào)處理單元、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、多道分析器、小型計(jì)算機(jī)及顯示記錄系統(tǒng)組成，它實(shí)際上是及顯示記錄系統(tǒng)組成，它實(shí)際上是一套復(fù)雜的電子儀器一套復(fù)雜的電子儀器。第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析p 鋰漂移硅鋰漂移硅Si(Li)探測(cè)器探測(cè)器n Si(Li) Si(Li)是厚度為是厚度為3-5 mm3-5 mm、直徑為、直徑為3-10mm3-10mm的薄片，它是的薄片，它是p p型型Si Si在在嚴(yán)格的工藝條件下漂移進(jìn)嚴(yán)格的工藝條件下

13、漂移進(jìn)LiLi制成的。制成的。nSi(Li)Si(Li)探測(cè)器實(shí)際上是一個(gè)探測(cè)器實(shí)際上是一個(gè)p-I-np-I-n型二級(jí)管，鍍金的型二級(jí)管，鍍金的p p型型Si Si接高接高壓負(fù)端，壓負(fù)端，n n型型Si Si接高壓正端并和前置放大器的場(chǎng)效應(yīng)管相連接高壓正端并和前置放大器的場(chǎng)效應(yīng)管相連接。接。n Si(Li) Si(Li)探測(cè)器處于探測(cè)器處于真空系統(tǒng)內(nèi)，其前真空系統(tǒng)內(nèi)，其前方有一個(gè)方有一個(gè)7-8 7-8 m m的的鈹窗，整個(gè)探頭裝鈹窗，整個(gè)探頭裝在與存有液氮的杜在與存有液氮的杜瓦瓶相連的冷指內(nèi)。瓦瓶相連的冷指內(nèi)。電子空穴對(duì)數(shù)目電子空穴對(duì)數(shù)目N=E/3.8N=E/3.8第二章第二章 電子顯微分析電

14、子顯微分析 能譜儀的特點(diǎn)能譜儀的特點(diǎn)1.1.能譜儀所用的能譜儀所用的Li(Si)Li(Si)檢測(cè)器尺寸小，可以裝檢測(cè)器尺寸小，可以裝在靠近樣品的區(qū)域，在靠近樣品的區(qū)域，X X射線利用率比較高；射線利用率比較高；2.2.電子束流小，束斑尺寸小，對(duì)樣品的污染作電子束流小，束斑尺寸小，對(duì)樣品的污染作用小，采樣的體積也較小用小，采樣的體積也較小, ,最小可達(dá)最小可達(dá)0.1um0.1um3 3；而；而波譜儀大于波譜儀大于1um1um3 3; ;3.3.分析速度快，可在分析速度快，可在2-32-3分鐘內(nèi)完成元素定性分鐘內(nèi)完成元素定性全分析全分析; ;4.4.能譜儀工作時(shí)，不需要象波譜儀那樣聚焦，能譜儀工作

15、時(shí)，不需要象波譜儀那樣聚焦，因而不受聚焦圓的限制，樣品的位置可起伏因而不受聚焦圓的限制，樣品的位置可起伏2-2-3mm3mm，適用于粗糙表面成分分析，適用于粗糙表面成分分析; ;5.Si(Li)5.Si(Li)探測(cè)器必須在液氮溫度探測(cè)器必須在液氮溫度(77K)(77K)下使用下使用保存，維護(hù)費(fèi)用高保存，維護(hù)費(fèi)用高. .第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析二、波譜儀和能譜儀的比較二、波譜儀和能譜儀的比較操作特性操作特性 波譜儀（波譜儀（WDSWDS） 能譜儀（能譜儀（EDSEDS） 分析方式分析方式 用幾塊分光晶體用幾塊分光晶體按順序進(jìn)行分析按順序進(jìn)行分析 用用Si(Li) EDSSi(Li)

16、 EDS進(jìn)行多元素同時(shí)分進(jìn)行多元素同時(shí)分析析分析元素范圍分析元素范圍 92 Z492 Z492 Z6 (92 Z6 (無(wú)窗無(wú)窗) ) 92 Z11 (92 Z11 (鈹窗鈹窗) ) 分辨率分辨率 與分光晶體有關(guān)，與分光晶體有關(guān)，5 eV 5 eV （高）（高）與能量有關(guān)，與能量有關(guān)，145150 eV145150 eV（低）（低）幾何收集效率幾何收集效率 0.2% 0.2% 2% 2% 第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析量子效率量子效率 30% 30% 100% (2.515 keV) 100% (2.515 keV)瞬時(shí)接收范瞬時(shí)接收范圍圍 波長(zhǎng)滿足波長(zhǎng)滿足式（式（2 26363） 全部

