培訓(xùn)外觀檢查缺陷

1、成品外觀檢查缺陷教育外觀重要缺陷（A類缺陷）指漏光、無客戶 Mark或客戶Mark殘缺、色差、膜層缺少（如無 OG無ITO等）；嚴(yán)重的污染、殘留、打弧、藍(lán)霧、白濁等，統(tǒng)稱為A類缺陷。外觀次要缺陷（B類缺陷）指劃傷、異物、針孔、 Mura、一般污染、崩邊、ITO白點（掉膜）、輕微殘留、顯影斑塊 等統(tǒng)稱為B類缺陷。一. 缺陷定義1針孔針孔（Pinhole ）,也稱掉膜，是指一種膜層脫落的現(xiàn)象。2殘留指在圖案形成過程中應(yīng)當(dāng)去除的部分卻被保留下來的現(xiàn)象。3顯影斑塊指顯影時由于顯影程度不均勻?qū)е履颖砻嫘蚊膊町惗a(chǎn)生色斑甚至膜層脫落的現(xiàn)象。4 OG Mura指由于OG!表面膜厚不均而導(dǎo)致反射光顏色差異的

2、現(xiàn)象。5異物指夾雜在GF膜層中的金屬、纖維、樹脂等雜質(zhì)。6污染泛指發(fā)生在膜面由溶液等造成的污點（塊）。7劃傷指硬物接觸玻璃，在玻璃上或膜層上造成的劃痕。8 ITO白點及掉膜指在鍍膜前或鍍膜過程中附著在膜面，存在于ITO膜層中的異物。9 SiO2打弧由于SiO2濺射電極異常放電造成（粉狀）SiO2顆粒噴射到膜層表面的現(xiàn)象。10藍(lán)霧指由于ITO鍍膜時工藝異常造成ITO膜層呈淺藍(lán)色霧狀的現(xiàn)象。11白濁指因OG烘烤不足而造成的 OGBE層起皺的現(xiàn)象。二.缺陷判定方法：1 .針孔1.1 Al膜針孔Al膜針孔多由于在刻蝕時 Posi膠沒保護(hù)好，過度刻蝕造成的；也有的是原片針孔。Al膜針孔較易辨認(rèn)：背光燈透

3、射光觀察呈白色或彩色亮點，空氣面相應(yīng)位置反射光看 為黑點。1.2 BL針孔BL針孔多由于顯影過強(qiáng)、EBR液飛或曝光不良造成的。BL針孔的特征是：a.全透型一一背光燈透射呈淺白色亮點（塊），綠燈反射光為黑點（塊）b.半透型一一若掉膜正好位于Al膜表面，則透射光不可見，背光燈、鈉燈及綠燈反射光均呈亮點（塊）。1.3 RGB針孔RGB1孔也多由于顯影過強(qiáng)（尤其是半透型產(chǎn)品）、EBR液飛或曝光不良造成的。RGB1孔的特征分別為:玻璃上針孔（透射光觀察）Al上（反射光觀察）R針孔育曲:色育曲:色G針孔紫紅色紫紅色B針孔嫩黃色嫩黃色2 .殘留2.1 Posi 殘留Posi是在Al膜圖案形成過程中保護(hù)Al膜

4、的，刻蝕完成后用堿性溶液將其去除，當(dāng)工藝異常去除不盡的時候就造成了Posi殘留。Posi殘留的特征是：透射光不可見，從空氣面觀察不可見；綠燈反射光呈亮塊（有異物感），背光燈反射光為淺色白塊。2.2 Al 膜殘留Al膜殘留是指Al開口部分未刻蝕到或未完全刻蝕而殘留下來的現(xiàn)象。Al膜殘留較易辨認(rèn)：背光燈透射光呈黑（或彩色）塊，反射光觀察空氣面相應(yīng)位置 呈亮塊。2.3 KOH （氫氧化鉀）殘留KOH留指在EBR（Edge Back Rinse-邊緣背部清洗）工序，由于工藝不穩(wěn)定， KOH 洗液噴射過于靠近基板內(nèi)部，純水沖洗不凈而遺留下來的現(xiàn)象。KOH留的特征是：位于空氣面邊緣，呈淺黑色斑紋，反射光較

5、明顯，嚴(yán)重者透射光 可見。2.4 顏料殘留顏料殘留指Posi、BL RG眼OC等粘附在空氣面的現(xiàn)象。對于小面積的顏料殘留，要求用刀片小心地將其刮除，對于大面積的顏料殘留予以隔離交生產(chǎn)部門處理。3 .顯影斑塊顯影斑塊在鈉燈下呈淺色亮塊，綠燈反射光呈淺色暗塊，嚴(yán)重者背光燈反射光可見亮塊，甚至透射光可見明顯的明暗差異。4 . OC Mura4.1 涂布 Mura涂布Mura泛指由于制造過程中器械原因產(chǎn)生的Mura。包括Slit、Spin、Chuck以及Pin Mura 。4.2 . Slit MuraSlit Mura 指在Slit 涂布工序，由于涂布噴口局部堵塞而產(chǎn)生的呈現(xiàn)直線狀貫通基板且同基板邊