17、能量范圍全部能量范圍對(duì)表面要求對(duì)表面要求 平整，光滑平整，光滑 較粗糙表面也適用較粗糙表面也適用典型數(shù)據(jù)收典型數(shù)據(jù)收集時(shí)間集時(shí)間 10 min 10 min 23 min 23 min p波譜儀和能譜儀的比較波譜儀和能譜儀的比較第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析p波譜儀和能譜儀的比較波譜儀和能譜儀的比較譜失真譜失真 不存在不存在主要包括：逃逸峰、峰主要包括：逃逸峰、峰重疊、脈沖堆積、電子重疊、脈沖堆積、電子束散射、鈹窗吸收效應(yīng)束散射、鈹窗吸收效應(yīng)等等最小束斑直徑最小束斑直徑 200 nm 200 nm 5 nm 5 nm 探測(cè)極限探測(cè)極限 0.010.1% 0.010.1% 0.10.5%

18、0.10.5%對(duì)試樣損傷對(duì)試樣損傷 大大小小第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析三、分析方法及其應(yīng)用三、分析方法及其應(yīng)用 電子探針儀的分析方法電子探針儀的分析方法 電子探針分析有三種基本分析方法：電子探針分析有三種基本分析方法： 點(diǎn)分析、線掃描分析、面掃描分析點(diǎn)分析、線掃描分析、面掃描分析 分析方式有分析方式有定性分析和定量分析定性分析和定量分析。 準(zhǔn)確的分析對(duì)實(shí)驗(yàn)條件有兩大方面的要求。準(zhǔn)確的分析對(duì)實(shí)驗(yàn)條件有兩大方面的要求。n一是對(duì)樣品有一定的要求：如良好的一是對(duì)樣品有一定的要求：如良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱導(dǎo)電、導(dǎo)熱性，表面平整度性，表面平整度等；等；n二是對(duì)工作條件有一定的要求：如加速電壓，計(jì)二是

19、對(duì)工作條件有一定的要求：如加速電壓，計(jì)數(shù)率和計(jì)數(shù)時(shí)間，數(shù)率和計(jì)數(shù)時(shí)間，X X射線出射角等。射線出射角等。第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析n定點(diǎn)定性分析是對(duì)試樣某一選定點(diǎn)（區(qū)域）進(jìn)行定點(diǎn)定性分析是對(duì)試樣某一選定點(diǎn)（區(qū)域）進(jìn)行定性成分分析，以確定該點(diǎn)區(qū)域內(nèi)存在的元素。定性成分分析，以確定該點(diǎn)區(qū)域內(nèi)存在的元素。n其原理如下：在熒光屏顯示的圖像上選定需要分其原理如下：在熒光屏顯示的圖像上選定需要分析的點(diǎn)，使聚焦電子束照射在該點(diǎn)上，激發(fā)試樣析的點(diǎn)，使聚焦電子束照射在該點(diǎn)上，激發(fā)試樣元素的特征元素的特征X X射線。射線。n用譜儀探測(cè)并顯示用譜儀探測(cè)并顯示X X射線譜。射線譜。根據(jù)譜線根據(jù)譜線峰值峰值

20、位置位置的波長(zhǎng)或能量的波長(zhǎng)或能量確定分析點(diǎn)區(qū)域的試樣中存在的元確定分析點(diǎn)區(qū)域的試樣中存在的元素。素。1、定點(diǎn)定性分析、定點(diǎn)定性分析第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析p 能譜定性分析能譜定性分析能譜譜線的鑒別可以用以下二種方法：能譜譜線的鑒別可以用以下二種方法：n(1)(1)根據(jù)經(jīng)驗(yàn)及譜線所在的能量位置根據(jù)經(jīng)驗(yàn)及譜線所在的能量位置估計(jì)估計(jì)某一峰或某一峰或幾個(gè)峰是某元素的特征幾個(gè)峰是某元素的特征X X射線峰，讓能譜儀在熒射線峰，讓能譜儀在熒光屏上顯示該元素特征光屏上顯示該元素特征X X射線標(biāo)志線來(lái)核對(duì)；射線標(biāo)志線來(lái)核對(duì)；n(2)(2)當(dāng)無(wú)法估計(jì)可能是什么元素時(shí)，根據(jù)譜峰所在當(dāng)無(wú)法估計(jì)可能是什么