6、緣平行的 Mura。4.3 Spin MuraSpin Mura指由于Slit涂布不均等原因?qū)е?Spin時產(chǎn)生呈放射狀的 Murao注：因異物造成的放射狀Mura不算在此列，為統(tǒng)計方便，將因BL、RG聊物造成的歸為BL&RG事物，將因OM物造成的歸為 OC異物。4.4 Chuck/Pin MuraChuck （真空吸嘴）和 Pin （頂針）是在搬運玻璃時用于固定支撐基片的，當(dāng)其同玻璃接 觸時會產(chǎn)生微觀變形，由此造成的Mura相應(yīng)稱為Chuck Mura或/Pin Mura 。5 .色斑此處的色斑泛指其他的 Mura現(xiàn)象。發(fā)現(xiàn)此類 Mura,應(yīng)立即通知組長確認(rèn)，并在 外觀檢 查原始記錄

7、 備注欄及FQC外觀檢查員交接班記錄 備注欄中簡單描述色斑的特征。6 .異物6.1 BL 及 RGB#物BL及RGB#物指夾雜在BL或RG瞅?qū)又虚g的異物。包括顏料、金屬、皮膚、纖維等。6.1.1 額緣部在鈉燈下觀察，若異物導(dǎo)致BL扭曲變形或以異物為中心有2個及以上的 Mura圈即為BL&RGW 物。6.1.2 表本部背光燈透過光觀察，異物點位置可見色差或在鈉燈下以異物為中心有2個及以上的Mura圈即為BL&RG畀物。6.2 OC#物及異物MuraOC#物指夾雜在 OC膜層中間的異物，包括顏料、金屬、皮膚、纖維等。OC#物背光燈透過光一般不可見，在鈉燈下觀察只有一圈MuraoOC

8、#物Mura包括是由OM物造成的放射狀 Mura。7 .污染污染包括水跡、手印等。8 .劃傷劃傷是一種非常嚴(yán)重的缺陷，尤其是膜層劃傷，它會直接影響 LCD的功能。9 . ITO缺陷9.1 ITO白點及掉膜包括金屬、皮膚、灰塵及纖維等。錮污染也應(yīng)當(dāng)歸入這一類。ITO白點在綠燈下呈小亮點，背光燈反射光呈小白點，鈉燈下以小點為中心沒有MuraoITO掉膜指擦掉ITO白點后而造成的ITO膜層脫落。所以也記入 ITO白點一欄。9.2 SiO2 打弧SiO2打弧在綠燈下辨別，呈粉狀（或顆粒狀），同藍(lán)霧相比打弧的顆粒較粗且越靠邊緣越密集。9.3 藍(lán)霧有藍(lán)霧的成品面電阻較正常成品低。藍(lán)霧在綠燈可見膜面有一層均

9、勻的霧狀小顆粒，從空氣面觀察呈淺藍(lán)色。10 .其他其他一項泛指不能歸入前面 8項的缺陷，如白濁、崩邊、破損、客戶 Mark缺少等。發(fā)現(xiàn) 此類缺陷時應(yīng)及時通知組長確認(rèn)，并在 外觀檢查原始記錄 備注欄及FQC外觀檢查員交 接班記錄 備注欄中簡單描述其特征。三.外觀檢查3.1 外觀檢查時應(yīng)當(dāng)按照綠燈（左右方向）-鈉燈（上下方向）-背光燈（左右方向）的順序進(jìn)行。3.1.1 背光燈首先檢查玻璃基板是否有崩邊、裂紋等缺陷，以及是否為雙大角條件板；然后檢查客戶Mark是否符合要求；最后同色差樣片進(jìn)行對比，判斷顏色是否正常。3.1.2 鈉燈利用鈉燈反射光逐個 Panel進(jìn)行檢查，檢查內(nèi)容有：膜層缺少（如無 OC無ITO）、 針孔、殘留、顯影斑塊、OC Mura、BL及RG斷物、OC異物、污染等缺陷。對于發(fā)現(xiàn)的缺陷利用背光燈和綠燈按照外觀檢查原始記錄填寫方法的規(guī)定進(jìn)行確認(rèn)分類。3.1.3 綠燈利用綠燈反射光逐個Panel進(jìn)行檢查，檢查內(nèi)容有：顯影斑塊、污染、劃傷、白點掉膜、SiO2打弧、藍(lán)霧、Posi殘留、白濁等缺陷。3.1.4 判斷按CF產(chǎn)品通用規(guī)格書 的要求并參照缺陷標(biāo)準(zhǔn)樣片對缺陷作出NG或OK的判斷。A類缺陷的允收基準(zhǔn)為 0,即發(fā)現(xiàn)一個就報廢整片玻璃。對于B類缺陷，則按報廢Panel進(jìn)