21、元素時(shí)，根據(jù)譜峰所在位置的能量位置的能量查找元素各系譜線的能量卡片或能量查找元素各系譜線的能量卡片或能量圖來(lái)確定是什么元素。圖來(lái)確定是什么元素。第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析nX X射線能譜定性分析與定量分析相比，雖然比較射線能譜定性分析與定量分析相比，雖然比較簡(jiǎn)單、直觀，但也必須遵循一定的分析方法，能簡(jiǎn)單、直觀，但也必須遵循一定的分析方法，能使分析結(jié)果正確可靠。使分析結(jié)果正確可靠。n一般來(lái)說，對(duì)于試樣中的主要元素（例如含量一般來(lái)說，對(duì)于試樣中的主要元素（例如含量1010）的鑒別是容易做到正確可靠的；但對(duì)于試）的鑒別是容易做到正確可靠的；但對(duì)于試樣中次要元素（例如含量在樣中次要元素（例

22、如含量在0.5-100.5-10）或微量元素）或微量元素（例如含量（例如含量0.50.5）的鑒別則必須注意譜的干擾、）的鑒別則必須注意譜的干擾、失真、譜線的多重性等問題，否則會(huì)產(chǎn)生錯(cuò)誤。失真、譜線的多重性等問題，否則會(huì)產(chǎn)生錯(cuò)誤。第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析p 波譜定性分析波譜定性分析n 由于波譜儀由于波譜儀的分辨率高，的分辨率高，波譜的波譜的峰背峰背比比至少是能至少是能譜的譜的1010倍，倍，因此對(duì)一給因此對(duì)一給定元素，可定元素，可以在譜中出以在譜中出現(xiàn)更多的譜現(xiàn)更多的譜線。線。第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析n此外，由于波譜儀的晶體分光特點(diǎn)，對(duì)波長(zhǎng)為此外，由于波譜儀的晶體分光

23、特點(diǎn)，對(duì)波長(zhǎng)為 的的X X射線不僅可以在射線不僅可以在 B B處探測(cè)到處探測(cè)到n n1 1的一級(jí)的一級(jí)X X射線，同時(shí)可在其它射線，同時(shí)可在其它 角處探測(cè)到角處探測(cè)到n = 2n = 2，33的的高級(jí)衍射線。高級(jí)衍射線。nRdLnd sin2EF第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析n同樣，在某一同樣，在某一 B B 處，處，n n1 1， 1 1的的X X射線射線可以產(chǎn)生衍射；可以產(chǎn)生衍射；n n2 2， 1/21/2的的X X射線也可以射線也可以產(chǎn)生衍射，如果波譜儀無(wú)法將它們分離，則它們產(chǎn)生衍射，如果波譜儀無(wú)法將它們分離，則它們將出現(xiàn)于波譜的同一波長(zhǎng)（將出現(xiàn)于波譜的同一波長(zhǎng)（ 角）處而不能

24、分辨。角）處而不能分辨。 p167 p167 例子例子第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析u 使聚焦電子束在試樣觀察區(qū)內(nèi)沿一選定直線（穿使聚焦電子束在試樣觀察區(qū)內(nèi)沿一選定直線（穿越粒子或界面）進(jìn)行慢掃描，越粒子或界面）進(jìn)行慢掃描，X X射線譜儀處于探測(cè)射線譜儀處于探測(cè)某一元素特征某一元素特征X X射線狀態(tài)。射線狀態(tài)。u 顯像管射線束的橫向掃描與電子束在試樣上的掃顯像管射線束的橫向掃描與電子束在試樣上的掃描同步，用譜儀探測(cè)到的描同步，用譜儀探測(cè)到的X X射線信號(hào)強(qiáng)度（計(jì)數(shù)率）射線信號(hào)強(qiáng)度（計(jì)數(shù)率）調(diào)制顯像管射線束的縱向位置就可以得到反映該元調(diào)制顯像管射線束的縱向位置就可以得到反映該元素含量變化

25、的特征素含量變化的特征X X射線強(qiáng)度沿試樣掃描線的分布。射線強(qiáng)度沿試樣掃描線的分布。u 通常將電子束掃描線，特征通常將電子束掃描線，特征X X射線強(qiáng)度分布曲線射線強(qiáng)度分布曲線重疊于二次電子圖象之上可以更加直觀地表明元素重疊于二次電子圖象之上可以更加直觀地表明元素含量分布與形貌、結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系。含量分布與形貌、結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系。2、線掃描分折、線掃描分折第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析第二章第二章 電子顯微分析電子顯微分析n線掃描分析對(duì)于測(cè)定元素在材料相界線掃描分析對(duì)于測(cè)定元素在材料相界和晶界上的富集與貧化是十分有效的。和晶界上的富集與貧化是十分有效的。n在有關(guān)在有關(guān)擴(kuò)散現(xiàn)象擴(kuò)散現(xiàn)象的研究中，電子探針的研究中，電子探針比剝層化學(xué)分析、放射